JPS6423029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6423029U JPS6423029U JP11841187U JP11841187U JPS6423029U JP S6423029 U JPS6423029 U JP S6423029U JP 11841187 U JP11841187 U JP 11841187U JP 11841187 U JP11841187 U JP 11841187U JP S6423029 U JPS6423029 U JP S6423029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bus bar
- thin film
- gate
- source
- film transistors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第１図は本考案の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
アレイの一実施例を示す部分平面図、第２図は従
来のＴＦＴアレイを示す部分平面図、第３図は第
１図および第２図の―線断面図、第４図はゲ
ートバスバーとソースバスバーの交差部でのオー
バーエツチを説明する部分平面図である。 １……絶縁基板、２……ゲート電極、３……ゲ
ートバスバー、４……ゲート絶縁膜、５……ａ―
Ｓｉ膜、６……保護絶縁膜、７……ｎ＋―ａ―Ｓ
ｉ膜、８……ソースバスバー、９……ソース電極
、１０……ドレイン電極、１１……絵素電極。
アレイの一実施例を示す部分平面図、第２図は従
来のＴＦＴアレイを示す部分平面図、第３図は第
１図および第２図の―線断面図、第４図はゲ
ートバスバーとソースバスバーの交差部でのオー
バーエツチを説明する部分平面図である。 １……絶縁基板、２……ゲート電極、３……ゲ
ートバスバー、４……ゲート絶縁膜、５……ａ―
Ｓｉ膜、６……保護絶縁膜、７……ｎ＋―ａ―Ｓ
ｉ膜、８……ソースバスバー、９……ソース電極
、１０……ドレイン電極、１１……絵素電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 絶縁基板上にゲート電極、ソース電極およびド
レイン電極を有する薄膜トランジスタと絵素電極
をマトリツクス状に配列してなる薄膜トランジス
タアレイにおいて、 上記各薄膜トランジスタのゲート電極を互いに
連結するゲートバスバーと上記各薄膜トランジス
タのソース電極を互いに連結するソースバスバー
が交差する重畳領域で、上記ゲートバスバーまた
はソースバスバーのいずれか一方の幅を、そのバ
スバーの他の領域における幅よりも広く形成した
ことを特徴とする薄膜トランジスタアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11841187U JPS6423029U (ja) | 1987-07-30 | 1987-07-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11841187U JPS6423029U (ja) | 1987-07-30 | 1987-07-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6423029U true JPS6423029U (ja) | 1989-02-07 |
Family
ID=31362747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11841187U Pending JPS6423029U (ja) | 1987-07-30 | 1987-07-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6423029U (ja) |
-
1987
- 1987-07-30 JP JP11841187U patent/JPS6423029U/ja active Pending
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