JPS6433565U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6433565U JPS6433565U JP12728087U JP12728087U JPS6433565U JP S6433565 U JPS6433565 U JP S6433565U JP 12728087 U JP12728087 U JP 12728087U JP 12728087 U JP12728087 U JP 12728087U JP S6433565 U JPS6433565 U JP S6433565U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- annular recess
- seal rolls
- recess
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
Description
第1図は本考案装置実施例の縦断正面図、第2
図は同ロール表層要部の断面図、第3図および第
4図は同ロール周面変形状態を示す各説明図、第
5図および第6図に真空シール装置の基本的構造
を示す縦断正面図および側面図、第7図は従来の
弾性体シール方式例の説明図である。 1……真空ケーシング、2……被処理剛板、3
,4……シールロール、5,6……リツプ、7…
…弾性体、8……環状凹部、9……金属板、10
……圧力媒体導入口、S1〜S4……隙間。
図は同ロール表層要部の断面図、第3図および第
4図は同ロール周面変形状態を示す各説明図、第
5図および第6図に真空シール装置の基本的構造
を示す縦断正面図および側面図、第7図は従来の
弾性体シール方式例の説明図である。 1……真空ケーシング、2……被処理剛板、3
,4……シールロール、5,6……リツプ、7…
…弾性体、8……環状凹部、9……金属板、10
……圧力媒体導入口、S1〜S4……隙間。
Claims (1)
- 真空ケーシング内に可回動に軸架した一対のシ
ールロール間に被処理剛板を挟持して出入させる
ものにおいて、前記シールロールの少なくとも一
方のロール周面にその全周に亘る環状凹部を凹設
するとともに該凹部をロール周面となる金属板に
より被覆し、前記環状凹部内に供給される圧力媒
体を介し、前記金属板を変形可能に保持すること
を特徴とする真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12728087U JPS6433565U (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12728087U JPS6433565U (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6433565U true JPS6433565U (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=31379568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12728087U Pending JPS6433565U (ja) | 1987-08-20 | 1987-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6433565U (ja) |
-
1987
- 1987-08-20 JP JP12728087U patent/JPS6433565U/ja active Pending