KR101350570B1

KR101350570B1 - 입체 영상의 획득장치 및 방법

Info

Publication number: KR101350570B1
Application number: KR1020120125380A
Authority: KR
Inventors: 이상헌
Original assignee: 안동대학교 산학협력단
Priority date: 2012-11-07
Filing date: 2012-11-07
Publication date: 2014-01-24
Anticipated expiration: 2032-11-07

Abstract

본 발명은 입체 형상 획득장치 및 방법에 관한 것으로, 시편을 상부에 고정하는 시편 이동부와, 상기 시편 이동부의 측면측에 하단부가 고정되며, 상부 일부가 상기 시편 이동부의 상부 중앙측으로 절곡된 고정아암과, 상기 고정아암의 상단부에 z축 방향으로 이동이 가능하도록 결합되며 프로브를 고정하되, 상기 프로브가 상기 시편 이동부와의 상대운동으로, x축, y축 및 z축 방향으로의 병진운동과, 상기 x축을 중심으로 회전 운동이 가능한 프로브 이동부를 포함한다. 시편을 스캐닝하는 프로브를 3자유도 병진운동과 회전운동이 가능하도록 구성하여, 일 방향의 스캐닝으로 트루 3차원 형상을 획득할 수 있어, 스캐닝 속도를 단축할 수 있는 효과와 아울러 완벽한 3차원 형상을 얻을 수 있는 효과가 있다.

Description

입체 영상의 획득장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR OBTAINING STEREOGRAPHIC}

본 발명은 3차원 입체 형상의 획득장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노미터 단위의 시편의 이미지 측정이 가능한 원자현미경으로 3차원 형상을 측정할 수 있는 입체 형상의 획득장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 박막기술, 분자생물학, 세포학등 다양한 나노 기술 분야에서 구조물의 명확한 특성 파악을 위해서는 측벽(sidewall)이나 언더컷(undercut)등의 부가적인 형상정보를 포함하는 트루(True) 3차원 측정이 필요하나, 현재로는 2차원적인 사진 정보만이 측정되기 때문에 완벽한 3차원 형상정보의 획득이 어려운 상태이다.

도 1은 노광공정으로 가공된 집적회로의 일부를 형상화한 모식도로서, 집적회로의 성능은 경계선 거칠기(LER, Line Edge Roughness), 수직면 거칠기(SR,Sidewall Roughness), 기저폭(BW, Base Width)등의 평가로 이루어지며, 적층형태의 평면형 씨모스(CMOS)나 박막코팅의 제작성능평가에서도 측벽(Sidewall) 측정을 통한 박막의 두께 측정으로 품질과 성능을 평가하고 있다.

도 2는 민감도 향상을 위해 유리(glass)와 금(gold)으로 구성된 면역분석용 센서의 사진이다.

이러한 센서는 나노구조물의 형상과 구성이 복잡해지는 추세이다. 이와 같이 나노구조물의 성능 및 특성 측정을 위해서 트루(true) 3차원 측정의 필요성도 높아지고 있다.

그러나 종래에는 측벽 측정에 주로 사용되고 있는 주사전자현미경(SEM)과 투과전자현미경(TEM)은 전도성 재료만 측정이 가능한 점, 오랜 시편 준비 시간과 준비과정 동안의 시편의 파손, 제한된 3차원 프로파일 측정, 이종재료 구조물에 대한 분해능의 저하 등의 문제점이 있었다.

이와 같은 SEM과 TEM의 문제점을 해결하기 위하여 원자현미경을 활용한 측정으로 대체되고 있으며, 특히 나노 구조물의 기계적인 특성을 검사하기 위해서는 원자현미경의 사용이 필수적이다.

도 3은 종래 원자현미경에 의한 3차원 측정에서 방법을 설명하기 위한 설명도이다.

도 3을 참조하면 종래 원자현미경을 이용한 3차원 구조의 측정은, x축 방향으로 프로브의 팁(tip)이 이동하여 스캔하며, z축 방향의 지형(topography)만을 측정하기 때문에 측벽(sidewall)이나 언더컷(undercut)등의 정보는 단순한 경사면으로 표현되는 한계가 있으며, 이러한 한계를 극복하기 위해 프로브의 팁 형태를 수정하는 방식과 스캐닝 방식을 개선하는 방식으로 연구가 진행되고 있다.

