KR102000985B1 - 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치 및 그의 오토 티칭 방법 - Google Patents
오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치 및 그의 오토 티칭 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102000985B1 KR102000985B1 KR1020190069116A KR20190069116A KR102000985B1 KR 102000985 B1 KR102000985 B1 KR 102000985B1 KR 1020190069116 A KR1020190069116 A KR 1020190069116A KR 20190069116 A KR20190069116 A KR 20190069116A KR 102000985 B1 KR102000985 B1 KR 102000985B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- teaching
- mirror
- shelf
- time
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H01L21/6734—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/17—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] specially adapted for supporting large square shaped substrates
-
- H01L21/02—
-
- H01L21/67259—
-
- H01L21/67346—
-
- H01L21/67766—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0606—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/18—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] characterised by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3402—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 티칭 기능을 가지는 스토커 장치의 블럭도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 티칭 기능을 가지는 스토커 장치의 선반 프레임의 정면도,
도 5는 도 3에 도시한 미러 브라켓을 예시한 도면,
도 6은 도 5에 도시한 미러 브라켓의 티칭 미러의 구조를 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이등변삼각형을 이용한 측정 원리를 설명하기 위한 도면,
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 주행시 및 승강시 티칭 위치값을 취득하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면,
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레벨 및 베이 결정 방법을 설명하기 위한 도면,
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 티칭 순서를 나타낸 도면, 그리고,
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스토커 장치의 오토 티칭 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
| 미러센서의 현재위치 | 선반 어드레스 |
| 1 | 10503 |
| 2 | 11004 |
| 3 | 11207 |
| 4 | 11706 |
| 5 | 11805 |
200 : 반송 모듈 300 : 제어 모듈
400 : 인터페이스 모듈
Claims (16)
- 매트릭스 형태로 복수개의 선반이 구비되는 선반 프레임;
상기 복수개 선반의 일측에 인접하여 상기 복수개의 선반과 일대일 대응되게 설치되며, 티칭 미러부를 포함하는 미러 브라켓;
상기 티칭 미러부를 감지하는 미러 센서가 설치되며, 오토 티칭에 의해 기설정된 위치정보에 따라 상기 복수개의 선반으로 카세트를 로딩 및 언로딩하는 반송 모듈; 및
상기 미러 센서의 현재 위치정보를 이용하여 티칭 대상 선반의 위치정보를 추적하고, 상기 추적된 티칭 대상 선반의 위치정보에 따라 상기 반송모듈을 주행 및 승강시키는 제어모듈;을 포함하며,
상기 티칭 미러부는, 밑변 및 높이가 동일한 이등변 삼각형에 대응하는 형상의 티칭 미러 및 상기 티칭 미러의 이등변 삼각형의 밑변과 일정한 간격으로 이격되게 설치되는 티칭 확인 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 미러 브라켓에는,
상기 티칭 확인 미러의 하부에 일정한 간격으로 이격되게 설치되는 제1 미러; 및
상기 티칭 미러의 상부에 일정한 간격으로 이격되게 설치되는 제2 미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치. - 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 제어 모듈은, 상기 미러 센서가 티칭 미러를 감지한 후 상기 미러 센서를 티칭 미러의 상부 및 하부로 승강시켜 제1 미러 및 제2 미러가 각각 감지되는 경우 최종적으로 티칭 미러를 감지한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 제어 모듈은, 상기 미러 센서의 현재 위치정보를 이용하여 상기 미러센서의 위치에 대응하는 베이 및 레벨을 결정하는 것을 특징으로 하는 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 제어 모듈은, 상기 결정된 베이 및 레벨에 의해 주행시 및 승강시의 시작 위치와 종료 위치를 설정하는 것을 특징으로 하는 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치. - 선반 프레임에 매트릭스 형태로 설치되는 복수의 선반에 카세트를 로딩 및 언로딩하는 반송모듈을 포함하는 제 1 항 또는 제 2 항에 의한 스토커 장치의 오토 티칭 방법에 있어서,
상기 복수의 선반 중 기준 선반에 대하여 수동 티칭을 수행하는 단계;
상기 복수의 선반 중 티칭 대상을 설정하는 단계;
상기 티칭 대상의 선반에 상기 카세트를 로딩 및 언로딩하는 상기 반송모듈을 주행 및 승강시켜 상기 티칭 미러를 감지하여, 상기 티칭 대상 선반과 대응되는 상기 티칭 확인 미러의 주행시 및 승강시 티칭 위치값을 결정하는 단계; 및
