JPS6457635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6457635U JPS6457635U JP15218787U JP15218787U JPS6457635U JP S6457635 U JPS6457635 U JP S6457635U JP 15218787 U JP15218787 U JP 15218787U JP 15218787 U JP15218787 U JP 15218787U JP S6457635 U JPS6457635 U JP S6457635U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz
- tube
- quartz tube
- covers
- peripheral surface
- Prior art date
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- Pending
Links
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
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Description
第１図は本考案の一実施例に係る炉芯管を適用
した熱処理炉の縦断面図、第２図は各部材の分光
透過率特性図、第３図は従来の熱処理炉の縦断面
図、第４図は従来の熱処理時の温度の時間変化を
示す線図である。 図中、６……炉芯管、６ａ……石英管、６ｂ…
…コーテイング部。
した熱処理炉の縦断面図、第２図は各部材の分光
透過率特性図、第３図は従来の熱処理炉の縦断面
図、第４図は従来の熱処理時の温度の時間変化を
示す線図である。 図中、６……炉芯管、６ａ……石英管、６ｂ…
…コーテイング部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 石英管と、 近赤外線を良好に透過させ且つ石英より熱伝導
率が高い高融点の部材から成り、上記石英管の外
周面を被覆しているコーテイング部とを備えた炉
芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15218787U JPS6457635U (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15218787U JPS6457635U (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6457635U true JPS6457635U (ja) | 1989-04-10 |
Family
ID=31426889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15218787U Pending JPS6457635U (ja) | 1987-10-06 | 1987-10-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6457635U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61266335A (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体製造用炉芯管とその製造方法 |
| JPS6294925A (ja) * | 1985-10-21 | 1987-05-01 | Nec Corp | 熱処理装置 |
-
1987
- 1987-10-06 JP JP15218787U patent/JPS6457635U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61266335A (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体製造用炉芯管とその製造方法 |
| JPS6294925A (ja) * | 1985-10-21 | 1987-05-01 | Nec Corp | 熱処理装置 |