도 4는 독일의 “Physikalish-Technische Bund-esanstalt” 연구팀에서 제작한 캔틸레버 팁(cantilever tip)의 사진이다.

이러한 종래 캔틸레버 팁은 측벽(sidewall)을 스캐닝하기 위해서 기존 캔틸레버에 수직방향으로 연장한 캔틸레버를 추가 부착한 형태를 가지고 있다. 이와 같은 구성의 종래 캔틸레버 팁은 측벽(sidewall) 측정은 가능하나, 수평면 측정에는 한계가 있어, 이를 보완하기 위해 수평용 캔틸레버(cantilever)를 추가하는 방식을 제안하였으나, 시편과 추가된 캔틸레버 간의 간섭문제, 캔틸레버 가공방법등에 대해서는 만족할 만한 해결책을 내지 못하고 있다.

도 5는 일본 "AIST" 연구팀에서 제안된 스캐닝 방법을 설명하기 위한 설명도이다.

도 5를 참조하면 좌측은 종래의 스캔방식인 "step-in mode" 스캔방식이며, 이러한 스캔방식에서 측벽의 측정 등 어려움을 해소하기 위하여, 프로브 팁을 틸팅시켜 스캔하는 "tilt-step-in mode"방식이 제안되었다.

그러나 해상도와 스캔 속도에서 낮은 성능을 나타냈으며, 틸팅 각도가 고정되어 있기 때문에 한쪽면의 측벽 밖에 측정할 수 없다.

공개특허 10-2010-0112207호에서는 측벽의 양면을 측정할 수 있는 구조의 주사 탐침 현미경 및 그 제어방법을 제안하고 있으나, 3차원 형상 측정을 위해서는 동일지점을 2번 이상 양방향(좌/우)으로 스캐닝해야 하는 단점이 있으며, 안정적인 회전을 위해 부가적인 기구로 필요하며 이로 인해 시스템의 부피가 커지는 문제점이 있었다.

이와 같이 종래의 원자현미경을 이용한 측벽 측정 방식은 구조의 복잡성, 비용, 측정 속도, 그리고 트루 3차원 측정이라는 측면에서 여전히 높은 개선의 필요성이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 시편의 높낮이뿐만 아니라 시편의 옆면까지 측정이 가능하도록 하는 입체 형상의 획득장치 및 방법을 제공함에 있다.

또한 트루 입체 형상을 획득하되 스캐닝 시간을 단축할 수 있는 3차원 형상의 획득장치 및 방법을 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 입체 형상의 획득장치는, 시편을 상부에 고정하는 시편 이동부와, 상기 시편 이동부의 측면측에 하단부가 고정되며, 상부 일부가 상기 시편 이동부의 상부 중앙측으로 절곡된 고정아암과, 상기 고정아암의 상단부에 z축 방향으로 이동이 가능하도록 결합되며 프로브를 고정하되, 상기 프로브가 상기 시편 이동부와의 상대운동으로, x축, y축 및 z축 방향으로의 병진운동과, 상기 x축을 중심으로 회전 운동이 가능한 프로브 이동부를 포함한다.

또한 본 발명 입체 형상의 획득 방법은, 초기 위치의 시편에 접촉되는 프로브로 시편의 입체적인 구조를 검출하는 검출방법에 있어서, 상기 프로브는 상기 시편과 x축, y축 및 z축 방향으로 상대 병진 운동함과 아울러 x축을 중심으로 회전 운동하여, y축 방향으로 변위 후, x축 방향으로 스캔하는 과정을 반복하되, 상기 시편의 높이에 따라 z축을 따라 이동함과 아울러 상기 시편의 경사도에 따라 x축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 한다.

본 발명 3차원 형상의 획득장치 및 방법은, 시편을 스캐닝하는 프로브를 3자유도 병진운동과 회전운동이 가능하도록 구성하여, 일 방향의 스캐닝으로 트루 3차원 형상을 획득할 수 있어, 스캐닝 속도를 단축할 수 있는 효과와 아울러 완벽한 3차원 형상을 얻을 수 있는 효과가 있다.

