JPS643360B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS643360B2 JPS643360B2 JP56144396A JP14439681A JPS643360B2 JP S643360 B2 JPS643360 B2 JP S643360B2 JP 56144396 A JP56144396 A JP 56144396A JP 14439681 A JP14439681 A JP 14439681A JP S643360 B2 JPS643360 B2 JP S643360B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- feed
- parallel
- feed screw
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/072—Connecting or disconnecting of bump connectors
- H10W72/07251—Connecting or disconnecting of bump connectors characterised by changes in properties of the bump connectors during connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/20—Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
プリント板等の実装作業に用いるワイヤボンダ
用Ｘ−Ｙテーブルの構造に関し、 特にＸ−Ｙテーブルの厚みの減少、軽量化、移
動抵抗の減少、組立て調整の容易化等を実現した
Ｘ−Ｙテーブルの提供を目的とし、 基板上に平行状態で配置されたＹレール上をＹ
軸方向に移動可能に設けられた２対の平行梁より
成るＹテーブルと、該Ｙテーブルを構成する２対
の平行梁中の１対をＸレールとして用いてＸ軸方
向に移動可能に構成されたＸテーブルと、前記Ｙ
レールと平行する形で、かつその外側に配置され
たＹテーブル駆動用のＹ送りねじと、前記Ｘレー
ルと平行、かつ前記Ｙテーブルを構成する平行梁
とほぼ同じ高さで該平行梁で囲まれる空間内に配
置されたＸテーブル駆動用のＸ送りねじ及びＸ送
りねじ回転駆動用のモータと、前記各送りねじに
それぞれ螺入されてなるテーブル駆動用のＹ送り
ナツトおよびＸ送りナツトと、を具備し、前記Ｙ
テーブルとＸテーブルが、前記各送りナツト側に
設けられた触球と前記各テーブル側に配置された
ブラケツトとより成るＹ係合機構及びＸ係合機構
を介してそれぞれ駆動される構成とする。
用Ｘ−Ｙテーブルの構造に関し、 特にＸ−Ｙテーブルの厚みの減少、軽量化、移
動抵抗の減少、組立て調整の容易化等を実現した
Ｘ−Ｙテーブルの提供を目的とし、 基板上に平行状態で配置されたＹレール上をＹ
軸方向に移動可能に設けられた２対の平行梁より
成るＹテーブルと、該Ｙテーブルを構成する２対
の平行梁中の１対をＸレールとして用いてＸ軸方
向に移動可能に構成されたＸテーブルと、前記Ｙ
レールと平行する形で、かつその外側に配置され
たＹテーブル駆動用のＹ送りねじと、前記Ｘレー
ルと平行、かつ前記Ｙテーブルを構成する平行梁
とほぼ同じ高さで該平行梁で囲まれる空間内に配
置されたＸテーブル駆動用のＸ送りねじ及びＸ送
りねじ回転駆動用のモータと、前記各送りねじに
それぞれ螺入されてなるテーブル駆動用のＹ送り
ナツトおよびＸ送りナツトと、を具備し、前記Ｙ
テーブルとＸテーブルが、前記各送りナツト側に
設けられた触球と前記各テーブル側に配置された
ブラケツトとより成るＹ係合機構及びＸ係合機構
を介してそれぞれ駆動される構成とする。
本発明はプリント板等の実装作業に用いるＸ−
Ｙテーブルの構造に関する。
Ｙテーブルの構造に関する。
従来のワイヤボンダ用Ｘ−Ｙテーブル（以下Ｘ
−Ｙテーブルと呼ぶ）は、基板上に配置された一
対のレール（仮にこれをＹレールと呼ぶ）上にＹ
テーブルを載せ、該Ｙテーブルと前記基板との間
に当該Ｙテーブル駆動用のＹ送りねじを配設し、
さらにＹテーブル上に配置したＸレール上にＸ送
りねじとＸテーブルとを重畳した２段構造になつ
ている。
−Ｙテーブルと呼ぶ）は、基板上に配置された一
対のレール（仮にこれをＹレールと呼ぶ）上にＹ
