KR100856145B1 - 진공 챔버 및 진공 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

분할 구조를 사용하면서 진공 용기로서의 강도를 확보할 수 있는 진공 챔버 및 해당 진공 챔버를 구비한 진공 처리 장치를 제공한다. 여기서 진공 챔버인 반송 챔버(20)는, 직사각형으로 형성된 주 프레임체(201)와, 상기 주 프레임체(201)의 긴 변의 대향하는 부분에 접합되는 한쌍의 보강 프레임체(202a, 202b)와, 주 프레임체(201)의 상면에 착탈 가능하게 접합되는 천판(203)과, 도시하지 않은 반송 기구를 구비하고, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)는, 일체로 기판(S)을 반송하는 반송 공간을 형성한다.

Description

진공 챔버 및 진공 처리 장치{VACUUM CHAMBER AND VACUUM PROCESSING APPARATUS}
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 진공 처리 장치의 개요를 도시하는 사시도,
도 2는 도 1의 진공 처리 장치의 수평 단면도,
도 3은 반송 챔버의 외관 구성을 도시한 도면,
도 4는 반송 챔버의 분해 사시도,
도 5는 반송 챔버를 저면측에서 본 사시도,
도 6은 주 프레임체의 요점부 사시도,
도 7은 주 프레임체에 L자형 보강구 및 연결 보강판을 장착한 상태를 도시하는 요점부 단면도,
도 8은 보강 프레임체의 단면도.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
1 : 진공 처리 장치 10a, 10b, 10c : 프로세스 챔버
20 : 반송 챔버 30 : 로드록실
31, 32 : 버퍼 50 : 반송 기구
201 : 주 프레임체 202a, 202b : 보강 프레임체
203 : 천판 204 : 바닥판
205 : 상부 개구 210a, 210b : 측부 개구
211, 212, 213 : 반송용 개구 214 : 개구
215 : 반송용 개구 216 : 유지 보수용 개구
217 : 문 221 : L자형 보강구
222 : 리브 223 : 바닥부 보강재
224a, 224b : 연결 보강판
본 발명은, 진공 챔버 및 진공 처리 장치에 관한 것으로, 상세하게는 평판 표시장치(FPD) 등의 제조 과정에 있어서, 유리 기판 등의 피 처리 기판의 처리에 사용되는 진공 챔버 및 진공 처리 장치에 관한 것이다.
FPD의 제조 과정에서는, 한변의 길이가 2m를 초과하는 사각형의 대형 유리 기판을 처리 챔버내에 수용하고, 진공 상태에서 에칭이나 애싱, 성막 등의 처리가 행하여진다. 최근에는, 유리 기판의 대형화에 따라 처리 챔버 자체도 대형화하고 있다. 특히, 대형 유리 기판에 대하여 진공 상태로 처리를 실행하는 진공 챔버에 있어서는, 알루미늄 등의 금속제 처리 챔버의 내부를 진공으로 한 상태에서 대기압 에 견딜 수 있을 만큼 충분한 강성을 확보할 필요가 있다. 이 때문에, 종래의 일체형 구조의 처리 챔버에서는, 챔버 벽을 충분히 두껍게 하지 않으면 안 되었으며, 중량의 증대를 야기하는 동시에, 대형 기계에 의한 가공이 필요하게 되므로 제조 비용이 증대하는 문제에 부딪혔다.
또한, 처리 챔버가 소정의 사이즈를 초과하여 대형화하면, 그 운반에 법령상의 제약이 생기거나, 경비가 증대하는 문제도 있다. 또한, 진공 챔버의 구성 부재에 얇은 판자를 사용하여 경량화를 도모하는 것도 고려되지만, 이 경우 진공에 견딜 수 있는 강성을 유지하는 것이 곤란하다.
따라서, 진공 챔버에 관한 종래의 일례로서, 진공 챔버를 설치한 후에도, 그 형상이나 크기를 용이하게 변경할 수 있게 하기 위해서, 다각 형상으로 형성된 프레임 형상의 본체와, 그 측면에 분리 가능하게 접합되는 측면 프레임과, 상판과, 바닥판에 분할 가능하게 구성된 진공 챔버가 제안된다(예컨대, 특허 문헌 1).
