JPS6421380U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6421380U JPS6421380U JP11566787U JP11566787U JPS6421380U JP S6421380 U JPS6421380 U JP S6421380U JP 11566787 U JP11566787 U JP 11566787U JP 11566787 U JP11566787 U JP 11566787U JP S6421380 U JPS6421380 U JP S6421380U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- semiconductor device
- measuring instrument
- characteristic measuring
- contactor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図ａは本考案の第１の実施例を示す平面図
、第１図ｂは同側面図、第２図ａは本考案の電極
構造を示す正面図、第２図ｂは同側面図、第２図
ｃは動作状態を示す図、第３図ａ，ｂは本考案の
第２の実施例を示す図、第４図は従来例を示す平
面図である。 １……半導体装置、２……半導体装置の端子、
３……枠体、４……特性測定器、５……電極、６
……スプリング、７……接触子、８……絶縁体。
、第１図ｂは同側面図、第２図ａは本考案の電極
構造を示す正面図、第２図ｂは同側面図、第２図
ｃは動作状態を示す図、第３図ａ，ｂは本考案の
第２の実施例を示す図、第４図は従来例を示す平
面図である。 １……半導体装置、２……半導体装置の端子、
３……枠体、４……特性測定器、５……電極、６
……スプリング、７……接触子、８……絶縁体。
Claims (1)
- 半導体装置の端子に電気的に接触させる複数の
電極を有する特性測定器において、前記複数の電
極相互間を絶縁して該電極を列状に配置し、かつ
該電極を出没可能に設け、該複数の電極を同一方
向に付勢し、さらに該電極がばね力に抗して後退
する位置に該電極と電気的に接触する特性測定器
の接触子を設けたことを特徴とする半導体装置の
特性測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11566787U JPS6421380U (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11566787U JPS6421380U (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6421380U true JPS6421380U (ja) | 1989-02-02 |
Family
ID=31357531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11566787U Pending JPS6421380U (ja) | 1987-07-28 | 1987-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6421380U (ja) |
-
1987
- 1987-07-28 JP JP11566787U patent/JPS6421380U/ja active Pending