JPS641832B2 - - Google Patents

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JPS641832B2
JPS641832B2 JP54007318A JP731879A JPS641832B2 JP S641832 B2 JPS641832 B2 JP S641832B2 JP 54007318 A JP54007318 A JP 54007318A JP 731879 A JP731879 A JP 731879A JP S641832 B2 JPS641832 B2 JP S641832B2
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Gusu Furiidoritsuhi
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Texas Instruments Inc
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Texas Instruments Inc
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Publication date
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Publication of JPS641832B2 publication Critical patent/JPS641832B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/50Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
    • H10P72/53Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/70Determining position or orientation of objects or cameras
    • G06T7/73Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W46/00Marks applied to devices, e.g. for alignment or identification
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108Industrial image inspection
    • G06T2207/30148Semiconductor; IC; Wafer
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30204Marker
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V10/00Arrangements for image or video recognition or understanding
    • G06V10/20Image preprocessing
    • G06V10/24Aligning, centring, orientation detection or correction of the image
    • G06V10/245Aligning, centring, orientation detection or correction of the image by locating a pattern; Special marks for positioning

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Image Input (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) 本発明は、TVカメラの視野中において調整可
能搬送体上に配設された物体を予め知られた基準
位置に対して整合させる装置であつて、上記TV
カメラが物体の表面ならびにラインラスタ中にお
いて物体を取り囲む周囲領域を走査して走査領域
の像に相当する電気的ビデオ信号を発生するよう
な装置に関する。
(従来の技術) 多くの大量生産の分野においては、小さな寸法
の同一物体を特定の操作を行うために作業位置ま
で移送する問題があり、また上記物体は所定の基
準位置に対して上記作業位置に正確に整合されな
ければならない。このことは、例えば「バー」と
称される小さな矩形状ウエハの形で大量に製作さ
れて装着され接続を施される集積回路またはトラ
ンジスタのような半導体装置の製造にあてはま
る。上述の種類の公知の装置においては、はじめ
にオペレータがTVカメラによつてモニタに表示
されるビデオ像を観察しながら物体が基準位置に
対して正確に整合するまで上記物体を移動させる
ことによつて手動で整合が行われる。このような
操作は、多くの作業を含み、多くの時間を費すと
ともに困難な点が多く、またオペレータが常に一
定の注意を払わなければならず、さらに不合格品
を増大させるようなエラーを生じさせる要因を含
むものである。
(発明が解決しようとする問題点およびそのため
の解決手段) 本発明の目的は、一定の正確性をもつて完全に
自動的に物体を迅速に整合させるはじめに述べた
種類の装置の提供にある。
この目的を達成するために、本発明による装置
は、ビデオ信号を受けてこれから2つの信号レベ
ルを有するデイジタルビデオ信号を形成するデイ
ジタル化手段であつて上記デイジタルビデオ信号
が上記物体から生じたビデオ信号に対しては主と
して第1信号レベルとなり上記周辺領域から生じ
たビデオ信号に対しては第2信号レベルとなるよ
うにするデイジタル化手段と、上記物体が基準位
置に整合されたときに上記物体の対をなす対向縁
部に隣接した位置に対応しかつ互いに対をなして
関係づけられた複数のデータ窓組中のデイジタル
ビデオ信号を解析する手段であつて各データ窓中
に所定信号レベルのデイジタルビデオ信号が生じ
たことに応じて各データ窓を特徴づける出力信号
を発生する解析手段と、この解析手段の出力信号
に基いて上記物体が基準位置に対して整合される
ように上記物体の搬送体を制御する電気回路とを
具備する。
物体を迅速かつ正確に完全に自動的に整合させ
る本発明による装置中においてデイジタルビデオ
信号の解析を行うことは別の利点がある。すなわ
ち、それは整合されるべき物体が存在することお
よび完全であることを検査できることである。
本発明による装置は、この目的を達成してさら
に有利なものとするために、整合された物体の領
域中に所定数の時点において配置される1つまた
はそれ以上のマーカフイールド中のデイジタルビ
デオ信号を解析し解析されたビデオ信号が第1信
号レベルを有するときにはいつでもパルスを発生
する手段と、このパルスを計数して完全走査中に
計数値が所定値を越えたときに物体の存在または
完全性を示す信号を出力する手段とを含む。
出力信号は、特に自動移動を開始させて次の物
体を整合位置に移送させるのに使用され得る。
はじめに述べた公知の装置が半導体装置の製造
に使用されるときには、オペレータはバーの特定
の性質の存在を判定するといつた別の操作を行わ
なければならなかつた。半導体装置は、通常、製
造後組立ての前に使用可能か否かが検査され、さ
らに後の処理の要求を満たさないすべてのバーに
は所定点にインクドツトが付される。インクドツ
トの反射特性はバーの表面の反射特性と明らかに
異なるため、モニタのスクリーンに表示されるビ
デオ像中においてインクドツトは例えば暗領域と
して表示されバー表面の明るい背景と区別され
る。オペレータは例えばインクドツトによつてマ
ーク付けされたバーを後の処理から除外しなけれ
ばならない。
本発明による装置は、インクドツトあるいは同
様なマーカの存在を完全に自動的に認識するもの
である。
本発明による装置は、第1反射特性を有する識
別領域の存在を第1反射特性とは異なつた第2反
射特性を有する物体の背景面中において認識する
装置であつて、ラインラスタ中の識別領域を含む
物体の表面領域を走査して走査面領域の像に相当
するビデオ信号を発生するTVカメラを有し、上
記ビデオ信号を受けてこれから2つの信号レベル
を有するデイジタルビデオ信号を形成するデイジ
タル化手段であつて上記デイジタルビデオ信号が
背景領域から生じたビデオ信号に対しては第1信
号レベルとなり上記識別領域から生じたビデオ信
号に対しては主として第2信号レベルとなるよう
にするデイジタル化手段と、所定数の走査ライン
発生の間所定数の時点においてデイジタルビデオ
信号を解析して解析されたビデオ信号が第2信号
レベルを有する各場合にパルスを発生する解析手
段と、上記パルスを計数し完全走査中計数値が所
定値を越えたときにはいつでも識別領域の存在を
示す信号を出力する手段とを具備するものであ
る。
本発明の他の特徴および利点は、以下に添付図
面を参照して行う本発明の実施例に関する説明に
より明らかとなろう。
(実施例) 第1図に示された設定整合装置は、水平面に配
置された物体1を垂直矢印Rで示された固定基準
点に正確に整合させようとするものである。この
目的のために、設定整合装置は、物体1が頂部に
配置されるX−Yテーブル2を具備し、このテー
ブル2はX方向およびY方向と指称される互いに
直交する2つの方向について2つのモータ3と4
によつて調整可能となつている。モータ3と4
は、各ステツプごとにX−Yテーブル2を関連方
向に正確に画定された調整を行い、各ステツプの
調整値が例えば10μmのような電気的ステツプモ
ータであることが好ましい。ステツプモータ3が
Xモータであり、ステツプモータ4がYモータで
ある。
物体1は、例えば製作の間何らかの操作を行う
必要がありかつこの間基準点Rに対して正確に整
合させる必要がある加工物とすることができる。
非常に小さな同一寸法の加工物が大量に生産され
るので、比較的多数の加工物がX−Yテーブル2
上に同時に配置され得、基準点Rに対して連続的
に整合されるようにすることができる。
設定整合装置の好ましい適用分野は、半導体装
置の製造分野である。最近は、例えばトランジス
タまたは集積回路等の多数の半導体装置を厚さの
薄い単一半導体スライス上に同時に製造し、然る
後に、上記スライスを「バー」と指称される矩形
状ウエハを有する個々の要素に分割するのが一般
的である。そして、このような大量のバーは例え
ば第2図に示されているように搬送体50上に配
列される。
第2図には、元の形が円形の半導体スライス5
1が示されており、このスライス51から輪郭が
矩形で同一形状の多数の半導体装置52が形成さ
れる。半導体装置52はすべて同一寸法であり、
規則正しい行と列に従つて配置される。半導体ス
ライス51は支持体54に接着される。この支持
体54は例えば端部がフレーム55に保持される
弾性プラスチツク薄片からなる。そして、スライ
ス51はバー52の端部に沿つて切断され、バー
の間には中間スペース53が形成され、このスペ
ース53から支持体54の材料を見ることができ
る。
第2図において、バー52の寸法は半導体スラ
イス51の寸法に比して拡大して示されており、
このため、各行各列のバーの数は小さいものとな
つている。実際には、半導体スライスに形成され
るバーの数は非常に大きく数百程度である。半導
体装置の種類に応じてバーの寸法は種々の値をと
るが、端部の寸法は一般に数ミリメートルの大き
さである。
第2図から明らかな如く、スライスの端部に位
置するバー、すなわち各行および列の最後のバー
は一般に不完全で使用に耐えないものである。ま
た、1つの行の中には不完全なバーが存在したり
あるいはバーが存在しない可能性がある。
第2図はまた半導体装置の製造に使用される別
の工程を示している。半導体スライス51に半導
体装置を形成後、個々のバーに分割する前に、半
導体装置は有用性の試験を受ける。そしてさらに
処理を行うのに必要な特性を有しないすべてのバ
ーは、第2図のいくつかのバーに示されているよ
うに所定位置にインクドツト55のマークが付さ
れる。このインクドツトは使用可能なバーに存在
する可能性のある他の暗い表面領域と簡単に区別
し得るようにするためにバーの表面の比較的大き
な部分を占める。
正確に整合する必要のあるバー52の別の加工
を施すために、搬送体50はX−Yテーブル2
(第1図)に取付られ、行がX方向に配置されか
つ列がY方向に配置されるようにある角度をもつ
て正確に整合される。X−Yテーブル2は、列に
含まれる複数のバーを順次基準点Rに一致させる
ようにY方向にステツプ状に移動される。この目
的のために、Xステツプモータ3は2つのバー5
2の中間点間の距離JXだけX−Yテーブル2を
X方向に移動させるように複数ステツプ駆動され
る。行全体にこのような処理が完了した後、Yス
テツプモータ4は2つのバー52の間の距離JY
だけX−Yテーブル2をY方向に移動させるよう
に複数ステツプ作動される。そして、次の行がX
方向全体にわたつて前とは反対方向に移動され
る。
しかし、X−Yテーブル2をステツプ状に移動
させるだけではバー52を基準点Rにおおまかに
しか一致させることができず、特に、移動誤差は
多数のバーについて加算されかなり大きな値とな
る。しかし、多くの処理加工において、例えば個
個のバーの中心点(対角線の交点)が基準点Rに
完全に一致するように個々のバーが基準点Rに非
常に正確に整合する必要がある。かかる整合は、
X−Yテーブル2のステツプ移動に続いて第1図
に示された装置によつて行われる。
このような整合動作の間、基準点Rの上に位置
する搬送体50は対物レンズ5によつてTVカメ
ラ6のホトカソードに投影される。対物レンズ5
の倍率はバーの種々の寸法に応じて調整可能であ
ることが好ましく、倍率は、例えば20:1、40:
1および80:1にすることができる。整合される
べきバーだけでなく例えばいくつかの完全なバー
を含んだ周囲のかなり広い領域が投影されるよう
に個々の場合に応じて倍率が選択される。
倍率をステツプ状に変化させるようになつてい
るだけでなく、各倍率レンジ内において無限の倍
率可変調整(ズーム効果)が可能となるように設
計されることが好ましい。
TVカメラ6は、フレームとともに像領域を示
すアナログビデオ信号と再生に必要な線同期パル
スを出力線7に発生するように線飛越し走査する
市販の標準的電力線同期カメラにすることができ
る。これらの正常ビデオ信号は線8を介してビデ
オセレクタおよびミキサ100に伝送され、ビデ
オセレクタおよびミキサ100は上記信号に対応
した調整を加えて線9を介してモニタ10に与え
対物レンズ5によつて分析されたTV画像がモニ
タ10のスクリーンに表示される。
TVカメラ6の出力線7はさらにビデオデイジ
タイザ200の入力端に接続され、デイジタイザ
200はポテンシヨメータ202,203によつ
て互いに独立に調整可能な2つの閾値とアナログ
ビデオ信号とを比較する。デイジタイザ200
は、アナログ入力信号がポテンシヨメータ202