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제 2004-335743 호 공보(도 2 등)
상기 특허 문헌 1의 분할 구조의 진공 챔버의 경우, 상면에 큰 개구부를 갖기 때문에, 개구부 주위의 강도가 부족하고, 진공 챔버로서의 강성을 확보하기 어렵다. 그러나, 특허 문헌 1에서는, 진공 챔버로서의 강성의 확보에 대해서는 전혀 고려되지 않고 있다.
본 발명은, 상기 실정에 비추어 이루어진 것으로서, 분할 구조를 채택하면서 진공 용기로서의 강도를 확보할 수 있는 진공 챔버 및 해당 진공 챔버를 구비한 진공 처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제 1 관점은, 다각 형상으로 형성되어, 바닥부를 이루는 바닥판을 갖고, 해당 바닥판에 대향하는 상면이 개구된 주 프레임체와, 상기 주 프레임체의 대향하는 측부에 각각 접합되는 적어도 한쌍의 보강 프레임체와, 상기 주 프레임체의 상부에 착탈 가능하게 접합되는 천판을 구비하고, 상기 주 프레임체와 상기 보강 프레임체가 접합되어, 일체로 피 처리 기판을 수용하는 공간을 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버를 제공한다.
또한, 본 발명의 제 2 관점은, 다각 형상으로 형성되어, 바닥부를 이루는 바닥판을 갖고, 해당 바닥판에 대향하는 상면이 개구된 주 프레임체와, 상기 주 프레임체의 대향하는 측부에 각각 접합되는 적어도 한쌍의 보강 프레임체와, 상기 주 프레임체의 상부에 착탈 가능하게 접합되는 천판을 구비하고, 상기 주 프레임체와 상기 보강 프레임체를 접합함으로써 내 진공강도를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버를 제공한다.
상기 제 1 관점 및 제 2 관점에 의하면, 보강 프레임체를 주 프레임체와 접합함으로써, 상면에 개구를 갖고, 강성을 유지하기 어려운 주 프레임체의 내 진공강도를 향상시키는 것이 가능하게 된다. 즉, 보강 프레임체는 주 프레임체의 측부에 접합되어 보강용 부재로서 기능하므로, 진공 챔버에 전체로서 충분한 내 진공강도를 갖게 할 수 있다.
상기 제 1 관점 및 제 2 관점에 있어서, 상기 주 프레임체의 측부와, 상기 보강 프레임체의 측부에는, 각각 측부 개구가 형성되어, 해당 측부 개구를 거쳐서 상기 주 프레임체의 내부와 상기 보강 프레임체의 내부가 연통하고, 피 처리 기판을 수용하는 공간을 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 보강 프레임체의 외벽면에, 외부 보강 부재를 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 보강 프레임체의 외벽면에, 외부 보강 부재를 배치하여 강성을 유지하도록 구성되므로, 보강 프레임체를 구성하는 판재의 두께를 얇게 하고, 경량화를 도모하는 것이 가능하게 된다.
또한, 상기 외부 보강 부재로서, 상기 외벽면에 대하여 수직한 리브를 격자형상으로 입설하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 리브를 상기 보강 프레임체의 상하에 대향하는 벽의 외벽면에 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 주 프레임체의 내벽면에, 내부 보강 부재를 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 주 프레임체의 내주면에 내부 보강 부재를 배치해서 강성을 높이는 구성을 취함으로써, 주 프레임체를 구성하는 판재의 두께를 얇게 하여 경량화를 도모하더라도, 고진공 상태에서 주 프레임체에 편차가 발생하는 것을 회피할 수 있다. 또한, 주 프레임체 상부의 개구의 확대를 도모하더라도, 고진공 상태에서 주 프레임체에 편차가 발생하는 것을 회피할 수 있으므로, 주 프레임체내에 설치되는 반송 장치의 유지 보수성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 내부 보강 부재는, 상기 주 프레임체의 상단 근방에 있어서 상기개구의 내측을 향해서 돌출 설치된 플랜지와 상기 주 프레임체의 벽면에 접합되는 단면 L자형의 보강 부재인 것이 바람직하다. 또한, 상기 천판은 상기 플랜지의 상면에 위치하여 접합되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 주 프레임체와 상기 보강 프레임체를 접합하는 연결판을 구비하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 연결판은 상기 주 프레임체의 상단과, 상기 보강 프레임체의 상단을 접합하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 바닥판의 외벽면에, 바닥부 보강 부재를 배치하는 것이 바람직하다. 이로써, 주 프레임체의 바닥판의 판두께를 얇게 하더라도 필요한 강성을 확보할 수 있게 되고, 진공 챔버 전체의 경량화를 도모하는 것이 가능하게 된다.
