JPS647329B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は測定光線路に配置されたビームスプリ
ツターと場合によつては補償板と、第１の反射器
と、第２の反射器と、測定光線を記録するための
検知系とからなる特に宇宙船上の低温装置内の光
線測定用のフーリエ分光器用二光束干渉計に関す
るものである。

周知のように二光束干渉計は正確な長さ測定の
ためにマイケルソン干渉計の形で従来使用されて
おり、その際動かされる鏡の未知の機械的移動距
離が公知の準単色測定光線を用いて干渉計で測定
される。これと逆の測定課題は動かされる鏡の正
確に既知の運動プロフイルにより干渉計の中に導
かれる光源光線についての未知のスペクトル測定
である（フーリエ分光器）。未知の測定光線の分
光分析手段としてのフーリエ分光器は、電子デー
タ処理（EDP）技術の発展としてはじめてコン
ピユータが利用されるようになり、得られた干渉
縞を数値的に評価できた1960年代の初頭に度量衡
学に導入されただけである。フーリエ分光器のた
めに究明すべき光線が二光束干渉計に、例えばマ
イケルソン干渉計に送られ、そこで光線は半透過
性ビームスプリツターにより二光束に分割され
る。この二光束は２つの鏡での反射の後互に重畳
され干渉させられる。両方の鏡の１つは適当な機
械的駆動部により光線方向に動かされ、その際干
渉縞の中央斑点の明暗度変動は動かされる鏡の位
置の函数として記録される。そのようにして得ら
れる信号（干渉像）はエネルギースペクトルのフ
ーリエ変換、すなわち干渉する光線の波長の函数
としての光線強度である。フーリエ分光器は放出
スペクトル並びに吸収スペクトルを記録するため
に使用される。大気外の良好な測定条件の故にマ
イケルソン干渉計は地球大気圏外の放射線測定の
ためにすでに1960年代の終りに宇宙船に搭載して
運ばれた。度量衡学的（測定技術的）には検知信
号が場合によりバツフア記憶され次いでコンピユ
ータで評価さされうるような方法で行なわれてい
る。

干渉像を取り出すために色々な方法が利用され
る。情報技術の走査技術により、干渉縞を単にあ
る正確に限定された鏡位置のみで測定することで
十分である。この位置の選択と調節は測定目標に
依存する。従来の段階的鏡送りの外に、動かされ
る鏡が一定の速度で連続的に移動される方法があ
る。この方法は急速に動かされる測定プラツトフ
オーム上で、又は短い寿命の放射線の測定の為に
有用である。

最近の連続走査型干渉計の特有の走査時間は干
渉像について１秒の程度から数秒迄である。実際
には連続的送りの際にできるだけ一定の送り速度
を得るべきである。もし駆動モーターから可動反
射鏡に伝達される振動ができるだけ回避される
と、僅かのパーセンテージの範囲内での速度変動
が許容できる。可動反射鏡の直線状送り運動は普
通スピンドル又は類似の装置により１つ又は多数
の案内レールに沿つて行なわれる。

上記のように、例えばマイケルソン干渉計にお
ける鏡面の倒れのような鏡案内又は通路に不規則
があることは何れも干渉像の予期しなかつた障害
となる。可動反射鏡の鏡案内の精度に最も度の
技術的要求がある故に、平面鏡の代りにすでに
い特性のある逆反射器が配置され、この逆反射器
は入射光線をこの入射光線が来た方向と同じ方向
に逆反射する。

逆反射器が可動反射器として装備されているフ
ーリエ分光器のための二光束干渉計は多数の形態
で知られている。ここでは単に米国マサチユーセ
ツツベツドフオードL.G.ハンスカムフイールドの
空軍ケンブリツジリサーチ研究所から刊行された
著者ジー・エー・バナツセ（G.A.Vanasse）外に
よる1970年のフーリエ分光器に関する第１回国際
会議の報告書の43頁〜53頁を参照するだけであ
る。

逆反射鏡としては三枚鏡、全反射プリズムとし
て形成されたキユーブコーナー及び反射鏡もしく
はレンズ設計でのキヤツツアイ並びにペンタレフ
レクター及び屋根形プリズムが使用される。

