KR101486015B1 - 덕트 무게 실시간 모니터링 시스템 - Google Patents

덕트 무게 실시간 모니터링 시스템 Download PDF

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KR101486015B1 KR1020140164832A KR20140164832A KR101486015B1 KR 101486015 B1 KR101486015 B1 KR 101486015B1 KR 1020140164832 A KR1020140164832 A KR 1020140164832A KR 20140164832 A KR20140164832 A KR 20140164832A KR 101486015 B1 KR101486015 B1 KR 101486015B1
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홍경모
김정진
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삼성물산 주식회사
주식회사 우진아이엔에스
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명 덕트 모니터링 시스템은 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100); 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

Description

덕트 무게 실시간 모니터링 시스템{Duct Weighing Monitoring System}
본 발명은 덕트 모니터링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자는 산화, 식각, 증착 및 포토 공정 등 여러 제조공정을 반복적으로 거쳐 제조되며 이들 공정에는 다양한 종류의 화학약품과 가스가 사용된다.
최근에는 기가(Giga)급 반도체 소자가 제조되고 있고, 이러한 고집적화에 다른 화학약품(Chemical)과 가스(Gas)의 종류와 사용량이 증대되고 있다.
공정에서 사용된 화학약품(Chemical)과 가스(Gas)는 적절한 처리장치를 거쳐 대기로 배출된다. 배기가스 중에는 화합물형태의 분진이 발생하며 그 중PFC/Toxic 배기 덕트에는 분진이 침적되어 덕트 내에 누적된다. 누적된 분진량이 증가하게 되면 정상적 배기를 방해하여 배기시스템이 정지하게된다. 이는 생산공정의 정지로 연결되어 막대한 손실을 초래할 수 있다. 본 기술은 누적되는 분진의 양을 실시간으로 모니터링하여 생산 공정에 미치는 영향을 최소화하기 위한 기술이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기 위한 도면이다.
종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트는 도 1에 나타낸 바와 같이, 반도체 공정 장비 중 하나인 챔버(10)에서 예를 들면 증착공정 후 챔버(10)내의 분진을 제거하기 위하여 진공펌프(20)에서 해당 분진을 펌핑하여 제1스크러버(30)로 펌핑한다.
제1스크러버(30)는 해당 분진에 대한 스크러빙을 수행하는데, 스크러버는 일반적으로 세정 집진기라고도 한다.
이러한 제1스크러버(30)로부터의 1차 필터링 후에도 집진되지 않은 분진들은 반도체 생산라인 곳곳에 설치된 서브덕트(40)와 연결된 메인덕트인 입상덕트(50)를 통해 제2스크러버(60)로 이동되어 2차 필터링된다. 이때, 종래의 경우 서브덕트(40)에는 차압계(70)가 설치되어 이동 중인 분진들이 서브덕트(40)나 입상덕트(50)에 쌓이는 경우 적절한 시기에 분진에 대한 클리닝을 수행한다.
그러나 종래의 차압계의 경우에는 차압계의 정확도에 따라 정확도가 낮은 차압계의 경우 덕트내 분진이 적재되고, 그에 따라 덕트내의 압력이 감소하여 덕트 정압 헌팅(Hunting)이 발생한다. 그와 같은 경우에는 우선적으로는 배기효율이 감소된다. 심한 경우에는 배기문제로 인해 배기 공정이 갑자기 다운(Shut-down)되는 문제가 발생된다. 이와 같은 문제는 반도체 제조공정에 있어서 수율문제와도 관련이 되어 있으므로 배기공정의 갑작스런 다운 전에 분진에 대한 적절한 클리닝이 필요하다.
대한민국 등록특허 10-0785883호(발명의 명칭 : 반도체 생산라인의 덕트 내부 모니터링 장치) 대한민국 등록특허 10-0711941호(발명의 명칭 : 폐가스 정화처리 장치) 대한민국 등록특허 10-1144147호(발명의 명칭 : 자동압력대응방식의 전기전자식 디퓨져) 대한민국 공개특허 10-2005-0077995호(발명의 명칭 : 가스 히트 펌프를 이용하는 자동 공기 조화기 시스템 및그의 제어 방법)
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 집중되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템을 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 덕트 모니터링 시스템은 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100); 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및 상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
여기서 상기 각각의 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와, 상기 무게측정센서(111)의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 상기 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 상기 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 상기 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성됨이 바람직하다.
그리고 각각의 무게측정센서부(100)는 서브 덕트나 입상 덕트에 설치되고, 상기 서브 덕트나 입상 덕트의 외주면을 둘러싼 볼트 타입 로드 셀로 형성됨이 바람직하다.
또한 덕트 모니터링 서버(300)는, 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장하는 무게측정센싱부 DB(310)와, 상기 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400) 식별정보를 저장하는 관리자 정보 저장부(320)와, 상기 중계기(200)와 통신하여 상기 중계기(200)로부터 전송된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송하는 통신부(330)와, 상기 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 정보와 비교하는 비교부(340)와, 상기 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 상기 모니터(510)에 표시하거나, 상기 입력장치(520)에서 입력되는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 입력받고, 상기 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보하는 접속부(350) 및 상기 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하며, 상기 비교부(340)를 통해 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 상기 통신부(330)를 통해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보 등을 전송하도록 제어하며, 상기 접속부(350)를 통해 상기 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 제어하는 제어부(360)를 포함하여 구성됨이 바람직하다.
그리고 제어부(360)는 상기 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 상기 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 비교결과를 자주 전송하도록 설정되는 것이 바람직하다.
그리고 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법은, 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100); 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)는 설정된 주기로 상기 서브 덕트나 메인 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 중계기(200)로 송신하는 단계(S120); 상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터 무게 데이터를 수신한 덕트 모니터링 서버(300)가 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100) 후에 입력장치(520)를 통해 상기 각각의 무게측정센서부(100)의 설치정보를 상기 덕트 모니터링 서버(300)에 입력하여 저장하는 단계(S110)를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는 상기 분진의 무게 데이터가 중계기(200)로 송신되면(S120), 상기 중계기(200)는 덕트의 분진 무게 데이터를 상기 덕트 모니터링 서버(300)로 전송하는 단계(S130)와, 상기 덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거 무게 정보와 비교하는 단계(S140)를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
