JPS645924B2 - - Google Patents
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- JPS645924B2 JPS645924B2 JP13952084A JP13952084A JPS645924B2 JP S645924 B2 JPS645924 B2 JP S645924B2 JP 13952084 A JP13952084 A JP 13952084A JP 13952084 A JP13952084 A JP 13952084A JP S645924 B2 JPS645924 B2 JP S645924B2
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はベーパトラツプ、さらに詳細には、液
体金属を取扱う諸設備のカバーガス系に用いられ
るベーパトラツプに係り、特に、高いベーパ捕獲
率を要求される液体金属冷却形高速増殖炉の原子
炉カバーガス系に使用して好適なベーパトラツプ
の改良に関するものである。
体金属を取扱う諸設備のカバーガス系に用いられ
るベーパトラツプに係り、特に、高いベーパ捕獲
率を要求される液体金属冷却形高速増殖炉の原子
炉カバーガス系に使用して好適なベーパトラツプ
の改良に関するものである。
ベーパトラツプは、液体金属のカバーガス系に
おけるガス中の液体金属ベーパを捕獲するために
用いられるが、特に、液体金属冷却形高速増殖炉
の原子炉容器内を循環するカバーガス系に設置さ
れるベーパトラツプは、放射化された液体金属ベ
ーパを極力下流側に流さないようにするため、高
いベーパ捕獲率が要求される。
おけるガス中の液体金属ベーパを捕獲するために
用いられるが、特に、液体金属冷却形高速増殖炉
の原子炉容器内を循環するカバーガス系に設置さ
れるベーパトラツプは、放射化された液体金属ベ
ーパを極力下流側に流さないようにするため、高
いベーパ捕獲率が要求される。
第11図ないし第13図に従来形ベーパトラツ
プの構成を示し、第11図は従来形ベーパトラツ
プの全体構成を示す一部縦断面図、第12図は第
11図の平面図、第13図は第11図のB部拡大
図である。
プの構成を示し、第11図は従来形ベーパトラツ
プの全体構成を示す一部縦断面図、第12図は第
11図の平面図、第13図は第11図のB部拡大
図である。
第11図および第12図において、1はトラツ
プ容器、2はトラツプ容器1の蓋、3はベーパト
ラツプ入口ノズル、4はベーパトラツプ出口ノズ
ル、5はトラツプ容器1内を通過するガスの温度
を測定する熱電対ウエル、6はトラツプ容器1の
外周に設置した冷却ガス通過用ジヤケツト、7は
冷却ガス入口ノズル、8は冷却ガス出口ノズルで
ある。第11図および第13図において、9は略
円板状の平織メツシユからなるベーパ捕獲用メツ
シユを示し、ベーパ捕獲用メツシユ9は、吊りロ
ツド10を介し、トラツプ容器1内に多数積層さ
れている。
プ容器、2はトラツプ容器1の蓋、3はベーパト
ラツプ入口ノズル、4はベーパトラツプ出口ノズ
ル、5はトラツプ容器1内を通過するガスの温度
を測定する熱電対ウエル、6はトラツプ容器1の
外周に設置した冷却ガス通過用ジヤケツト、7は
冷却ガス入口ノズル、8は冷却ガス出口ノズルで
ある。第11図および第13図において、9は略
円板状の平織メツシユからなるベーパ捕獲用メツ
シユを示し、ベーパ捕獲用メツシユ9は、吊りロ
ツド10を介し、トラツプ容器1内に多数積層さ
れている。
以上の構成において、液体金属ベーパを含むガ
スは、ベーパトラツプ入口ノズル3からトラツプ
容器1内に入り、容器1内に多数積層されている
ベーパ捕獲用メツシユ9,9…部分を通過した
後、ベーパトラツプ出口ノズル4から出て行く。