テーブルを載せ、該Ｙテーブルと前記基板との間
に当該Ｙテーブル駆動用のＹ送りねじを配設し、
さらにＹテーブル上に配置したＸレール上にＸ送
りねじとＸテーブルとを重畳した２段構造になつ
ている。
このように、従来のＸ−Ｙテーブルは、Ｙテー
ブルと基板との間にＹテーブル駆動用のＹ送りね
じを配置し、Ｙテーブル上に配置されたＸテーブ
ル駆動用のＸ送りねじの上にＸテーブルを積み重
ねた所謂２段構造であるため、どうしてもＸ−Ｙ
テーブル全体の厚さが厚くなり、必然的に上層テ
ーブルの高さが高くなる。しかもレールと送りね
じと送りナツトの積み重ね精度を保証する必要
上、前記基板およびＸ、Ｙの各テーブルは剛性に
富んだ大重量品となる傾向があり、このため、こ
れを組み立てるには相当な仕上げ−組立て−調整
工数を必要とするという欠点があつた。
ブルと基板との間にＹテーブル駆動用のＹ送りね
じを配置し、Ｙテーブル上に配置されたＸテーブ
ル駆動用のＸ送りねじの上にＸテーブルを積み重
ねた所謂２段構造であるため、どうしてもＸ−Ｙ
テーブル全体の厚さが厚くなり、必然的に上層テ
ーブルの高さが高くなる。しかもレールと送りね
じと送りナツトの積み重ね精度を保証する必要
上、前記基板およびＸ、Ｙの各テーブルは剛性に
富んだ大重量品となる傾向があり、このため、こ
れを組み立てるには相当な仕上げ−組立て−調整
工数を必要とするという欠点があつた。
本発明は以上の欠点を是正するためになされた
発明であつて、Ｘ−Ｙテーブルの厚みの減少、軽
量化、組立て調整の容易化を図ることを目的とし
て開発されたものである。
発明であつて、Ｘ−Ｙテーブルの厚みの減少、軽
量化、組立て調整の容易化を図ることを目的とし
て開発されたものである。
本発明によるＸ−Ｙテーブルは、第１図と第２
図の実施例図に示すように、基板１上に平行状態
で配置されたＹレール２上をＹ軸方向に移動可能
に設けられた２対の平行梁より成るＹテーブル３
と、該Ｙテーブル３を構成する２対の平行梁中の
一対の平行梁をＸレール５として用いてＸ軸方向
に移動可能に構成されてなるＸテーブル６と、前
記Ｙレール２と平行する形で、かつその外側に配
置されたＹテーブル駆動用のＹ送りねじ８Ｙと、
前記Ｘレール５と平行、かつ前記Ｙテーブル３を
構成する平行梁とほぼ同じ高さで該平行梁で囲ま
れる空間内に配置されたＸテーブル駆動用のＸ送
りねじ８Ｘ、及びＸ送りねじ回転駆動用モータ８
１Ｘと、前記各送りねじ８Ｘ，８Ｙにそれぞれ螺
入されてなるテーブル駆動用のＹ送りナツト９Ｙ
およびＸ送りナツト９Ｘと、を具備してなり、前
記Ｙテーブル３とＸテーブル６が、前記各送りナ
ツト９Ｙ及び９Ｘ上に設けられた触球１０３と、
前記各テーブル３及び６側に配置されたブラケツ
ト１０２とより成るＹ係合機構１０Ｙ及びＸ係合
機構１０Ｘを介してそれぞれ駆動される構成にな
つている。
図の実施例図に示すように、基板１上に平行状態
で配置されたＹレール２上をＹ軸方向に移動可能
に設けられた２対の平行梁より成るＹテーブル３
と、該Ｙテーブル３を構成する２対の平行梁中の
一対の平行梁をＸレール５として用いてＸ軸方向
に移動可能に構成されてなるＸテーブル６と、前
記Ｙレール２と平行する形で、かつその外側に配
置されたＹテーブル駆動用のＹ送りねじ８Ｙと、
前記Ｘレール５と平行、かつ前記Ｙテーブル３を
構成する平行梁とほぼ同じ高さで該平行梁で囲ま
れる空間内に配置されたＸテーブル駆動用のＸ送
りねじ８Ｘ、及びＸ送りねじ回転駆動用モータ８
１Ｘと、前記各送りねじ８Ｘ，８Ｙにそれぞれ螺
入されてなるテーブル駆動用のＹ送りナツト９Ｙ
およびＸ送りナツト９Ｘと、を具備してなり、前
記Ｙテーブル３とＸテーブル６が、前記各送りナ
ツト９Ｙ及び９Ｘ上に設けられた触球１０３と、
前記各テーブル３及び６側に配置されたブラケツ
ト１０２とより成るＹ係合機構１０Ｙ及びＸ係合
機構１０Ｘを介してそれぞれ駆動される構成にな
つている。
このように本発明によるＸ−Ｙテーブルは、Ｙ
テーブルを２対の平行梁によつて形成すると共に
これら２対の平行梁中の一対の平行梁を用いてＸ
テーブルのガイドレールを構成し、さらにＸテー
ブルを駆動するＸ送りねじ８ＸとＸ送りねじ回転
駆動用のＸパルスモータ８１Ｘとを該Ｙテーブル
３内の空間部分に配設した構成になつている。こ
のため、Ｘ−Ｙテーブルが従来のように２段構造
とはならず、従つて上層側のテーブル（この場合
はＸテーブル６を指す）の高さも従来のそれに比