によつて設定される閾値より大きいときにはいつ
でも高レベル(白)となりかつアナログ入力信号
が閾値よりも小さいときにはいつでも低レベル
(黒)となるデイジタルビデオ信号DIGVID−A
を出力端204に発生する。デイジタイザ200
は、また、アナログ入力信号がポテンシヨメータ
203によつて設定される閾値より大きいときに
はいつでも高レベル(白)となりかつアナログ入
力信号が上記閾値より小さいときにはいつでも低
レベル(黒)となる別のデイジタルビデオ信号
DIGVID−Bを第2出力端205を発生する。ビ
デオデイジタイザ200の出力端204と205
は、設定装置101によつて調整可能なビデオセ
レクタおよびミキサ100の別の入力端に接続さ
れており、ビデオセレクタおよびミキサ100は
デイジタルビデオ信号DIGVID−Aまたはデイジ
タルビデオ信号DIGVID−Bを選択的にモニタ1
0に伝送する。これらの場合それぞれ線8を介し
て供給される正常ビデオ信号は同時に抑制され
る。そして、モニタ10は白および黒画素からの
みなるデイジタルビデオ像をスクリーンに表示す
る。
デイジタルビデオ信号DIGVID−Aのための閾
値はポテンシヨメータ202という手段で設定さ
れ、基部54に起因するビデオ信号および中間ス
ペース53に起因するビデオ信号はすべて閾値以
下であり、バー52を起因するビデオ信号は大部
分閾値より大きい。したがつて、信号DIGVID−
Aによつて発生されるデイジタルTV画像におい
て、バー52は主として白く表示され、一方、ス
ライス51を取り囲む搬送体54および中間スペ
ース53は完全に黒く表示される。
デイジタルビデオ信号DIGVID−Bのための閾
値はポテンシヨメータ203によつて設定され、
インクドツト56に起因して発生するビデオ信号
は主としてこの閾値以下であり、一方バー52の
インクドツト56が付着されていない部分に起因
して発生するビデオ信号は大部分上記閾値より大
きくなる。したがつて、信号DIGVID−Bによつ
て発生されるデイジタルビデオ信号は白を主体と
した背景中に黒として表示される。バー52と基
部54とのコントラスト条件とインクドツト56
とバー52とのコントラスト条件とは相異がある
ので、2つの異つた閾値を用いて動作させるのが
好ましい。
TVカメラ6の出力線7はさらに同期分離器3
00の入力端301に接続されている。同期分離
器300はアナログビデオ信号からフレームと線
同期パルスを分離し、その出力端からフレーム同
期パルスFRと線同期パルスLNを2つの別個の出
力端から発生する。また、同期分離器300は、
フレーム同期パルスとライン同期パルスを含む合
成同期信号SYNCを第3出力端から発生する。こ
の第3出力端はビデオセレクタおよびミキサ10
0の別の入力端に接続され、デイジタルビデオ信
号DIGVID−AまたはDIGVID−Bのうちのいず
れか一方が正常ビデオ信号のかわりに表示に使用
されるとき、モニタ10の画像表示に必要な同期
信号を得ることができる。
また、同期分離器300は、選択されたフレー
ムの接続時間全体にわたつて高レベルとなり他の
フレームの接続時間の間低レベルとなる信号
TOPを第4の出力端から発生する。設定装置3
02によつて、偶数または奇数のフレームが選択
され信号TOPが発生される。選択された特定の
フレームは後に詳述するようにTV画像のマーキ
ングと評価に使用される。また、第4出力端から
は、信号TOPの立上り端に一致するようにすな
わち選択されたフレームの開始に同期して短いパ
ルスCLRが発生される。
ライン同期信号LNを搬送する同期分離器30
0の出力端は画素発生器11の制御入力端に接続
され、画素発生器11は各TVラインに沿う個々
の画素を画定する一連の画素パルスPEをその出
力端から発生する。画素発生器11は線同期パル
スに同期して動作するので、各TVラインの走査
の間、画素パルスPEはTVラインの開始点に対し
て正確に画定される同一位置に常に発生され、し
たがつて、画素は各種TVライン中において互い
に垂直方向下方に位置決めされる。画素パルス
PEの基準周波数は約9.3MHzであるが、後述のあ
る調整目的のために設定装置12によつて調整さ
れ得る。
同期分離器300の出力端と画素発生器11の
出力端とは整合シーケンサ400の対応する入力
端に接続されている。整合シーケンサ400の別
の入力端は、図面では簡単に一本の線で描かれて
いるが、入力装置402に接続されている。整合
シーケンサ400は入力信号に基いて8個の出力
信号LNX−1,LNX−2,PEX−1,PEX−
2,LNG−A,LNG−B,PEG−AおよびPEG
−Bを発生する。これらの信号は、所定時点にお
いて各選択されたフレームの一定持続時間の間発
生され、不整合検出器450に供給される一方、
マーカ発生器500に供給される。マーカ発生器
500は入力信号に基いて2つの信号レベルを有
するマーカ信号MK−A,MK−B,MK−C,
MK−Dを発生する。また、マーカ発生器500
はこれらの信号と回路600の出力端から自らに
与えられる別のマーカ信号MK−Eとを組合せ、
合成マーカ信号MK−Eを形成する。この信号は
ビデオセレクタおよびミキサ100によつてモニ
タ10に表示されるビデオ信号に重畳され、これ
により、再生TV画像に白のマーカラインすなわ
ちマーカ領域が作られる。また、表示ビデオ信号
に重畳されることができる別のマーカ信号MK−
Fは回路700の出力端からビデオセレクタおよ
びミキサ100に直接供給される。
マーカ信号MK−A,MK−B,MK−C,
MK−D,MK−E,MK−FによつてTVスク
リーンに表示されるマーカは第3図にさらに正確
に示されている。マーカ信号MK−Aは8本のマ
ーカラインA7乃至A0からなる組Aを発生させ
る。これらマーカラインはそれぞれTVラインの
中心部を占める。組Aの連続した2本のマーカラ
インはフレームのTVラインに相当する間隔(す
なわち、完全画像の3本のTVライン)だけ分離
されている。同様に、マーカ信号MK−Bは8本
の水平マーカラインB7乃至B0の組Bを発生さ
せる。これらのマーカラインB7乃至B0は組A
のマーカラインと完全に同一であり、組Aの下方
にこれと離隔した位置に発生する。マーカ信号
MK−Cは8本の垂直マーカラインC7乃至C0
の組Cを発生させる。これらのマーカラインC7
乃至C0は組Aの最も下のマーカラインA0と組
Bの最も上のマーカラインB7との間であつて組
AとBの水平マーカラインによつて占められる領
域の左外側において垂直方向に延長するように発
生する。各マーカラインCは画素パルスPEによ
つて画定される画素幅を有し、2本の連続した垂
直マーカラインCは画素パルスPEの2つ分の持
続時間に相当する間隔を有する。同様に、マーカ
信号MK−Dは8本の垂直マーカラインD7乃至
D0からなる組Dを発生させる。マーカラインD
7乃至D0は組Cのラインと完全に同一である
が、組AとBのマーカラインの長さに相当する水
平距離だけ組Cから離隔した位置に発生する。こ
のように4つのマーカライン組A,B,C,Dは
矩形領域を取り囲むようなフレームを形成する。
TVカメラ6はTV画像のライン方向がX−Yテ
ーブル2のX方向に対応するように整合される。
したがつて、整合されるべき特定のバー52の端
部は、水平マーカラインAとBおよび垂直マーカ
ラインCとDにそれぞれ平行となるように配置さ
れる。マーカラインの長さおよびマーカライン組
間の距離は、後に詳述するように、マーカライン
によつて取り囲まれる矩形領域がバーのTV像の
寸法に正確に符合するように調整される。さら
に、バーの像が最も内側にあるマーカラインと接
触することなくマーカラインによつて取り囲まれ
た領域にあるときにバーが基準点Rに完全に整合
するように、マーカラインは基準点Rの虚像と関
係づけられてTVスクリーン上に配置される。例
えば、基準点Rの像はマーカラインによつて取り
囲まれた矩形の中心に正確に位置づけられる。
しかし、バー52が基準点Rと正確に整合され
ていないと、その像はマーカラインA,B,C,
Dに対して移動し、互いに直角をなすように隣接
した2つの組あるいは1つの組の1本またはそれ
以上のマーカラインに位置することになる。内側
から外側にかけて発生されるマーカラインの数に
より必要とされる修正の大きさが明らかとなり、
発生されたマーカラインの所属するグロープから
必要な修正方向が明らかとなる。これは、整合シ
ーケンサ400の出力信号に加えてマーカ発生器
500からのマーカ信号MK−A,MK−B,
KM−C,MK−Dおよびデイジタルビデオ信号
DIGVID−Aを受ける不整合検出器450によつ
て検出される。
第4図には、マーカラインに対するバー52の
像位置の3つの場合が示されている。第4図のa
の場合、バー52の像はいずれのマーカラインに
接触することなくマーカラインに取り囲まれた矩
形中に正確に配置されている。したがつて、マー
カラインはバー52(第2図)の間の間隔53中
に配置され、ポテンシヨメータ202を閾値に設
定することによりデイジタルビデオ信号DIGVID
−A中には白画素に相当する高値の信号が含まれ
なくなる。
不整合検出器450は、フレームの走査中マー
カ信号MK−A,MK−B,MK−C,MK−D
が発生されている間、マーカラインに対応する画
像領域に白画素があらわれたときにはいつでもデ
イジタル信号レベルDIGVID−Aを解析して応動
する検出回路を包含している。また、不整合検出
器450は、マーカラインの組A,B,C,Dの
それぞれのために、カウントが各セツトのマーカ
ラインの数を示すカウンタを具備する。このカウ
ンタによつてマーカラインは内側から外側にかけ
て間断なく連続的に計数されるが、計数されるマ
ーカラインには信号DIGVID−A中の白画素が含
まれる。黒画素のみを含む少くとも1つのマーカ
ラインが内側から外側にかけて計数される一連の
マーカライン中にあらわれるとすぐに、計数は終
了する。さらに外側に配置されるマーカラインが
再び白画素を含めば、これらは計数から除外され
る。
バー52の像が第4図のaに示された位置にあ
ると、マーカライン組A,B,C,Dに関連した
不整合検出器450の4つのカウンタすべてが解
析の完了によつてカウントを零にする。これは、
各組のすべてのマーカライン(または、少くとも
最も内側のマーカライン)がバー52の像によつ
て覆われないので白画素を含まないからである。
このことは、バー52が基準点Rに正確に整合さ
れ、さらに修正を必要としないことを意味する。
第4図のbに示されているように、バー52の像
がその上端部が組Aの第3マーカラインと第4マ
ーカラインの間にくるように適正位置に対して上
方に(Y方向において正の向きに)移動されるも
のとする。この場合、解析の完了後、グループA
に関係した不整合検出器450のカウンタはカウ
ント3を示し、他の3つのカウンタは零を示す。
このことは、バーを整合させるために、X−Yテ
ーブル2がモニタ10のスクリーン上においてバ
ー52の像を3つのマーカライン間隔分だけ移動
させる量に相当する距離だけ負のY方向に移動さ
れなければならないことを示す。
像形成倍率を適当に選択することによつて、各
組の2つのマーカライン間の距離はX−Yテーブ
ル2の正確に規定された機械的変位に対応したも
のになる。例えば、倍率を20:1にした場合、2
本のマーカライン間の距離はX−Yテーブルの変
位20μmに相当する。したがつて、上述した数値
例では、ステツプモータ3と4の1つの各調整ス
テツプはX−Yテーブル2の変位10μmに相当す
る。第4図のbの場合、バー52を基準点Rに正
確に整合させるためには、Yモータ4は負のY方
向に相当する回転方向に6ステツプ動かなければ
ならない。Y方向における正確な校正は対物レン
ズ5のズーム効果によつて光学的倍率を調整する
ことによつて行われ、X方向における正確な校正
は設定装置12によつて画素発生器11の周波数
を変化させることによつて行われる。これは、画
素発生器11の周波数が画素パルスの周期を決定
し、したがつてラインに沿う画素の間隔を決定す
るからである。
第4図のcはバー52の像が組Bの7本のマー
カラインと組Dの7本のマーカラインを占有する
場合を示す。この場合、解析のはじめにおいて
は、組BとDに関連する不整合検出器450のカ
ウンタの計数値は7であり、組AとCに関係する
カウンタの計数値は0である。このことはX−Y
テーブル2が負のX方向に140μm、正のY方向
に140μmそれぞれ移動することが必要であり、
したがつて2つのステツプモータ3と4はそれぞ
れ対応する回転方向に4ステツプ動かなければな
らない。
第4図のcには上述の装置によつて実行し得る
最大の整合修正を示す。少くとも1つの組の8本
のマーカラインすべてが覆われるようにバー52
が移動されると、整合はもはや不可能となる。こ
の場合、関連するカウンタがオーバフロー信号を
出力する。
不整合検出器450は前述した4つのカウンタ
に関連する4つのグループの出力端を有する。各
出力端グループは、各カウンタの計数値を示す3
ビツトの2進数と、オーバフロービツトと、方向
ビツトを送出する。オーバフロービツトは対応す
る方向における修正がもはや不可能であるという
前述のオーバフロー状態を示し、方向ビツトは整
合修正が必要な方向(±X、±Y)を示す。第4
図のbの場合、出力端グループ451Aは、2進
数010(3)と、X−Yテーブル2を負のY方向へ移
動させることが必要であることを示す方向ビツト
とを与える。第4図のcの場合、2つの出力端グ
ループ451Bと451Dはそれぞれ2進数111
(7)と方向ビツトとを与える。出力端グループ45
1Bの方向ビツトは正のY方向における移動が必
要であることを示し、出力端グループ451Dの
方向ビツトは負のX方向における移動が必要であ
ることを示す。
出力端グループ451A乃至451Dは変位制
御装置14の対応する入力端に接続されている。
変位制御装置14は自らに与えられる入力信号を
復号して制御信号を出力する。この制御信号は線
15を介してXモータ3へ与えられるかまたは線
16を介してYモータ4へ与えられ、これらのモ
ータは対応する方向に必要なステツプ数だけ回転
する。変位制御装置14はステツプモータ3と4
を制御してJXとJYを調整する。なお、JXとJY
の大きさは処理されるべきバーに応じて設定装置
によつて調整可能となつている。
マーカラインの寸法と位置はもちろん整合され
るべきバー(すなわち他の加工物)の特定の形お
よび寸法に適合されなければならない。これは、
制御装置402から整合シーケンサ400の入力
端に供給されるデイジタルデータによつて行われ
る。制御装置402は手動作動キーボードすなわ
ち記憶されたまたはプログラムされた情報源とす
ることができる。入力端401に供給されるデイ
ジタルデータはマーカラインを発生するのに使用
される画像線すなわちTV画像の画素を決定す
る。
第1図の装置のうち上述した部分はX−Yテー
ブル2上に配設されたバーまたは他の物体を基準
点Rに対して整合させる。
半導体装置の第2図に示された製造状態におい
て、バー52に関して次に行われるべき操作は、