一方、液体金属ベーパは、ノズル3から容器1内
に入つたガスがメツシユ9,9…部分を通過する
間に、主として拡散作用によつて、メツシユ素線
に捕獲される。なお、容器1内を通過するガスの
流量は、熱電対ウエル5によつて測定され、この
測定値にもとづいて、ノズル7からジヤケツト6
に供給される冷却ガスの流量が自動的にコントロ
ールされる。
スは、ベーパトラツプ入口ノズル3からトラツプ
容器1内に入り、容器1内に多数積層されている
ベーパ捕獲用メツシユ9,9…部分を通過した
後、ベーパトラツプ出口ノズル4から出て行く。
一方、液体金属ベーパは、ノズル3から容器1内
に入つたガスがメツシユ9,9…部分を通過する
間に、主として拡散作用によつて、メツシユ素線
に捕獲される。なお、容器1内を通過するガスの
流量は、熱電対ウエル5によつて測定され、この
測定値にもとづいて、ノズル7からジヤケツト6
に供給される冷却ガスの流量が自動的にコントロ
ールされる。
従来形ベーパトラツプの構成と作用とは以上の
とおりであり、略円板状のベーパ捕獲用メツシユ
9を、吊りロツド10を介してトラツプ容器1内
に多数積層する構造であつて、この構成によれ
ば、機器の組立・分解を容易におこなうことがで
きるという利点がある。
とおりであり、略円板状のベーパ捕獲用メツシユ
9を、吊りロツド10を介してトラツプ容器1内
に多数積層する構造であつて、この構成によれ
ば、機器の組立・分解を容易におこなうことがで
きるという利点がある。
しかしながら、上記した従来形ベーパトラツプ
にあつては、第11図のベーパトラツプ入口ノズ
ル3からトラツプ容器1内に入つたガスの一部
が、第13図に矢印で示すように、容器1の内壁
とベーパ捕獲用メツシユ9との間の間隙部分から
バイパスしてしまうため、ベーパ捕獲率が低下す
るという難点があつた。
にあつては、第11図のベーパトラツプ入口ノズ
ル3からトラツプ容器1内に入つたガスの一部
が、第13図に矢印で示すように、容器1の内壁
とベーパ捕獲用メツシユ9との間の間隙部分から
バイパスしてしまうため、ベーパ捕獲率が低下す
るという難点があつた。
ここで、トラツプ容器内に入つたガスの一部が
バイパスした場合におけるベーパ捕獲率の低下に
ついて検討してみる。
バイパスした場合におけるベーパ捕獲率の低下に
ついて検討してみる。
いま、ベーパ捕獲率が99%のベーパトラツプ
(ガスがバイパスしていないベーパトラツプ)の
存在を考える。しかして、上記したベーパトラツ
プの内部を通過するガス流量中、その1%が何等
かの理由でバイパスして流れたものとすると、ベ
ーパ捕獲用メツシユによるベーパ捕獲率は約1%
下がり、その結果、ベーパトラツプ出口部分にお
けるベーパの濃度は約2倍となる。したがつて、
ベーパトラツプ下流のベーパ濃度を低く抑えるた
めには、トラツプ容器内におけるガスのバイパス
を阻止することが必要となるが、たとえばトラツ
プ容器の内径が500mmの場合、当該トラツプ容器
の内壁とその内側に位置するベーパ捕獲用メツシ
ユとの間の間隔が1.3mm程度の小間隔でガスのバ
イパス量は既に1%にも達してしまうため、既述
した従来形ベーパトラツプでトラツプ容器内を通
過するガスのバイパスを阻止することは極めて困
難であつた。
(ガスがバイパスしていないベーパトラツプ)の
存在を考える。しかして、上記したベーパトラツ
プの内部を通過するガス流量中、その1%が何等
かの理由でバイパスして流れたものとすると、ベ
ーパ捕獲用メツシユによるベーパ捕獲率は約1%
下がり、その結果、ベーパトラツプ出口部分にお
けるベーパの濃度は約2倍となる。したがつて、
ベーパトラツプ下流のベーパ濃度を低く抑えるた
めには、トラツプ容器内におけるガスのバイパス
を阻止することが必要となるが、たとえばトラツ