して低くなり、構造的にも簡素化される。また、
Ｙテーブル３については２対の平行梁によつてこ
れを形成したことでＹテーブル内に空間部分が多
くなり、必然的に軽量化が可能となる。
テーブルを２対の平行梁によつて形成すると共に
これら２対の平行梁中の一対の平行梁を用いてＸ
テーブルのガイドレールを構成し、さらにＸテー
ブルを駆動するＸ送りねじ８ＸとＸ送りねじ回転
駆動用のＸパルスモータ８１Ｘとを該Ｙテーブル
３内の空間部分に配設した構成になつている。こ
のため、Ｘ−Ｙテーブルが従来のように２段構造
とはならず、従つて上層側のテーブル（この場合
はＸテーブル６を指す）の高さも従来のそれに比
して低くなり、構造的にも簡素化される。また、
Ｙテーブル３については２対の平行梁によつてこ
れを形成したことでＹテーブル内に空間部分が多
くなり、必然的に軽量化が可能となる。
以下実施例図に基づいて本発明を詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す模式的平面
図、第２図は同じく模式的要部側断面図である。
図、第２図は同じく模式的要部側断面図である。
第１図および第２図に示すように、本発明によ
るＸ−Ｙテーブルは、互いに平行に配置された一
対のＹレール２を装備した基板１と、Ｙガイドロ
ーラ４を介して前記Ｙレール２上をＹ軸方向に移
動可能に設けられた２対の平行梁より成るＹテー
ブル３と、該Ｙテーブル３を構成する２対の平行
梁中の一対の平行梁をＸレール５として用いてＸ
軸方向に移動可能に設けられたＸテーブル６と、
前記Ｙレール２と平行する形で、かつその外側に
配置されたＸテーブル駆動用のＹ送りねじ８Ｙ
と、前記Ｘレール５と平行する形で、かつ前記Ｙ
テーブル３を構成する２対の平行梁で囲まれる空
間内に配置されたＸテーブル駆動用のＸ送りねじ
８Ｘ及びＸ送りねじ回転駆動用のＸパルスモータ
８１Ｘと、前記各送りねじ８Ｙと８Ｘにそれぞれ
螺入されてなるＹテーブル駆動用のＹ送りナツト
９ＹとＸテーブル駆動用のＸ送りナツト９Ｘとを
装備している。図中、７はＸテーブル誘導用のＸ
ガイドローラである。
るＸ−Ｙテーブルは、互いに平行に配置された一
対のＹレール２を装備した基板１と、Ｙガイドロ
ーラ４を介して前記Ｙレール２上をＹ軸方向に移
動可能に設けられた２対の平行梁より成るＹテー
ブル３と、該Ｙテーブル３を構成する２対の平行
梁中の一対の平行梁をＸレール５として用いてＸ
軸方向に移動可能に設けられたＸテーブル６と、
前記Ｙレール２と平行する形で、かつその外側に
配置されたＸテーブル駆動用のＹ送りねじ８Ｙ
と、前記Ｘレール５と平行する形で、かつ前記Ｙ
テーブル３を構成する２対の平行梁で囲まれる空
間内に配置されたＸテーブル駆動用のＸ送りねじ
８Ｘ及びＸ送りねじ回転駆動用のＸパルスモータ
８１Ｘと、前記各送りねじ８Ｙと８Ｘにそれぞれ
螺入されてなるＹテーブル駆動用のＹ送りナツト
９ＹとＸテーブル駆動用のＸ送りナツト９Ｘとを
装備している。図中、７はＸテーブル誘導用のＸ
ガイドローラである。
なお、前記送りナツト９Ｙと９Ｘは、それぞれ
球形の突起部、即ち触球１０３を備え、この触球
１０３を前記Ｙテーブル３、或いはＸテーブル６
側に設けられたブラケツト１０２の矩形角孔１０
１内に係入させることによつてＹテーブル３、或
いはＸテーブル６と機械的に結合されている。ま
た、各矩形角孔１０１は、前記Ｙテーブル３、Ｘ
テーブル６の移動方向にその短辺側が配置され、
移動方向と直交する方向にその長辺側が配置され
た形になつている。従つてこれら各送りナツト９
Ｙ，９Ｘと前記Ｙテーブル３、Ｘテーブル６は、
各テーブル３，６の移動方向に対しては互いに自
由度を有しない形、即ち嵌合状態で結合され、そ
の移動方向と直交する方向に対しては互いに自由
度を有する形、即ち摺動可能な形で結合されてい
る。図中、３１はＹガイドローラ４を装着するた
めの垂直フオーク部、３２と３３はＸパルスモー
タ８１ＸとＸ送りねじ８Ｘとを支持するステイ
材、をそれぞれ示す。
球形の突起部、即ち触球１０３を備え、この触球
１０３を前記Ｙテーブル３、或いはＸテーブル６
側に設けられたブラケツト１０２の矩形角孔１０
１内に係入させることによつてＹテーブル３、或
いはＸテーブル６と機械的に結合されている。ま
た、各矩形角孔１０１は、前記Ｙテーブル３、Ｘ
テーブル６の移動方向にその短辺側が配置され、
移動方向と直交する方向にその長辺側が配置され
