JPS6430368U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6430368U JPS6430368U JP1987124812U JP12481287U JPS6430368U JP S6430368 U JPS6430368 U JP S6430368U JP 1987124812 U JP1987124812 U JP 1987124812U JP 12481287 U JP12481287 U JP 12481287U JP S6430368 U JPS6430368 U JP S6430368U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melt
- reservoir
- hole
- storage
- lower melt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第1図a〜cはこの考案の融液用塊の製作治具
における融液溜箱の平面図と正面図および側面図
、第2図a〜cはスリツト板の平面図と正面図お
よび側面図、第3図a〜cはスライダーの平面図
と正面図および側面図、第4図a〜cは融液用塊
の製作工程図、第5図は融液用塊の正面図、第6
図a〜cは従来の融液用塊の製作工程図、第7図
は同じく融液用塊の正面図である。 1……融液溜箱、2……スリツト板、3……ス
ライダー、4……上部融液溜、5……下部融液溜
、6……流出孔、7……流入孔、8……排出孔、
11……凹部、15……融液用塊。
における融液溜箱の平面図と正面図および側面図
、第2図a〜cはスリツト板の平面図と正面図お
よび側面図、第3図a〜cはスライダーの平面図
と正面図および側面図、第4図a〜cは融液用塊
の製作工程図、第5図は融液用塊の正面図、第6
図a〜cは従来の融液用塊の製作工程図、第7図
は同じく融液用塊の正面図である。 1……融液溜箱、2……スリツト板、3……ス
ライダー、4……上部融液溜、5……下部融液溜
、6……流出孔、7……流入孔、8……排出孔、
11……凹部、15……融液用塊。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上、下に2段階の融液溜を有し、上部の融液溜
の底部は漏斗状とし、その中心に下部の融液溜の
流入孔と一致する流出孔を設け、下部の融液溜の
底部に排出孔を設けた融液溜箱と、 上、下の融液溜の間にスライド可能で、上部の
融液溜の流出孔と下部の融液溜の流入孔とを連通
させるスリツト板と、 融液溜箱の下でスライド可能で、下部融液溜の
排出孔から流出する融液を受ける凹部を有するス
ライダーと、 から構成したことを特徴とする液相成長法におけ
る融液用塊の製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987124812U JPS6430368U (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987124812U JPS6430368U (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430368U true JPS6430368U (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=31374867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987124812U Pending JPS6430368U (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6430368U (ja) |
-
1987
- 1987-08-18 JP JP1987124812U patent/JPS6430368U/ja active Pending