한편 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는 상기 덕트 모니터링 서버(300)가 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 상기 덕트를 관리하는 관리자의 관리자 휴대단말(400)로 전송하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150) 다음에, 상기 덕트 모니터링 서버(300)는 분진제거가 필요한 덕트가 있다면(S160), 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 분진의 무게 측정을 무게측정 센서를 이용하여 측정함으로써 정확한 측정이 가능하고, 이를 원격지에서 실시간으로 모니터링 할 수 있으므로 선제적인 분진 제거가 가능하여 반도체 제조 공정의 갑자스러운 정지를 방지하여 생산안정성과 수율을 향상시킬 수 있다.
둘째, 무선통신을 통한 실시간 모니터링 및 경보 시스템을 구축할 수 있으므로 분진관리 인력을 최소화할 수 있다.
도 1 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
아울러, 본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며 이 경우는 해당되는 발명의 설명부분에서 상세히 그 의미를 기재하였으므로, 단순한 용어의 명칭이 아닌 용어가 가지는 의미로서 본 발명을 파악하여야 함을 밝혀두고자 한다. 또한 실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고, 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 반도체 생산라인에서 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동 중 누적될만한 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 분진의 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)와, 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 중계하는 중계기(200)와, 중계기(200)에서 중계된 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 필요한 경우 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300)로 구성된다.
여기서 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 센서부(110)를 예로 하여 상세히 설명하면 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와 무게측정 센서의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성된다. 이러한 무게측정센서부(100)는 특별히 한정할 필요는 없지만 서브 덕트나 입상 덕트에 설치될 수 있고, 덕트의 외주면을 둘러싸는 형태의 볼트 타입 로드 셀을 이용하여 설치할 수 있다.
그리고 덕트 모니터링 서버(300)는 무게측정센싱부 DB(310)와, 관리자 정보 저장부(320)와, 통신부(330)와, 비교부(340)와, 접속부(350) 및 제어부(360)로 구성된다.
무게측정센싱부 DB(310)는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장한다.
관리자 정보 저장부(320)는 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400)패드, 스마트 폰 등)의 식별정보를 저장한다.
통신부(330)는 중계기(200)와 통신하여 중계기(200)로부터 전송된 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 관리자 휴대 단말(400)로 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송한다. 이때, 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 덕트 위치 정보 역시 함께 전송될 수 있다.
비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정센싱부 DB(310)의 분진 제거 정보의 데이터와 비교한다.
접속부(350)는 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 모니터(510)에 표시하거나, 입력장치(520)에서 입력되는 정보(제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보)를 입력받거나, 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보한다.
제어부(360)는 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하여 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 통신부(330)를 통해 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보 등을 전송하도록 제어하며, 접속부(350)를 통해 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 한다. 이때, 제어부(360)는 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 관리자 휴대 단말(400)로 비교결과를 상대적으로 자주 전송하도록 설정할 수 있다. 그와 같은 경우 관리자는 다른 업무에 집중하다가 필요한 경우에는 자주 데이터를 받아 볼 수 있다.
이러한 구성에 따라 분진의 무게 측정을 무게측정 센서를 이용하여 측정함으로써 정확한 측정이 가능하고, 이를 원격지에서 서버 관리자가 실시간으로 모니터링 하거나, 알람부(530)를 통해 알 수 있고, 관리자 휴대 단말(400)로 분진 제거를 요청하므로 선제적인 분진 제거가 가능하여 반도체 제조 공정의 갑자스러운 정지를 방지하여 생산안정성과 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 무선통신을 통한 실시간 모니터링 및 경보 시스템을 구축할 수 있으므로 분진관리 인력을 최소화할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법은 도 4에 나타낸 바와 같이, 덕트에 무게측정 센서부를 설치한다(S100).
이어 입력장치(520)를 통해 무게측정센서부(100)의 설치정보를 덕트모니터링 서버(300)에 저장한다. 이러한 설치정보로는 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 포함한다.
그 다음 무게측정 센서부(100)에서 덕트에 존재하는 분진의 무게를 측정하여 중계기(200)로 송신한다(S120)
그러면 중계기(200)는 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 덕트 모니터링 서버(300)로 전송한다(S130).
덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진의 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 데이터와 비교한다(S140).
덕트 모니터링 서버(300)의 제어부(360)는 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 관리자 휴대단말(400)로 전송한다(S150). 이때, 모니터(510)에는 실시간 정보를 표시하고, 관리자 휴대단말(400)로는 설정된 주기에 따라 전송할 수 있다. 여기서 설정된 주기는 비교 데이터에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 가까워질 수도록 분진 제거에 여유가 있는 무게보다 상대적으로 자주 전송하도록 설정할 수 있다.
그리고 제어부(360)는 분진제거가 필요한 덕트가 있는가를 판단한다(S160).
판단결과(S160) 있다면 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력한다.
본 발명을 첨부된 도면과 함께 설명하였으나, 이는 본 발명의 요지를 포함하는 다양한 실시 형태 중의 하나의 실시예에 불과하며, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 하는 데에 그 목적이 있는 것으로, 본 발명은 상기 설명된 실시예에만 국한되는 것이 아님은 명확하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 하기의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서의 변경, 치환, 대체 등에 의해 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함될 것이다. 또한, 도면의 일부 구성은 구성을 보다 명확하게 설명하기 위한 것으로 실제보다 과장되거나 축소되어 제공된 것임을 명확히 한다.
100, 110, 120, 130 : 제1 내지 제N 무게측정 센서부
200 : 중계기 300 : 덕트 모니터링 서버
310 : 무게측정 센싱부 DB 320 : 관리자 정보 저장부
330 : 통신부 340 : 비교부
350 : 접속부 360 : 제어부
400 : 관리자 휴대 단말 500 : 입출력장치
510 : 모니터 520 : 입력장치
530 : 알람부