通常、使用可能なバーを基部54から持ち上げて
リードフレームへ搬送しこの上に装着される。こ
の操作は、例えばある作業ステーシヨンにおいて
バーを吸い上げて他の作業ステーシヨンにおいて
該バーを解放する制御可能吸込ノズルを具備し2
つの作業ステーシヨンの間を往復運動する吸込ヘ
ツドを使用して行われる。バーは連続的に第1作
業ステーシヨンへ搬送され、リードフレームは連
続的に第2作業ステーシヨンへ搬送される。この
場合、バーを基準点Rに整合させることは、各バ
ーが搬送後そのリードフレームの正確に画定され
た位置に確実に配置されるようにするために必要
なことである。
また、使用不可能なバー、すなわち例えば端部
に配置された不完全なバーやインクドツトにより
マーカが付されたバーが確認されかつ搬送されな
いで基部54上に残されることが必要である。
さらに、装置は1行分完全に移動したことを検
出して距離JYだけ移動することによつて次の行
について処理を開始できなければならない。最後
に、スライス51の終端に到達したとき、すなわ
ち、もうバーが存在しないとき、処理済の搬送体
50が新しい搬送体と置換されることを認識しな
ければならない。
これらの機能は第1図に示された別の回路によ
つて実行される。
整合するように配置されたバー上のインクドツ
ト56の存在の検出は、インクドツトシーケンサ
600とインクドツト検出器650によつて行わ
れる。インクドツトシーケンサ600はすでにモ
ニタされたマーカ信号MK−Eを発生し、この信
号MK−Eはマーカ発生器500から発生される
マーカ信号MK−A,MK−Dに上記発生器50
0中で加算され、ビデオセレクタおよびミキサが
セツトされているときに上記マーカ信号とともに
モニタ10のスクリーン上に表示される。
マーカ信号MK−Eは2つの信号値(白と黒)
を有し、モニタ10のスクリーン上に矩形状フイ
ールドEを発生させる。この矩形状フイールドE
はマーカラインA,B,C,D(第3図)によつ
て取り囲まれる矩形中に配置される。この目的の
ために、所定数の一連のTVカメラ中のマーカ信
号MK−Eは同じ所定数の一連の画素に対してそ
れぞれ高信号値(白)をとる。フイールドEの位
置は、インクドツトがバー上に付着される場合に
インクドツトが配置されなければならない領域を
フイールドEが占有するように設定される。フイ
ールドEの寸法は、その領域のかなりの部分がイ
ンクドツトによつて占められるように設定され
る。フイールドEの寸法および位置は制御装置6
02によつてインクドツトシーケンサ600の入
力端に供給されるデイジタルデータによつて決定
される。
マーカ信号MK−Eもまたインクドツト検出器
650に供給され、インクドツト検出器650の
第2入力端はデイジタル・ビデオ信号DIGVID−
Bを受ける。検出器650は、マーカ信号MK−
Eによつて制御されるカウンタを含み、このカウ
ンタはフイールドEによつて覆われるバーのデイ
ジタル像領域に存在するすべての黒画素を計数す
る。計数値が所定の閾値を越えると、インクドツ
ト検出器650はその出力端にインクドツトの存
在を示す信号DOTを与える。閾値は発生される
インクドツトの寸法に応じて設定装置651によ
つて調整可能となつている。インクドツト検出器
650の出力端に生じる信号DOTは変位制御装
置14にもまた供給される。変位制御装置14は
信号DOTが発生されるとXモータ3を制御し、
これによりXモータ3はX−Yテーブル2をX方
向に距離JX(第2図)だけ移動させ、TVカメラ
6の下にある次のバーを整合させるようにする。
また同時に変位制御装置14はバーに施されるべ
き操作すなわち上述の例においては吸込ヘツドに
よつてバーを除去する動作を阻止する。逆に、イ
ンクドツト検出器650が出力信号DOTを与え
ない場合には、バーを整合させるのに必要な動作
が行われ、この動作が完了すると、変位制御装置
14にフラツグ信号が供給されて、XYテーブル
2がX方向に距離JXだけ移動し、次のバーが整
合位置まで送られる。これらの動作は、搬送体5
0(第2図)上の対応する行にバーが存在する限
り繰り返し行われる。
バーシーケンサ700およびバー検出器750
はバーが不完全であることまたはバーが完全に無
くなつたことを判断するものである。このような
状態は時として行の中に生じるが、通常スライス
51の端部に相当する行の端部に生じる(第2
図)。多くの場合、行の端部に達するとまず不完
全なバーが検出され、さらにX方向に距離JXだ
け移動するとバーが無いことが検出される。この
ことはY方向における距離JY移動開始に使用さ
れ、その後次の行において完全なバーが発見され
るまで反対のX方向に移動される。
第1図には、ライン同期パルスLNと画素パル
スPEがインクドツトシーケンサ600とバーシ
ーケンサ700にも供給され、これらの中でそれ
ぞれマーカ信号MK−EおよびMK−Fを形成す
るように計数されることが示されている。またこ
れらと同じパルスが整合シーケンサの出力信号と
して他の回路に送出される。ただし、第1図には
これに対応する接続関係は図を明瞭なものにする
ために省略されている。
この目的のために、バーシーケンサ700はマ
ーカ信号MK−Fを発生し、このマーカ信号MK
−Fはビデオセレクタおよびミキサ100を介し
てモニタ10に供給され、モニタ10が適当に設
定されていれば、マーカラインA,B,C,Dに
よつて取り囲まれた矩形内の1つまたはそれ以上
のマーカ領域の表示を行わせる。同じマーカ信号
MK−Fはさらにバー検出器750の入力端に供
給され、検出器750はその第2入力端において
デイジタルビデオ信号DIGVID−Aを受ける。バ
ー検出器750はマーカ信号MK−Fによつて制
御されるカウンタを含む。このカウンタは、マー
カ信号MK−Fによつて発生されるマーカ領域に
よつて覆われるデイジタルビデオ像の部分に存在
するすべての白画素を計数する。最も簡単な場
合、このマーカ領域は整合されるべきバー領域の
ほぼ全体を占有する矩形にすることができる。こ
の場合、バー検出器750は上記領域にあらわれ
るバーのデイジタルビデオ像のすべての白画素を
計数する。ただし、第3図に示された好ましい実
施例においては、マーカ信号MK−Fは、正確に
整合されたバーの像によつて占有される領域の四
隅に位置する小さな矩形状すなわち正方形状のマ
ーカフイールドF1,F2,F3,F4を発生さ
せる。この場合、バー検出器750は計数値が設
定装置751によつて設定された最小値を越えた
ときにはいつでも出力端に信号BARを発生させ
る。しかし、計数値がこの固定的に設定された最
小値に達しなければ、四隅のバーのうち少くとも
1つが存在しなくなる。すなわち、バーは少くと
も不完全であるか完全に無くなつている。この場
合、バー検出器750は完全なフレームの終端に
おいて信号BARを出力せず、バーが無いことあ
るいは不完全であることを示す。この信号が発生
されないと、Xモータ3はX−Yテーブル2をX
方向に距離JX(第2図)だけ移動させて次のバー
をTVカメラ6の下の整合位置に到達させるよう
に制御される。それでも、信号BARが発生され
ないときには、これは行の終端部に到達したこと
を示す規準として用いられる。そして、Yモータ
4はX−Yテーブル2を所定のY方向(正または
負)に距離JYだけ移動させるように制御され、
Xモータ3の移動方向が反転される。
スライス51の端部はスライス端検出器800
によつて検出される。スライス端検出器800は
その入力端においてデイジタルビデオ信号
DIGVID−Aを受けてTV画像全体にあらわれる
すべての白画素を計数する。この計数値が設定装
置801によつて設定され得る所定の閾値より小
さければ、これはTV画像が基部54の暗い背景
によつて実質的に占有されていること、すなわち
スライス51の端部に到達したことを意味する。
この場合、スライス端検出器800はその出力端
に信号EOSを発生し、この信号はまた変位制御
装置14に供給される。機械はこの信号に基いて
例えば停止され操作員に警報が発せられ、オペレ
ータは使用済の搬送体50を新しいものに取り替
える。
第1図に示された装置に含まれる各種回路のよ
り詳細な構成は第6図乃至第13図に示されてい
る。これら回路の機能および各種信号の発生につ
き特に第3図および第5図を参照して説明する。
既に説明したように、TV画像のライン方向
(水平掃引方向)はX方向に相当し、これに直交
する方向(垂直掃引方向)はY方向に相当する。
TV画像の各点はX座標とY座標とによつて明確
に決定されることができる。これにより特にスク
リーン上の各種マーカラインとマーカ領域の境界
を明確に決定することができる。
第3図において、水平方向(X方向)の上端部
には10個のY座標Y1乃至Y10が示されてい
る。
垂直方向(Y方向)の左端部には10個のY座標
Y1乃至Y10が示されている。
座標X1は組の第1マーカラインC7の左像端
(線のはじまり)からの距離を示す。座標X2は
このセツトの最後のマーカラインの位置と2つの
組AとBのすべての水平マーカラインの始点とを
決定する。座標X3は2つのマーカ領域F1とF
3の左端に相当し、マーカ領域F1とF3の右端
は座標X4によつて決定される。2つの座標X5
とX6はそれぞれマーカ領域Eの左端と右端に相
当する。座標X7とX8はそれぞれ2つのマーカ
領域F2とF4の左端と右端の位置を示す。座標
X9は水平マーカラインAとBの端部ならびに組
Dの第1垂直マーカラインD7の位置に相当し、
座標X10は組Dの最後のマーカラインD0の位
置を示す。
同様に、座標Y1は第1水平マーカラインA7
の像の上端(フレームの始点)からの距離に相当
し、座標Y2は組Aの最後のマーカラインA0の
位置ならびに2つの組CとDの垂直マーカライン
の上端を示す。座標Y3とY4は2つのマーカ領
域F1とF2の上端と下端をそれぞれ示し、座標
Y5とY6はそれぞれマーカ領域Eの上端と下端
を示し、座標Y7とY8はそれぞれ2つのマーカ
領域F3とF4の上端と下端を示す。座標Y9は
垂直マーカラインCとDの下端と水平マーカライ
ンB7に相当し、座標Y10は最後の水平マーカ
ラインB0の位置を示す。
座標XとYはTV画像の空間点を示すのみなら
ずTV画像の走査の間の所定時点を示す。したが
つて、各座標Yはフレームの始点(フレーム同期
パルスFR)または先行するY座標から計数され
る所定数の線同期パルスLNによつて明確に決定
されることができる。同様に、各X座標は各TV
ラインの始点(ライン同期パルスLN)または先
行するX座標から計数される所定数の画素パルス
PEによつて決定され得る。ライン同期パルスLN
および画素パルスPEを計数することによつて、
TV画像中の各点を正確に決定することができ
る。
後述の回路は、特に、予め決定されたX座標と
Y座標に相当する時点において所定の制御信号を
発生する。これらの制御信号はマーカ信号を発生
するのに使用される。
第5A図および第5B図(これらは垂直端に沿
つて組合せられる)には、マーカ信号MK−A,
MK−B,MK−D,MK−EおよびMK−Fが
太く描かれた境界内の水平時間軸の行中に示さ
れ、これらの信号はそれぞれマーカ付けに使用さ
れるフレームのTVラインに相当する。図の上端
部には、すべてのあるいはいくつかのTVライン
の走査の間発生され実質的にライン周波数に従つ
て繰り返し発生される各種制御信号が示されてい
る。また、フレームの走査の間発生され且つフレ
ーム周波数に従つて繰り返し発生される信号が図
の垂直方向左端部に示されている。
第6図には第1図の装置の構成要素6,10,
11,100,200および300が再び示さ
れ、特にビデオセレクタおよびミキサ100の詳
細構成および機能が明確に示されている。ビデオ
セレクタおよびミキサ100はビデオ増幅器およ
びミキサ102とビデオセレクタ104を具備し
ている。ビデオセレクタ104がデイジタルビデ
オ信号を要求しない場合、正常ビデオ信号は線8
を介してビデオ増幅器およびミキサ102の入力
端に供給され、増幅後ミキサ102によつて線9
を介してモニタ10に送出される。デイジタルビ
デオ信号DIGVID−AおよびDIGVID−Bはビデ
オセレクタ104の入力端105と106にそれ
ぞれ供給される。ビデオセレクタ104はまた入
力端107において合成マーカ信号MK−A−E
を受けるとともに入力端108においてマーカ信
号MK−Fを受ける。ビデオセレクタ104はさ
らに設定装置101に接続される4つの制御入力
端109,110,111,112を含む。ビデ
オセレクタ104は3本の出力線113,11
4,115を介してビデオ増幅器およびミキサ1
02に接続され、ビデオ増幅器およびミキサ10
2または入力端116において同期分離器300
からの合成同期信号SYNCを受ける。
正常ビデオ信号のかわりにデイジタルビデオ信
号DIGVID−Aがモニタ10に表示されると、設
定装置101によつて制御信号SDIGVID−Aが
制御入力端109に印加される。そして、ビデオ
セレクタ104は入力端105から出力線113
を介してビデオ増幅器およびミキサ102にデイ
ジタルビデオ信号DIGVID−Aに送出し、同時に
出力線114にブランキング信号BLKを与える。
ブランキング信号BLKはビデオ増幅器およびミ
キサ102中において入力端103に供給される
正常ビデオ信号を阻止する。同様に、設定装置1
01によつて対応する制御信号SDIGVID−Bが
制御入力端110に印加されると、デイジタルビ
デオ信号DIGVID−Bがモニタ10に表示され
る。デイジタルビデオ像を表示するのに必要な同
期信号は同時にビデオ増幅器およびミキサ102
の入力端116に与えられる。
ビデオセレクタ104の制御入力端111に制
御信号SMK−A−Eを印加することによつて、
入力端107に供給される合成マーカ信号MK−
A−Eは出力線115を介してビデオ増幅器およ
びミキサ102に送出される。ビデオ増幅器およ
びミキサ102において合成マーカ信号MK−A
−Eは特定の表示されるべきビデオ信号すなわち
入力端103に供給される正常ビデオ信号または
線113を介して送信されるデイジタルビデオ信
号DIGVID−AまたはDIGVID−Bに重畳され
る。そして、マーカラインA,B,C,Dおよび
マーカフイールドEは表示されるべきビデオ像に
重畳されるようにモニタ10のスクリーン上に表
示される。制御入力端112に制御信号SMK−
Fを印加することによつて、上記マーカ信号もま
た入力端108に供給されるマーカ信号MK−F
に加算され、この結果、4つのマーカフイールド
F1,F2,F3,F4もまたモニタのスクリー
ン上に表示される。
設定装置101は、例えば対応するキーを作動
させることによつて信号レベルの形をとる必要な
制御信号を発生するような手動キーボードの一部
として構成し得る。
ビデオデイジタイザ200は演算増幅器の形を
とる一対の閾値比較器205と206を含む。比
較器205と206はそれぞれその必反転入力端
においてTVカメラ6から与えられる正常ビデオ
信号を受ける。閾値比較器206の反転入力端は
ポテンシヨメータ202のタツプに接続され、閾
