KR102535112B1 - 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법 - Google Patents

온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

마스크 필름을 인장시킨 상태에서 접착 부재를 이용하여 유리 기재에 부착시킨 복합 구조를 갖는 것에 의해, 온도 및 습도에 대하여 안정적이므로 장 기간 동안 반복 사용하더라도 뒤틀림 없이 변화량을 최소화할 수 있는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.

Description

온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법{HYBRID TYPE PHOTOMASK WITH EXCELLENT TEMPERATURE AND HUMIDITY STABILITY AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF}
본 발명은 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마스크 필름을 인장시킨 상태에서 접착 부재를 이용하여 유리 기재에 부착시킨 복합 구조를 갖는 것에 의해, 온도 및 습도에 대하여 안정적이므로 장 기간 동안 반복 사용하더라도 뒤틀림이 발생할 염려가 없어 변화량을 최소화할 수 있는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 표시장치는 다양한 디바이스에 적용되어 사용되고 있다. 이러한 표시장치는 스마트폰, 태블릿 PC 등과 같은 소형 디바이스뿐만 아니라, TV, 모니터, 퍼블릭 디스플레이(PD, Public Display) 등과 같은 대형 디바이스에 적용되고 있다.
최근, 500 PPI(Pixel Per Inch) 이상의 초고해상도 UHD(UHD, Ultra High Definition)에 대한 수요가 증가하고 있으며, 고해상도 표시장치가 소형 디바이스 및 대형 디바이스에 적용되고 있다. 이에 따라, 저전력 및 고해상도 구현을 위한 기술에 대한 관심이 높아지고 있다.
일반적으로 사용되는 표시장치는 구동 방법에 따라 크게 LCD(Liquid Crystal Display) 및 OLED(Organic Light Emitting Diode) 등으로 구분될 수 있다. LCD는 액정(Liquid Crystal)을 이용하여 구동되는 표시장치로 액정의 하부에는 CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp) 또는 LED(Light Emitting Diode) 등을 포함하는 광원이 배치되는 구조이며, 광원 상에 배치되는 액정을 이용하여 광원으로부터 방출되는 빛의 양을 조절하여 구동되는 표시장치다.
이러한 표시장치를 제조하기 위해서는 노광, 현상, 식각 등의 공정을 수행하게 된다. 이러한 노광 공정을 수행하기 위해 사용되는 포토마스크는 반도체나 디스플레이 패널을 포함하는 고도의 정밀성을 요구하는 전자장치의 제조에 사용되며, 포토레지스트나 드라이 필름이 입혀진 웨이퍼, 유리기판 위에 노광 공정을 통해서 금속패턴 등이 형성되게 하는 제품이다.
특히, OLED 표시장치에서 발광층에 포함된 유기물은 파인 메탈 마스크(FMM, Fine Metal Mask)라 불리는 OLED용 메탈 마스크에 의해 기판 상에 증착될 수 있고, 증착된 유기물은 OLED용 메탈 마스크에 형성된 마스크 패턴 홀과 대응되는 패턴으로 형성되어 화소의 역할을 수행할 수 있다.
이러한 OLED용 메탈 마스크 역시 노광, 현상, 식각 등의 공정을 수행하여 제조하고 있다. 즉, OLED용 메탈 마스크의 제조시 포토레지스트나 드라이 필름이 입혀진 금속판 위에 노광 공정을 통해서 마스크 패턴 홀을 형성하게 되는 것이다.
일반적으로, 포토마스크는 웨이퍼, 금속판, 유리기판 등의 상하 양측에 2장을 장착한 상태에서 노광 공정을 수행하게 된다.
이러한 포토마스크는 PET 필름 기반의 필름 포토마스크(Film Photo Mask : FPM)와 글래스 기반의 글래스 포토마스크(Glass Photo Mask : GPM)가 사용되고 있으나, 6세대 하프(G6H) 사이즈 급의 오픈 메탈 마스크(Open Metal Mask : OMM)를 제조하기 위해서는 필름 포토마스크를 사용하는 것이 불가피하다.