プ容器の内径が500mmの場合、当該トラツプ容器
の内壁とその内側に位置するベーパ捕獲用メツシ
ユとの間の間隔が1.3mm程度の小間隔でガスのバ
イパス量は既に1%にも達してしまうため、既述
した従来形ベーパトラツプでトラツプ容器内を通
過するガスのバイパスを阻止することは極めて困
難であつた。
本発明は、以上の点を考慮してなされたもので
あつて、その目的とするところは、ベーパトラツ
プ入口ノズルからトラツプ容器内に入つたガスの
一部が当該トラツプ容器の内壁とベーパ捕獲用メ
ツシユとの間の間隙部分からバイパスするのを簡
単に阻止し、従来よりもベーパ捕獲率を高めるこ
とのできる、改良されたベーパトラツプを提供し
ようとするものである。
あつて、その目的とするところは、ベーパトラツ
プ入口ノズルからトラツプ容器内に入つたガスの
一部が当該トラツプ容器の内壁とベーパ捕獲用メ
ツシユとの間の間隙部分からバイパスするのを簡
単に阻止し、従来よりもベーパ捕獲率を高めるこ
とのできる、改良されたベーパトラツプを提供し
ようとするものである。
上記目的を達成するため、本発明は、トラツプ
容器の内部にベーパ捕獲用メツシユを多数積層状
態に収容する構造のベーパトラツプにおいて、上
記ベーパ捕獲用メツシユの外周に位置して、トラ
ツプ容器の内壁とベーパ捕獲用メツシユとの間の
間隙部分からベーパがバイパスするのを防止する
ベーパバイパス防止用縁金を取り付け、上記各ベ
ーパ捕獲用メツシユの縁金部分を順次密着状態に
重ね合わせるとともに、トラツプ容器内に多数積
層されたベーパ捕獲用メツシユのうち、最下層に
位置するベーパ捕獲用メツシユの縁金を密着支持
するリング状のストツパを、トラツプ容器の内壁
に突設してなることを特徴とするものである。
容器の内部にベーパ捕獲用メツシユを多数積層状
態に収容する構造のベーパトラツプにおいて、上
記ベーパ捕獲用メツシユの外周に位置して、トラ
ツプ容器の内壁とベーパ捕獲用メツシユとの間の
間隙部分からベーパがバイパスするのを防止する
ベーパバイパス防止用縁金を取り付け、上記各ベ
ーパ捕獲用メツシユの縁金部分を順次密着状態に
重ね合わせるとともに、トラツプ容器内に多数積
層されたベーパ捕獲用メツシユのうち、最下層に
位置するベーパ捕獲用メツシユの縁金を密着支持
するリング状のストツパを、トラツプ容器の内壁
に突設してなることを特徴とするものである。
以下、本発明を、第1図ないし第8図の一実施
例にもとづいて詳細に説明すると、第1図はその
全体構成を示す一部縦断面図、第2図は第1図の
平面図、第3図は第1図のA部拡大図、第4図は
ベーパ捕獲用メツシユユニツトの平面図、第5図
は第4図の縦断面図、第6図はベーパ捕獲用メツ
シユユニツトを多数積層して組上固定した状態の
正面図、第7図は第6図の平面図、第8図は第6
図の底面図である。
例にもとづいて詳細に説明すると、第1図はその
全体構成を示す一部縦断面図、第2図は第1図の
平面図、第3図は第1図のA部拡大図、第4図は
ベーパ捕獲用メツシユユニツトの平面図、第5図
は第4図の縦断面図、第6図はベーパ捕獲用メツ
シユユニツトを多数積層して組上固定した状態の
正面図、第7図は第6図の平面図、第8図は第6
図の底面図である。
第1図ないし第3図において、1はトラツプ容
器、2はトラツプ容器1の蓋、3はベーパトラツ
プ入口ノズル、4はベーパトラツプ出口ノズル、
5はトラツプ容器1内を通過するガスの温度を測
定する熱電対ウエル、6はトラツプ容器1の外周
に設置した冷却ガス通過用ジヤケツト、7は冷却
ガス入口ノズル、8は冷却ガス出口ノズル、9′
は後述の構成よりなるベーパ捕獲用メツシユニツ
トを示し、メツシユニツト9′は、吊りロツド1
0を介し、トラツプ容器1内に多数積層されてい
る。
