KR101242526B1 - 지능형 도금용 캐리어의 제어방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 지능형 도금용 캐리어의 제어방법은, 기판을 캐리어로 이송시켜 다공정을 통해 상기 기판을 도금하는 방법에 있어서, 각 공정에서는 완료시 호출명령을 생성하고, 상기 캐리어는 상기 호출명령에 따라 이동하여 기판을 다음공정으로 이송시키는 것을 특징으로 한다.
Description
도 2는 본 발명의 제어방법과 종래의 제어방법을 비교설명하기 위한 비교도면,
Claims (6)
- 기판을 캐리어로 이송시켜 다공정을 통해 상기 기판을 도금하는 방법에 있어서,
각 공정에서는 완료시 호출명령을 생성하고,
상기 캐리어는 상기 호출명령에 따라 이동하여 기판을 다음공정으로 이송시키며,
제1기판을 도금하는 제1과정은 다수개의 공정으로 이루어지고,
상기 제1기판과 다른 제2기판을 도금하는 제2과정은 다수개의 공정으로 이루어지며,
상기 제1과정의 공정 중 가장 긴 소요시간을 갖는 공정에서의 제1소요시간(T1)보다 상기 제2과정의 공정 중 가장 긴 소요시간을 갖는 공정에서의 제2소요시간(T2)이 짧은 경우,
상기 캐리어는 마지막 제1기판이 상기 제1과정의 공정을 모두 마치고 배출될 때까지, 상기 마지막 제1기판이 상기 제1과정의 공정들을 각각 마치고 다음공정으로 이송될 때마다 상기 제1소요시간에서 제2소요시간을 뺀 시간(T1-T2)이상 및 제1소요시간(T1)미만 만큼의 시간을 대기하였다가 작동되고,
상기 마지막 제1기판이 배출되면, 그때부터 상기 캐리어는 제2소요시간(T2)마다 상기 제2기판을 제2과정에 투입시키는 것을 특징으로 하는 지능형 도금용 캐리어의 제어방법. - 제 1항에 있어서,
상기 호출명령이 미리 설정된 일정시간 이내에 2개 이상 생성될 경우,
상기 캐리어는 다수개의 공정 중 미리 설정된 우선순위에 따라 선순위 공정을 수행하고 있는 기판을 먼저 다음공정으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 지능형 도금용 캐리어의 제어방법. - 제 1항에 있어서,
상기 호출명령이 미리 설정된 일정시간 이내에 2개 이상 생성되었을 때 상기 호출명령의 우선순위가 동일하다면,
상기 캐리어는 미리 설정된 일정기간 내에서 가장 먼저 호출명령을 생성한 공정으로 이동하여 해당 기판을 이송시키고, 그 다음으로 호출된 후순위 호출명령을 생성한 공정으로 이동하여 해당 기판을 이송시키는 것을 특징으로 하는 지능형 도금용 캐리어의 제어방법. - 삭제
- 제1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
각 공정에서 기판이 동시에 다수개 처리되고 있을 경우, 상기 제1소요시간 및 제2소요시간은 당해 공정에서의 소요시간을 동시에 처리되는 기판의 갯수로 나눈 값인 것을 특징으로 하는 지능형 도금용 캐리어의 제어방법. - 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 캐리어는 다수개로 이루어지되,
각각의 상기 캐리어가 상호 인접한 공정 위치로 이동하여 충돌의 위험이 있을 경우,
다수개의 공정 중 미리 설정된 우선순위에 따라 선순위 공정을 수행하는 캐리어가 먼저 이동하여 해당 작업을 수행하고, 그 후 차순위 공정을 수행하는 다른 캐리어가 이동하여 해당 작업을 수행하도록 하는 것을 특징으로 하는 지능형 도금용 캐리어의 제어방법.
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