JPS6454043U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6454043U JPS6454043U JP1987149923U JP14992387U JPS6454043U JP S6454043 U JPS6454043 U JP S6454043U JP 1987149923 U JP1987149923 U JP 1987149923U JP 14992387 U JP14992387 U JP 14992387U JP S6454043 U JPS6454043 U JP S6454043U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- frame
- substrate
- frames
- pellicle frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の第１の実施例によるペリクル
の基板への装着時における斜視図、第２図は第１
図のペリクルの基板への装着時における断面図、
第３図は本考案の第２の実施例によるペリクルの
基板への装着時における断面図、第４図および第
５図はそれぞれ本考案の第３及び第４の実施例に
よるペリクルの基板への装着時における部分拡大
断面図である。 １０…ペリクル、１…フオトマスク基板、２及
び２′…ペリクル膜、５及び５′…第１及び第２
のペリクル枠、６…第２のペリクル枠、７及び８
…第１及び第２のペリクル枠、７ａ，８ａ…枠本
体、７ｂ，８ｂ…枠状体、９…接着剤。
の基板への装着時における斜視図、第２図は第１
図のペリクルの基板への装着時における断面図、
第３図は本考案の第２の実施例によるペリクルの
基板への装着時における断面図、第４図および第
５図はそれぞれ本考案の第３及び第４の実施例に
よるペリクルの基板への装着時における部分拡大
断面図である。 １０…ペリクル、１…フオトマスク基板、２及
び２′…ペリクル膜、５及び５′…第１及び第２
のペリクル枠、６…第２のペリクル枠、７及び８
…第１及び第２のペリクル枠、７ａ，８ａ…枠本
体、７ｂ，８ｂ…枠状体、９…接着剤。
Claims (1)
- 第１のペリクル枠と、該第１のペリクル枠の一
端開口面に張設されたペリクル膜とを有し、前記
第１のペリクル枠の他端が基板に接触された状態
で使用されるペリクルにおいて、前記基板を挟ん
で前記第１のペリクル枠と対向する第２のペリク
ル枠を備え、前記第１及び第２のペリクル枠のう
ち少なくとも一方は磁力を有し、かつ前記第１及
び第２のペリクル枠間には前記基板を介して磁気
吸引力が働くことを特徴とするペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987149923U JPS6454043U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987149923U JPS6454043U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6454043U true JPS6454043U (ja) | 1989-04-04 |
Family
ID=31422598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987149923U Pending JPS6454043U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6454043U (ja) |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP1987149923U patent/JPS6454043U/ja active Pending