JPS6437635U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6437635U JPS6437635U JP13154987U JP13154987U JPS6437635U JP S6437635 U JPS6437635 U JP S6437635U JP 13154987 U JP13154987 U JP 13154987U JP 13154987 U JP13154987 U JP 13154987U JP S6437635 U JPS6437635 U JP S6437635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- air inlet
- pressure sensor
- inlet hole
- gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の半導体式圧力センサ
の縦断面図、第２図は拡大縦断面図である。 １……ゲージ、２……集積回路、３……ハウジ
ング、４……充填材、５……カバー、６……ゴム
弁、７……大気導入孔。
の縦断面図、第２図は拡大縦断面図である。 １……ゲージ、２……集積回路、３……ハウジ
ング、４……充填材、５……カバー、６……ゴム
弁、７……大気導入孔。
Claims (1)
- 圧力を電気信号に変換するゲージクミと前記ゲ
ージの微小電気信号を増幅する集積回路をハウジ
ングへ接着後、出力特性を調整し、充填材を注入
し、カバーで前記ハウジングを覆う構造の圧力セ
ンサにおいて、前記ハウジングに大気導入孔と大
気導入孔開口部へガス透過性を有するゴム弁を設
けたことを特徴とする半導体式圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13154987U JPS6437635U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13154987U JPS6437635U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437635U true JPS6437635U (ja) | 1989-03-07 |
Family
ID=31387723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13154987U Pending JPS6437635U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6437635U (ja) |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13154987U patent/JPS6437635U/ja active Pending