このような逆反射器により旧式マイケルソン干
渉計の平面鏡を簡単に取り替えても、逆反射器の
移動中の逆反射器のいくらかの横移動が干渉像を
乱すので、前記反射器が正確に直線状に動くこと
が要求される。この問題に対抗するためにすでに
反射器の倒れも横ずれにも鈍感である光学系が提
案された。この光学系は静止反射鏡と前記種類の
逆反射鏡の１つ、例えばキヤツツアイとの組合せ
を特徴とする。このような光学系のための一例は
固定反射鏡とキユーブコーナーの組合せ（例えば
1970年マシナリーパブリツシングカンパニー
（The Machinery Publishing Company）刊行
のジエー・ダイソン（J.Dyson）著「測定機器と
しての干渉測定法」92頁参照、又は位置固定鏡と
キヤツツアイの組合せ（例えばジヤーナルスペー
スクラフト（Journal Spacecraft）第９巻第５号
714頁のアール・エー・シンドラー（R.A.
Schindler）の学術論文「汚染物質の遠隔感知用
干渉分光器」参照）からなるテリエン系
（Terrien System）である。

大気中送信の測定のため、将来の宇宙基地波遣
の大気実験のために、目下米国で建設中の二光束
干渉計は機械的に駆動される直線ガイドを有する
完全補償型逆反射鏡として２個のキヤツツアイを
有し、そのためこの駆動部は装置を比較的大き
く、そして重たくし、非常に費用がかかることに
なる。このような装置は、宇宙基地のような大き
な宇宙船における冷却されない環境での普通の測
定には耐えることができるが、小さな宇宙船内で
しかも低温装置の中の低温領域での測定では低温
室内に収納すべき測定器に最も要求される重要な
１つの要請が僅かな重量と小さな寸法並びに固有
の熱発生、非常に僅かなことである。低温装置で
の低温測定を実施するために実験的に非常に費用
がかかることは、測定器の固有の光線が取出すべ
き測定光線を妨害することを避けるために測定用
に非常に弱い光線を必要とするところにある。長
期にわたる宇宙船実験の低温装置の冷却材消費を
出来るだけ僅かに維持するために低温装置系自身
の熱発生が最小に制限されることを考慮しなけれ
ばならない。摺動案内、スピンドル案内等の機械
的案内部材による急速に動かされる部分の摩耗は
したがつて低温環境内で少なくすべきである。こ
のことは当然又逆反射器が宇宙船上での放射線測
定の為に必要とされるような、迅速走査型干渉計
の逆反射鏡の案内のためにも重要である。

したがつて頭初に示した種類のフーリエ分光器
のため、すなわち特に宇宙船上の低温装置内の放
射線測定のための二光束干渉計で、可動反射器ま
たは２つの可動反射器を使用する場合の２つの可
動反射器がその光路に沿つてできるだけ均一にそ
して走査範囲にわたつて少ない摩擦熱で移動する
ようにされた二光束干渉計を作り出すことを本発
明は目的としている。

この課題は本発明によると、第１の反射器が位
置固定鏡であり、そして第２の反射器が傾倒にも
横移動にも鈍感な光学系をなす１つの可動の逆反
射鏡を含み該可動の逆反射鏡が剛性振子に固定さ
れていることを特徴とする二光束干渉計により解
決される。

逆反射器の直線運動と比較して逆反射器の振子
運動において生ずる系の誤差は速度変化に関して
は驚くべきことに無視できる程に低い。色々な干
渉計腕内での光学的移動速度はそれ故所望の均一
な速度からほんの極く僅かはずれるだけである。
この偏差は逆反射器が案内される曲線の曲率に依
存する。この曲率により生ずる実際の光学的移動
速度と理想的一定移動速度との間の系固有の偏差
は実際には直線状ガイドライン上で反射系を直線
状に送る場合に得られる速度差よりも小さい。逆
反射器の通路としての弱く曲げられたガイドライ
ンは、それ故適当な逆反射光学系が使用されると
き、フーリエ分光器にとつては直線状ガイドライ
ンと機能的に等価である。