복수개의 티칭 대상 선반에 대해 상기 티칭 위치값을 결정하는 단계를 반복하여 선반과 대응되는 복수개의 티칭 위치값을 저장하여 관리하는 오토 티칭을 수행하는 단계;를 포함하는 스토커 장치의 오토 티칭 방법. - 제 12 항에 있어서,
상기 오토 티칭을 수행하는 단계는,
상기 반송모듈에 구비되어 있는 미러 센서의 현재 위치정보를 이용하여 베이 및 레벨을 결정하는 단계;
상기 결정된 베이 및 레벨에 의해 상기 반송모듈에 대한 주행시 및 승강시의 시작 위치와 종료 위치를 설정하는 단계; 및
상기 설정된 주행시 및 승강시의 시작 위치와 종료 위치에 기반하여, 오토 티칭을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치의 오토 티칭 방법. - 제 12 항에 있어서,
상기 오토 티칭이 정상적으로 수행되지 않을 경우, 상기 미러 센서의 현재 위치를 기설정된 승강크기만큼 승강시킨 후 기설정된 재시도 횟수만큼 오토 티칭을 재수행하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 장치의 오토 티칭 방법.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180121720 | 2018-10-12 | ||
| KR20180121720 | 2018-10-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102000985B1 true KR102000985B1 (ko) | 2019-07-17 |
Family
ID=67512732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020190069116A Expired - Fee Related KR102000985B1 (ko) | 2018-10-12 | 2019-06-12 | 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치 및 그의 오토 티칭 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102000985B1 (ko) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210070505A (ko) * | 2019-12-05 | 2021-06-15 | 주식회사 원익아이피에스 | 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 오토 티칭 방법 |
| KR20220004294A (ko) * | 2020-07-03 | 2022-01-11 | 세메스 주식회사 | 물품 보관 장치 및 그 제어 방법 |
| KR20220064452A (ko) * | 2020-11-11 | 2022-05-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 자동반송시스템의 제어방법 |
| CN115826114A (zh) * | 2023-02-17 | 2023-03-21 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 一种反光板及基于该反光板的堆垛机货架位置的示教方法 |
| CN116087968A (zh) * | 2023-01-20 | 2023-05-09 | 松下神视电子(苏州)有限公司 | 传感器 |
| KR20240013941A (ko) * | 2022-07-21 | 2024-01-31 | 주식회사 엔피씨이에스 | 기판 이송 로봇의 오토 티칭 방법 및 오토 티칭 시스템 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002068410A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 自動倉庫ロボットの自動ティーチング方法と自動ティーチング装置 |
| KR20140042191A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 주식회사 에스에프에이 | 반송시스템의 위치인식방법 및 그 위치인식지그 |
| KR20140042190A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 주식회사 에스에프에이 | 자동보정 및 티칭로딩이 가능한 자동반송시스템 및 제어방법 |
| KR101640122B1 (ko) | 2014-05-14 | 2016-07-22 | 주식회사 에스에프에이 | 스토커 티칭 방법 및 그 시스템 |
-
2019
- 2019-06-12 KR KR1020190069116A patent/KR102000985B1/ko not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002068410A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 自動倉庫ロボットの自動ティーチング方法と自動ティーチング装置 |
| KR20140042191A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 주식회사 에스에프에이 | 반송시스템의 위치인식방법 및 그 위치인식지그 |
| KR20140042190A (ko) * | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 주식회사 에스에프에이 | 자동보정 및 티칭로딩이 가능한 자동반송시스템 및 제어방법 |
| KR101419348B1 (ko) * | 2012-09-28 | 2014-07-15 | 주식회사 에스에프에이 | 반송시스템의 위치인식방법 및 그 위치인식지그 |
| KR101640122B1 (ko) | 2014-05-14 | 2016-07-22 | 주식회사 에스에프에이 | 스토커 티칭 방법 및 그 시스템 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210070505A (ko) * | 2019-12-05 | 2021-06-15 | 주식회사 원익아이피에스 | 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 오토 티칭 방법 |
| KR102614937B1 (ko) | 2019-12-05 | 2023-12-19 | 주식회사 원익아이피에스 | 풉 이송 로봇의 오토 티칭 장치 및 오토 티칭 방법 |
| KR20220004294A (ko) * | 2020-07-03 | 2022-01-11 | 세메스 주식회사 | 물품 보관 장치 및 그 제어 방법 |
| KR102520136B1 (ko) | 2020-07-03 | 2023-04-07 | 세메스 주식회사 | 물품 보관 장치 및 그 제어 방법 |