또한, 상기 진공 챔버는, 그 내부에 피 처리 기판을 진공 상태에서 반송하는 반송 장치를 구비한 반송 챔버인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 주 프레임체의 대향하는 한쌍의 측벽에, 피 처리 기판을 반입 및 반출하는 반입 및 반출용 개구를 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 보강 프레임체의 측벽에, 피 처리 기판을 반입 및 반출하는 반입 및 반출용 개구를 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 보강 프레임체의 측부에, 유지 보수용 개구를 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 상기피 처리 기판이 평판 표시장치용 기판인 것이 바람직하다.
본 발명의 제 3 관점은, 상기 제 1 관점 또는 제 2 관점의 진공 챔버와, 상기 진공 챔버에 연결되어, 피 처리 기판의 처리를 실행하는 복수의 진공 처리실을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치를 제공한다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 형태에 대해서 설명한다. 여 기에서는, FPD용 유리 기판(이하, 간단히「기판」이라고 함; S)에 대하여 에칭 처리를 실행하기 위한 멀티 챔버 타입의 진공 처리 장치를 예를 들어서 설명한다. 여기에서, FPD로서는, 액정 모니터(LCD), 발광 다이오드 디스플레이(LED), 전자 발광(ElectroLuminescence; EL) 디스플레이, 형광 표시관(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)등이 예시된다.
도 1은 진공 처리 장치의 개관을 도시하는 사시도이고, 도 2는 그 내부를 도시하는 수평 단면도이다. 또한, 도 1 및 도 2에서는 세부적인 것은 도시를 생략하고 있다. 이 진공 처리 장치(1)는, 그 중앙부에 반송 챔버(20)와 로드록실(30)이 이어져 있다. 반송 챔버(20)의 주위에는, 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)가 배치되어 있다. 이렇게, 진공 처리 장치(1)는 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)를 갖고 있기 때문에, 예컨대, 그 중에 2개의 프로세스 챔버를 에칭 처리실로서 구성하고, 나머지의 1개의 프로세스 챔버를 애싱 처리실로서 구성하거나, 3개의 프로세스 챔버 모두를 동일한 처리를 실행하는 에칭 처리실이나, 애싱 처리실로서 구성할 수 있다. 또한, 프로세스 챔버의 수는 3개에 한정하지 않고, 반송 챔버(20)의 주위에, 예를 들면 2개 또는 4개 이상일 수도 있다.
반송 챔버(20)와 로드록실(30) 사이, 반송 챔버(20)와 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이, 및 로드록실(30)과 외측의 대기분위기를 연통하는 개구부에는, 이들 사이를 기밀하게 밀봉하고, 또한 개폐 가능하게 구성된 게이트 밸브(22)가 각각 개재되어 있다.
로드록실(30)의 외측에는, 2개의 카세트 인덱서(41)가 설치되어 있으며, 그 위에 각각 기판(S)을 수용하는 카세트(40)가 탑재되어 있다. 이들 카세트(40)의 한쪽에는, 예를 들면 미 처리 기판을 수용하고, 다른 쪽에는 처리 완료 기판을 수용할 수 있다. 이들 카세트(40)는, 승강 기구(42)에 의해 승강 가능하게 된다.
이들 2개의 카세트(40) 사이에는, 지지대(44) 위로 기판 반송 수단(43)이 설치되어 있고, 이 기판 반송 수단(43)은 상하 2단에 설치된 아암(45, 46) 및 이들을 일체로 진출 퇴피 및 회전 가능하게 지지하는 베이스(47)를 구비하고 있다.