文献では（Journal of the Optical Society
of America38巻１号、1948年１月のイー・アー
ル・ペツク（E.R.Peck）による論文「分光器設
計における新原理」参照）第２次大戦直後に、特
別の二光束干渉計においてその可変アームの長さ
測定による角度設定のために屋根形プリズム又は
三枚鏡もしくはキユーブコーナーよりなり全プリ
ズムとして形成された逆反射鏡を回転するアーム
により案内することが提案されたに拘わらず、こ
の示唆によつても、ここで始めて提案されるよう
にフーリエ分光器用の二光束干渉計の構造におけ
る運動方法については専門家は示唆しなかつた。
二光束干渉計の構造はこれに対し今日まで、大気
実験のための提案が又示すように、１つ又は複数
の可動逆反射器をそれぞれ直線状に案内すること
に指向していた。

ペツク（Peck）により提案された干渉計にお
いては、干渉像を乱すような環状の反射系路で横
ずれを必然的に生ずる。この障害は準単色光によ
る長さ測定器として使用する際には許容可能であ
るが、フーリエ干渉計では逆反射器の横ずれが干
渉像の中央部に障害を生じるので、広帯域の測定
光線の分光学的評価が最早実験的に不可能であ
る。ペツクの提案からは剛性振子懸架がフーリエ
分光計における逆反射器を移動させることの有利
な可能性を示唆するとは認められなかつた。

１個又は複数の動かされる逆反射器を剛性振子
アーム上で案内し、したがつて直線状運動からの
明白な偏差を意識して受けとることからなる本発
明による解決法は決してフーリエ分光器にとつて
体系的に利点をもたらすものではない。すなわち
新規の干渉計の利点は多分好ましい振子軸受と、
フイールド測定のために有利となりそして代替可
能な費用をもつて宇宙船上での解像度の速走
査測定のため低温装置を使用することを可能にす
る軸受摩擦が少ないこととから生ずる。

振子軸受の摩擦はボールベアリング又は磁気軸
受を使用することにより低く維持されることがで
きて、例えば慣性運転の際10cm／Ｓの光学的大移
動速度においてほぼ10ｍＷだけの熱上昇を生じ、
一方普通の直線状の案内を用いた駆動の際の熱上
昇は上記値の20〜100倍も大きくなる。

本発明の別の形状によると、二光束干渉計は、
第１の反射器が傾倒も横ずれも完全に補償する例
えばテリエ系（Terrien−System）の種類の光学
系の可動の逆反射鏡であるように形成されること
ができ、該光学系は前記可動の逆反射鏡と共に剛
性振子に固定され、その際この剛性振子は二腕状
振子として形成されるのが好都合であり、その腕
は互に直角に延びている。

逆反射器の要素がこのような二重振子干渉計に
おいては振子軸受から同じ間隔で両方の振子腕に
固定されていると、補償光学系の固定反射鏡でさ
えも省略されることができ、それはこの場合両方
の逆反射装置の何れの運動位相での横ずれも正確
に同じであり、斯くして得られる干渉像の分光学
的評価にとつては困難が存在しないからである。

逆反射鏡を有する振子構造が正確に１つの平面
内で揺動することを確実にするような正確な振子
軸受においては、十分に補償する光学系は又ペン
タ反射鏡又はペンタプリズムと静止逆反射平面鏡
との組合せからなる費用のかからぬ部分補償光学
系で代替することができる。

別の幾何学的形態での逆反射器の要素を固定振
子構造に、必要によつては別の変向反射鏡を使用
して分光学的に評価可能な干渉像が検知系によつ
て得られるように配置することができる。

別の個々の部分については図示した本発明の４
つの図に示した実施例について以下に説明する。
以下の説明で干渉計における光学要素のうち入射
光と反射光が同一の方向をとるものを逆反射器と
表現し、またそのうち入射光と反射光が平行な経
路をとるもの（後出の三枚鏡、キユーブコーナー
等）を逆反射鏡を表わすことにする。

