JPS6451837U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6451837U JPS6451837U JP14860787U JP14860787U JPS6451837U JP S6451837 U JPS6451837 U JP S6451837U JP 14860787 U JP14860787 U JP 14860787U JP 14860787 U JP14860787 U JP 14860787U JP S6451837 U JPS6451837 U JP S6451837U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- knife edge
- optical disk
- laser beam
- reflector plate
- beam shape
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案のビーム形状測定
装置の一実施例を示す構成図、第３図および第４
図はナイフエツジ法によるビーム形状の測定原理
を示す構成図および波形図である。 １…対物レンズ、１１…サーボ回路、１２…ア
クチユエータ、１３…スピンドルモータ、２…受
光素子、３…ナイフエツジ、４…反射板、４１…
スリツト、４２…ナイフエツジ部。
装置の一実施例を示す構成図、第３図および第４
図はナイフエツジ法によるビーム形状の測定原理
を示す構成図および波形図である。 １…対物レンズ、１１…サーボ回路、１２…ア
クチユエータ、１３…スピンドルモータ、２…受
光素子、３…ナイフエツジ、４…反射板、４１…
スリツト、４２…ナイフエツジ部。
Claims (1)
- 光デイスク検査装置において光デイスクに照射
されるレーザ光のビーム形状をナイフエツジ法に
より測定するようにしたビーム形状測定装置にお
いて、光デイスクを回転させるスピンドルモータ
に取り付け可能な円板よりなりレーザ光が照射さ
れる面にフオーカスサーボがかけられる程度の反
射面を有する反射板と、この反射板にナイフエツ
ジ部を形成するように設けられたスリツトとを具
備し、反射板の表面にフオーカスサーボをかけた
状態でこの反射板を回転させ、前記ナイフエツジ
部にレーザ光の照射位置を横切らせるようにして
なるビーム形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14860787U JPS6451837U (ja) | 1987-09-29 | 1987-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14860787U JPS6451837U (ja) | 1987-09-29 | 1987-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6451837U true JPS6451837U (ja) | 1989-03-30 |
Family
ID=31420079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14860787U Pending JPS6451837U (ja) | 1987-09-29 | 1987-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6451837U (ja) |
-
1987
- 1987-09-29 JP JP14860787U patent/JPS6451837U/ja active Pending