아암(45, 46)위로는 기판(S)을 지지하는 4개의 돌기(48)가 형성되어 있다. 돌기(48)는 마찰계수가 높은 합성 고무제의 탄성체로 이루어지고, 기판 지지중에 기판(S)이 어긋나거나 낙하하는 것을 방지한다.
상기 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)는, 그 내부 공간이 소정의 감압 분위기로 유지될 수 있어서, 그 내부에서 예를 들면 플라즈마 에칭 등의 처리가 실행된다. 또한, 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)의 기본적인 구성은 대략 동일하다.
반송 챔버(20)는, 분할 구조를 갖고 있으며, 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)와 같이 소정의 감압 분위기로 유지할 수 있다. 또한, 반송 챔버(20)의 상세한 구조에 대해서는 후술한다.
반송 챔버(20)의 내부에는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 기구(50)가 배설되어 있다. 그리고, 이 반송 기구(50)에 의해, 로드록실(30) 및 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이에서 기판(S)이 반송된다. 반송 기구(50)는, 베이스(51)의 일단에 설치되고, 베이스(51)에 회동 가능하게 설치된 제 1 아암(52)과, 제 1 아암(52)의 선단부에 회동 가능하게 설치된 제 2 아암(53)과, 제 2 아암(53)에 회 동 가능하게 설치되고, 기판(S)을 지지하는 포크 형상의 기판 지지 플레이트(54)를 갖고 있으며, 베이스(51)에 내장된 구동 장치에 의해 제 1 아암(52), 제 2 아암(53) 및 기판 지지 플레이트(54)를 구동시킴으로써, 기판(S)을 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 베이스(51)는 상하 이동이 가능함과 동시에 회전 가능하다.
로드록실(30)은, 각 프로세스 챔버(10a, 10b) 및 반송 챔버(20)와 같이, 소정의 감압 분위기로 유지되는 것이 가능해서, 그 중에는 기판(S)을 지지하기 위한 한쌍의 버퍼 래크(31, 32)가 다단, 예를 들면 2단으로 설치된다. 또한, 도 2에서는 최상부의 버퍼 래크(31, 32)만을 도시하고 있다. 또한, 로드록실(30)에는, 구형 형상의 기판(S)의 서로 대향하는 각부 부근에 있어서 위치 맞춤을 실행하는 포지셔너(도시하지 않음)가 배치되어 있다.
다음으로, 도 3 내지 도 8을 참조하여, 본 실시 형태에 따른 반송 챔버(20)에 대해서 설명한다. 도 3은 반송 챔버(20)의 외관을 도시하는 사시도이며, 도 4는 반송 챔버(20)의 분해 사시도이며, 도 5는 반송 챔버(20)의 하부 구조를 도시하는 사시도이다.
진공 챔버인 반송 챔버(20)는 주요한 구성으로서 평면 및 측면에서 보아 직사각형으로 형성된 주 프레임체(201)와, 이 주 프레임체(201)의 긴 변의 대향하는 측면에 접합되는 한쌍의 보강 프레임체(202a, 202b)와, 주 프레임체(201)의 상면에 착탈식으로 접합되는 천판(203)을 구비한다. 즉, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)는, 일체로 기판(S)을 반송하는 반송 공간을 형성한다. 또한, 도 3 내지 도 5에서는 도시를 생략하고 있지만, 반송 챔버(20) 내에는 반송 기구(50)가 배치된다.
주 프레임체(201)는, 예를 들면 알루미늄, 스테인리스, 철강 재료 등의 금속으로 구성되어 있다. 이 주 프레임체(201)는 반송 챔버(20)의 바닥부인 바닥판(204)과, 해당 바닥판(204)에 대하여 수직하게 형성된 긴 변의 측벽(208a, 208b)과, 짧은 변의 측벽(206, 207)을 구비하고 있다. 또한, 바닥판(204)에 대향해서 상부 개구(205)가 형성되어, 보강 프레임체(202a, 202b)와 접합되는 긴 변의 측벽(208a, 208b)에는, 측부 개구(210a, 210b)가 형성되어 있다. 이 측부 개구(210a, 210b)를 거쳐서, 주 프레임체(201)에 의해 구획되는 내부 공간과, 보강 프레임체(202a, 202b)에 의해 구획되는 내부 공간이 연통하여 하나의 반송용 공간이 형성된다.