第１図にはフーリエ分光器のための本発明に係
る二光束干渉計の略図を示す。その際光線Ｓは補
償板１ａを有するビームスプリツター１により２
つの部分光線Ｓ１とＳ２に分離される。部分光線
Ｓ２は固定鏡２で当然反射され、ビームスプリツ
ター１に戻りそこで検知器５に反射され、一方部
分光線Ｓ１は２枚の平面鏡を交差させて屋根形又
は二辺のキユーブコーナー形状にした逆反射鏡３
に入射し、該逆反射鏡３で部分光線Ｓ２に平行で
横にずれた状態で再び出射する。この部分光線は
逆反射鏡３と鏡４とからなる完全に補償する光学
系Ｔ１の逆反射する固定鏡４でもとに反射し、逆
反射鏡３を再び元の入射位置で出射しそこでビー
ムスプリツター１を通して第１の部分光線Ｓ１と
干渉して光線Ｓ１−２として検知器５に達する。
ビームスプリツター１で反射もしくは透過後に再
び測定光線Ｓに戻り進行する部分光線は測定のた
めには損失となる。

なお、検知器５に到達した干渉光そのものの測
定は、以下の実施例においても同様であるが、従
前のマイケルソン干渉計の場合と同じ方法で測定
される。本発明は干渉光の発生を精度化し後刻
の測定時の外乱を排除する点に主眼を置いている
ものであり、干渉光それ自体の測定部分について
は主題としていないのでそれ以上の説明は省略す
ることとする。

ここでは逆反射鏡３は振子６の剛性腕８の端部
に固定されており、該振子は軸受７のまわりに励
振磁石９ａ，９ｂにより予め与えられる間隙限界
内で揺動することができる。実際に振子６の運動
は、例えば20cmの与えられた振子長さと±1.5゜の
偏向角度に基づいて逆反射鏡３により約１cmの光
路長がカバーされるようにコントロールされる。

ビームスプリツター１は補償板１ａにより普通
のサンドイツチ構造態様で構成されている。励振
磁石９ａ，９ｂは第１図に示されるばねを具備
し、該ばねは振子運動の転向点での振子腕８の上
の磁石板のための弾性的シヨツク吸収装置の役を
なす。

第２図では二重振子干渉計としての第１図の二
光束干渉計の発展が示されており、振子２０は励
振磁石９ａ及び９ｂにより規定される範囲内で軸
受７のまわりを揺動し得る。この振子２０の運動
は２つの励振磁石及び軟鉄心ｘにより制御されて
いる。これらの励振磁石は振子を終速度まで加速
し測定位相の終期に励振電流を供給しその再励振
に伴ない振子に制動力を与える。このような運動
サイクル即ち加速と制御サイクルは各励振磁石で
交互に向きを変えて生起される。二重振子２０の
両方の剛性腕８，１０に２つの完全補償光学系Ｔ
１，Ｔ２の２つの逆反射鏡３，１２が固定されて
いる。振子案内は技術的には非常に簡単であるの
で、又別の干渉計縞の第１図の固定鏡２を類似の
傾倒にも横移動にも鈍感な光学系（十分補償する
光学系）により取り替えることそしてその逆反射
鏡１２を同様に振子構造２０の剛性振子腕１０に
固定することは有利である。第２図から明らかな
ように両方の剛性腕８，１０は互に直角となるよ
うに振子軸受７の位置で固定されており支えアー
ム１１により補強されている。

このように作られた二重振子干渉計は光路長差
を生ぜしめるために共通の回転軸７のまわりに揺
動され、それにより第１干渉計腕の部分光線Ｓ１
の光路長は時計方向の揺れの際に短縮し、一方そ
のとき第２干渉計腕の部分光線Ｓ２の光路長は延
び、振子運動の方向が変る度に路長の短縮と延び
が入れかわる。この方法で振子腕長及び／又は機
械的運動振幅をめる必要性なしに光学的揺動長
は著しく拡大される。そのことから二重振子干渉
計用の好ましい装置寸法が得られる。