た形になつている。従つてこれら各送りナツト９
Ｙ，９Ｘと前記Ｙテーブル３、Ｘテーブル６は、
各テーブル３，６の移動方向に対しては互いに自
由度を有しない形、即ち嵌合状態で結合され、そ
の移動方向と直交する方向に対しては互いに自由
度を有する形、即ち摺動可能な形で結合されてい
る。図中、３１はＹガイドローラ４を装着するた
めの垂直フオーク部、３２と３３はＸパルスモー
タ８１ＸとＸ送りねじ８Ｘとを支持するステイ
材、をそれぞれ示す。
以下本発明によるＸ−Ｙテーブルの構造上の特
徴について述べる。
徴について述べる。
(1) Ｙテーブル３が２対の平行梁より成る方形の
枠型に形成され、これら平行梁中の一対の平行
梁によつてＸレール５が構成されている点。
枠型に形成され、これら平行梁中の一対の平行
梁によつてＸレール５が構成されている点。
(2) Ｙパルスモータ８１Ｙによつて駆動されるＹ
送りねじ８Ｙは、Ｙレール２と平行、かつＹテ
ーブル３の高さを超えない形でその外側に配設
されている点。
送りねじ８Ｙは、Ｙレール２と平行、かつＹテ
ーブル３の高さを超えない形でその外側に配設
されている点。
(3) Ｘパルスモータ８１Ｘ及びこれによつて駆動
されるＸ送りねじ８Ｘは、Ｘレール５と平行、
かつＹテーブル３内の空間部分に配置されてい
る点。
されるＸ送りねじ８Ｘは、Ｘレール５と平行、
かつＹテーブル３内の空間部分に配置されてい
る点。
(4) Ｙテーブル３とＹ送りナツト９Ｙとが、Ｙ送
りナツト９Ｙ側に設けられた触球１０３とＹテ
ーブル３のＹ送りねじ側の端面３４上に配置さ
れたブラケツト１０２とより成るＹ係合機構１
０Ｙによつて結合されている点。
りナツト９Ｙ側に設けられた触球１０３とＹテ
ーブル３のＹ送りねじ側の端面３４上に配置さ
れたブラケツト１０２とより成るＹ係合機構１
０Ｙによつて結合されている点。
(5) 該Ｙ係合機構１０Ｙは、前記触球１０３をＹ
軸方向に対してはこれを自由度を有しない形、
即ち嵌合状態で支持し、Ｘ軸方向に対してはこ
れを自由度を有する形、即ち摺動可能な形で支
持する矩形角孔１０１を装備している点。
軸方向に対してはこれを自由度を有しない形、
即ち嵌合状態で支持し、Ｘ軸方向に対してはこ
れを自由度を有する形、即ち摺動可能な形で支
持する矩形角孔１０１を装備している点。
(6) Ｘテーブル６とＸ送りねじ８Ｘとが、Ｘ送り
ナツト９Ｘ側に設けられた触球１０３とＸテー
ブル６の一部に設けられたブラケツト１０２と
より成るＸ係合機構１０Ｘによつて結合されて
いる点。
ナツト９Ｘ側に設けられた触球１０３とＸテー
ブル６の一部に設けられたブラケツト１０２と
より成るＸ係合機構１０Ｘによつて結合されて
いる点。
(7) 該Ｘ結合機構１０Ｘは、前記触球１０３を、
Ｘ軸方向に対してはこれを自由度を有しない
形、即ち嵌合状態で支持し、Ｙ軸方向に対して
はこれを自由度を有する形、即ち摺動可能な形
で支持する矩形角孔１０１を装備してなる点。
Ｘ軸方向に対してはこれを自由度を有しない
形、即ち嵌合状態で支持し、Ｙ軸方向に対して
はこれを自由度を有する形、即ち摺動可能な形
で支持する矩形角孔１０１を装備してなる点。
このように、本願発明によるＸ−Ｙテーブル
は、下層テーブル側のＹテーブル３とほぼ同一水
平面上にＹ送りねじ８ＹとＸ送りねじ８Ｘとを配
置した平坦構造型である点にその特徴がある。
は、下層テーブル側のＹテーブル３とほぼ同一水
平面上にＹ送りねじ８ＹとＸ送りねじ８Ｘとを配
置した平坦構造型である点にその特徴がある。
以上の説明によつて明らかなように、本発明に
よるＸ−Ｙテーブルは、軽量で厚みが薄いため作
業性が良好で、かつ各送りナツトとテーブルとの
結合に自由度があるために、装置の組立調整作業
が著しく容易化されるといつた優れた工業的効果
がある。
よるＸ−Ｙテーブルは、軽量で厚みが薄いため作
業性が良好で、かつ各送りナツトとテーブルとの
結合に自由度があるために、装置の組立調整作業
が著しく容易化されるといつた優れた工業的効果
がある。
第１図は本発明の一実施例を示す模式的平面
図、第２図は同じく本発明の一実施例を示す模式
的要部側断面図である。 図中、１は基板、２はＹレール、３はＹテーブ
ル、４はＹガイドローラ、５はＸレール、６はＸ
テーブル、７はＸガイドローラ、８ＸはＸ送りね
じ、８ＹはＹ送りねじ、９ＸはＸ送りナツト、９
ＹはＹ送りナツト、１０ＸはＸ係合機構、１０Ｙ
はＹ係合機構、１０１は矩形角孔、１０２はブラ