値比較器207の反転入力端はポテンシヨメータ
203のタツプに接続されている。これら閾値比
較器の通常の動作によれば、各比較器は非反転入
力端に供給されるアナログ信号が反転入力端の電
位より低いときには低レベル(黒)の出力信号を
発生し、反対の場合、高レベル(白)の出力信号
を発生する。すでに説明した様に、比較器206
のための閾値がバー52の高反射面と基部54ま
たはバーの間隔53の弱い反射面との間のコント
ラストに応じたものとなるようにポテンシヨメー
タ202の値が設定され、比較器207のための
閾値が、ポテンシヨメータ203の調整によつ
て、バー52の高反射面と弱い反射インクドツト
56との間にコントラストに応じたものとされ
る。閾値は、ポテンシヨメータ202と203に
よつて特定の用途それぞれに最適に調整され得
る。
第7図は整合シーケンサ400を示す詳細ブロ
ツク回路図である。この図の整合シーケンサ40
0の左側は第8図に示された不整合検出器450
に接続され、第8図の不整合検出器450の右側
は第9図に示された変位制御装置14に接続され
る。これらの回路の動作態様を第5A図および第
5B図を参照して説明する。
第5A図および第5B図から明らかなように、
マーカラインA7の表示に使用される第1マーカ
信号MK−A7は、フレーム走査の間座標Y1に
よつて示されるラインに到達すると発生する。こ
のラインの走査の間、マーカ信号MK−A7は座
標X2に相当する時点から時点X9まで高レベル
になる。座標Y2に到達するまで同じ処理が他の
マーカ信号MK−A6乃至MK−A0についてフ
レームライン1つ置きに行われ、マーカ信号MK
−Aはライン中に間をおいて発生することはな
い。
座標Y2に続くフレームラインにおいて、垂直
マーカラインCとDの表示のためにマーカ信号
MK−CとMK−Dの発生が開始される。これら
のマーカラインはTVカメラ方向に垂直なので、
これらのうち1つの画素のみが各ラインに表示さ
れることができる。したがつて、マーカ信号MK
−CとMK−Dは画素パルスPEの半分の周波数
を有する8個の一連の短いパルスからなるフレー
ムラインからなり、マーカ信号MK−Cの8個の
パルスは時点X1とX2の間発生され、マーカ信
号MK−Dの8個のパルスは時点X9とX10の
間発生される。これらのパルスは、座標Y9に相
当するフレームラインに到達するまで各フレーム
ラインにおいて繰り返し発生される。座標Y9と
Y10の間、フレームライン1つ置きにマーカ信
号MK−Bがマーカ信号MK−Aと同様に再び発
生される。
座標Y5とY6の間に配置される各TVライン
において、マーカ信号MK−Eもまた発生され、
このマーカ信号MK−Eは時点Y5から時点Y5
までの間高レベルになる。
これに加えて、マーカF1,F2,F3,F4
が表示されるときには、さらに座標Y3とY4の
間のTVラインおよび座標Y7とY8の間のTV
ラインにマーカ信号が発生され、上記信号MK−
Fは各TVラインにおいて時点X3から時点X4
までとX7から時点X8までの間高レベルにな
る。
マーカ信号MK−A,MK−B,MK−Cおよ
びMK−Dは座標X1,X9,Y1およびY9を
画定するデータに応じて発生される。これらのデ
ータは4ビツト×8ビツトの容量を有するメモリ
403(第7図)に記録される。上記データはマ
ーカラインによつて画定される矩形の寸法および
位置を決定するものであつて、整合されるべき特
定のバーに適合するように制御装置402の作用
によつてメモリの入力端401に供給される。座
標X1を決定するメモリ語はラインのはじめ(ラ
イン同期パルスLN)から座標X1までに供給さ
れる画素パルス数である。座標X2を決定するメ
モリ語は時点X1とX2の間に出力される画素パ
ルス数である。座標Y1を決定するメモリ語はフ
レームの始点(フレーム同期パルスFR)から時
点Y1までの間に出力されるライン同期パルス数
である。座標Y9を決定するメモリ語は時点Y1
とY2の間に出力されるライン同期パルス数であ
る。
メモリ403は、出力端404と、アドレス入
力端405と、付勢入力端406とを有する。出
力端404は、8ビツトの記憶語が並列に出力さ
れる多重出力端であり、2つのプリセツト可能逆
カウンタ407,408のプリセツト入力端40
9,410に接続されている。カウンタ407は
そのクロツク入力端411においてライン同期パ
ルスLNを受けラインカウンタとして作用する。
カウンタ408はそのクロツク入力端412にお
いて画素パルスPEを受け画素カウンタとして作
用する。ラインカウンタ407はまたプリセツト
制御入力端413と2つの出力端414,415
を有し、画素カウンタ408はプリセツト制御入
力端416と2つの出力端417,418を有す
る。
メモリ403のアドレス入力端405と付勢入
力端406とはメモリアドレスおよびストローブ
デコーダ419の2つの出力端に接続され、デコ
ーダ419はそのトリガ入力端420においてフ
レーム同期パルスFRを受け、別のトリガ入力端
421においてライン同期パルスLNを受ける。
さらに別のトリガ入力端422はラインカウンタ
407の出力端に接続され、第4のトリガ入力端
423は画素カウンタ408の出力端417に接
続されている。メモリアドレスおよびストローブ
デコーダ419の別の2つの出力端424および
425はそれぞれラインカウンタ407のプリセ
ツト制御入力端413および画素カウンタ408
のプリセツト制御入力端416に接続されてい
る。
ラインカウンタ407の出力端414および4
15はそれぞれA/Bラツチ426の2つの入力
端に接続され、ラツチ426は2つのコンプリメ
ンタリ出力端427,428を有する。画素カウ
ンタ408の出力端417,418はC/Dラツ
チ429の2つの入力端に接続されている。ラツ
チ429は2つのコンプリメンタリ出力端43
0,431を有している。
メモリアドレスおよびストローブデコーダ41
9の入力端420にフレーム同期パルスFRが供
給されるたびに、メモリがアドレスされ前述のよ
うに所定ライン数の形で座標Y1を示す第1メモ
リ語はその出力端404に与えるように駆動され
る。メモリアドレスおよびストローブデコーダ4
19の出力端424から同時に出力されラインカ
ウンタ407のプリセツト制御入力端413に供
給される付勢パルスは上記カウンタがメモリによ
つて与えられる数にプリセツトされるように作用
する。フレーム同期パルスFRはその立上り端が
メモリ403をアドレスするように作用し、その
立下り端がカウンタに読取られるメモリ語の転送
を開始させる。メモリアドレスおよびストローブ
デコーダ419の入力端421,422,423
に供給される他のトリガパルスにも同様のことが
言える。
ラインカウンタ407はそのクロツク入力端4
11に供給されるラインパルスLNによつて動作
し、その計数値は各ラインパルスについて1つず
つ減少する。カウンタ407は、その計数値が零
に達するとすぐに、その出力端414からパルス
LNX−1を出力する。したがつて、このパルス
は座標Y1によつて示されるラインの始点と同期
して発生される(第5図)。このパルスはまたメ
モリアドレスおよびストローブデコーダ419の
トリガ入力端422にも供給され、上述したよう
にメモリ403がアドレスされてメモリ語を出力
して座標Y1とY2の間に位置するライン数によ
つて座標Y2を示す。ラインカウンタ407はこ
の数にプリセツトされ、クロツク入力端411に
供給されるライン同期パルスLNによつて再び計
数値が減少する。カウンタ407はその計数値が
零になると出力端415からパルスLNX−2を
発生する。このパルスの発生時点は座標Y2に相
当する始点に一致する(第5図)。この動作は各
フレームについて繰り返され、各フレームの走査
の間パルスLNX−1およびパルスLNX−2が出
力される。
メモリはフレーム同期パルスFRの後に発生す
る第1ライン同期パルスLNによつてアドレスさ
れかつ質問され、前述のように画素数によつて座
標X1を示すメモリ語を画素カウンタ408に送
出する。画素カウンタ408は、そのクロツク入
力端417に供給される画素パルスPEによつて
計数値が減少し零になると、その出力端からパル
スPEX−1を発生する。このパルスはライン走
査の間座標X1に相当する時点で発生する(第5
図)。パルスPEX−1もまたメモリアドレスおよ
びストローブデコーダ419のトリガ入力端42
3に印加され、その結果、メモリ403はX1と
X9の間にある画素数によつて座標X9を決定す
るメモリ語を画素カウンタ408に転送する。画
素カウンタは、その計数値が画素パルスPEによ
つて再び減少されて零になると、出力端418に
パルスPEX−2を発生する。このパルスはライ
ン走査の間座標X9に相当する時点で発生する。
次に続く各ラインパルスLNについて同じ動作が
繰り返され、パルスPEX−1およびPEX−2が
発生される。
ラインカウンタ407の出力端414からA/
Bラツチ426に印加されるパルスLNX−1は、
ラツチ426の出力端427の電位を高レベルに
するとともに同時にコンプリメンタリ出力端42
8の電位を低レベルにする。ラインカウンタ40
7の出力端415に発生されたパルスLNX−2
はラツチ426の出力端427の電位を低くし出
力端428の電位を高くしてラツチ426を他の
状態にする。したがつて、A/Bラツチ426
は、各フレームについて座標Y1とY9の間高レ
ベルとなりフレームの他の部分において低レベル
となる信号LNG−Aを発生する。他方、出力端
428からのこれとコンプリメント信号LNG−
Bはフレームの座標Y9から次のフレームの座標
Y1まで高レベルとなり、各フレームの座標Y1
とY9の間低レベルとなる。
同様に、C/Dラツチ429に供給されるパル
スPEX−1およびPEX−2は、出力端430に
発生する信号PEG−A(第5図)が各ラインの座
標X1とX9の間高レベルとなりラインの残りの
部分において低レベルになるとともに、出力端4
31に発生するコンプリメンタリ信号がライン座
標X9から次のラインの座標X1までの間高レベ
ルとなり座標X1とX9の間低レベルとなるよう
に作用する。
第8図に示された不整合検出器450は、整合
シーケンサ400(第7図)の出力端414,4
15によつてそれぞれ信号LNX−1とLNX−2
が供給される2つのプリセツト入力端を有する3
段2進カウンタの形をとるラインアドレスカウン
タ452を含む。ラインアドレスカウンタ452
のクロツク入力端は分周器453の出力端に接続
されている。分周器453はライン同期パルス
LNを受けて該パルスLNの半分の周波数を有す
る出力パルスを発生する。ラインアドレスカウン
タ452は3つの2進カウンタ段出力端である3
つの出力端を有する出力端グループ454を具備
している。したがつて、0から7の間の3デイジ
ツト2進数の形をとつてラインアドレスカウンタ
452の計数値を示すグループをなした2進信号
が出力端454に発生する。ラインアドレスカウ
ンタ452はリセツト入力端に供給されるパルス
LNX−1またはLNX−2によつて計数値7にリ
セツトされ、然る後にライン同期パルスの基準周
波数の半分の周波数を有しクロツク入力端に入力
されるパルスによつて計数値が減少するように設
定される。リセツトされてから計数値が零になる
までの計数期間全体にわたつて、ラインアドレス
カウンタ452は別の出力端455に高レベルの
信号LNCTを与える(第5図)。この信号LNCT
は分周器453の付勢入力端に印加され、分周器
453は信号LNCTが与えられているときのみ
出力パルスを発生する。したがつて、信号LNX
−1またはLNX−2によつてプリセツトした後、
ライン同期パルスLNの基準周波数の半分の周波
数を有する一群の8個のクロツクパルスAB−
CLKが分周器453の出力端に発生し、計数値
が零に達してから信号LNX−1またはLNX−2
によつて次にプリセツトされるまでラインアドレ
スカウンタは静止する。分周器453の出力によ
つてその期間の間発生される信号LNCTおよび
一群のパルスAB−CLKはまた矢印で示されるよ
うに回路の他の部分に供給される。
各フレームにおいて、信号LNCTは座標Y1
から座標Y2(LNCT−1)および座標Y9か
ら座標Y10(LNCT−2)の間発生する(高
レベルになる)。
この信号発生の間フレームライン1つ置きに出
力端454から発生する2進数は、1つ置きのフ
レームラインに発生するマーカラインA7乃至A
0およびB7乃至B0の数を示す。
これに対応するように、不整合検出器450
は、整合シーケンサ400(第7図)の出力端4
17,418から信号PEX−1,PEX−2を受
ける2つのプリセツト入力端と、画素パルスPE
を受けて画素PEの基準周波数の半分の周波数の
クロツクパルスを出力する分周器457の出力端
に接続されるクロツク入力端とを有する画素アド
レスカウンタ456を含む。画素アドレスカウン
タ456はラインアドレスカウンタ452と同様
に構成され、パルスPEX−1およびPEX−2の
それぞれによつて計数値7にセツトされ、画素パ
ルスPEの基準周波数の半分の周波数のクロツク
パルスによつて計数値が零になるまで計数値が減
少する。この計数の間、カウンタ456は2進カ
ウンタ段の出力端である一群の3つの出力端45
8に3デイジツト2進数の形をとる対応する計数
値を示す一群の2進パルスを出力する。計数の間
全体にわたつて、別の出力端459には信号
PECTが発生され、この信号は分周器457に付
勢信号として印加され、この結果、信号PEX−
1またはPEX−2によるプリセツトを行つた後、
分周器457は一群の8個のクロツクパルス
(CD−CLK)を供給する。各画像ラインの座標
X1とX2の間(PECT−1)および座標X9と
X10の間(PECT−2)に発生する。出力端4
58に発生する2進数は、マーカ信号MK−Cお
よびMK−Dによつて各フレームライン中に発生
する画素が属するマーカラインC7乃至C0およ
びD7乃至D0の数を示す。
ラインアドレスカウンタ452の3つの出力端
454はこれらに関連する8ビツトラツチ460
の3つのアドレス入力端に接続されている。ラツ
チ460はまた信号入力端においてデイジタルビ
デオ信号DIGVID−Aを、クリア入力端において
信号CLRを、解放入力端においてマーカ信号MK
−A(MK−A7乃至MK−A0)をそれぞれ受
ける。8ビツトラツチ460はマーク付けと解析
のために使用されるフレームの始点においてパル
スCLRによつてクリアされ、その後、マーカ信
号MK−Aが発生される間のフレーム期間付勢さ
れデイジタルビデオ信号DIGVID−Aの解析のた
めに使用される。ラツチ460は、3つのアドレ
ス入力端に印加される8通りの組合せ可能な入力
信号のうちの1つすなわちマーカラインA7乃至
A0の1つにそれぞれ関係する一群の8個の出力
端を具備している。ラインアドレスカウンタ45
2の出力端454に発生する2進数によつてその
数が示されるマーカラインAの走査の間白画素が
発生すると、8ビツトラツチ460の関連出力が
状態「1」となり、該ラツチが新しいクリアパル
スCLRによつてクリアされるまでこの状態は保
