JPS6448054U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6448054U JPS6448054U JP14342187U JP14342187U JPS6448054U JP S6448054 U JPS6448054 U JP S6448054U JP 14342187 U JP14342187 U JP 14342187U JP 14342187 U JP14342187 U JP 14342187U JP S6448054 U JPS6448054 U JP S6448054U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposed portion
- gate electrode
- electrode
- layer
- field effect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
第１図は本考案のＦＥＴの一実施例の要部断面
図、第２図、第３図は第１図に示すＦＥＴの製造
工程中間品の要部断面図、第４図は従来のＦＥＴ
の要部断面図である。 １……半導体基板、２……バツフア層、３……
活性層、５……ソース電極、６……ドレイン電極
、７……ゲート電極、８……表面空乏層、８′…
…深い表面空乏層。
図、第２図、第３図は第１図に示すＦＥＴの製造
工程中間品の要部断面図、第４図は従来のＦＥＴ
の要部断面図である。 １……半導体基板、２……バツフア層、３……
活性層、５……ソース電極、６……ドレイン電極
、７……ゲート電極、８……表面空乏層、８′…
…深い表面空乏層。
Claims (1)
- バツフア層と該バツフア層上の活性層とを有す
る半導体基板の前記活性層上に、ソース電極、ゲ
ート電極、及びドレイン電極を、ソース電極とゲ
ート電極の間及びドレイン電極とゲート電極の間
にそれぞれ露出部を設けて形成し、前記露出部直
下に表面空乏層を備えてなる電界効果トランジス
タにおいて、前記表面空乏層はその深さが前記露
出部の中央部において深く形成されていることを
特徴とする電界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14342187U JPS6448054U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14342187U JPS6448054U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448054U true JPS6448054U (ja) | 1989-03-24 |
Family
ID=31410232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14342187U Pending JPS6448054U (ja) | 1987-09-18 | 1987-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6448054U (ja) |
-
1987
- 1987-09-18 JP JP14342187U patent/JPS6448054U/ja active Pending