도 1은 노광공정으로 가공된 집적회로의 일부를 형상화한 모식도이다.
도 2는 면역 분석용 센서의 사진이다.
도 3은 종래 원자현미경에 의한 3차원 측정에서 방법을 설명하기 위한 설명도이다.
도 4는 독일의 “Physikalish-Technische Bund-esanstalt” 연구팀에서 제작한 캔틸레버 팁(cantilever tip)의 사진이다.
도 5는 일본 "AIST" 연구팀에서 제안된 스캐닝 방법을 설명하기 위한 설명도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 입체 형상 획득장치의 사시도이다.
도 7은 도 6의 측면 구성도이다.
도 8은 본 발명으로 시편을 스캐닝하는 과정을 설명하기 위한 설명도이다.
도 9 내지 도 11 각각은 본 발명의 다른 실시예의 개략적인 구성도이다.
도 12는 프로브의 x축 회전 각도와 y축 틸팅 각도를 조정하기 위한 하드웨어 구성도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 3차원 영상의 획득장치 및 방법에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 3차원 형상의 획득장치의 사시도이고, 도 7은 도 6의 측면 구성도이다.

도 6과 도 7을 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 3차원 형상의 획득장치는, 3차원 형상의 촬상 대상물인 시편을 고정하고, 상기 시편을 x-y축을 따라 이동시키는 시편이동부(300)와, 상기 시편이동부(300)의 측면에 고정되어 상기 시편의 상부측으로 연장되는 고정아암(100)과, 상기 고정아암(100)의 일측에 결합되어 z축 방향으로 프로브를 이동시킴과 아울러 x축을 중심으로 상기 프로브를 회전시켜 회전 각도를 조절하여, 상기 시편이동부(300)와 상대운동을 통해 시편의 3차원 형상을 획득하는 프로브 이동부(200)로 구성된다.

상기 시편이동부(300)는 상기 고정아암(100)이 측면에 결합되며, x-y-z축으로의 이동을 제공하되, 시편의 초기위치 설정을 위하여 대략의 위치 조정이 가능한 제1스캐너(310)와, 상기 제1스캐너(310)에 의해 x-y-z축 3축을 따라 이동이 가능하며, 정밀한 x-y 2축 방향으로의 이동을 제공하는 제2스캐너(320)와, 상기 제2스캐너(320)의 상부에 위치하여 상기 제2스캐너(320)에 의해 평면상 이동이 가능하며, 상부에 시편이 고정되는 시편대(330)를 포함하여 구성된다.

상기 프로브 이동부(200)는 상기 고정아암(100)의 상단에 z축 방향으로 이동이 가능하도록 결합되는 z축 이동부(210)와, 상기 z축 이동부(210)에 결합되어 x축을 중심으로 하는 구동부(도면 미도시)회전력을 전달하며, 회전각도를 측정하는 회전각 센서(도면 미도시)가 일체로 마련된 회전지지부(220)와, 상기 회전지지부(220)에 의해 x축을 중심으로 회전하는 x축 회전부(230)와, 상기 x축 회전부(230)의 저면측에서 프로브(도면 미도시)를 고정하는 프로브 지지대(250)와, 상기 프로브의 비틀림과 굽힘을 검출하는 센서부(240)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 3차원 형상의 획득장치 및 방법의 구성과 작용에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.

먼저 시편이동부(300)는 하부에 평판의 구성을 가지며, 제2스캐너(320)를 상하좌우로 이동시킬 수 있는 제1스캐너(310)가 마련되어 있다. 제1스캐너(310)의 이동 정도는 해상도가 낮으며, x축과 y축 방향으로 러프(rough)한 정도의 이동이 가능하되, 그 이동거리가 상대적으로 긴 운동을 제공한다.

상기 제1스캐너(310)의 측면에는 고정아암(100)의 하단부가 결합 고정되어 있다.

상기 고정아암(100)은 상향으로 소정의 높이를 가지며, 상부측은 상기 제1스캐너(310)의 상부 중앙측을 향하여 절곡되며, 그 절곡면의 끝단에는 프로브 이동부(200)가 z축 방향인 상하로 이동 가능하게 결합 되어 있다.

상기 제1스캐너(310)에 의해 러프하게 수평 및 수직 이동이 가능한 제2스캐너(320)는 그 상부에 위치하는 시편대(330)를 x축과 y축을 따라 이동시키는 운동을 제공한다. 상기 제2스캐너(320)가 제공하는 운동은 상기 제1스캐너(310)에서 제공하는 운동에 대하여 보다 정밀한 이동이 가능하도록 하여, 상기 제1스캐너(310)에 의해 초기 위치가 결정된 후, 제2스캐너(320)에 의해 정밀하게 시편대(330)를 이동시키면서 프로브로 스캐닝할 수 있다.