이러한 필름 포토마스크는 글래스 포토마스크에 비하여 정밀도가 낮으며,　제조 이후에도 주변 환경(온도/습도)의 영향에 민감하여 수치가 변하는 단점이 있으나, 6세대 하프(G6H) 사이즈 급 대응이 가능하며 비용이 저렴한 장점이 있다.
반면, 글래스 포토마스크의 경우에는 종류에 따라 우수한 정도의 차이가 있으나, 제조 시 위치(Plotting) 정밀도나 이후 환경에 의한 변화 측면에서 필름 포토마스크 보다 우수한 특성을 나타낸다.
이러한 글래스 포토마스크는 소다라임 크롬 글래스(sodalime chrome glass)와 석영 크롬 글래스(quartz chrome glass)로 구분되며,　석영 크롬 마스크는 비용이 비싸지만 가장 우수한 성능을 보인다.
따라서, 사이즈 한계와 비용 절약의 이유로 필름 포토마스크의 사용이 필수적인 상황이며, 갈수록 요구되는 높은 품질의 오픈 메탈 마스크를 제조하기 위해서는 필름 포토마스크를 개선시키는 것이 필요하다.
관련 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0053427호(2019.05.20. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 필름 마스크 및 그 제조 방법이 기재되어 있다.
본 발명의 목적은 마스크 필름을 인장시킨 상태에서 접착 부재를 이용하여 유리 기재에 부착시킨 복합 구조를 갖는 것에 의해, 온도 및 습도에 대하여 안정적이므로 장 기간 동안 반복 사용하더라도 뒤틀림이 발생할 염려가 없어 변화량을 최소화할 수 있는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법은 (a) 차광 패턴이 형성된 마스크 필름을 출력하는 단계; (b) 상기 출력된 마스크 필름을 인장기에 로딩하고, 인장하여 상기 마스크 필름의 차광 패턴을 위치 정렬하는 단계; 및 (c) 상기 인장된 마스크 필름의 일면을 접착 부재를 매개로 유리 기재의 상면에 합착하는 단계;를 포함하며, 상기 (c) 단계에서, 상기 접착 부재는 마스크 필름의 일면과 유리 기재의 상면 사이에서, 상기 마스크 필름의 네 가장자리와 대응되는 위치에 배치되어, 상기 마스크 필름의 네 가장자리 끝단과 중첩되도록 배치된 것을 특징으로 한다.
상기 출력된 마스크 필름은 제1 평면적을 갖고, 상기 인장된 마스크 필름은 상기 제1 평면적보다 큰 제2 평면적을 갖는다.
상기 (b) 단계에서, 상기 인장기의 인장 클램프는 상기 출력된 마스크 필름의 네측 변에 각각 장착되며, 상기 인장기의 인장 클램프가 출력된 마스크 필름의 상하좌우 네 방향으로 각각 인장하면서 실시간으로 차광 패턴의 위치를 정렬한다.
상기 유리 기재는 상기 마스크 필름과 마주보는 상면에 제1 그루브 패턴을 구비하고, 상기 마스크 필름은 상기 유리 기재의 상면과 마주보는 일면에 제2 그루브 패턴을 구비한다.
상기 제1 및 제2 그루브 패턴은 상기 접착 부재와 대응되는 위치에 배치되되, 상기 제1 그루브 패턴은 역삼각형 형상을 갖고, 상기 제2 그루브 패턴은 삼각형 형상을 갖는 것에 의해, 상기 제1 및 제2 그루브 패턴 상호 간이 대칭 구조를 갖는다.
상기 (c) 단계 이후, (d) 상기 유리 기재의 상면과 마스크 필름의 측면 및 타면을 덮는 고정 부재를 이용하여, 상기 합착된 마스크 필름 및 유리 기재를 고정시키는 단계;를 더 포함한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 상면 및 하면을 갖는 유리 기재; 상기 유리 기재의 상면 상에 일면이 안착되되, 차광 패턴을 구비하고, 인장에 의해 상기 차광 패턴이 위치 정렬된 마스크 필름; 및 상기 인장된 마스크 필름과 유리 기재를 합착시키기 위한 접착 부재;를 포함하며, 상기 접착 부재는 마스크 필름의 일면과 유리 기재의 상면 사이에서, 상기 마스크 필름의 네 가장자리와 대응되는 위치에 배치되어, 상기 마스크 필름의 네 가장자리 끝단과 중첩되도록 배치된 것을 특징으로 한다.