持される。すべてのマーカ信号MK−A7乃至
MK−A0の発生が終了すると、8ビツトラツチ
460はマーカラインAに関係する出力端が状態
「1」となるような状態となり、この間信号
DIGVID−A中には少くとも1つの白画素があら
われる。8ビツトラツチ460は次のパルス
CLRによつてクリアされるまでこの状態を保持
する。
ラインアドレスカウンタ452の3つの出力端
454はまた質問回路461の3つのアドレス入
力端に接続されている。質問回路461はまた8
個のデータ入力端を含み、3つのアドレス入力端
における3デイジツト2進数によつて番号が示さ
れるデータ入力端に印加される信号を出力端46
2に出力するように設計されている。質問回路4
61の8個のデータ入力端は図面において互いに
交差した矢印で示すように8ビツトラツチ460
の8個の出力端に逆の順序で接続されている。す
なわち、8ビツトラツチの番号0の出力端は質問
回路の番号7のデータ入力端に接続され、ラツチ
の番号1の出力端は質問回路の番号6のデータ入
力端に接続され、…ラツチの番号7の出力端は質
問回路の番号0のデータ入力端に接続されてい
る。質問回路461はまた信号LNCTおよび
LNBがそれぞれ印加される2つの付勢入力端を
有しており、これら2つの信号が同時に存在する
間、すなわちマーカラインB7乃至B0の形成お
よび解析が行われる間において信号LNCT−2
が発生する間のみ動作する。
デイジタルビデオ信号DIGVID−Aの解析は、
信号LNX−1に続いてラインアドレスカウンタ
452によつて出力されマーカラインA7乃至A
0の数をこれらの再生の間示すラインアドレスの
制御の下に8ビツトラツチ460中において行わ
れ、8ビツトラツチ中に記憶されその出力端にお
いて得られる情報の質問は、信号LNX−2に続
いてラインアドレスカウンタ452によつて与え
られマーカラインB7乃至B0の数をこれらの再
生の間示すラインアドレスの制御の下に質問回路
461中において行われる。さらに、質問回路4
61はそのアドレス入力端に印加されるアドレス
7に応じて第1マーカラインB7の再生の際逆の
順序で質問を行つて出力端462に信号を出力す
る。この信号は番号7のデータ入力端に印加され
た信号、すなわち8ビツトラツチ460の番号0
の出力端の出力信号が交差接続のために番号7の
データ入力端に印加された信号である。換言すれ
ば、この信号はマーカラインA0の発生の間にお
けるデイジタルビデオ信号DIGVID−Aの解析に
よつて得られるものである。一連のアドレス7乃
至0が印加されることにより、質問回路461の
出力端462には8ビツトラツチに記憶されてい
るマーカラインA0,A1,…A7用の情報が連
続的に得られる。
マーカラインBの形成の間にマーカラインAの
解析を逆の順序で行う理由は、マーカラインAは
A7からA0の順序(これはラインアドレスカウ
ンタ452の逆計数動作に相当する)で発生する
が、白画素によつて占有されるマーカラインの数
は内側から外側に向けてすなわちA0,A1,…
の順序で計数されなければならないことにある。
この順序はすべてのマーカラインAの走査の後に
のみ得られるので、評価はマーカラインAの走査
と同時に行うことはできず、これより後の時間に
行わなければならない。便宜上、この評価はマー
カラインBの形成および評価中に行われる。これ
は、ラインアドレスがラインアドレスカウンタ4
52の出力端に再び得られるからである。
質問回路461の出力端462に生じる信号は
A不整合カウンタ463に制御信号として印加さ
れる。カウンタ463はクロツク入力端において
マーカ信号MK−Bを受けるとともに解放入力端
において信号TOPを受ける。A不整合カウンタ
463は上記マーカ信号を受ける間制御入力端に
信号「1」が与えられていれば、マーカ信号MK
−B7乃至MK−B0を受けるたびにその計数値
を増加させる。質問回路480の出力端462の
マーカ信号MK−Bが「0」になると、適当な入
力ゲート回路が計数を終了させる。計数終了後、
A不整合カウンタ484はデイジタルビデオ信号
DIGVID−Aに少くとも1つの白画素が生じてい
る間内側から外側に間断なく連続的に計数される
マーカラインの数に相当する計数値をとる。A不
整合カウンタ484は第1図に示された出力端4
51Aに対応する一群の5個の出力端を有する。
3デイジツト2進数の形をもつて到達した計数値
を示す一群の3つの2進信号AA,AB,ACが3
つの出力端に発生する。マーカラインの計数値が
7を越えたときにはいつでも第4出力端にオーバ
フロー信号AOVRが発生する。その理由は、こ
のことがグループAの8本のマーカラインすべて
が白画素を含み、したがつて得られるデータを基
礎としては修正不可能であることを意味するため
である。修正を必要とする状態がマーカラインA
領域中に存在することを示す信号COR−Aは第
5出力端に発生する。信号COR−Aはさらに修
正が負のY方向(第4図)において行われなけれ
ばならないことを示す。
マーカラインB7乃至B0の形成はこれらのマ
ーカラインが計数されなければならない順序で行
われるので、8ビツトラツチ中の解析によつて得
られる情報を記憶する必要がなく、質問回路によ
る質問を表示する必要はない。したがつて、デイ
ジタルビデオ信号DIGVID−Aは直接B不整合カ
ウンタ464に印加される。カウンタ464はま
たマーカ信号MK−Bおよび信号TOPを受ける。
B不整合カウンタ464は入力ゲート回路を含
み、このゲート回路は、マーカ信号MK−B7乃
至MK−B0を受けるごとに1つずつ計数値を増
加させ(この間デイジタルビデオ信号DIGVID−
Aが少くとも1回高レベル(白)になる)、マー
カ信号MK−B7,…MK−B0に対応する信号
DIGVID−Aが高レベルにならなくなると、すな
わち各マーカラインに対応するデイジタルビデオ
像の部分に黒画素のみしか含まれないようになる
と計数を終らせる。したがつて、B不整合カウン
タ464は計数動作終了後、デイジタルビデオ信
号DIGVID−A中に少くとも1つの白画素が生じ
る間内側から外側へ間断なく連続的に計数される
マーカラインの数に相当する計数値を有する。B
不整合カウンタ464は5つの出力端を有し、3
つの出力端には計数値を示す一群つの3つの2進
数BA、BB、BCを出力し、第4の出力端にはオ
ーバフロー信号BOVRを出力し、第5出力端に
は修正の必要性とこの修正の方向(正のY方向)
を示す信号COR−Bを出力する。
画素アドレスカウンタ456の出力端458は
それぞれ8ビツトラツチ465および質問回路4
66のアドレス入力端に接続されている。ラツチ
465と回路466はラツチ460と回路461
と同様に構成されかつ接続されている。特に、8
ビツトラツチ465の出力端は質問回路466の
データ入力端に逆の順序で接続されているが、こ
れは、マーカラインC7乃至C0の発生順序が占
有マーカラインが計数されなければならない順序
と逆であるために必要なことである。8ビツトラ
ツチ465も信号入力端にデイジタルビデオ信号
DIGVID−Aを受けクリア入力端にパルスCLRを
受けるが、8ビツトラツチ460とは対照的に、
解放入力端にマーカ信号MK−C(MK−C7乃
至MK−C0)が印加され、信号DIGVID−A中
の白画素の検出がマーカラインCの形成の間に行
われる。これらマーカラインの形成に対応して、
解析も各マーカラインについて連続的に行われ
ず、各マーカラインの1つの画素が一連のフレー
ムライン中で解析される。しかし、いずれかのフ
レームラインのいずれかのマーカラインCの画素
のために信号DIGVID−Aが高レベル(白)にな
ると、上記マーカラインに関連した8ビツトラツ
チ465の出力は状態「1」となり、この状態は
次のクリアパルスCLRが与えられるまで維持さ
れる。マーカラインCの完全再生の終点におい
て、デイジタルビデオ像中に少くとも1つの白画
素が存在する間発生されたマーカラインCに関係
する8ビツトラツチ465の出力は状態「1」と
なる。
質問回路466は、信号PECTおよびPEG−A
を付勢信号として受け、これら2つの信号が同時
に存在するときのみ、すなわちマーカラインCの
発生中に信号PECT−1(第5図)が発生する間
のみ動作する。
質問回路466の出力端467はC不整合カウ
ンタ468に接続されている。カウンタ468
は、クロツク入力端において分周器453の出力
であるクロツクパルス群CD−CLKを受け、付勢
入力端において信号TOPを受ける。別の制御入
力端には制御信号S1が印加されるが、この信号
は、信号LN,LNX−2,PEG−A,PECTおよ
びCD−CLKのゲート(図示せず)によつて形成
され、通常C不整合カウンタ468の動作を阻止
し、信号PECT−1の発生期間の間信号LNX−
2に対応するフレームラインについてのみ上記カ
ウンタ468を解放する。したがつて、C不整合
カウンタ468は1つのフレームについて1回だ
け、すなわち完全なマーカラインCの形成完了
後、質問回路466の出力端468に生じる情報
を記憶する。C不整合カウンタ468は、計数完
了後、内側から外側へ間断なく連続的に計数され
た(この間、少くとも1つの白画素が検出され
る)マーカラインの数を示す計数値を有する。カ
ウンタ468は、この計数値を示す一群の3つの
2進信号CA,CB,CCを出力端グループ451
に与えるとともに、オーバフローCOVRを第4
出力端に与え、修正の必要性とこの修正の方向
(正のX方向)を示す信号COR−Cを第5出力端
に与える。
マーカラインD7乃至D0の形成は、マーカラ
インB7乃至B0のそれと同様に、占有マーカラ
インが計数されなければならない順序で行われ
る。それにもかかわらず、マーカラインDの場
合、解析結果は保持されなければならない。これ
は、マーカラインDが完全に形成された後まで計
数が不可能だからである。したがつて、マーカラ
インDについても8ビツトラツチ469と質問回
路470が設けられ、これら2つの回路の3つの
アドレス入力端は回路465および466のアド
レス入力端に並列に接続されているとともに、画
素アドレスカウンタ456の出力端に接続されて
いる。ラツチ465と同様に、8ビツトラツチ4
69はデイジタルビデオ信号DIGVID−Aおよび
クリアパルスCLRを受けるが、付勢入力端にお
いてマーカ信号MK−D(MK−D7乃至MK−D
0)を受けるので、信号DIGVID−Aの解析はマ
ーカラインDの発生の間行われる。質問回路47
0は付勢信号PECTおよびPEG−Bによつて制御
されるので、信号PECT−2の持続期間のみ動作
する。しかし、質問回路470のデータ入力端は
8ビツトラツチ469の出力端に逆の順序で接続
されておらずもとのままの順序で接続されている
ので、質問はマーカラインD7,D6,…D0の
順序で行われる。質問回路470の出力端471
はD不整合カウンタ472の入力端に接続されて
いる。カウンタ472はC不整合カウンタ468
と同じクロツク信号CD−CLKと同じ付勢信号
TOPを受ける。別の制御入力端474には制御
信号S2が印加される。この信号S2は、信号
LN,LNX−2,PEG−B,PECTおよびCP−
CLKに対してゲート作用を行うことによつて形
成され、通常、D不整合カウンタ472の動作を
阻止し、信号PECT−2の持続時間の間信号
LNX−2に対応するフレームラインについての
み上記カウンタを解放する。したがつて、D不整
合カウンタ472は1フレームにつき1回だけす
なわちマーカラインDを完全に形成した後に質問
回路470の出力端にあらわれる情報を記録す
る。この計数の後、D不整合カウンタ472は内
側から外側に間断なく連続的に計数されるマーカ
ライン(この持続期間の間少くとも1つの白画素
が検出される)の数を示す計数値を有する。カウ
ンタ472は、一群の5つの出力端451Dを具
備し、計数値を示す一群の3つの2進信号DA,
DB,DCを3つの出力端に発生するとともに、オ
ーバフロー信号COVRを第4出力端に、修正の
必要性と修正の方向(負のX方向)を示す信号
COR−Dを第5出力端にそれぞれ発生する。
8ビツトラツチ460は各フレームの間1つの
サイクルのみ実行するが、8ビツトラツチ46
5,469のサイクルはマーカ信号CとDが発生
される各フレームラインについて繰り返される。
特定のマーカ信号MK−CまたはMK−Dが発生
されるサイクル中デイジタルビデオ信号DIGVID
−A中にはじめて白画素が発生するとすぐに、そ
れは関連する8ビツトラツチ465と469によ
つて記録され、次のパルスCCRによつてクリア
されるまで維持される。
各場合において、8ビツトラツチ460,46
5,469に供給されるマーカ信号MK−A,
MK−C,MK−Dおよび不整合カウンタ464
に供給されるマーカ信号MK−Bは、デイジタル
ビデオ信号DIGVID−Aが白画素の存在確認のた
めにチエツクされる時間長を決定するデータ窓を
形成する。これらのマーカ信号は、その時間変化
は第5図に示されているが、マーカ発生器500
(第10図)中のマーカ発生回路501,502
の対応する出力端504,506,508,51
0から得られる。
第9図は変位制御装置14を示す。この制御装
置14は、各グループが不整合カウンタ463,
464,468,472の出力端に接続されこれ
らの出力信号を受ける4つの入力端を有する4つ
のグループを含んでいる。変位制御装置14は信
号COR−A,COR−B,COR−C,COR−Dに
基いて実行されるべきX−Yテーブル2の変位修
正方向を決定し、信号グループ(AA,AB,
AC;BA,BB,BC;CA,CB,CC;DA,DB,
DC)の1つまたは2つによつて与えられる数値
に基いて出力線15,16を介してXモータ3お
よび(または)Yモータ4に印加される制御信号
を発生し、これらのモータが正しい回転方向に必
要数の調整ステツプだけ回転するようにする。ま
た、変位制御装置14は、インクドツト検出器6
50の出力信号DOT(第11図)、バー検出器7
50の出力信号BAR(第12図)、およびスライ
ス端検出器800の出力信号EOS(第13図)を
受ける。さらに、変位制御装置14は別の入力端
において信号TOPを受け、完全なTV画像のそれ
ぞれについてマーク付けおよび解析を行うために
選択されたフレームの間のみ動作する。さらに、
調整距離JXおよびJYの設定のために設定装置1
7が設けられている。
4つの信号COR−A,COR−B,COR−Cお
よびCOR−Dはまたエラー検出器480の4つ
の入力端に供給される。検出器480は、次式 ERROR=COR−A・COR−B+COR −C・COR−D に基いてゲート作用をなし、対応するエラー信号
ERRORを出力端に発生する。このエラー信号
は、マーカ信号AおよびBまたはマーカ信号Cお
よびDが同時に修正を要求したとき(このような
ことは明らかに許されない)に発生する。エラー
信号ERRORは機械を停止させることができかつ
操作者に警報を発する。
変位制御装置14はオーバフロー信号AOVR,
BOVR,COVR,DOVRを受けたとき、X−Y
テーブル2を距離JX(第2図)だけ移動させて次