이때 상기 제2스캐너(320)에 의해 주어지는 시편대(330)의 변위는 상기 제1스캐너(310)에 의해 주어지는 제2스캐너(320)의 변위에 비하여 더 작게 설정된다.

상기 고정아암(100)의 상부 끝단에 z축을 따라 상하 이동이 가능하게 결합되는 프로브 이동부(200)는 상기 시편이동부(300)와는 독립적인 스캐닝 운동을 제공한다.

앞서 설명한 바와 같이 프로브 이동부(200)는 고정아암(100)에 대하여 상하로 정밀하게 이동할 수 있는 z축 이동부(210)가 마련되어 있으며, 그 z축 이동부(210)에 의하여 x축 회전부(230)와 x축 회전부(230)를 x축을 중심으로 소정의 각도로 회전시킬 수 있는 회전지지부(220)를 상하 이동시킬 수 있어, 상기 시편대(330) 상의 시편의 단차에 따라 프로브 지지대(250)에 고정된 프로브(도면 미도시)를 상하로 이동시킬 수 있다.

상기 회전지지부(220)는 도면 상에 도시되지는 않았으나, 모터 또는 실린더인 구동부가 일체로 마련되어 있으며, 그 회전 각도를 측정할 수 있는 회전각 센서 또한 일체로 마련된 것이다.

상기 z축 이동부(210)의 전면 측에는 회전지지부(220)가 마련되어 프로브 지지대(250)가 저면에 마련된 x축 회전부(230)를 회전시킬 수 있게 된다.

이때의 x축 회전부(230)의 회전 각도는 상기 프로브 지지대(250)에 고정되는 프로브의 회전 각도와 동일하게 되며, 프로브 지지대(250)에 고정된 프로브의 비틀림과 굽힘 정도는 센서부(240)에서 센싱되어 설정 값과의 비교를 통해 각도가 제어될 수 있다.

이때 상기 x축 회전부(230), 프로브 지지대(250), 센서부(240)는 x축을 중심으로 회전하게 되며, 이때의 회전 중심은 프로브의 끝단이 되는 것이 바람직하다. 이는 프로브의 비틀림과 굽힘정도를 측정대상인 시편의 3차원 형상으로 검출되는 것을 고려할 때 가장 용이한 산출이 이루어질 수 있기 때문이다.

또한 상기 프로브는 y축 방향의 스캔과정에서 x축을 중심으로 하는 회전인 비틀림이 발생하며, y축을 중심으로 하는 굽힘이 발생하게 된다. 이는 상기 시편의 표면 형상에 의한 것으로, x축을 중심으로 하는 비틀림 각도는 y축 방향의 스캔을 가능하도록 하는 제2스캐너(320)의 운동 및 z축 방향의 높이를 제어하는 z축 이동부(210)를 제어하여 조정할 수 있다.

도 8은 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 3차원 형상 획득장치를 이용하여 시편을 촬상하는 과정을 설명하기 위한 설명도이다.

도 8을 참조하면 먼저 시편대(330) 상에 시편(400)을 고정한 후, 제1스캐너(310)를 이용하여 시편(400)을 초기 위치에 위치시킨다.

이때의 시편(400)의 초기 위치는 x축, y축 및 z축의 위치를 모두 포함하는 것으로 개략적인 위치를 변위가 큰 제1스캐너(310)를 조정하여 정위치 시키고, 미세한 초기 위치의 설정은 제2스캐너(320)를 사용할 수 있다.

이처럼 초기위치가 설정된 후 프로브 지지대(250)에 결합된 프로브(260)를 A위치에서 시편(400)에 접촉시킨다. 이와 같은 접촉 상태에서 상기 제2스캐너(320)는 y축 방향으로 이동하여 A 위치에서 F의 위치까지 시편(400)의 스캔을 완료한다.

이때 프로브(260)는 상기 시편(400)의 표면 형상에 따라 x축을 중심으로 하는 비틀림과 y축을 중심으로 하는 굽힘이 발생할 수 있다. 이때의 비틀림과 굽힘의 정도는 센서부(240)에서 검출된다.