또한, 주 프레임체(201)의 짧은 변측의 측벽(206)에는, 로드록실(30)(도 1 및 도 2 참조)로부터 기판(S)을 반입하기 위한 반송용 개구(211, 212)가 상하에 2단으로 형성되어 있다. 이 반송용 개구(211, 212)는 로드록실(30)에서 2단으로 형성된 버퍼 래크(31, 32)로부터 기판(S)을 반입 및 반출할 수 있는 위치에 형성되어 있다. 또한, 주 프레임체(201)의 상기 반송용 개구(211, 212)가 설치된 측벽(206)과 대향하는 측벽(207)에는 진공 처리실인 프로세스 챔버(10b) 사이에서 기판(S)을 반입 및 반출하기 위한 반송용 개구(213)가 형성되어 있다.
도 6은 주 프레임체(201)의 요점부 사시도이며, 도 7은 요점부 단면도이다. 주 프레임체(201)의 상단 부근에는 상부 개구(205)의 중앙으로 향해서 내주 플랜지(209)가 돌출 설치되어 있다. 내주 플랜지(209)는 주 프레임체(201)의 각 측벽(206, 207, 208a, 208b)에 대하여 수직하게 설치되고, 각 측벽(206, 207, 208a, 208b)의 강성을 높이게 된다.
또한, 내주 플랜지(209)의 하부에는 내부 보강 부재로서 L자형 보강구(221)가 칸막이 벽(221a)에 의해 구분되면서, 가로 방향으로 내벽면을 대략 일주하도록 배치되어 있다. L자형 보강구(221)는, 내주 플랜지(209)의 하면과, 주 프레임체(201)의 각 측벽(206, 207, 208a, 208b)에, 예를 들면 용접에 의해 접합되어 있다. 또한, 배치된 L자형 보강구(221)와, 내주 플랜지(209)의 하면과, 주 프레임체(201)의 각 측벽(206, 207, 208a, 208b)과의 사이에는, 공간이 형성되어 있으며, 이 공간은, L자형 보강구(221)에 형성된 개구(221b)에 의해, 반송 챔버(20)내의 반송 공간과 연통하고 있다.
L자형 보강구(221)는, 예를 들면 스테인리스, 알루미늄 등 금속제의 판재를 L자형으로 절곡함으로써 형성된다. 그리고, L자형 보강구(221)를 주 프레임체(201)의 내벽면에 배치함으로써, 주 프레임체(201)에 내진공 강성을 부여하고, 주 프레임체(201)가 부압에 의해 내측으로 삐뚤어지는 것을 방지하도록 작용한다. 또한, 내부 보강 부재의 형상으로서는, L자형에 한정하지 않고 주 프레임체(201)에 필요한 강성을 부여할 수 있다면 임의의 형상으로 할 수 있다.
주 프레임체(201)의 바닥판(204)에는, 반송 기구(50)(도 2 참조)를 설치하기 위한 개구(218)가 형성되어 있다.
주 프레임체(201)에 설치된 내주 플랜지(209)의 상면에는 상부 개구(205)를 봉하여 막는 천판(203)이 착탈식으로 접합된다. 천판(203)은 예컨대, 알루미늄, 스테인리스 등의 금속으로 구성되어 있으며, 내주 플랜지(209)에 예를 들면 볼트(231) 등의 고정 수단에 의해 고정된다.
보강 프레임체(202a, 202b)는, 예를 들면 알루미늄, 스테인리스, 철강 재료 등의 금속으로 구성되어 있다. 각 보강 프레임체(202a, 202b)에는, 주 프레임체(201)와 접합하는 접합면에 개구(214)가 형성되어 있다. 각 개구(214)는 주 프레임체(201)의 긴 변측의 한쌍의 측벽(208a, 208b)에 각각 형성된 측부 개구(210a, 210b)에 대응하는 크기로 형성되어 있다.
