JPS6446949U - - Google Patents
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- JPS6446949U JPS6446949U JP14228087U JP14228087U JPS6446949U JP S6446949 U JPS6446949 U JP S6446949U JP 14228087 U JP14228087 U JP 14228087U JP 14228087 U JP14228087 U JP 14228087U JP S6446949 U JPS6446949 U JP S6446949U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- signal
- scanning
- beam current
- pulsation
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 7
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 claims 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 2
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- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の実施例を示す回路図、第２
図はイオンビーム注入時におけるその走査と表示
との関連を説明するための説明図、第３図はイオ
ンビームの非注入時におけるその偏向と表示との
関連を説明するための説明図である。 １……表示装置、２……Ｘ端子、３……走査信
号、４……Ｙ端子、５……ビーム電流信号、６…
…表示面、７……イオンビーム、１３……コンデ
ンサ、１４……整流器、１５……増幅器、１６…
…輝度調整端子。
図はイオンビーム注入時におけるその走査と表示
との関連を説明するための説明図、第３図はイオ
ンビームの非注入時におけるその偏向と表示との
関連を説明するための説明図である。 １……表示装置、２……Ｘ端子、３……走査信
号、４……Ｙ端子、５……ビーム電流信号、６…
…表示面、７……イオンビーム、１３……コンデ
ンサ、１４……整流器、１５……増幅器、１６…
…輝度調整端子。
Claims (1)
- イオンビーム電流が表示入力信号として与えら
れ、また前記イオンビーム電流の走査周期と同期
する信号が走査信号として与えられ、これによつ
て前記イオンビーム電流の波形を表示する表示面
を備えた陰極線管からなる表示装置と、イオンビ
ームの走査と同期する走査信号の脈動分を抽出す
る抽出手段と、前記抽出手段によつて抽出された
脈動信号を整流し、その整流出力を増幅する増幅
手段と、前記増幅手段からの出力によつて表示装
置の表示面の輝度を、前記脈動信号の振幅が小さ
い程、減少させるように制御する輝度制御手段と
からなるイオン注入装置用ビーム観測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14228087U JPS6446949U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14228087U JPS6446949U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6446949U true JPS6446949U (ja) | 1989-03-23 |
Family
ID=31408093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14228087U Pending JPS6446949U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6446949U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41950E1 (en) | 1993-09-21 | 2010-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Multi-state EEPROM having write-verify control circuit |
-
1987
- 1987-09-16 JP JP14228087U patent/JPS6446949U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41950E1 (en) | 1993-09-21 | 2010-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Multi-state EEPROM having write-verify control circuit |
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