器、2はトラツプ容器1の蓋、3はベーパトラツ
プ入口ノズル、4はベーパトラツプ出口ノズル、
5はトラツプ容器1内を通過するガスの温度を測
定する熱電対ウエル、6はトラツプ容器1の外周
に設置した冷却ガス通過用ジヤケツト、7は冷却
ガス入口ノズル、8は冷却ガス出口ノズル、9′
は後述の構成よりなるベーパ捕獲用メツシユニツ
トを示し、メツシユニツト9′は、吊りロツド1
0を介し、トラツプ容器1内に多数積層されてい
る。
ベーパ捕獲用メツシユユニツト9′のみを取り
出して示す第4図および第5図において、略円板
状の平織メツシユからなるメツシユ部9′aの外
周には、縁金9′bが溶接々続されており、メツ
シユ部9′aの中心には、熱電対ウエル5を通す
穴11が、また縁金9′bには、吊りロツド10
を通す穴12が穿設されている。
出して示す第4図および第5図において、略円板
状の平織メツシユからなるメツシユ部9′aの外
周には、縁金9′bが溶接々続されており、メツ
シユ部9′aの中心には、熱電対ウエル5を通す
穴11が、また縁金9′bには、吊りロツド10
を通す穴12が穿設されている。
上記したベーパ捕獲用メツシユユニツト9′を
多数積層して示す第6図ないし第8図において、
吊りロツド10を介して順次密着状態に重ねられ
たメツシユユニツト9′,9′…は、吊りロツド1
0の上方に位置するフランジ10aとナツト13
とによつて締め付けられている。なお、吊りロツ
ド10を介して多数積層されたベーパ捕獲用メツ
シユユニツト9′,9′…は、第1図に示すよう
に、トラツプ容器1内に収容されるものである
が、容器1内に多数積層されたメツシユユニツト
9′,9′…のうち、最下層に位置するメツシユユ
ニツト9′の縁金9′bは、第3図に示すごとく、
容器1の内壁に突設したリング状のストツパ14
に密着状態に支持されている。
多数積層して示す第6図ないし第8図において、
吊りロツド10を介して順次密着状態に重ねられ
たメツシユユニツト9′,9′…は、吊りロツド1
0の上方に位置するフランジ10aとナツト13
とによつて締め付けられている。なお、吊りロツ
ド10を介して多数積層されたベーパ捕獲用メツ
シユユニツト9′,9′…は、第1図に示すよう
に、トラツプ容器1内に収容されるものである
が、容器1内に多数積層されたメツシユユニツト
9′,9′…のうち、最下層に位置するメツシユユ
ニツト9′の縁金9′bは、第3図に示すごとく、
容器1の内壁に突設したリング状のストツパ14
に密着状態に支持されている。
以上の構成において、液体金属ベーパを含むガ
スは、ベーパトラツプ入口ノズル3からトラツプ
容器1内に入り、容器2内に多数積層されている
ベーパ捕獲用メツシユユニツト9′,9′…部分を
通過した後、ベーパトラツプ出口ノズル4から出
て行く。一方、液体金属ベーパは、ノズル3から
容器1内に入つたガスがベーパ捕獲用メツシユユ
ニツト9′,9′…部分を通過する間に、主として
拡散作用によつて、メツシユ素線に捕獲される。
しかして、本発明においては、ベーパ捕獲用メツ
シユユニツト9′を構成するメツシユ部9′aの外
周に縁金9′bを連設し、上記縁金9′b部分を順
次密着状態に重ねた多数のメツシユユニツト9′,
9′…をトラツプ容器1内に収容するとともに、
容器1内に多数積層されたメツシユユニツト9′,
9′…のうち、最下層に位置するメツシユユニツ
ト9′の縁金9′bを、容器1の内壁に突設したリ
ング状ストツパ14に密着状態に支持せしめたこ
とにより、ベーパトラツプ入口ノズル3から容器
1内に入つたガスの一部が、容器1の内壁とメツ
シユユニツト9′との間の間隙部分からバイパス
するおそれはなく、ベーパトラツプによるベーパ
捕獲率の低下を極力抑えることができる。また、
上記構成よりなる本発明においては、各ベーパ捕