のバーを整合位置に移送する。所定数の一連のバ
ー(例えば5つのバー)によつてオーバフロー信
号が発生すれば機械が停止されて警報が発せられ
る。オーバフロー状態は個々のバーのみによつて
しばしば生じるものであるから、このような動作
ステツプをとるのが適当であり、これによつて機
械の停止回数が実質的に減少する。
第10図に示されたマーカ発生器500は、
A/Bマーカ発生回路501と、C/Dマーカ発
生回路502を含む。A/Bマーカ発生器501
は次のような信号を5つの入力端に受ける。
AB−CLK(分周器453の出力端からの信号、
第8図) CD−CLK(分周器457の出力端からの信号、
第8図) PEG−A(C/Dラツチ429の出力端430
からの信号、第7図) PECT(画素アドレスカウンタ456の出力端
450からの信号、第8図) LNCT(ラインアドレスカウンタ452の出力
端455からの信号、第8図) これらの信号に対してデイジタル的ゲート作用
を行うことによつて、信号LNCTにより決定さ
れるフレーム部の1つ置きのフレームラインの座
標X2(PECT−1の端部)と座標X9(PEG−
Aの端部)の間高信号値となる信号が発生する。
第1制御入力端503に印加される信号LNG−
Aが高信号値を有するときには、ゲート作用によ
つて得られる信号は第1出力端504からのみ発
生する。したがつて、マーカ信号MK−Aはこの
出力端から得られる。第2制御入力端505に印
加される信号LNG−Bが高信号値を有するとき
には、ゲート作用によつて得られる信号は第2出
力端506からのみ発生し、マーカ信号MK−B
はこの出力端から得られる。
C/Dマーカ発生回路502は第5入力端にお
いて次の信号を受ける。
CD−CLK(分周器457の出力端からの信号、
第8図) AB−CLK(分周器453の出力端からの信号、
第8図) LNG−A(A/Dラツチ426の出力端427
からの信号、第7図) LNCT(ラインアドレスカウンタ452の出力
端455からの信号、第8図) PECT(画素アドレスカウンタ456の出力端
459からの信号、第8図) これらの信号にデイジタル的ゲート作用をなす
ことによつて、クロツクパルス群CD−CLKの各
クロツクパルスを受けるたびに座標Y2
(LNCT−1の端部)とY9(LNG−Aの端部)
の間のフレーム部の各フレームラインにおいて高
信号値(白)となる信号が得られる。第1制御入
力端507に印加される信号PEG Aが高信号値
を有するとき、ゲート作用によつて得られる信号
は第1出力端508からのみ発生される。したが
つて、マーカ信号MK−Cは上記出力端から得ら
れる。第2制御入力端509に印加される信号
PEG−Bが高信号値を有するとき、ゲート作用
によつて得られる信号は第2出力端510から発
生される。したがつて、マーカ信号MK−Dはこ
の出力端から得られる。
2つのマーカ発生回路501,502の出力端
504,506,508,510はORゲート5
11の4つの入力端に接続されている。ORゲー
ト511はマーカ信号MK−E(インクドツトシ
ーケンサ600(第11図)の入力端からの信
号)を第5入力端において受ける。したがつて、
OR回路511の出力端から合成マーカ信号MK
−A−Eから得られ、この信号はビデオセレクタ
およびミキサ100を介してモニタ10に供給さ
れて、マーカラインA,B,C,Dおよびマーカ
フイールドEが表示される。
第11図は、インクドツトシーケンサ600お
よびインクドツト検出器650からなるインクド
ツト認識用回路を示す。
インクドツトシーケンサ600は、4語×8ビ
ツトの容量を有するメモリ603を含む。入力端
601に接続された制御装置602の作用によつ
て、処理されるべきバー52のインクドツト56
の寸法および位置(第2図)に応じたデータがメ
モリ603に供給され得る。このデータは各ライ
ン中において計数される画素およびフレーム中に
おいて計数されるべきラインの数によつてマーカ
フイールトEの境界Y5,Y6,X5,X6を画
定する。メモリ603は、出力端604、アドレ
ス入力端605および606を有する。
出力端604はラインカウンタ607と画素カ
ウンタ608のプリセツト入力端に接続されてい
る。ラインカウンタ607はライン同期パルス
LNとそのクロツク入力端において受け、画素カ
ウンタ608は画素パルスPEをクロツク入力端
において受ける。メモリ603のアドレス入力端
605および付勢入力端606はメモリアドレス
およびストローブデコーダ609の2つの出力端
に接続され、デコーダ609は信号LNCTおよ
びPECTを2つのトリガ入力端において受け信号
LNG−AおよびPEG−Aを2つの付勢入力端に
おいて受ける。メモリアドレスおよびストローブ
デコーダ609の別の2つのトリガ入力端はライ
ンカウンタ607の出力端610と画素カウンタ
608の出力端611に接続され、メモリアドレ
スおよびストローブデコーダ609の別の2つの
出力端は2つのカウンタ607と608のプリセ
ツト制御入力端に接続されている。
上述の回路603,607,608,609は
第7図の回路403,407,408および41
9と同一であり、これらの回路に非常に類似した
態様でともに接続されている。動作の態様も実質
的に同一である。唯一の相違点は次の通りであ
る。すなわち、ラインカウンタ607へのメモリ
語のはじめての入力は、信号LNG−Aの存在す
る間信号LNCTによつて各フレームについて開
始され、上記メモリ語は信号LNCTの立下り端
から座標Y5まで計数されるフレームラインの数
を示す。ラインカウンタ607はこのプリセツト
数から計数値を減少させ、計数値が零に到達する
と、出力端610にパルスEMLN−1を出力す
る。このパルスは、マーカフイールドEの上限が
位置する座標Y5に相当するフレームラインを示
す。同じパルスがメモリアドレスおよびストロー
ブデコーダ609のトリガ入力端に供給され、ラ
インカウンタ607への第2メモリ語の転送を開
始させる。第2メモリ語は座標Y5とY6の間に
おいて計数されるべきフレームライン数を示す。
ラインカウンタ607はこの新しいプリセツト値
から計数値を減少させ、計数値が零になると、マ
ーカフイールドEの下の境界が位置する座標Y6
によつてフレームラインを示す別のパルス
EMLN−2を出力端610に発生する。
これに対応するように、各フレームラインにつ
いて、画素カウンタ608への第3メモリ語の入
力が信号PEG−Aに存在する間信号PECTによつ
て開始される。このメモリ語は信号PECTの端部
から座標X5まで計数されるべき画素数を示す。
計数値が零になると、画素カウンタ608は座標
X5に一致しマーカフイールドEの左境界に相当
するパルスEMPE−1を出力端611に発生す
る。このパルスは、座標X5とX6の間に計数さ
れるべき画素の数を示す第4のメモリ語を画素カ
ウンタ608へ入力させ始める。計数値が零に達
すると、画素カウンタ608はマーカフイールド
Eの右境界に相当する別のパルスEMPE−2を
出力する。この動作は信号LNG−Aが存在する
間各フレームラインについて繰り返される。
上記の動作は信号TOPによつて選択された1
つ置きのフレームだけではなく各フレームについ
て行われる。
フレームの始点およびラインの始点からのかわ
りにそれぞれ信号LNCTおよびPECTからライン
および画素を計数するという上記の特徴は、メモ
リに記憶されるべき語が、TV画像におけるマー
カの位置に無関係に一度に且つ各種バーのすべて
について固定され得るという利点がある。
したがつて、マーカフイールドEに対するメモ
リ語を変化させる必要なく上述のようにTV画像
上のマーカを移動させることができる。
ラインカウンタ607と画素カウンタ608の
出力端610と611はそれぞれEマーカ発生器
612の2つの入力端613,614に接続され
ている。Eマーカ発生器612は、入力端613
に供給される各パルスEMLN−1によつて動作
状態となり、各パルスEMLN−2によつて不動
作状態に復帰する。動作状態にあるとき、入力端
614に供給される各パルスEMPE−1は出力
端615に発生される出力信号を高信号レベル
(白)にする。そして、出力端615の信号はパ
ルスEPME−1の発生が終了しても高レベルに
保持される。そして、各パルスEMPE−2はこ
の出力信号を再び低信号レベルにリセツトする。
第5図から明らかなように、このようにして出力
端615から得られる信号はマーカ信号MK−E
である。これらの信号はインクドツト検出器65
0の入力端に供給されるとともにマーカ発生器5
00のOR回路511に供給される(第10図)。
インクドツト検出器650はインクドツト制御
装置652を含む。この制御装置652は、入力
端653においてマーカ信号MK−Eを受け、別
の入力端654においてデイジタルビデオ信号
DIGVID−Bを受け、さらに第3入力端655に
おいて画素パルスPEを受ける。インクドツト制
御装置652は3つの入力信号のANDゲートと
して機能し、デイジタルビデオ信号DIGVID−B
は入力端654において反転される。したがつ
て、制御装置652は、マーカ信号MK−Eの発
生中に同時にデイジタルビデオ信号DIGVID−B
が低信号レベル(黒)になれば、パルスPEが供
給されるたびに出力端656に信号を発生する。
インクドツト制御装置652の出力パルスは、マ
ーカフイールドE中に含まれ且つ信号DIGVID−
Bによつて示されるデイジタルビデオ像の黒画素
に相当する。
インクドツト制御装置652の出力端656は
パルス分周器657の入力端に接続されている。
分周器657の分周比は設定装置658によつて
種々の値、例えば1:1、5:1、10:1、50:
1に調整され得る。パルス分周器657の出力端
にはカウンタ659が接続されており、カウンタ
659はパルス分周器657によつて分周された
マーカフイールドに存在する信号DIGVID−Bの
黒画素の数を計数する。
カウンタ659の各段の出力端はコンパレータ
660の一方の入力端群に接続されており、コン
パレータ660の他方の入力端群には設定装置6
51によつて所要の2進数が設定され得る。コン
パレータ660はカウンタ659の計数値が設定
数に等しいことを検出するとすぐに、インクドツ
トラツチ662を次のパルス(CLR)によつて
不動作状態になるまで動作状態にする信号を出力
端661に与える。動作状態となつた上記ラツチ
は解析中のバーにインクドツトが存在することを
示す信号DOTを出力端に発生する。カウンタ6
59は信号TOPによつて付勢され、この信号の
終了によつて零にリセツトされる。
インクドツト検出器の感度は設定装置658に
よつてパルス分周器657の分周比を調整するこ
とによつて設定される。閾値は予想されるインク
ドツトの大きさの変動に応じたものとなるように
設定装置651によつて設定され、これにより、
計数される黒画素の数は、たとえ最も小さいイン
クドツトであつても確実に閾値以上となる。
第12図はバーシーケンサ700とバー検出器
750とを含むバー認識回路を示す。バーシーケ
ンサ700は第11図の回路603,607,6
08および609からなる回路群と同一構成およ
び同一動作態様の2つの回路群を含む。第1の回
路群は、メモリ703、ラインスタートカウンタ
704、画素スタートカウンタ705およびメモ
リアドレスおよびストローブデコーダ706から
なる。第2の回路群は、メモリ713、ラインス
トツプカウンタ714、画素ストツプカウンタ7
15およびメモリアドレスおよびストローブ回路
716からなる。動作態様の唯一の相違点は、制
御装置702の作用によつてメモリ703と71
3の入力端701に供給される語の意味によつて
生じるものである。
プリセツトのための信号LNG−Aおよび
LNCTの制御の下に各フレームごとにラインス
タートカウンタ704に与えられるメモリ703
の第1メモリ語は、カウンタ704の計数値が零
になつたときにカウンタ704の出力端707か
らパルスFMLN−1Aを発生させる。このパル
スはマーカフイールドF1とF2の上の境界に相
当する座標Y3を決定する。
メモリ703の第2メモリ語は、プリセツトの
ためのパルスFMLN−1Aの制御の下に各フレ
ームごとにラインスタートカウンタ704に与え
られ、カウンタ704の計数値が零になつたとき
に出力端707からパルスFMLN−1Bを発生
させる。このパルス(第5図)はマーカフイール
ドF3およびF4の上の境界に相当する座標Y7
を決定する。
メモリ703の第3メモリ語は、プリセツトの
ための信号PEG−AおよびPECTの制御の下に各
フレームラインごとに画素スタートカウンタ70
7に与えられ、計数値が零となつたときにカウン
タ705の出力端708からパルスEMPE−1
Aを発生させる。このパルスはマーカフイールド
F1およびF3の左の境界に相当する座標X3を
決定する。
メモリ703の第4メモリ語は、プリセツトの
ための信号EMPE−1Aの制御の下に各フレー
ムラインごとに画素スタートカウンタ705に与
えられ、計数値が零となつたときに出力端708
からパルスEMPE−1Bを発生させる。このパ
ルスはマーカフイールドF2およびF4の境界に
相当する座標X7を決定する。
メモリ713の第1メモリ語は、プリセツトの
ための信号LNG−AおよびLNCTの制御の下に
各フレームごとにラインストツプカウンタ714
に与えられ、計数値が零になつたときにカウンタ
714の出力端717からパルスEMLN−2A
を発生させる。このパルスはマーカフイールドF
1およびF2の下の境界に相当する座標Y4を決
定する。
メモリ713の第2メモリ語は、プリセツトの
ためのパルスFMLN−2Aの制御の下に各フレ
ームごとにラインストツプカウンタ714に与え
られ、計数値が零となつたときに出力端717か
らパルスFMLN−2Bを発生させる。このパル
スはマーカフイールドF3およびF4の下の境界
に相当する座標Y8を決定する。
メモリ713の第3メモリ語は、プリセツトの
ための信号PEG−AおよびPECTの制御の下に各
フレームラインごとに画素ストツプカウンタ71
5に与えられ、計数値が零になつたときにカウン
タ715の出力端718からパルスEMPE−2
Aを発生させる。このパルスはマーカフイールド
F1およびF3の右の境界に相当する座標X4を
決定する。
メモリ713の第4メモリ語は、プリセツトの
ためのメモリEMPE−2Aの制御の下に各フレ
ームラインごとに画素ストツプカウンタ715に
与えられ、計数値が零になつたときに出力端71
8からパルスEMPE−2Bを発生させる。この
パルスはマーカフイールドF2およびF4の右の
境界に相当する座標X8を決定する。
4つのカウンタ704,705,714,71
5の出力端707,708,717,718はF
マーカ発生器720の入力端に接続されている。
Fマーカ発生器720はまたマーカ信号MK−F
を形成するための制御信号として必要な信号
LNG−A,LNCT,LN,PEG−A,PECT,
PEを別の入力端において受ける。次に、マーカ
発生器720の動作態様を簡単に説明する。Fマ
ーカ発生器720は各パルスFMLN−1