보강 프레임체(202a, 202b)의 측벽(220, 220)에는, 프로세스 챔버(10a, 10c)와의 사이에서 기판의 반입 및 반출을 실행하는 반송용 개구(215, 215)가 형성되어 있다. 또한, 보강 프레임체(202a, 202b)의 각 측벽(220, 220)을 사이에 끼고, 거기에서 확개하도록 사방 형성된 한쌍의 벽 중 한 쪽에는, 반송 챔버(20) 내에 배치된 반송 기구(50) 등의 유지 보수를 실행하기 위한 유지 보수용 개구(216)가 설치되고, 이 유지 보수용 개구(216)는 문(217)에 의해 기밀하게 밀봉할 수 있게 구성되어 있다.
도 8에 단면 구조를 도시하는 바와 같이, 각 보강 프레임체(202a, 202b)의 상하의 외벽(219)에는, 외부 보강 부재로서의 복수의 리브(222)가 격자 형상으로, 또한 상기 상하의 외벽(219)의 벽면에 대하여 수직하게 입설되어 있다. 리브(222)는 예를 들면 철, 스테인리스, 철강 재료 등의 금속으로 구성되어, 보강 프레임체(202a, 202b)의 내진공 강성을 높이는 동시에, 보강 프레임체(202a, 202b)를 주 프레임체(201)에 접합한 상태에서, 반송 챔버(20) 전체로서의 강성도 높이도록 배 치되어 있다. 또한, 리브(222)의 형상은 격자 형상에 한정하지 않고, 보강 프레임체(202a, 202b)의 강도를 유지하는 것이 가능한 임의의 형상을 사용하는 것이 가능하다.
또한, 주 프레임체(201)의 바닥판(204)에는, 바닥판(204)을 외부로부터 보강하는 바닥부 보강재(223)가 배치되어 있다. 바닥부 보강재(223)는, 예를 들면 H강 등의 강재에 의해 구성되어 있고, 고진공 상태에서 바닥판(204)이 부압에 의해 주 프레임체(201)의 내측으로 밀어 넣어져 만곡되는 것을 방지한다. 이로써, 주 프레임체(201)의 바닥판(204)의 판두께를 얇게 하더라도 내 진공강도를 확보하는 것이 가능하게 된다.
주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)의 접합은 예를 들면 도 7에 도시하는 바와 같이, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)의 상단을 면 하나에 가지런히 한 상태에서, 수평 방향으로 긴 판재인 연결 보강판(224a, 224b)을 접촉하고, 예를 들면 볼트(232, 232) 등의 고정 수단에 의해 연결 고정함으로써 행하여진다. 연결 보강판(224a, 224b)은 예를 들면 철, 스테인리스, 알루미늄 등의 재질로 구성되어 있다.
또한, 보강 프레임체(202a, 202b)는, 주 프레임체(201)의 측벽(208a, 208b)에도, 예를 들면 볼트(233, 233) 등의 고정 수단을 이용하여 접합된다. 이와 같이, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)가 연결되는 동시에, 연결 보강판(224a, 224b)에 의해 주 프레임체(201)의 긴 변 방향의 보강이 이루어지므로, 반송 챔버(20)의 내진공 강성이 확보된다.
주 프레임체(201)에 보강 프레임체(202a, 202b)가 양측에서 접합된 상태에서, 주 프레임체(201)의 측벽(208a)에 있어서의 측부 개구(210a)와 보강 프레임체(202a)의 개구(214) 및 주 프레임체(201)의 측벽(208b)에 있어서의 측부 개구(210b)와 보강 프레임체(202b)의 개구(214)를 거쳐서, 주 프레임체(201)의 내부와 보강 프레임체(202a, 202b)의 내부가 연통하고, 일체화된 기판 반송 공간이 형성된다. 즉, 종래의 반송 챔버에 있어서의 반송 공간 중, 긴 변 방향의 양측부 부근의 공간이 보강 프레임체(202a, 202b)의 내부 공간에 의해 대체된다. 이와 같이, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)의 내부에 일체적으로 기판 반송 공간이 형성되도록 함으로써, 그 내부에 설치된 반송 기구(50)의 기판 지지 플레이트(54)에 기판(S)을 탑재 지지한 상태에서, 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 및 로드록실(30)과의 사이에서 기판 반송을 실행할 때에, 충분한 선회 반경(반송 공간)을 확보할 수 있다.