獲用メツシユユニツト9′の縁金9′b部分が当該
メツシユユニツト9′を多数積層した場合にスペ
ーサとして機能し、各メツシユユニツト9′,
9′…間の間隔を等間隔に保つため、従来のよう
に、各ベーパ捕獲用メツシユ間の間隔を等間隔に
保つための部材(図示省略)を新たに必要とする
ものではない。
スは、ベーパトラツプ入口ノズル3からトラツプ
容器1内に入り、容器2内に多数積層されている
ベーパ捕獲用メツシユユニツト9′,9′…部分を
通過した後、ベーパトラツプ出口ノズル4から出
て行く。一方、液体金属ベーパは、ノズル3から
容器1内に入つたガスがベーパ捕獲用メツシユユ
ニツト9′,9′…部分を通過する間に、主として
拡散作用によつて、メツシユ素線に捕獲される。
しかして、本発明においては、ベーパ捕獲用メツ
シユユニツト9′を構成するメツシユ部9′aの外
周に縁金9′bを連設し、上記縁金9′b部分を順
次密着状態に重ねた多数のメツシユユニツト9′,
9′…をトラツプ容器1内に収容するとともに、
容器1内に多数積層されたメツシユユニツト9′,
9′…のうち、最下層に位置するメツシユユニツ
ト9′の縁金9′bを、容器1の内壁に突設したリ
ング状ストツパ14に密着状態に支持せしめたこ
とにより、ベーパトラツプ入口ノズル3から容器
1内に入つたガスの一部が、容器1の内壁とメツ
シユユニツト9′との間の間隙部分からバイパス
するおそれはなく、ベーパトラツプによるベーパ
捕獲率の低下を極力抑えることができる。また、
上記構成よりなる本発明においては、各ベーパ捕
獲用メツシユユニツト9′の縁金9′b部分が当該
メツシユユニツト9′を多数積層した場合にスペ
ーサとして機能し、各メツシユユニツト9′,
9′…間の間隔を等間隔に保つため、従来のよう
に、各ベーパ捕獲用メツシユ間の間隔を等間隔に
保つための部材(図示省略)を新たに必要とする
ものではない。
第9図に本発明ベーパトラツプの他の実施例を
示す。
示す。
第9図の実施例においては、トラツプ容器1の
上方に位置して、当該トラツプ容器1の内側に支
持板15を螺合し、支持板15にボルト16を螺
合したものであつて、ボルト16の下端寄りに
は、吊りロツド10を取り付けた吊りロツド固定
板17が、ばか穴18を介して緩みばめされてお
り、吊りロツド固定板17を緩みばめしたボルト
16には、当該固定板17を挾持する2枚のフラ
ンジ16aおよび16bが溶接々続されている。
また、ボルト16は中空に形成されており、熱電
対ウエル5は、ボルト16の中空部を通つてトラ
ツプ容器1内に臨んでいるものであつて、この構
成によれば、ボルト16の回転に際し、当該ボル
ト16の回転力は吊りロツド固定板17には伝え
られず、固定板17には、上下方向の往復動々作
のみが付与されるため、吊りロツド10を介して
多数積層されているベーパ捕獲用メツシユユニツ
ト(図示省略)のうち、最下層に位置するメツシ
ユユニツトとリング状ストツパ(図示省略)との
密着状態を容易に調整することができる。
上方に位置して、当該トラツプ容器1の内側に支
持板15を螺合し、支持板15にボルト16を螺
合したものであつて、ボルト16の下端寄りに
は、吊りロツド10を取り付けた吊りロツド固定
板17が、ばか穴18を介して緩みばめされてお
り、吊りロツド固定板17を緩みばめしたボルト
16には、当該固定板17を挾持する2枚のフラ
ンジ16aおよび16bが溶接々続されている。
また、ボルト16は中空に形成されており、熱電
対ウエル5は、ボルト16の中空部を通つてトラ
ツプ容器1内に臨んでいるものであつて、この構
成によれば、ボルト16の回転に際し、当該ボル
ト16の回転力は吊りロツド固定板17には伝え
られず、固定板17には、上下方向の往復動々作
のみが付与されるため、吊りロツド10を介して
