JPS6439896U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6439896U JPS6439896U JP13638887U JP13638887U JPS6439896U JP S6439896 U JPS6439896 U JP S6439896U JP 13638887 U JP13638887 U JP 13638887U JP 13638887 U JP13638887 U JP 13638887U JP S6439896 U JPS6439896 U JP S6439896U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sides
- plate
- door
- chamber
- chamber opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Prevention Of Fouling (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の扉４を９０°開いた状
態で示す斜視図、第２図はその扉４をわずかに開
いた状態で示す要部平面図、第３図はその作用説
明図である。第４図は従来の局所排気装置の構造
を示す斜視図、第５図はその作用説明図である。 １…真空チヤンバ、２…チヤンバ開口部、３…
排気室、４…扉、５…ダクト、６…集塵ポート、
３１…上板、３２…下板、４１…整流板。
態で示す斜視図、第２図はその扉４をわずかに開
いた状態で示す要部平面図、第３図はその作用説
明図である。第４図は従来の局所排気装置の構造
を示す斜視図、第５図はその作用説明図である。 １…真空チヤンバ、２…チヤンバ開口部、３…
排気室、４…扉、５…ダクト、６…集塵ポート、
３１…上板、３２…下板、４１…整流板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 扉を備えたチヤンバ開口部に隣接して設け
られ、上記扉を開いた状態でチヤンバ内雰囲気を
局部的に排気する装置であつて、上記チヤンバ開
口部上縁および下縁にそれぞれ第一辺が沿うよう
配設され、かつ、それぞれチヤンバから遠去かる
ほど幅が狭くなるよう、互いに平行でない第二辺
と第三辺を有してなる上板および下板と、上記チ
ヤンバ開口部の一方の側縁に一辺が沿い、かつ、
上記上板および下板の第二辺間を連結するよう配
設された一枚の側板と、上記上板、下板および側
板で囲まれた空間に連通する排気系を備え、上記
上板および下板の第三辺はそれぞれ上記チヤンバ
開口部から鋭角的に突出し、これら第三辺間を結
ぶ面が開口して上記チヤンバ開口部に連通するよ
う構成されていることを特徴とする、局所排気装
置。 (2) 上記側板を、上記チヤンバ開口部の扉の開
成によつて当該扉で兼用するよう構成したことを
特徴とする、実用新案登録請求の範囲第１項記載
の局所排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13638887U JPH0541837Y2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13638887U JPH0541837Y2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439896U true JPS6439896U (ja) | 1989-03-09 |
| JPH0541837Y2 JPH0541837Y2 (ja) | 1993-10-21 |
Family
ID=31396849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13638887U Expired - Lifetime JPH0541837Y2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541837Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-07 JP JP13638887U patent/JPH0541837Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0541837Y2 (ja) | 1993-10-21 |
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