(FMLN−1AまたはFMLN−1B)によつて動
作状態とされ、各パルスFMLN−2(FMLN−
2AまたはFMLN−2B)によつて不動作状態
に復帰される。不動作状態にある間、出力端72
1から発生される出力信号は常に低信号レベル
(黒)である。動作状態にある間、出力信号は各
パルスFMPE−1(FMPE−1AまたはFMPE
−1B)によつて高レベルとなり、この状態はパ
ルスFMPE−1の発生が停止しても維持され、
各パルスFMPE−2(FMPE−2Aまたは
FMPE−2B)によつて低レベルに復帰する。
このようにしてFマーカ発生器720の出力端7
21に得られた信号は所要のマーカ信号MK−F
を示すことは明らかである。マーカ信号MK−F
はマーカフイールドF1乃至F4を表示するため
にビデオセレクタおよびミキサ100(第6図)
に供給されるとともにバー検出器750の入力端
に印加される。
バー検出器750はバー制御装置752を含
み、制御装置752はある入力端においてマーカ
信号MK−Fを受けるとともに別の入力端におい
てデイジタルビデオ信号DIGVID−Aを受ける。
画素パルスPEと信号TOPはバー制御装置752
の他の入力端に印加される。バー制御装置752
は入力信号に対してANDゲートとして機能し、
マーカ信号MK−Fが存在し、かつこれと同時に
デイジタルビデオ信号DIGVID−Aが高信号レベ
ル(白)になれば、信号TOPによつてフレーム
が選択されるごとに各画素パルスPEに対応して
出力パルスを発生する。したがつて、バー制御装
置752によつて発生されるパルスは、信号
DIGVID−Aによつて表示されるデイジタルビデ
オ像のマーカフイールドF1乃至F4によつて占
有される縁領域に存在する白画素の数に相当す
る。
バー制御装置752の出力パルスはパルスカウ
ンタ753に供給される。パルスカウンタ753
はマーク付けおよび解析のために選択されたフレ
ーム中の信号TOPによつて付勢され上記信号の
端部によつて零にリセツトされる。パルスカウン
タ753は複数の出力端を有し、計数値がある値
に達するとこれらの出力端にパルスを発生する。
例えば、カウンタ753のある出力端は計数値50
に、別の出力端は計数値250に、他の出力端は計
数値2500にそれぞれ対応させることができる。設
定装置751によつて、これら出力端のうちの1
つはバーラツチ754の入力端に選択的に接続さ
れることができる。ラツチ754はパルスカウン
タ753の出力パルスによつて動作状態とされ、
次のパルスCLRによつて不動作状態にリセツト
されるまでこの状態が維持される。バーラツチ7
54は動作状態にあるときにその出力端に信号
BARを発生する。したがつて、信号BARは、4
つのマーカフイールドF1乃至F4に相当するデ
イジタルビデオ像の縁領域中の全体の白画素数が
設定装置751によつて設定された閾値を越えた
ことを示す。このことは、完全なバーの存在の規
準とみなされる。フレームを完全に解析した後、
信号BARが発生されなければ、バーは損傷を受
けているか存在しない。前述のように、この場
合、変位制御装置14はXまたはY方向における
指針によつて新しいバーを探知する。
第13図はスライス端検出器800を示す。こ
のスライス端検出器800は、ある入力端におい
てデイジタルビデオ信号DIGVID−Aを、第2入
力端においてパルスPEを、第3反転入力端にお
いてライン同期パルスLNを受けるスライス端制
御装置802を含む。制御装置802は入力信号
に対してANDゲートとして機能し、デイジタル
ビデオ信号DIGVID−Aが高信号レベル(白)で
あれば、パルスPEに入力されるごとに出力端に
パルスを発生する。したがつて、スライス端制御
装置802の出力パルスは信号DIGVID−Aによ
つて表示されるデイジタルビデオ像全体に存在す
るすべての白画素数に相当する。これらのパルス
はパルスカウンタ803中において計数される。
カウンタ803は複数の出力端を有し、所定の計
数値に達するとこれらの出力端からパルスを発生
する。例えばカウンタ803のある出力端を計数
値2500に相当させ、別の出力端を12500に相当さ
せることができる。パルスカウンタ803はマー
ク付けおよび解析用のフレーム中の信号TOPに
よつて付勢され、この信号の発生終了によつて零
にリセツトされる。設定装置801によつて、カ
ウンタ803の出力端の1つがスライス端ラツチ
804の入力端に選択的に接続される。スライス
端ラツチ804は選択された計数値を越えたとき
に発生されるパルスによつて動作状態にされ、こ
の動作状態は次のパルスCLRによつて不動作状
態にリセツトされるまで維持される。スライス端
ラツチ804は、不動作状態になると否定出力端
に信号EOSを発生する。信号EOSはラツチ80
4が動作状態になるとき発生を停止する。したが
つて、フレームの完全走査の終了時に信号EOS
が存在することは、設定された白画素数がフレー
ム全体に存在しないことを意味する。このこと
は、搬送体50上のすべての行のバーが見通さ
れ、空の基部のみが走査されていることを示す規
準として使用される。変位制御装置14は信号
EOSに基いて機械を停止させオペレータに警報
を発して、オペレータが使用済の搬送体50を新
しいものに置換し得るようにする。
第14図はビデオデイジタイザ200のより詳
細な回路を示し、またビデオ信号のピーク検出に
よつて得られる信号が閾値電圧調整にどのように
使用されてビデオ像から発生されるデイジタルビ
デオ信号DIGVID−AおよびDIGVID−Bがビデ
オ像の光の強さの変動に実質的に影響されないよ
うになるかを示す。
第15図は第7図のラインカウンタ407のよ
り詳細な回路を示す。画素カウンタ408は、第
15図の入力信号LNおよびがそれぞれ入力信
号PEおよびによつて置換され、第15図の出
力信号−1および−2がそれぞれ出力
信号−1および−2によつて置換され
る点を除いて同様に構成される。
第16図は第7図、第8図および第10図のブ
ロツク回路図の各種部分を示す。まず、第7図の
整合シーケンサ400から説明するに、A/Bラ
ツチ426はコンプリメンタリ出力端Qとに信
号LNG−AおよびLNG−Bを発生するSN7474
型のフリツプフロツプによつて構成されている。
C/Dラツチ429も同様に信号PEG−Aおよ
びPEG−Bを発生するSN74S74型のフリツプフ
ロツプによつて構成される。
ラインアドレスカウンタ452は3つの出力端
A,B,Cに3つのアドレスビツトを出力し且つ
第4出力端BWに信号LNCTを出力するSN74193
型の同期ビツト可逆カウンタを含む。分周器45
3は、クロツク入力端CLK(端子3)においてラ
イン同期パルスLNを受けクリア入力端Cにおい
て反転された信号LNCTを受けるSN7474型のフ
リツプフロツプである。これに対応させるべく、
画素アドレスカウンタ456は3つの出力端A,
B,Cに3つのアドレスビツトを出力し第4出力
端BWに信号PECTを出力するSN74193型の4ビ
ツト可逆カウンタである。分周器457はクロツ
ク入力端CLKにおいて画素パルスPEを受けクリ
ア入力端において反転された信号PECTを受ける
SN74S74型のフリツプフロツプである。
第16図はさらにマーカ発生回路501と50
2を示す。A/Bマーカ発生回路501は
SN7474型の2つのフリツプフロツプとSN7420型
の2つのNAND回路とを含む。一方のNAND回
路は一方の入力端において信号LNG−Aを受け、
出力端から(反転させた)マーカ信号MK−Aを
発生させ、他方のNAND回路は入力端において
信号LNG−Bを受けて出力端から(反転させた)
マーカ信号MK−Bを発生させる。
C/Dマーカ発生回路502は同様に
SN74S74型の2つのフリツプフロツプと
SN74S20型の2つのNAND回路とを含む。一方
のNAND回路は入力端において信号PEG−Aを
受けて出力端から(反転された)マーカ信号MK
−Cを発生し、他方のNAND回路は入力端にお
いて信号PEG−Bを受けて出力端から(反転さ
れた)マーカ信号MK−Dを発生する。
さらに、第16図は、マーカ信号MK−A,
MK−B,MK−C,MK−D,MK−Eを受け
てこれらから合成マーカ信号MK−A−Eを形成
するSN4931型のOR回路511を示す。
第17A図および第17B図は第8図の不整合
検出器450のさらに詳細な構成要素を示す。8
ビツトラツチ460はAm93L34(SN74259)型の
回路とSN74151型の「8対1」マルチプレクサと
を組合せてラツチ動作をなすように構成される。
SN74151型の第2の「8対1」マルチプレクサは
質問回路461を構成する。A不整合カウンタ4
63はSN74193型の4ビツトカウンタとこれに連
結される入力ゲート回路とを含む。B不整合カウ
ンタ464もまたSN74193型の4ビツトカウンタ
とこれに連結される入力ゲート回路とを含み、直
接デイジタルビデオ信号DIGVID−Aを受ける。
8ビツトラツチ465もまたAm93L34(=
SN74259)型回路とSN74S151型の「8対1」マ
ルチプレクサとの組合せによつて構成され、
SN74S151型の第2の「8対1」マルチプレクサ
は質問回路466を構成する。C不整合カウンタ
468は、SN74193型の4ビツトカウンタと、こ
れに連結され別の入力端473において信号S1
を受ける入力ゲート回路とを含む。8ビツトラツ
チ469もまたAm93L34(=SN74259)型回路と
74S151型の「8対1」マルチプレクサとの組合
せによつて構成され、この場合、マルチプレクサ
は同時に質問回路470として作用させることが
できる。その理由は、8ビツトラツチと質問回路
との接続の順序が逆になつていないからである。
D不整合カウンタ472は、SN74193型の4ビツ
トカウンタと、これに連結され別の入力端474
において信号S2を受ける入力ゲート回路とを含
む。SN74193型の4つの不整合カウンタはそれぞ
れ計数値を示す信号の組合せを3つの出力端に発
生するとともに信号COR−A,COR−B,COR
−C,COR−Dを出力端BWに発生する。
第18図および第19図は第11図のインクド
ツトシーケンサ600のある部分を非常に詳細に
示したものである。第18図から明らかなよう
に、メモリアドレスおよびストローブデコーダ6
09およびEマーカ発生器612は74LS74型の
フリツプフロツプとこれに連結されるゲート回路
とを含み、マーカ信号MK−Eは(反転後)
SN4931型のNAND回路の出力端から得られる。
第19図はラインカウンタ607と画素カウンタ
608とを示す。これらのカウンタはそれぞれ一
対のSN74LS193型4ビツトカウンタによつて構
成され、一方のカウンタの出力端BWは他方のカ
ウンタのクロツク入力端に接続され、他方のカウ
ンタの出力端BWは第5図に示された態様でパル
スEMLNまたはEMPEを出力する出力端610
と611(第11図)を構成する。さらに、第1
9図には、メモリ603は一対の74LS670型のメ
モリレジスタによつて構成されるものとして示さ
れている。
以上の説明に関連して更に以下の項を開示す
る。
(1) 物体の表面およびラインラスタ中の物体を取
り囲む周囲領域を走査して走査領域の像に相当
する電気的ビデオ信号を発生するTVカメラの
視野中の調整可能搬送体上に配設された前記物
体を予め知られた基準位置に対して整合させる
のに使用される出力信号を発生する装置であつ
て、前記ビデオ信号を受けてこれから、前記物
体に起因して生じたビデオ信号に対しては主と
して第1信号レベルとなりまた前記周囲領域に
起因して生じたビデオ信号に対しては第2信号
レベルとなるデイジタルビデオ信号を形成する
デイジタル化手段と、前記物体が前記基準位置
に整合されているときの前記物体のビデオ像の
両縁に関連づけて画定された位置にあるビデオ
像領域に対応しかつ互いに対をなすように関連
づけられたデータ窓組中のデイジタルビデオ信
号を解析し、このような解析に基いて前記基準
位置に対する前記物体の変位を示す出力信号を
発生する解析手段とを具備する装置において、 前記各データ窓組A,B,C,Dのデータ窓
A0乃至A7;B0乃至B7;C0乃至C7;
D0乃至D7は、前記物体1;52が前記基準
位置Rに整合されたとき、互いの位置から所定
距離をもつて配置されかつ前記物体像の関連し
た縁部から異なつた距離を有する別個のビデオ
像領域A0乃至A7;B0乃至B7;C0乃至
C7;D0乃至D7に対応していること、およ
び前記解析手段450は各データ窓中に第1信
号レベルのデイジタルビデオ信号DIGVID−A
が発生したことに応答し、第1信号のデイジタ
ルビデオ信号の割合が所定の最小値を越える間
前記物体のビデオ像の内側から外側にかけて間
断なく連続的に存在するデータ窓の数を示す出
力信号AA,AB,AC,BA,AB,BC;CA,
CB,CC,DA,DB,DCを各データ窓組ごと
に発生して前記整合位置からの前記物体の移動
距離および移動方向の精確な基準を得るように
なつていることを特徴とする装置。
(2) 第1項において、前記搬送体2の位置を前記
解析手段450の出力信号によつて示される方
向にある量だけ調整でき前記物体を前記整合位
置へ直接移送する手段14を具備することを特
徴とする装置。
(3) 第1項または第2項において、前記TVカメ
ラ6によつて発生されるビデオ信号によつて示
されるビデオ像を表示するモニタ10を具備す
ることを特徴とする装置。
(4) 第1項乃至第3項のいずれかにおいて、前記
データ窓組A,B,C,Dに対応するビデオ像
領域A,B,C,Dが物体1;52のビデオ像
の寸法に相当する領域を画定することを特徴と
する装置。
(5) 第4項において、前記データ窓組A,B,
C,Dに対応するビデオ像領域A,B,C,D
が前記領域を取り囲むフレームを形成すること
を特徴とする装置。
(6) 第1項乃至第5項のいずれかにおいて、前記
搬送体2が2つの軸方向X,Yに移動可能とな
つており、前記データ窓に対応するビデオ像領
域が前記物体1;52のビデオ像の両側におい
て一方または他方の軸方向に平行となるように
対をなして配置される平行ラインA0乃至A
7;B0乃至B7;C0乃至C7;D0乃至D
7の組A,B,C,Dであることを特徴とする
装置。
(7) 第6項において、前記解析手段450にデー
タ窓として印加され前記TVカメラ6によつて
与えられるビデオ信号に重ね合わされて前記平
行ラインに相当するマーカラインA0乃至A
7;B0乃至B7;C0乃至C7;D0乃至D
7を再生するマーカ信号MK−A,MK−B,
MK−C,MK−Dを発生する信号発生回路5
00を具備することを特徴とする装置。
(8) 第7項において、前記信号発生回路500が
2つの第1マーカ信号組MK−A,MK−Bと
2つの第2マーカ信号組MK−C,MK−Dと
を発生し、前記第1マーカ信号組に含まれるマ
ーカ信号はTVラインの同じ部分に発生されて
ビデオ像中に水平マーカラインA0乃至A7;
B0乃至B7の再生を行わせ、前記第2マーカ
信号組のマカ信号は各TVラインの2つの部分
において間隔をおいて発生するパルスを含みビ
