JPS6438595U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図は第１図の−線拡大断面図、第３図は第
１図の−線拡大断面図、第４図ａ及びｂは夫
々開位置及び閉位置を示す第１図の−線断面
図、第５図及び第６図は夫々被露光部材位置決め
装置の拡大平面図及び正面図、第７図は第５図の
−線断面図、第８図はこの考案を適用し得る
縮小投影露光装置の概略構成図、第９図は従来例
を示す平面図である。 図中、１１は縮小投影露光装置、１２は被露光
部材、１３はＸＹＺステージ、１４は縮小レンズ
、１５はレチクル、１６はレチクル載置台、１７
は光源部、３０は載置台、３１は被露光部材保持
装置、５１は被露光部材位置決め装置、５２は固
定スケール、５２ａは垂直板部、５２ｂは水平板
部、５３は第１の移動スケール、５３ａは摺動部
、５３ｂは案内部、５４は第２の移動スケール、
５４ａは摺動部、５４ｂは位置決め部、５７Ｌ，
５７Ｒは切欠、６０，６１は目盛り、６３は案内
部、７５，７６は目盛り、７７は位置決め部、８
３Ｌ，８３Ｒは固定ボルトである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被露光部材をＸＹ方向に移動自在の移動テ
   ーブルに載置して所定のパターンを露光する露光
   装置において、前記移動テーブルに、当該移動テ
   ーブルの移動方向の何れか一方に沿つて伸び、露
   光中心に対して位置決めされて配設された固定ス
   ケールと、該固定スケールの長手方向に移動可能
   に保持され且つ当該長手方向と直交して前記移動
   テーブル上面に延長した第１の移動スケールと、
   該第１の移動スケールに、その長手方向に移動可
   能に保持され且つ当該長手方向と直交する方向に
   延長する第２の移動スケールとを備えたことを特
   徴とする露光装置における被露光部材位置決め装
   置。 (2) 前記固定スケール及び前記第１の移動スケ
   ールは露光中心からの目盛りを備えている実用新
   案登録請求の範囲第１項記載の露光装置における
   被露光部材位置決め装置。 (3) 前記固定スケールは、移動テーブルの側面
   に着脱自在に配設され外面に露光中心からの目盛
   りを形成した垂直板部と、その上端から外方に延
   長して形成された第１の移動スケールを案内保持
   する案内部と、前記垂直板部に形成された移動テ
   ーブルの上面に係合する係合突条とを備えている
   実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記載の
   露光装置における被露光部材位置決め装置。