ケツト、１０３は触球、３１は垂直フオーク部、
３２，３３はステイ材、３４はＹ送りねじ側の端
面、８１ＸはＸパルスモータ、８１ＹはＹパルス
モータ、をそれぞれ示す。
図、第２図は同じく本発明の一実施例を示す模式
的要部側断面図である。 図中、１は基板、２はＹレール、３はＹテーブ
ル、４はＹガイドローラ、５はＸレール、６はＸ
テーブル、７はＸガイドローラ、８ＸはＸ送りね
じ、８ＹはＹ送りねじ、９ＸはＸ送りナツト、９
ＹはＹ送りナツト、１０ＸはＸ係合機構、１０Ｙ
はＹ係合機構、１０１は矩形角孔、１０２はブラ
ケツト、１０３は触球、３１は垂直フオーク部、
３２，３３はステイ材、３４はＹ送りねじ側の端
面、８１ＸはＸパルスモータ、８１ＹはＹパルス
モータ、をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基板１上に平行状態で配置されたＹレール２
上をＹ軸方向に移動可能に設けられた２対の平行
梁より成るＹテーブル３と、 該Ｙテーブル３を構成する２対の平行梁中の一
対の平行梁をＸレール５として用いてＸ軸方向に
移動可能に構成されてなるＸテーブル６と、 前記Ｙレール２と平行する形で、かつその外側
に配置されたＹテーブル駆動用のＹ送りねじ８Ｙ
と、 前記Ｘレール５と平行、かつ前記Ｙテーブル３
を構成する平行梁とほぼ同じ高さで該平行梁で囲
まれる空間内に配置されたＸテーブル駆動用のＸ
送りねじ８Ｘ及びＸ送りねじ回転駆動用のモータ
８１Ｘと、 前記各送りねじ８Ｙ，８Ｘにそれぞれ螺入され
てなるテーブル駆動用のＹ送りナツト９Ｙおよび
Ｘ送りナツト９Ｘと、を具備してなり、 前記Ｙテーブル３とＸテーブル６が、前記各送
りナツト９Ｙ，９Ｘ上に設けられた触球１０３と
前記各テーブル３，６側に配置されたブラケツト
１０２とによつて構成されたＹ係合機構１０Ｙ及
びＸ係合機構１０Ｘを介してそれぞれ駆動される
ようにしたことを特徴とするＸ−Ｙテーブルの構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56144396A JPS5844792A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | Ｘ―ｙテーブルの構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56144396A JPS5844792A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | Ｘ―ｙテーブルの構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5844792A JPS5844792A (ja) | 1983-03-15 |
| JPS643360B2 true JPS643360B2 (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=15361177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56144396A Granted JPS5844792A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | Ｘ―ｙテーブルの構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5844792A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH044462U (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-16 |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP56144396A patent/JPS5844792A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH044462U (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5844792A (ja) | 1983-03-15 |
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