ここでは測定光線Ｓは第１図の干渉計の場合と
同様に部分光線Ｓ１とＳ２に分離され、両部分光
線は十分に補償する光学系Ｔ１（逆反射する固定
鏡４と逆反射鏡３の組合せ）もしくはＴ２（逆反
射する固定鏡１３と逆反射鏡１２の組合せ）を通
過後もとの道を反射され新たにビームスプリツタ
ー１を通過した後互に干渉し、干渉した部分光線
Ｓ１−２は干渉像を分光学的に評価するために検
知器５に達する。

ビームスプリツター１のデイメンジヨンを適当
に定めた場合、もしくは二重振子の走査運動が十
分に小さい場合に十分に補正する光学系Ｔ１もし
くはＴ２の逆反射固定鏡４もしくは１３を配置す
ることを省略でき、従つて振子軸受７から同じ間
隔に配置することを同時に考慮するときは単に逆
反射鏡３，１２のみを設けることができる。この
ような対称な構造においては移動運動中の両方の
逆反射鏡の横移動は光学的に十分に正確に相殺さ
れる。

第２図による二重振子干渉計を説明するための例 第２図による対称二重振子干渉計の説明のため
に次の量が適応している。振子腕８，１０の振子
軸受７から逆反射鏡３，１２の固定点までの長さ
＝20cm、二重振子の実施角度振幅＝3.7゜、その際
10cmの光学的昇降が生じる。両方の反射器の運動
のガイドラインが円弧状であるので、光学的移動
速度の系としての相対変化はここでは−10^-3以下
に保たれる。

第３図と第４図にはできるだけ寸法の小さい二
重振子干渉計のための別の２つの実施例が示され
ており、その際同じ構造部分の対応する符号には
第３図ではそれぞれ「′」が第４図で「″」が付さ
れている。

第３図において両方の逆反射鏡３′もしくは１
２′が二重振子構造２０′の単一の剛性振子腕８′
に互に間隔a′で固定され、そして逆反射する固定
鏡４′もしくは１３′と一緒に両方の十分に補償す
る光学系Ｔ１′もしくはＴ２′を形成し、一方第４
図に示される干渉計構造は再び第２図と全く類似
に示されている。

第３図において部分光線Ｓ２′は変向鏡２１′に
より逆反射鏡３′の上に間隔a′で配置された逆反
射鏡１２′に反射され、逆反射する固定鏡１３′で
の反射後同じ光路を再びビームスプリツター１′
に向かい、そこで検知器５′へ反射され、その際
干渉光線Ｓ１−２′は反射される部分光線Ｓ１′と
Ｓ２′の干渉により成り立つ。

光線経路とマイケルソン干渉計の作動態様の従
来の説明により又第４図の二重振子干渉計の作動
態様は直ちに理解可能である。すなわち測定光線
S″はビームスプリツター１″で両方の部分光線Ｓ
１″とＳ２″に分離される。部分光線Ｓ１″は逆反
射鏡３″と逆反射する固定鏡４″を経て同じ光路を
再び戻る。部分光線Ｓ２″はビームスプリツター
１″を通過後距離a″の位置で変向鏡２１″で変向さ
れさらに逆反射鏡１２″を経て逆反射する固定鏡
１３″に反射され、そしてそこからもとの道を逆
戻りしビームスプリツター１″での反射の後反射
された部分光線Ｓ１″と干渉し、干渉光線Ｓ１−
２″として検知器５″に達する。光学的要素の巧み
な配置により、ここでは非常に占有空間を節約し
た二重振子構造２０″が作り出される。支えアー
ム１１″により互に連結されている両方の腕２
２″と２３″は互に直角に延びるのではなく、振子
軸受７″の位置に鈍角で衝合している。

物理的振子の重力により生ずる戻し駆動モーメ
ントを更に十分に下げるために、振子の重心はバ
ランスにより十分に回転中心の近くにもたらされ
なければならない。一般に重力により生ずる速度
変化を僅かの割合に制限するために、約１mmの重
心点位置でバランス精度は十分である。正確な値
は振子長さ、運動振幅すなわち光学的昇降及び走
査時間に依存する。バランスウエイト１４及び付
加アーム１５を装備する、第２図の二重振子干渉
計の略図を第５図に示す。