デオ像中に垂直マーカラインC0乃至C7;D
0乃至D7の再生を行わせることを特徴とする
装置。
(9) 第7項または第8項において、TVカメラ6
がライン飛越しで動作し、前記マーカ信号組
MK−A,MK−B,MK−C,MK−Dが各
TV画像の選択されたフレーム中にのみ発生さ
れることを特徴とする装置。
(10) 第1項乃至第9項のいずれかにおいて、TV
カメラ6からの出力信号を受けてフレーム同期
パルスFRとライン同期パルスLNとを出力端に
発生する同期分離器300と各TVラインの走
査の間ライン周波数に比して大きな周波数を有
しかつ対応するライン同期パルスLNに対して
決定される時間位置を有する一連の画素パルス
PEを出力するように前記ライン同期パルスLN
によつて同期がとられるパルス発生器11とを
具備することを特徴とする装置。
(11) 第10項において、前記データ窓A0乃至A
7;B0乃至B7;C0乃至C7;D0乃至D
7の位置および持続時間を決定する数値が40
1,402で設定され得、前記フレーム同期パ
ルスFR、前記ライン同期パルスLNおよび画素
パルスPEを受け、前記ライン同期パルスLNと
前記画素パルスPEを係数することによつて、
前記設定された数値によつて決定される時間位
置と持続時間を有する制御信号LNX−1,
LNX−2,PEX−1,PEX−2,LNG−A,
LNG−B,PEG−A,PEG−Bを各フレーム
または各フレームラインごとに発生するシーケ
ンサ400を具備することを特徴とする装置。
(12) 第11項において、前記制御信号LNX−1,
LNX−2,PEX−1,PEX−2,LNG−A,
LNG−B,PEG−A,PEG−Bが前記マーカ
信号MK−A0乃至A7;MK−B0乃至B
7;MK−C0乃至C7;MK−D0乃至D7
の発生を制御するために前記信号発生回路50
0に印加されることを特徴とする装置。
(13) 第12項において、前記制御信号LNX−1,
LNX−2,PEX−1,PEX−2,LNG−A,
LNG−B,PEG−A,PEG−B、前記マーカ
信号MK−A,MK−B,MK−C,MK−D
および前記デイジタルビデオ信号DIGVID−A
を受ける不整合検出器450を具備し、この不
整合検出器は関連するマーカ信号組MK−A,
MK−B,MK−C,MK−Dのマーカ信号
MK−A0乃至A7;MK−B0乃至B7;
MK−C0乃至C7;MK−D0乃至D7によ
つて付勢されてデイジタルビデオ信号DIGVID
−Aを解析する解析回路460,461,46
3,464,465,466,468,46
9,470,472を含むことを特徴とする装
置。
(14) 第13項において、あるマーカ信号組MK−
A,MK−C,MK−Dに関連した少くとも1
つの解析回路を具備し、この回路はマーカライ
ンA0乃至A7;C0乃至C7;D0乃至D7
に対応するマーカ信号MK−A0乃至A7;
MK−C0乃至C7;MK−D0乃至D7ごと
に設けられたラツチ460,465,469を
含み、このラツチ段は前記マーカ信号の存在す
る間に前記デイジタルビデオ信号DIGVID−A
の第1信号レベルの割合が前記所定の最小値を
越えたときに所定状態になることを特徴とする
装置。
(15) 第14項において、前記各ラツチ460,4
65,469に接続され、すべてのマーカ信号
MK−A,MK−B,MK−C,MK−Dの形
成完了後前記ラツチ段の出力が所定状態にある
かどうかを所定の順序で質問する質問回路46
1,466,470を具備することを特徴とす
る装置。
(16) 第15項において、上方の水平マーカライン
組Aおよび左側の垂直マーカライン組Cに関連
するラツチと質問回路460,461;46
5,466においては、質問の順序がマーカラ
インの解析の順序と逆であることを特徴とする
装置。
(17) 第14項乃至第16項のいずれかにおいて、水
平マーカラインA0乃至A7;B0乃至B7が
形成されるたびにステツプ動作し各マーカライ
ンの数を示す信号を前記水平マーカラインに関
連したラツチおよび質問回路460,461の
アドレス入力端に印加するラインアドレスカウ
ンタ452と、各フレームライン発生の間垂直
マーカラインC0乃至C7;D0乃至D7が形
成されるごとにステツプ動作して各マーカライ
ンの数を示す一群の出力信号を前記垂直マーカ
ラインに関連したたラツチおよび質問回路46
5,466;469,470のアドレス入力端
に印加する画素アドレスカウンタ456とを具
備することを特徴とする装置。
(18) 第12項乃至第17項のいずれかにおい、前記
不整合検出器450が各マーカライン組A,
B,C,Dごとに不整合カウンタ463,46
4;468,472を具備し、この不整合カウ
ンタは、デイジタルビデオ信号DIGVID−Aの
解析によつて得られる信号に基いて、前記デイ
ジタルビデオ信号における第1信号レベルの割
合が所定の最小値を越える間対応するマーカラ
イン組A,B,C,Dの内側から外側へ間断な
く連続的に計数されるマーカラインA0乃至A
7;B0乃至B7;C0乃至C7;D0乃至D
7の数に相当する計数値を出力することを特徴
とする装置。
(19) 第18項において、前記水平マーカライン組
A,Bに関連する不整合カウンタ463,46
4が前記下方のマーカライン組Bに関係するマ
ーカ信号MK−Bによつて同時にクロツクされ
ることを特徴とする装置。
(20) 第19項において、前記上方の水平マーカラ
イン組Aに関連する不整合カウンタ463は関
連する質問回路461の出力信号を受け、前記
下方の水平マーカライン組Bに関連する不整合
カウンタ464は直接デイジタルビデオ信号
DIGVID−Aを受けることを特徴とする装置。
(21) 第18項乃至第20項のいずれかにおいて、前
記垂直マーカライン組C,Dに関連する不整合
カウンタ468,472は、関連する質問回路
466,470の出力信号を受け、複数の垂直
マーカラインの画素を含む最後のフレームライ
ン発生の間あるいは後のフレームラインの間第
2マーカ信号組MK−C,MK−Dのパルスと
同期する信号CD−CLKによつてクロツクされ
ることを特徴とする装置。
(22) 第18項乃至第21項のいずれかにおいて、不
整合カウンタ463,464,468,472
の出力端に接続され該カウンタの計数値を示す
出力信号に基いて前記搬送体2の調整のための
制御信号を形成する変位制御装置14を具備す
ることを特徴とする装置。
(23) 第1項乃至第22項のいずれかにおいて、整
合された物体1;52のビデオ像の領域内に配
置される1つまたはそれ以上のマーカフイール
ドF1,F2,F3,F4中のデイジタルビデ
オ信号DIGVID−Aを所定数の時点において解
析し、解析されたビデオ信号が第1信号レベル
を有する各場合にはいつでもパルスを発生する
手段752と、これらのパルスを計数し完全な
フレーム走査中計数値が所定値を越えたときに
はいつでも前記物体1;52の存在または完全
性を示す信号を出力する手段753とを具備す
ることを特徴とする装置。
(24) 第23項において、前記物体が矩形状であ
り、4つの矩形状マーカフイールドF1,F
2,F3,F4が整合された物体1;52のビ
デオ像によつて占有される領域の四隅に存在す
ることを特徴とする装置。
(25) 第1項乃至第24項のいずれかにおいて、走
査領域全体のデイジタルビデオ信号DIGVID−
Aを所定数の時点において解析し、解析された
ビデオ信号が第1信号レベルを有している各場
合にはいつでもパルスを発生する手段802
と、これらのパルスを計数し信号走査中に計数
値が所定値に達しないときにはいつでも走査領
域中に物体1;52が欠落していることを示す
信号を出力する手段803とを具備することを
特徴とする装置。
(26) 第1反射特性を有する識別領域の存在を前
記第1反射特性とは異なる第2反射特性を有す
る物体の背景面において認識する装置であつ
て、ラインラスタ中において識別領域を含む物
体の表面領域を走査して走査表面領域の像に相
当するビデオ信号を発生するTVカメラを具備
する装置において、 前記ビデオ信号を受けてこれから、前記背景
に起因して生じるビデオ信号に対しては主とし
て第1信号レベルとなりまた前記識別領域に起
因して生じるビデオ信号に対しては主として第
2信号レベルとなるデイジタルビデオ信号を形
成するデイジタル化手段と、所定数のラインが
走査される間前記デイジタルビデオ信号を所定
数の時点において解析し、解析されたビデオ信
号が第2信号レベルを有する各場合にパルスを
発生する手段と、前記パルスを計数して、完全
走査中に計数値が所定値を越えたときにはいつ
でも識別の存在を示す信号を出力する手段とを
具備することを特徴とする装置。
(27) 第26項において、前記デイジタル化手段
は、一方の入力端において前記ビデオ信号を受
け他方の入力端において調整可能閾値を受け前
記ビデオ信号が前記閾値より大きいときおよび
小さいときにそれぞれ第1信号レベルおよび第
2信号レベルとなる出力信号を発生する閾値コ
ンパレータを含むことを特徴とする装置。
(28) 第26項または第27項において、各TVライ
ンの走査中に、ライン周波数より大きい周波数
を有し前記デイジタルビデオ信号の解析の時点
を決定する一連の画素パルスを出力するパルス
発生器を具備することを特徴とする装置。
(29) 第28項において、走査ラインおよび各走査
ライン中において前記デイジタルビデオ信号が
発生される時点を決定する数値が設定され得、
ライン同期パルスおよびTVカメラによつて供
給される画素パルスを受け、前記ライン同期パ
ルスと画素パルスを計数して前記設定された数
値によつて決定される各走査ラスタ中の時間位
置を有する制御信号を発生するシーケンサを具
備することを特徴とする装置。
(30) 第29項において、解析のための各走査線の
うち解析用時点を含む期間持続するマーカ信号
を前記制御信号の制御の下に発生するマーカ発
生器を具備することを特徴とする装置。
(31) 第30項において、前記マーカ信号が前記
TVカメラによつて供給されるビデオ像に重ね
合わさせてマーカ領域に表示され得ることを特
徴とする装置。
(32) 第30項または第31項において、前記マーカ
信号、前記デイジタルビデオ信号および画素パ
ルスを受け、前記マーカ信号発生中に前記デイ
ジタルビデオ信号が第2信号レベルとなつたと
きに各画素パルスを受けるたびに出力パルスを
発生する制御回路と、この制御回路の出力端に
接続されるパルスカウンタとを具備することを
特徴とする装置。
(33) 第32項において、前記制御回路の出力端と
前記パルスカウンタの計数入力端との間に分周
比が調整可能な分周器を介挿することを特徴と
する装置。
(34) 第32項または第33項において、前記パルス
カウンタの計数値を示す出力端がコンパレータ
の一方の入力端群に接続され、該コンパレータ
の他方の入力端群に閾値を示すデイジタル信号
が印加され、前記コンパレータは前記計数値が
前記閾値に達したときに出力端に信号を発生す
ることを特徴とする装置。
(35) 第34項において、前記コンパレータの出力
端に接続され該コンパレータの出力信号によつ
て不動作状態から動作状態になり、動作状態に
あるときに前記認識領域の存在を示す出力信号
を発生するラツチを具備することを特徴とする
装置。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による整合および認識装置を示
すブロツク図、第2図は第1図の装置に整合され
得る物体の例としての半導体バーを有する搬送体
を示す説明図、第3図は第1図の装置によつてス
クリーン上に発生されるマーカを示す説明図、第
4図はマーカに対する物体の整合の異なつた3つ
の例を示す説明図、第5A図および第5B図は互
いに組合されて第1図の装置から発生される信号
を示すタイムチヤート、第6図は第1図に示され
た装置のある構成要素の詳細構成を示すブロツク
図、第7図は整合シーケンサの詳細構成を示すブ
ロツク図、第8図は不整合検出器の詳細構成を示
すブロツク図、第9図は変位制御装置とエラー検
出器を示すブロツク図、第10図はマーカ発生器
の詳細構成を示すブロツク図、第11図はインク
ドツトシーケンサおよびインクドツト検出器の詳
細構成を示すブロツク図、第12図はバーシーケ
ンサとバー検出器の詳細構成を示すブロツク図、
第13図はスライス端検出器の詳細構成を示すブ
ロツク図、第14図はビデオデイジタイザの実際
の具体的構成を示す回路図、第15図は整合シー
ケンサのラインカウンタの実際の具体的構成を示
す回路図、第16図は整合シーケンサ、不整合検
出器およびマーカ発生器の実際の具体的構成を示
す回路図、第17A図および第17B図は不整合
検出器の別の各種構成要素の実際の具体的構成を
示す回路図、第18図はインクドツト検出器の各
種構成要素の実際の具体的構成を示す回路図、第
19図はインクドツトシーケンサの別の構成要素
の実際の具体的構成を示す回路図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 2つの方向に位置調整可能であり、TVカメ
    ラの視野中にある搬送体上に配置された物体を既
    知の基準位置に対して整合させるのに使用される
    出力信号を発生する装置であつて、ラインラスタ
    フレーム走査により、前記物体の表面および物体
    を取り囲む周囲領域の像を表わす、前記TVカメ
    ラにより発生された電気的ビデオ信号を受けてこ
    れから、前記物体の存在に起因して生じたビデオ
    信号に対しては主として第1信号レベルとなりま
    た前記周囲領域に起因して生じたビデオ信号に対
    しては第2信号レベルとなるデイジタルビデオ信
    号を形成するように接続されたデイジタル化手段
    と、前記物体が前記基準位置に整合されていると
    きの前記物体のビデオ像の相異なる縁に関連づけ
    て画定された位置にあるビデオ像領域に対応しか
    つ前記2つの方向に関連する、複数組のデータ窓
    中のデイジタルビデオ信号を解析する、解析手段
    とを具備し、 前記複数組のデータ窓の各組における複数個の
    データ窓は前記搬送体の対応の変位方向に互いに
    所定距離をもつて相互配置された別個のビデオ像
    領域に対応しており、また、前記解析手段は、各
    データ窓内に第1信号レベルのデイジタル信号が
    発生したことに応答して第1信号レベルのデイジ
    タルビデオ信号がビデオ像の内側から外側にわた
    る連続シーケンス中に存在するようなデータ窓の
    数を前記複数組のデータ窓の各組に対して表示す
    る出力信号を与え、そうすることにより前記物体
    を前記基準位置に対して変位すべき量と方向を直
    接指示する装置。 2 特許請求の範囲第1項において、さらに前記
    搬送体の位置を前記解析手段の出力信号に依存さ
    せた方向と量を調整でき前記物体を前記整合位置
    へ直接移送する手段を具備する、装置。
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