JPS648735U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS648735U JPS648735U JP10148287U JP10148287U JPS648735U JP S648735 U JPS648735 U JP S648735U JP 10148287 U JP10148287 U JP 10148287U JP 10148287 U JP10148287 U JP 10148287U JP S648735 U JPS648735 U JP S648735U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marking
- wafer
- ink
- marker
- detector
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案ウエハ検査装置の概略的構成を
示す側面図である。 １……ウエハ、２……ウエハ支持台、３……マ
ーカ、４……インクマーキング、９……検出器、
１０……反射型フオトカプラ。
示す側面図である。 １……ウエハ、２……ウエハ支持台、３……マ
ーカ、４……インクマーキング、９……検出器、
１０……反射型フオトカプラ。
Claims (1)
- ウエハ支持台上のウエハの各チツプを検査し、
不良品チツプにインクマーキングを行なうウエハ
検査装置であつて、上記インクマーキングを行な
うマーカに当該マーキングを光学的に検出する検
出器を関連付けたことを特徴としたウエハ検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10148287U JPS648735U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10148287U JPS648735U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS648735U true JPS648735U (ja) | 1989-01-18 |
Family
ID=31330519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10148287U Pending JPS648735U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS648735U (ja) |
-
1987
- 1987-07-01 JP JP10148287U patent/JPS648735U/ja active Pending