JPS6445633U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6445633U JPS6445633U JP14025787U JP14025787U JPS6445633U JP S6445633 U JPS6445633 U JP S6445633U JP 14025787 U JP14025787 U JP 14025787U JP 14025787 U JP14025787 U JP 14025787U JP S6445633 U JPS6445633 U JP S6445633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- conveyance
- pair
- substrate transfer
- dust removal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
第１図〜第６図は本考案の実施例を示し、第１
図は本考案に係る基板搬送装置を備えて成る基板
処理装置の概要図、第２図は第１図の―線矢
視縦断面図、第３図は基板搬送装置の要部縦断面
図、第４図は第３図の―線矢視縦断面図、第
５図は搬送装置の要部斜視図、第６図は搬送装置
の別実施例を示す要部斜視図、第７図は従来例に
よる搬送装置の要部斜視図である。 ２…水平搬送路、３…基板、４…巻掛搬送帯、
４ａ…送り孔付無端ベルト、４ｂ…チエン、６，
６ａ…支持子、８…転動輪。
図は本考案に係る基板搬送装置を備えて成る基板
処理装置の概要図、第２図は第１図の―線矢
視縦断面図、第３図は基板搬送装置の要部縦断面
図、第４図は第３図の―線矢視縦断面図、第
５図は搬送装置の要部斜視図、第６図は搬送装置
の別実施例を示す要部斜視図、第７図は従来例に
よる搬送装置の要部斜視図である。 ２…水平搬送路、３…基板、４…巻掛搬送帯、
４ａ…送り孔付無端ベルト、４ｂ…チエン、６，
６ａ…支持子、８…転動輪。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 基板処理装置内に設けられ、基板の両側端部
を支持しながら基板を水平搬送するように構成し
た基板搬送装置であつて、 基板の両側端部を支持して搬送する左右一対の
巻掛搬送帯と、上記一対の巻掛搬送帯を巻掛張設
する複数の転動輪と、水平搬送路に沿つて配置し
た転動輪を囲うように設けた除塵チヤンバとを具
備してなり、基板搬送路中の塵埃を除塵チヤンバ
で排除するように構成したことを特徴とする基板
搬送装置。 ２ 巻掛搬送帯が基板の側端部を支持する多数の
支持子を具備して成る実用新案登録請求の範囲第
１項に記載した基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14025787U JPS6445633U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14025787U JPS6445633U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6445633U true JPS6445633U (ja) | 1989-03-20 |
Family
ID=31404261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14025787U Pending JPS6445633U (ja) | 1987-09-14 | 1987-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6445633U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009102085A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 記録装置 |
-
1987
- 1987-09-14 JP JP14025787U patent/JPS6445633U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009102085A (ja) * | 2007-10-19 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 記録装置 |
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