JPS647937U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は弾性流体回転装置の原理図、
第３図は真空内３軸制御装置の全体図、第４図は
第３図の―矢視図、第５図は第３図の―
矢視図、第６図は第５図の―矢視図である。 １……永久磁石、２……磁極片、３……磁性流
体、４……回転軸、１３……ハウジング、１４…
…ベアリング、２１……磁性流体回転装置、２２
……特殊軸、２８……歯車、２９……ケース、３
０……歯車、３１……歯車、３２……歯車、３３
……歯車、３４……歯車、３５……歯車、２３…
…磁性流体回転装置、２４……磁性流体回転装置
、２５……ネジ継手、２６……駆動軸、２７……
従動軸、３６……歯車、３７……上下用モータ、
３８……２軸用モータ、３９……回転用モータ、
４０……歯車、４１……ガイド棒、４２……バネ
、４３……ベアリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空容器内と大気側を接続する回転軸の密封機
   構に磁性流体回転装置を設け、この磁性流体回転
   装置の特殊軸にネジ込型の磁性流体回転装置を２
   個取付け、その内１つは２軸回転用で歯車を介し
   て特殊軸内のケースに保持されている駆動軸にモ
   ータ駆動で回転を与え、さらに歯車を介して従動
   軸にも回転を伝達し、２軸が同時に回転する機構
   とし、もう一方のネジ込型の磁性流体回転装置に
   ネジ継手を継ぎ、モータ駆動によりガイド棒で廻
   り止めされたケースを２軸回転機構と共に上下動
   作させ、２軸回転機構と上下動作機構を取付けて
   ある磁性流体回転装置の特殊軸に歯車を取付け別
   置のモータ駆動で歯車を介して回転させる真空内
   ３軸制御装置。