JPS6430369U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6430369U JPS6430369U JP12526487U JP12526487U JPS6430369U JP S6430369 U JPS6430369 U JP S6430369U JP 12526487 U JP12526487 U JP 12526487U JP 12526487 U JP12526487 U JP 12526487U JP S6430369 U JPS6430369 U JP S6430369U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- pins
- outer periphery
- support section
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案装置の１実施例の部分構成斜視
図、第２図は基板ホルダを装備したホルダ支持部
の中央縦断面図、第３図ａ，ｂは基板を装備した
基板ホルダの側面図と正面図、第４図ａ，ｂはホ
ルダ支持部の部分側面図と正面図、第５図ａ，ｂ
，ｃは成長装置内の基板と分子線源の３種類の配
置図、第６図は従来装置の部分構成図である。 １……基板ホルダ、２……ホルダ支持部、８…
…ピン、１０……Ｌ字状ガイド孔、１０ａ……ピ
ン導入部、１０ｄ……孔端部。
図、第２図は基板ホルダを装備したホルダ支持部
の中央縦断面図、第３図ａ，ｂは基板を装備した
基板ホルダの側面図と正面図、第４図ａ，ｂはホ
ルダ支持部の部分側面図と正面図、第５図ａ，ｂ
，ｃは成長装置内の基板と分子線源の３種類の配
置図、第６図は従来装置の部分構成図である。 １……基板ホルダ、２……ホルダ支持部、８…
…ピン、１０……Ｌ字状ガイド孔、１０ａ……ピ
ン導入部、１０ｄ……孔端部。
Claims (1)
- 基板支持部と外周に該外周から外方に突出する
複数のピンとを有する基板ホルダと、該基板ホル
ダを着脱自在に支持するため、外周部に前記複数
のピンの個々に対応して設けられていて該個々の
ピンの導入を許容する複数のＬ字状ガイド孔を有
するホルダ支持部と、前記基板ホルダを前記ホル
ダ支持部に装着した状態で該ホルダ支持部を回転
させる回転動力源とを備えてなる分子線エピタキ
シヤル結晶成長装置において、前記回転動力源は
前記ガイド孔のピン導入部から該ガイド孔の孔端
部側に向かう方向に前記ホルダ支持部を回転させ
るように構成されていることを特徴とする分子線
エピタキシヤル結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12526487U JPS6430369U (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12526487U JPS6430369U (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430369U true JPS6430369U (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=31375716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12526487U Pending JPS6430369U (ja) | 1987-08-18 | 1987-08-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6430369U (ja) |
-
1987
- 1987-08-18 JP JP12526487U patent/JPS6430369U/ja active Pending