振子ガイドを運動路が水平にあるように構成す
ると、重力による逆駆動モーメントはなくなる。
一般に平均水準の精度による軸心合せで、この装
置においては速度変化を僅かの割合に制限する上
において十分である。適当なボールベアリングを
使用すると、摩擦熱は急速な走査においてさえも
最小化させることができる。

このような装置の実際の実施例が第６図に示さ
れている。振子軸７は担持体１９の糸１８で垂直
に懸架されている。軸７は第５図による二重振子
干渉計の腕８，１０を担持し、その際バランスウ
エイト１４を担持する付加アーム１５は見えな
い。逆反射鏡３，１２は振子軸７から同じ距離に
配置されている。ボールベアリング１６，１７は
干渉計の摩擦のない動きを達成する。

本発明による別の一腕又は多腕の剛性振子構造
を有する二光束干渉計が実現可能であることは理
解され、当該振子構造は図示されていないが同じ
様な態様で本発明の課題を実現することが了解さ
れる筈である。

宇宙船上での放射線測定のための干渉計の使用
には、尚無重量による自由に移動する運動特性が
特に好ましいことに言及する。バランス調整され
た状態で、しかも特に無重力状態でスムーズに動
く振子軸受に対しては駆動エネルギーの消費が非
常に少なく、このため特に宇宙船内での限定され
たエネルギー供給のもとでの長時間測定にとつて
好都合である。二重振子干渉計のコンパクトな構
造により装置はほんの僅かな場所を必要とするだ
けである。

非常にエネルギーの少ない光線の測定のための
宇宙船上の実験が尚低温環境で実施されるべきで
あると、本発明に係る振子干渉計もしくは二重振
子干渉計がこれらの厳しい要求を熱負荷が十分に
低くして速走査を低温装置の壁を通して機械的
に作動することなく満たすには目下最も簡単で可
能なことである。

最後に本装置は構造が簡単であるので不調節に
対しそては比較に敏感である。このことは日常的
に使用する装置として研究所においてと同様に現
場で干渉計を使用するために基本的に有利である
ことを示す。