多数積層されているベーパ捕獲用メツシユユニツ
ト(図示省略)のうち、最下層に位置するメツシ
ユユニツトとリング状ストツパ(図示省略)との
密着状態を容易に調整することができる。
第10図に本発明ベーパトラツプのさらに他の
実施例を示す。
実施例を示す。
第10図の実施例においては、ベーパ捕獲用メ
ツシユユニツト9′の一部を構成する縁金9′bの
断面形状を、メツシユ部9′の接続部方向に向か
つて勾配を付したものであつて、この構成によれ
ば、液体金属が縁金9′bの表面で凝縮した場合
に、その凝縮液滴をメツシユ部9′aの方向に流
下させることができるから、縁金9′b上に液体
金属が溜るのを防止でき、その結果、機器のメン
テナンスに先立つて処理すべき液体金属の量を低
減することができる。
ツシユユニツト9′の一部を構成する縁金9′bの
断面形状を、メツシユ部9′の接続部方向に向か
つて勾配を付したものであつて、この構成によれ
ば、液体金属が縁金9′bの表面で凝縮した場合
に、その凝縮液滴をメツシユ部9′aの方向に流
下させることができるから、縁金9′b上に液体
金属が溜るのを防止でき、その結果、機器のメン
テナンスに先立つて処理すべき液体金属の量を低
減することができる。
以上詳述したように、本発明によれば、ベーパ
トラツプ入口ノズルからトラツプ容器内に入つた
ガスの一部が当該トラツプ容器の内壁とベーパ捕
獲用メツシユとの間の間隙部分からバイパスする
のを簡単に阻止し、従来よりもベーパ捕獲率を高
めることのできる、改良されたベーパトラツプを
得ることができる。
トラツプ入口ノズルからトラツプ容器内に入つた
ガスの一部が当該トラツプ容器の内壁とベーパ捕
獲用メツシユとの間の間隙部分からバイパスする
のを簡単に阻止し、従来よりもベーパ捕獲率を高
めることのできる、改良されたベーパトラツプを
得ることができる。
第1図ないし第8図は本発明に係るベーパトラ
ツプの一実施例を示し、第1図はその全体構成を
示す一部縦断面図、第2図は第1図の平面図、第
3図は第1図のA部拡大図、第4図はペーパ捕獲
用メツシユユニツトの平面図、第5図は第4図の
縦断面図、第6図はベーパ捕獲用メツシユユニツ
トを多数積層して組上固定した状態の正面図、第
7図は第6図の平面図、第8図は第6図の底面
図、第9図は本発明に係るベーパトラツプの他の
実施例を示すトラツプ上部付近の一部縦断面図、
第10図は本発明ベーパトラツプのさらに他の実
施例を示すペーパ捕獲用メツシユユニツトの一部
縦断面図、第11図は従来形ベーパトラツプの全
体構成を示す一部縦断面図、第12図は第11図
の平面図、第13図は第11図のB部拡大図であ
る。 1……トラツプ容器、2……蓋、3……ベーパ
トラツプ入口ノズル、4……ベーパトラツプ出口
ノズル、5……熱電対ウエル、6……冷却ガス通
過用ジヤケツト、7……冷却ガス入口ノズル、8
……冷却ガス出口ノズル、9′……ベーパ捕獲用
メツシユユニツト、9′a……メツシユ部、9′b
……縁金、10……吊りロツド、10a……フラ
ンジ、11……熱電対ウエル通過穴、12……吊
りロツド通過穴、13……ナツト、14……リン
グ状ストツパ、15……支持板、16……ボル
ト、16aおよび16b……フランジ、17……
吊りロツド固定板、18……ばか穴。
ツプの一実施例を示し、第1図はその全体構成を
示す一部縦断面図、第2図は第1図の平面図、第
3図は第1図のA部拡大図、第4図はペーパ捕獲
用メツシユユニツトの平面図、第5図は第4図の
縦断面図、第6図はベーパ捕獲用メツシユユニツ
トを多数積層して組上固定した状態の正面図、第
7図は第6図の平面図、第8図は第6図の底面
図、第9図は本発明に係るベーパトラツプの他の
実施例を示すトラツプ上部付近の一部縦断面図、
