JPS6423351U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の実施例を示す一部切欠側
面図、第２図及び第３図は本考案装置の他の実施
例を示す一部切欠側面図、第４図は本考案装置に
適用する被研磨体保持器の実施例を示す縦断面図
、第５図は被研磨体保持器に附帯する被研磨体自
転制御器を示す要部拡大縦断面図、第６図は他の
被研磨体保持器の変形例を示す要部拡大縦断面図
、第７図は回転駆動軸の軸心と被研磨体とのセン
タリングを行なう際の実施例を示す概念図、第８
図は第１図〜線に沿う断面図である。 符号の名称は以下の通りである。１……基台、
２……支持フレーム、３……回転駆動軸、４……
軸承体、５……旋回アーム、６……スライダ、７
……定盤回転器、９……被研磨体、８……定盤、
１０……被研磨体保持器、１０１……スラスト軸
受室、１０２……ばね受室、１０３……スラスト
軸受、１０４……ころがり軸受、１０５……ばね
受座、１０６……ばね固定環、１０７……弾性ば
ね、１０９……球面軸受、１１１……引張コイル
ばね、１１２，１１３……引張コイルばね受体、
１１４……ブレーキパツド、１１６……サーボモ
ータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 支持フレームに枢着された回転駆動軸の軸
   心延長上に、被研磨体の球心点が位置する如く受
   容する回転可としたラツピング用定盤を対設し、
   前記回転駆動軸には当該回転駆動軸の軸心を中心
   として公転する旋回アームを枢着して成る他、当
   該旋回アームには前記回転駆動軸の軸心に対し所
   定角度をもつて交叉する軸心の延長線方向へ進退
   自在とし、また、当該軸心を中心として自転自在
   に被研磨体を保持する被研磨体保持器を取付けて
   なる構成にしたことを特徴とする球面ラツピング
   装置。 (2) 被研磨体保持器は、旋回アームに該アーム
   の長さ方向へ摺動自在にして取付けられている構
   成にした実用新案登録請求の範囲第１項記載の球
   面ラツピング装置。 (3) 被研磨体保持器には、該被研磨体の自転を
   制御する制御器が取付けられている構成を特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項記載の球面ラ
   ツピング装置。