JPS641850U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS641850U JPS641850U JP9435587U JP9435587U JPS641850U JP S641850 U JPS641850 U JP S641850U JP 9435587 U JP9435587 U JP 9435587U JP 9435587 U JP9435587 U JP 9435587U JP S641850 U JPS641850 U JP S641850U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- stirring
- polishing
- holding
- medium fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係る研磨装置の一実施例を示
す縦断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図、
第３図は本実施例による研磨媒介流体の速度分布
を示すグラフ、第４図は本考案の他の実施例を示
す縦断面図、第５図乃至第８図は従来の研磨装置
を示す縦断面図である。 ３……容器、４……研磨媒介流体、５……被研
磨部材、６……保持板、２１，２６……モータ、
２３……撹拌翼、２４……ラツク、２５……ピニ
オン。
す縦断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図、
第３図は本実施例による研磨媒介流体の速度分布
を示すグラフ、第４図は本考案の他の実施例を示
す縦断面図、第５図乃至第８図は従来の研磨装置
を示す縦断面図である。 ３……容器、４……研磨媒介流体、５……被研
磨部材、６……保持板、２１，２６……モータ、
２３……撹拌翼、２４……ラツク、２５……ピニ
オン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 容器内に入れられた研磨媒介流体を該容器
内において回転撹拌する撹拌手段と、被研磨部材
を前記研磨媒介流体中に保持する保持手段とを具
備した研磨装置において、前記撹拌手段を上下方
向に移動させる駆動手段を前記容器の上部に設け
るとともに、前記保持手段を前記容器の外壁内面
に少くとも１個設けたことを特徴とする研磨装置
。 (2) 容器は回転手段により回転可能に支持され
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9435587U JPS641850U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9435587U JPS641850U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS641850U true JPS641850U (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=30957726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9435587U Pending JPS641850U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS641850U (ja) |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP9435587U patent/JPS641850U/ja active Pending