JPS6426147U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426147U JPS6426147U JP1987121970U JP12197087U JPS6426147U JP S6426147 U JPS6426147 U JP S6426147U JP 1987121970 U JP1987121970 U JP 1987121970U JP 12197087 U JP12197087 U JP 12197087U JP S6426147 U JPS6426147 U JP S6426147U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- retaining ring
- guide roller
- center
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
Description
第１図はこの考案の研磨装置のガイドローラ装
置の断面側面図、第２図ガイドローラ装置の平面
図、第３図は研磨装置の部分平面図、第４図は従
来の研磨装置の斜視図を示す。 １０……定盤、１２……ガイドローラ装置、１
４……保持リング、１６……ガイドローラ、１８
……ガイドローラユニツト、２０……アーム、２
２……フレーム、２５……ロータリーアクチユエ
ータ。
置の断面側面図、第２図ガイドローラ装置の平面
図、第３図は研磨装置の部分平面図、第４図は従
来の研磨装置の斜視図を示す。 １０……定盤、１２……ガイドローラ装置、１
４……保持リング、１６……ガイドローラ、１８
……ガイドローラユニツト、２０……アーム、２
２……フレーム、２５……ロータリーアクチユエ
ータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 定盤の中心にセンターローラを配置するととも
に、定盤の周縁近傍に位置するガイドローラを有
するガイドローラ装置を配置し、被加工物を保持
した保持リングを定盤上に載置し、定盤を回転す
ることにより、定盤の所定位置で前記センターロ
ーラとガイドローラとの周面に保持リングが当接
されるとともに、定盤の回転により保持リングを
自転させ被加工物を研磨する研磨装置において、 前記定盤の外方に設けた回転軸を中心として水
平面内で、かつ先端が定盤内上方と定盤外上方と
の間にわたつて回動するアームを設け、該アーム
の先端に前記ガイドローラを設けたことを特徴と
する研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987121970U JPH0426204Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987121970U JPH0426204Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426147U true JPS6426147U (ja) | 1989-02-14 |
| JPH0426204Y2 JPH0426204Y2 (ja) | 1992-06-24 |
Family
ID=31369467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987121970U Expired JPH0426204Y2 (ja) | 1987-08-07 | 1987-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0426204Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6067848U (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-14 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
| JPS6226131U (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-17 |
-
1987
- 1987-08-07 JP JP1987121970U patent/JPH0426204Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6067848U (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-14 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
| JPS6226131U (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426204Y2 (ja) | 1992-06-24 |