| KR20220064452A (ko) * | 2020-11-11 | 2022-05-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 자동반송시스템의 제어방법 |
| CN114545917A (zh) * | 2020-11-11 | 2022-05-27 | 三星显示有限公司 | 自动搬送系统的控制方法 |
| KR102430980B1 (ko) * | 2020-11-11 | 2022-08-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 자동반송시스템의 제어방법 |
| KR20240013941A (ko) * | 2022-07-21 | 2024-01-31 | 주식회사 엔피씨이에스 | 기판 이송 로봇의 오토 티칭 방법 및 오토 티칭 시스템 |
| KR102742216B1 (ko) * | 2022-07-21 | 2024-12-12 | 주식회사 엔피씨이에스 | 기판 이송 로봇의 오토 티칭 방법 및 오토 티칭 시스템 |
| CN116087968A (zh) * | 2023-01-20 | 2023-05-09 | 松下神视电子(苏州)有限公司 | 传感器 |
| CN116087968B (zh) * | 2023-01-20 | 2024-04-30 | 松下神视电子(苏州)有限公司 | 传感器 |
| CN115826114A (zh) * | 2023-02-17 | 2023-03-21 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 一种反光板及基于该反光板的堆垛机货架位置的示教方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102000985B1 (ko) | 오토 티칭 기능을 갖는 스토커 장치 및 그의 오토 티칭 방법 | |
| US10414050B2 (en) | Automated assembly method using automated assembly apparatus | |
| KR101647923B1 (ko) | 카세트 수납을 위한 스토커 및 그 내부에 배치된 스토커 로봇의 티칭 방법 | |
| CN109789971B (zh) | 搬运装置以及搬运方法 | |
| US11649113B2 (en) | Conveyance device | |
| US10494178B2 (en) | Teaching apparatus, transport system, and method for measuring positioning pins | |
| CN101271857A (zh) | 基板移载装置、基板移载方法和存储介质 | |
| JP2012523682A (ja) | センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア | |
| KR101548920B1 (ko) | 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법 | |
| JP6553489B2 (ja) | 部品実装機、および部品実装機のウエハ部品吸着高さ調整方法 | |
| CN117798941A (zh) | 搬运系统以及搬运方法 | |
| US8444129B2 (en) | Methods of verifying effectiveness of a put of a substrate onto a substrate support | |
| JP4926895B2 (ja) | スタッカクレーンの自動ティーチング方法 | |
| JP4401829B2 (ja) | スタッカークレーンの自動ティーチング装置 | |
| CN114426201B (zh) | 一种基板搬运机器人及其控制方法 | |
| JPH10335420A (ja) | ワークのアライメント装置 | |
| JP7126058B2 (ja) | 部品実装装置および実装基板の製造方法 | |
| KR102783215B1 (ko) | 반송 로봇의 오토 티칭 장치 및 방법 | |
| JP6879022B2 (ja) | 自動倉庫システム | |
| KR20080046380A (ko) | 쉘프 콘트롤 시스템 및 이를 포함하는 스토커 | |
| KR101640122B1 (ko) | 스토커 티칭 방법 및 그 시스템 | |
| JP4569419B2 (ja) | 電子部品実装装置、電子部品実装方法およびノズル高さ検出方法 | |
| JP2024154985A (ja) | ロボットの自動教示方法及びロボット制御装置 | |
| KR101096714B1 (ko) | 스토커 시스템 및 그 제어방법과 셋팅방법 | |
| JP5332223B2 (ja) | 自動倉庫及び自動倉庫の荷搬送方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
| PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
| A302 | Request for accelerated examination | ||
| PA0302 | Request for accelerated examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D17-exm-PA0302 St.27 status event code: A-1-2-D10-D16-exm-PA0302 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
| P14-X000 | Amendment of ip right document requested |
St.27 status event code: A-5-5-P10-P14-nap-X000 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| P16-X000 | Ip right document amended |
St.27 status event code: A-5-5-P10-P16-nap-X000 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R14-asn-PN2301 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903 Not in force date: 20240712 Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE |
|
| PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903 Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE Not in force date: 20240712 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |



