그리고, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)가 접합되어 일체화한 반송 챔버(20)는, 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)의 중앙부에 배치되어, 게이트 밸브(22)를 거쳐서 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 및 로드록실(30)과의 사이에서 기판(S)을 주고 받을 수 있도록 연결된다.
이와 같이 본 실시 형태에서는, 3개로 분할된 각 구성 부분[주 프레임체(201)와, 그 양측의 보강 프레임체(202a, 202b)]을 접합해서 진공 챔버를 구성함으로써, 기판(S)의 대형화에도 용이하게 대응할 수 있게 된다.
즉, 종래의 일체 구조의 진공 챔버의 경우에는, 진공 챔버로서 필요한 강성 을 유지하면서 대형화를 도모하기 위해서는, 가공에 대형 절삭 기계를 필요로 하는 등의 제조상의 제약이나, 중량의 증대에 의한 이송이나 취급의 곤란을 수반하지만, 분할 구조로 함에 의해, 각부를 각각 따로따로 가공하는 것이 가능하게 되기 때문에 제조나 이송, 취급이 특히 용이해진다.
또한, 반송 챔버(20)를 설치하기 전에는 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)를 3개로 분할한 상태에서 이송하는 것이 가능하기 때문에 법령상의 운행 제한 등도 받지 않을 것이다.
또한, 보강 프레임체(202a, 202b)를 주 프레임체(201)에 연결 보강판(224a, 224b)을 이용하여 접합함으로써, 상면에 큰 상부 개구(205)를 갖고, 강성을 유지하기 어려운 주 프레임체(20l)의 내 진공강도를 향상시키는 것이 가능하게 된다. 즉, 보강 프레임체(202a, 202b)는, 주 프레임체(201)의 장변 방향의 측부에 접합되어서 보강용 부재로서 기능하므로, 반송 챔버(20) 전체로서 충분한 내 진공강도를 얻는 것이 가능하게 된다.
또한, 주 프레임체(201)의 내주면에 L자형 보강구(221)를 배치해서 강성을 높임으로써, 주 프레임체(20l)를 구성하는 판재의 두께를 얇게 해도, 고진공상태에서의 주 프레임체(201)의 어긋남을 억지하는 것이 가능하게 된다.
또한, 보강 프레임체(202a, 202b)의 외벽면에, 격자형상의 리브(222)를 배치해서 강성을 유지하는 구성으로 되어, 보강 프레임체(202a, 202b)를 구성하는 판재의 두께를 얇게 하고, 경량화를 도모하는 것이 가능하게 된다.
또, 이상과 같이, 주 프레임체(201)와 보강 프레임체(202a, 202b)의 판두께 를 감소시킬 수 있는 것에 의해, 가공이 용이해지는 동시에 경량화를 도모하는 것이 가능하게 되기 때문에, 종래의 일체형 진공 챔버에 비교해서 소재 비용, 가공 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라 운송 비용도 저감할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 여러 변형이 가능하다. 예를 들면, 피 처리체로서는 FPD용 유리 기판에 한정되지 않고 반도체 웨이퍼여도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 보강 프레임체(202a, 202b)로서 외벽면에 리브(222)를 배치해서 강성을 높였지만, 보강 프레임체 자체의 판두께를 두껍게 형성해서 강성을 높인 것을 사용하는 것도 가능하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 평면에서 보아 4각형상의 주 프레임체(20l)를 예로 들어서 설명을 하였지만, 주 프레임체(20l)의 평면 형상은 4각형에 한정하는 것은 아니고, 예를 들면 6각형, 8각형 등의 다각 형상이어도 좋다. 또한, 보강 프레임체도 2개에 한정하는 것은 아니고, 3개 이상을 주 프레임체에 접합시키는 것이 가능하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 반송 챔버(20)에 분할 구조를 적용했지만, 챔버의 분할 구조는, 반송 챔버에 한정하지 않고, 예를 들면 진공 예비실인 로드록실이나 진공 처리실인 프로세스 챔버에도 적용하는 것이 가능하다.