그 다음, 상기 y축 방향을 따라 스캔하여 프로브(260)가 F의 위치에서 x축 방향으로 설정된 거리만큼 이동한 후, 다시 제2스캐너(320)가 y축 방향을 역으로 따라 이동되어 F의 위치에서 A의 위치 쪽으로 시편(400)을 스캔하게 된다.

이와 같은 스캔 과정에서 프로브(260)는 시편의 형상에 따라 x축을 중심으로 하는 비틀림이 발생하게 되며, y축을 중심으로 하는 굽힘 정도가 결정되고, 설정 값과의 차이가 보정된다. 이는 모든 스캐닝 과정에서 연속적으로 일어나게 되며, 이에 대한 구성은 이후에 보다 상세히 설명한다.

이처럼 본 발명은 1방향 1회의 스캐닝으로 상기 시편(400)의 양측 측벽부분을 포함하여 3차원 형상을 획득할 수 있게 된다.

도 9는 앞서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 3차원 형상 획득장치를 개략적으로 표시한 것으로, 시편(400)은 x축과 y축으로 병진운동을 하며, 프로브(260)가 z축 방향을 따라 상하 이동이 가능하며, x축을 중심으로 소정 각도 내에서 회전하는 상대 운동을 통해 프로브(260)로 시편(400)의 입체적인 형상을 검출할 수 있도록 한 것이다.

이와 유사하게 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원 형상 획득장치를 개략적으로 표시한 설명도로서, 시편(400)이 x축을 중심으로 소정의 각도 범위에서 회전을 할 수 있으며, 프로브(260)가 z축, x축 및 y축을 따라 병진 운동을 하는 예이다.

또한 도 11은 시편(400)은 고정되어 있으며, 프로브(260)가 x, y 및 z축을 따라 병진 운동을 함과 아울러 x축을 중심으로 회전 운동이 가능하게 구성된다. 이와 같은 구성예 또한 앞서 설명한 실시예와 같이 1회의 스캐닝을 통해 완전한 3차원 형상을 획득할 수 있음을 보여준다.

즉, 본 발명은 시편과 프로브가 상대 운동으로서 x, y, z 축으로 병진 운동을 함과 아울러 x축을 중심으로 회전이 가능한 구조이면, 그 구조의 구체적인 구성과 무관하게 적용될 수 있다.

도 12는 상기와 같은 실시예들에서 프로브의 x축을 중심으로 하는 비틀림 정도와 y축을 중심으로 하는 굽힘 각도를 조정하기 위한 구성의 예이다.

도 12를 참조하면 프로브(260)의 x축을 중심으로 하는 비틀림 정도, y축을 중심으로 하는 굽힘 정도는 센서부(240)에서 센싱된다. 이때 y축을 중심으로 하는 굽힘 정도는 y축과 z축의 위치에 따른 값으로 해석될 수 있다. 이러한 센서부(240)의 검출 결과는 각각 x축 설정 비틀림 값과 y축 설정 굽힘 값과 제1 및 제2연산부(510,520)에서 연산되어 그 차가 구해지며, 그 차를 입력받은 제어기(530)는 z축 이동부(210), 회전지지부(220) 및 제2스캐너(320)를 제어하여 프로브(260)의 x축을 중심으로 하는 비틀림 정도 및 y축을 중심으로 하는 굽힘 정도를 제어하게 된다. 따라서 본 발명은 프로브(260)의 굽힘과 비틀림을 설정 값으로 유지할 수 있게 된다.

상기 센서부(240)에서 센싱되는 x축 비틀림 정도와 y축 굽힘 정도와, 상기 회전지지부(220)의 회전각 센서의 검출결과 및 z축 이동부(210)의 변위를 종합하여 1회의 연속적인 스캐닝을 통해 시편(400)의 3차원 형상 정보를 얻을 수 있게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

100:고정아암 200:프로브 이동부
210:z축 이동부 220:회전지지부
230:x축 회전부 240:센서부
250:프로브 지지대 260:프로브
300:시편 이동부 310:제1스캐너
320:제2스캐너 330:시편대
400:시편