Claims (10)

  1. 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100);
    상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및
    상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각각의 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와, 상기 무게측정센서(111)의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 상기 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 상기 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 상기 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 각각의 무게측정센서부(100)는 서브 덕트나 입상 덕트에 설치되고, 상기 서브 덕트나 입상 덕트의 외주면을 둘러싼 볼트 타입 로드 셀로 형성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 덕트 모니터링 서버(300)는,
    상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장하는 무게측정센싱부 DB(310)와,
    상기 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400) 식별정보를 저장하는 관리자 정보 저장부(320)와,
    상기 중계기(200)와 통신하여 상기 중계기(200)로부터 전송된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송하는 통신부(330)와,
    상기 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 정보와 비교하는 비교부(340)와,
    상기 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 상기 모니터(510)에 표시하거나, 상기 입력장치(520)에서 입력되는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 입력받고, 상기 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보하는 접속부(350) 및
    상기 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하며, 상기 비교부(340)를 통해 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 상기 통신부(330)를 통해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보를 전송하도록 제어하며, 상기 접속부(350)를 통해 상기 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 제어하는 제어부(360)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어부(360)는 상기 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 상기 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 비교결과를 전송하는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
  6. 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100);
    상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)는 설정된 주기로 상기 서브 덕트나 메인 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 중계기(200)로 송신하는 단계(S120);
    상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터 무게 데이터를 수신한 덕트 모니터링 서버(300)가 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100) 후에 입력장치(520)를 통해 상기 각각의 무게측정센서부(100)의 설치정보를 상기 덕트 모니터링 서버(300)에 입력하여 저장하는 단계(S110)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는
    상기 분진의 무게 데이터가 중계기(200)로 송신되면(S120), 상기 중계기(200)는 덕트의 분진 무게 데이터를 상기 덕트 모니터링 서버(300)로 전송하는 단계(S130)와, 상기 덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거 무게 정보와 비교하는 단계(S140)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는
    상기 덕트 모니터링 서버(300)가 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 상기 덕트를 관리하는 관리자의 관리자 휴대단말(400)로 전송하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150) 다음에,
    상기 덕트 모니터링 서버(300)는 분진제거가 필요한 덕트가 있다면(S160), 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력하는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
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