JPS6426839U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426839U JPS6426839U JP12275287U JP12275287U JPS6426839U JP S6426839 U JPS6426839 U JP S6426839U JP 12275287 U JP12275287 U JP 12275287U JP 12275287 U JP12275287 U JP 12275287U JP S6426839 U JPS6426839 U JP S6426839U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inkers
- fixing
- inker
- positions
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のインカー固定治具
を示す上面図、第２図ａは本考案の他の実施例の
インカー固定治具を示す上面図、第２図ｂは第２
図図ａの断面図、第３図は従来のインカー固定治
具を示す断面図である。 １……インカー、２……駆動用配線、３……コ
ネクタ、４……固定用基板、４′……インカー台
座、５……誤使用防止ピン、６……プローブカー
ド、７……駆動用信号コネクタ、８……コンタク
トコネクタ、１０……ねじ。
を示す上面図、第２図ａは本考案の他の実施例の
インカー固定治具を示す上面図、第２図ｂは第２
図図ａの断面図、第３図は従来のインカー固定治
具を示す断面図である。 １……インカー、２……駆動用配線、３……コ
ネクタ、４……固定用基板、４′……インカー台
座、５……誤使用防止ピン、６……プローブカー
ド、７……駆動用信号コネクタ、８……コンタク
トコネクタ、１０……ねじ。
Claims (1)
- 半導体ウエハの所定位置に不良マークを付ける
複数のインカーを基板に固定するインカー固定治
具において、前記インカーをそれぞれ駆動する配
線を前記基板に形成し、前記配線が前記インカー
の固定位置に対応して形成されていることを特徴
とするインカー固定治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12275287U JPS6426839U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12275287U JPS6426839U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426839U true JPS6426839U (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=31370975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12275287U Pending JPS6426839U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6426839U (ja) |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP12275287U patent/JPS6426839U/ja active Pending