본 발명에 의하면, 주 프레임체와 보강 프레임체를 접합하여 진공 챔버를 구 성함으로써, 간이한 구조로 진공 챔버로서 필요한 강성을 유지하면서, 제조나 이송, 취급이 특히 용이해져 반송 챔버내의 반송 장치의 유지 보수성 역시 향상되고, 기판의 대형화로의 대응을 도모하는 것이 가능하게 된다.
즉, 보강 프레임체 자체를 주 프레임체의 보강 부재로서 기능시킴으로써, 주 프레임체 및 보강 프레임체의 판 두께를 줄일 수 있기 때문에, 가공이 용이해지는 동시에 경량화가 도모된다. 따라서, 종래의 일체형 진공 챔버와 비교해서 소재 비용, 가공 비용 등의 제작 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라, 운송 비용도 절감할 수 있다.

Claims (18)

  1. 다각형으로 형성되고, 바닥부를 이루는 바닥판을 가지며, 상기 바닥판에 대향하는 상면이 개구된 상부 개구를 갖는 주 프레임체와,
    상기 주 프레임체의 대향하는 측부에 각각 접합되는 적어도 한쌍의 보강 프레임체와,
    상기 주 프레임체의 상부에 착탈 가능하게 접합되는 천판을 구비하며,
    상기 주 프레임체의 내벽면의 상단 근방에 있어서, 상기 주프레임체의 상부 개구의 내측을 향해서 돌출 설치된 플랜지와, 상기 주 프레임체의 벽면에 접합되는 단면 L자형의 내부 보강 부재가 배치되며,
    상기 주 프레임체와 상기 보강 프레임체가 접합되고, 일체로 되어 피 처리 기판을 수용하는 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  2. 다각형으로 형성되고, 바닥부를 이루는 바닥판을 가지며, 상기 바닥판에 대향하는 상면이 개구된 주 프레임체와,
    상기 주 프레임체의 대향하는 측부에 각각 접합되는 적어도 한쌍의 보강 프레임체와,
    상기 주 프레임체의 상부에 착탈 가능하게 접합되는 천판을 구비하며,
    상기 보강 프레임체의 외벽면에, 상기 주 프레임체와 상기 보강 프레임체가 접합된 상태에 있어서, 상기 주 프레임체 측면 외벽에 대하여 수직이 되는 방향으로 형성된 리브와, 상기 리브에 직교하는 리브로 이루어진 외부 보강 부재를 갖는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 주 프레임체의 측부와 상기 보강 프레임체의 측부에는 각각 측부 개구가 형성되고, 상기 측부 개구를 거쳐서 상기 주 프레임체의 내부와 상기 보강 프레임체의 내부가 연통하여, 피 처리 기판을 수용하는 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 외부 보강 부재를 상기 보강 프레임체의 상하에 대향하는 벽의 외벽면에 설치하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 천판은 상기 플랜지의 상면에 탑재되어 접합되는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 주 프레임체와 상기 보강 프레임체를 접합하는 연결판을 구비하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 연결판이 상기 주 프레임체의 상단과 상기 보강 프레임체의 상단을 접합하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 바닥판의 외벽면에 바닥부 보강 부재를 배치한 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  13. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 그 내부에 피 처리 기판을 진공 상태로 반송하는 반송 장치를 구비한 반송 챔버인 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 주 프레임체의 대향하는 한쌍의 측벽에, 피 처리 기판을 반입 및 반출하는 반입 및 반출용 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 보강 프레임체의 측벽에, 피 처리 기판을 반입 및 반출하는 반입 및 반출용 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  16. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보강 프레임체의 측벽에, 유지 보수용 개구를 형성하는 것을 특징으로 하는
    진공 챔버.
  17. 삭제
  18. 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 진공 챔버와,
    상기 진공 챔버에 연결되고, 피 처리 기판의 처리를 실행하는 복수의 진공 처리실을 구비하는 것을 특징으로 하는
    진공 처리 장치.
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