第10図は本発明ベーパトラツプのさらに他の実
施例を示すペーパ捕獲用メツシユユニツトの一部
縦断面図、第11図は従来形ベーパトラツプの全
体構成を示す一部縦断面図、第12図は第11図
の平面図、第13図は第11図のB部拡大図であ
る。 1……トラツプ容器、2……蓋、3……ベーパ
トラツプ入口ノズル、4……ベーパトラツプ出口
ノズル、5……熱電対ウエル、6……冷却ガス通
過用ジヤケツト、7……冷却ガス入口ノズル、8
……冷却ガス出口ノズル、9′……ベーパ捕獲用
メツシユユニツト、9′a……メツシユ部、9′b
……縁金、10……吊りロツド、10a……フラ
ンジ、11……熱電対ウエル通過穴、12……吊
りロツド通過穴、13……ナツト、14……リン
グ状ストツパ、15……支持板、16……ボル
ト、16aおよび16b……フランジ、17……
吊りロツド固定板、18……ばか穴。
Claims (1)
- 1 トラツプ容器の内部にベーパ捕獲用メツシユ
を多数積層状態に収容する構造のベーパトラツプ
において、上記ベーパ捕獲用メツシユの外周に位
置して、トラツプ容器の内壁とベーパ捕獲用メツ
シユとの間の間隙部分からベーパがバイパスする
のを防止するベーパバイパス防止用縁金を取り付
け、上記各ベーパ捕獲用メツシユの縁金部分を順
次密着状態に重ね合わせるとともに、トラツプ容
器内に多数積層されたベーパ捕獲用メツシユのう
ち、最下層に位置するベーパ捕獲用メツシユの縁
金を密着支持するリング状のストツパを、トラツ
プ容器の内壁に突設してなることを特徴とするベ
ーパトラツプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13952084A JPS6118401A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | ベ−パトラツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13952084A JPS6118401A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | ベ−パトラツプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118401A JPS6118401A (ja) | 1986-01-27 |
| JPS645924B2 true JPS645924B2 (ja) | 1989-02-01 |
Family
ID=15247198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13952084A Granted JPS6118401A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | ベ−パトラツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6118401A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2913040B2 (ja) * | 1988-08-26 | 1999-06-28 | 東京エレクトロン株式会社 | トラップ装置 |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP13952084A patent/JPS6118401A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6118401A (ja) | 1986-01-27 |
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