振子駆動装置は第１図、第２図の磁石９ａ，９
ｂの略図以外では示されていないが、従来公知の
多くの方式の１つを用いることができる。これは
本発明の要旨ではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は単腕振子を用い、その端部に十分に補
償する光学系の逆反射鏡を固定している本発明に
係る二光束干渉計の略図、第２図は二重振子の両
方の腕に２つの十分に補償する光学系の２つの逆
反射鏡が固定されている二重振子干渉計としての
第１図による二光束干渉計の別の形態を示す図、
第３図は両方の逆反射鏡が１つの剛性振子軸に間
隔をおいて並んで固定されている第２図による二
重振子干渉計の変形の略図、第４図は両方の逆反
射鏡が１つの剛性の振子構造に互に対向し互にあ
る間隔だけずらして固定されている第２図による
二重振子干渉計の別の変形の略図、第５図はバラ
ンスウエイトを有する第２図による二重振子干渉
計の装置の略図、第６図は振子軸が重力場の方向
に延びている第２図による二重振子干渉計の略図
である。 １，１′，１″……ビームスプリツター、１ａ…
…補償板、２……固定鏡、３，３′，３″……逆反
射鏡、４，４′，４″……固定鏡、５，５′，５″…
…検知器、６……振子、７，７′，７″……軸受、
８，８′……腕、９ａ，９ｂ……励振磁石、１０
……腕、１１……支えアーム、１２，１２′，１
２″……逆反射鏡、１３，１３′，１３″……固定
鏡、１４……バランスウエイト、１５……補助ア
ーム、１６，１７……ボールベアリング、１８…
…糸、１９……担持体、２０，２０′，２０″……
二重振子、２１′……変向鏡、Ｔ１，Ｔ１′，Ｔ
１″，Ｔ２，Ｔ２′，Ｔ２″……完全補償光学系、
Ｓ１，Ｓ１′，Ｓ１″，Ｓ２，Ｓ２′，Ｓ２″……部
分光線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ビームスプリツター、第１の反射器、第２の
   反射器、検知器および少なくとも前記第２の反射
   器を移動させる駆動系、を備えたフーリエ分光器
   用二光束干渉計において、前記第２の反射器は、
   静止した平面鏡と逆反射鏡とからなる逆反射器で
   あつて、前記逆反射鏡は、単一平面内を揺動する
   ように回転自在に設置してなる剛性振子の腕に回
   転中心から離して設けられており、さらに、前記
   駆動系は前記剛性振子を揺動させるものである、
   ことを特徴とするフーリエ分光器用二光束干渉
   計。 ２ 特許請求の範囲１記載のフーリエ分光器用二
   光束干渉計において、前記第１の反射器が前記第
   ２の反射器と事実上同一の構造を有し、かつ、前
   記第１の反射器の逆反射鏡も前記剛性振子に固設
   して成ることを特徴とするフーリエ分光器用二光
   束干渉計。 ３ 特許請求の範囲２記載のフーリエ分光器用二
   光束干渉計において、前記第１および第２の反射
   器の逆反射鏡は二腕状剛性振子の直交した腕に個
   別に固設されてなることを特徴とするフーリエ分
   光器用二光束干渉計。 ４ 特許請求の範囲３記載のフーリエ分光器用二
   光束干渉計において、前記第１および第２の反射
   器の逆反射鏡は前記剛性振子の回転中心から等距
   離の部位で前記振子の腕に固設してなることを特
   徴とするフーリエ分光器用二光束干渉計。 ５ 特許請求の範囲２ないし４のいずれか一に記
   載のフーリエ分光器用二光束干渉計において、前
   記第１および第２の反射器の逆反射鏡が三枚鏡、
   キユーブコーナー、または反射体もしくはレンズ
   で構成されたキヤツツアイであることを特徴とす
   るフーリエ分光器用二光束干渉計。 ６ 特許請求の範囲２記載のフーリエ分光器用二
   光束干渉計において、前記第１および第２の反射
   器の逆反射鏡が剛性振子の単一の腕に固設され、
   かつ、前記逆反射鏡に対向して前記ふく射線を指
   向させる変向鏡を設置してなることを特徴とする
   フーリエ分光器用二光束干渉計。 ７ 特許請求の範囲２記載のフーリエ分光器用二
   光束干渉計において、前記第１、第２の反射器の
   逆反射鏡が剛性振子構造体の腕どうしのなす角度
   を二分する中心平面を向き、かつ前記剛性振子の
   回転中心から異なつた距離で前記腕に固設せしめ
   られており、さらに変向鏡を前記第２の反射器の
   逆反射鏡に対しふく射線ビームの一部を指向せし
   めるために配置してなることを特徴とするフーリ
   エ分光器用二光束干渉計。 ８ 特許請求の範囲１ないし７のいずれか一に記
   載のフーリエ分光器用二光束干渉計において、前
   記剛性振子の重心がその回転中心に一致するよう
   にバランスウエイトを取付けた補助腕を有してな
   ることを特徴とするフーリエ分光器用二光束干渉
   計。 ９ 特許請求の範囲８記載のフーリエ分光器用二
   光束干渉計において、前記剛性振子の回転軸線が
   鉛直に向いており、糸で支持体に固定されている
   と共にボールベアリングに軸支されてなることを
   特徴とするフーリエ分光器用二光束干渉計。 １０ 特許請求の範囲４記載のフーリエ分光器用
   二光束干渉計において、前記第１および第２の反
   射器の逆反射器は三枚鏡、全プリズムとしての屋
   根形プリズム、または鏡もしくはレンズで構成さ
   れたキヤツツアイからなり、かつ前記第１および
   第２の反射器の逆反射器を補償するための逆反射
   固定鏡を省略してなることを特徴とするフーリエ
   分光器用二光束干渉計。