Claims

시편을 상부에 고정하는 시편 이동부;
상기 시편 이동부의 측면측에 하단부가 고정되며, 상부 일부가 상기 시편 이동부의 상부 중앙측으로 절곡된 고정아암; 및
상기 고정아암의 상단부에 z축 방향으로 이동이 가능하도록 결합되며 프로브를 고정하되, 상기 프로브가 상기 시편 이동부와의 상대운동으로, x축, y축 및 z축 방향으로의 병진운동과, 상기 x축을 중심으로 회전 운동이 가능한 프로브 이동부를 포함하는 입체 형상 획득장치.
제1항에 있어서,
상기 시편 이동부는 시편을 고정하며,
상기 프로브 이동부는 상기 프로브를 x축, y축, z축을 따라 병진운동시키며, x축을 중심으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득장치.
제1항에 있어서,
상기 시편 이동부는 시편을 x축을 중심으로 회전시키며,
상기 프로브 이동부는 상기 프로브를 x축, y축, z축을 따라 병진운동시키는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득장치.
제1항에 있어서,
상기 시편 이동부는 시편을 x축, y축을 따라 병진 운동시키며,
상기 프로브 이동부는 상기 프로브를 z축을 따라 병진 운동시키고, x축을 중심으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득장치.
제1항에 있어서,
상기 시편 이동부는,
상기 고정아암이 측면에 결합되며, x축, y축, z축으로의 이동을 제공하되, 시편의 초기위치 설정을 위하여 대략의 위치 조정이 가능한 제1스캐너;
상기 제1스캐너에 의해 x축, y축 및 z축을 따라 이동되며, 정밀한 x축 및 y축 방향으로의 이동을 제공하는 제2스캐너; 및
상기 제2스캐너의 상부에 위치하여 상기 제2스캐너에 의해 평면상 이동이 가능하며, 상부에 시편이 고정되는 시편대를 포함하는 입체 형상 획득장치.
제5항에 있어서,
상기 프로브 이동부는,
상기 고정아암의 상단에 z축 방향으로 이동이 가능하도록 결합되는 z축 이동부;
상기 z축 이동부에 결합되어 x축을 중심으로 하는 회전력을 전달하며, 회전각을 검출하는 회전각 센서를 포함하는 회전지지부;
상기 회전지지부에 의해 x축을 중심으로 회전하는 x축 회전부;
상기 x축 회전부의 저면측에서 프로브를 고정하는 프로브 지지대; 및
상기 프로브의 x축을 중심으로 하는 비틀림 정도 및 y축을 중심으로 하는 굽힘 정도를 검출하는 센서부를 포함하는 입체 형상 획득장치.
제6항에 있어서,
상기 프로브의 굽힘 정도는 상기 센서부에서 검출되어, y축을 중심으로 하는 굽힘 설정 값과의 차를 산출한 결과에 따라 상기 제2스캐너와 상기 z축 이동부가 제어되어 상기 y축을 중심으로 하는 굽힘 설정 값을 유지하며,
상기 프로브의 x축을 중심으로 하는 비틀림 정도는 상기 센서부에서 검출되어, x축을 중심으로 하는 비틀림 설정 값과의 차를 산출한 결과에 따라 상기 회전지지부가 제어되어 상기 x축을 중심으로 하는 비틀림 설정 값을 유지하는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득장치.
제6항에 있어서,
상기 회전지지부에 의해 회전하는 상기 x축 회전부, 상기 프로브 지지대 및 상기 센서부는 프로브의 끝단이 회전 중심이 되도록 회전하는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득장치.
초기 위치의 시편에 접촉되는 프로브로 시편의 입체적인 구조를 검출하는 검출방법에 있어서,
상기 프로브는 상기 시편과 x축, y축 및 z축 방향으로 상대 병진 운동함과 아울러 x축을 중심으로 회전 운동하여,
x축 방향으로 변위 후, y축 방향으로 스캔하는 과정을 반복하되, 상기 시편의 높이에 따라 z축을 따라 이동함과 아울러 상기 시편의 경사도에 따라 x축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득방법.
제9항에 있어서,
상기 시편은 고정된 상태이며,
상기 프로브가 x축, y축, z축을 따라 병진운동함과 아울러 x축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득방법.
제9항에 있어서,
상기 시편은 x축을 중심으로 회전되며,
상기 프로브는 x축, y축, z축을 따라 병진 운동 되는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득방법.
제9항에 있어서,
상기 시편은 x축, y축을 따라 병진 운동하며,
상기 프로브는 z축을 따라 병진 운동함과 아울러 x축을 중심으로 회전 운동하는 것을 특징으로 하는 입체 형상 획득방법.