JPS6432520U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6432520U JPS6432520U JP12789387U JP12789387U JPS6432520U JP S6432520 U JPS6432520 U JP S6432520U JP 12789387 U JP12789387 U JP 12789387U JP 12789387 U JP12789387 U JP 12789387U JP S6432520 U JPS6432520 U JP S6432520U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deposited film
- obliquely deposited
- substrate
- vacuum chamber
- observation holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 claims description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
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- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例に係る斜め蒸着膜の
製造装置を示す説明図。第２図は、従来の斜め蒸
着膜の製造装置を示す説明図である。 ５１……観察孔付白色散乱板、５２……ＧＨ型
液晶セル、５３……ケーシング、５４……開孔、
１０５……のぞき窓（透孔）、１０９……反射層
、１２０……斜め蒸着膜。
製造装置を示す説明図。第２図は、従来の斜め蒸
着膜の製造装置を示す説明図である。 ５１……観察孔付白色散乱板、５２……ＧＨ型
液晶セル、５３……ケーシング、５４……開孔、
１０５……のぞき窓（透孔）、１０９……反射層
、１２０……斜め蒸着膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽外に保持され、真空槽内で基板上に
形成される斜め蒸着膜の製造を真空槽に設けられ
た透孔を介して監視する監視装置であつて、 前記基板の法線上に、所定角度傾けて配設され
、反射によつて外部からの白色光を前記基板に照
射する観察孔付反射板と、 前記観察孔付反射板と前記基板との間に介挿さ
れ、斜め蒸着膜の膜面内光軸と４５゜傾けた偏光
軸を有するゲストホスト型液晶セルと、を有し、 前記斜め蒸着膜の背後において反射された前記
照射光の反射光を、前記ＧＨ型液晶セルを介して
前記反射板の観察孔により監察して、斜め蒸着膜
の製造を監視する斜め蒸着膜の製造監視装置。 (2) 前記観察孔付反射板は、観察孔付白色散乱
板である実用新案登録請求の範囲第１項記載の斜
め蒸着膜の製造監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12789387U JPS6432520U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12789387U JPS6432520U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6432520U true JPS6432520U (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=31380732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12789387U Pending JPS6432520U (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6432520U (ja) |
-
1987
- 1987-08-21 JP JP12789387U patent/JPS6432520U/ja active Pending
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