상기 유리 기재는 상기 마스크 필름과 마주보는 상면에 제1 그루브 패턴을 구비하고, 상기 마스크 필름은 상기 유리 기재의 상면과 마주보는 일면에 제2 그루브 패턴을 구비한다.
상기 제1 및 제2 그루브 패턴은 상기 접착 부재와 대응되는 위치에 배치되되, 상기 제1 그루브 패턴은 역삼각형 형상을 갖고, 상기 제2 그루브 패턴은 삼각형 형상을 갖는 것에 의해, 상기 제1 및 제2 그루브 패턴 상호 간이 대칭 구조를 갖는다.
상기 포토마스크는 상기 합착된 마스크 필름 및 유리 기재를 고정시키기 위해, 상기 유리 기재의 상면과 마스크 필름의 측면 및 타면을 덮는 고정 부재;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법은 마스크 필름을 인장시킨 상태에서 접착 부재를 이용하여 유리 기재에 부착시킨 복합 구조를 갖는 것에 의해, 온도 및 습도에 대하여 안정적이므로 장 기간 동안 반복 사용하더라도 뒤틀림이 발생할 염려가 없어 변화량을 최소화할 수 있게 된다.
아울러, 본 발명에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법은 출력된 마스크 필름을 인장기를 이용하여 인장할 시 실시간으로 차광 패턴의 위치를 측정한 후 유리 기재에 접착 부재를 매개로 부착 및 고정되는 것에 의해, 차광 패턴에 대한 위치 정밀도를 향상시킬 수 있어 노광 공정에 대한 신뢰성 확보가 가능해질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법은 노광 공정에 대한 신뢰성 확보가 가능하면서도 상대적으로 저가의 고분자 필름 및 글래스 등의 재질을 사용하므로, 고가의 글래스 포토마스크(소다라임 크롬 마스크 또는 석영 크롬 마스크)에 비하여 제조 원가를 획기적으로 절감할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법은 출력된 마스크 필름을 인장시켜 마스크 필름의 차광 패턴을 위치 정렬시킨 상태에서 마스크 필름과 유리 기재를 접착 부재로 합착시킨 복합 구조로 이루어지므로, 차광 패턴의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.
아울러, 본 발명에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법은 장 기간의 사용으로 포토마스크를 폐기 처분해야 할 시, 접착 부재 또는 접착 부재 및 고정 부재를 제거하여 유리 기재로부터 마스크 필름을 떼어내고 세척하는 것에 의해 유리 기재를 재활용하는 것이 가능하므로 제조 원가를 보다 절감할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법은 유리 기재 및 마스크 필름이 상호 대칭 구조의 제1 그루브 패턴 및 제2 그루브 패턴을 구비하는 것에 의해, 유리 기재의 제1 그루브 패턴과 마스크 필름의 제2 그루브 패턴 사이 공간에서 압착되는 접착 부재와의 접착 면적을 보다 확장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유리 기재 및 마스크 필름의 내부에 임베디드 형태로 삽입되므로 유리 기재와 마스크 필름 간의 접합력을 보다 향상시킬 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크를 나타낸 평면도.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크를 보다 구체적으로 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 변형예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크를 나타낸 단면도.
도 5는 도 4의 A 부분을 확대하여 나타낸 단면도.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법을 나타낸 공정 평면도.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법을 나타낸 공정 단면도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 및 그 제조 방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크를 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크(100)는 OLED용 메탈 마스크의 제조시, 포토레지스트 또는 드라이 필름을 선택적으로 노광하기 위한 노광 공정을 수행하는 과정에서 사용하기 위한 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
이를 위해, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크(100)는 유리 기재(120), 마스크 필름(140) 및 접착 부재(160)를 포함한다.
유리 기재(120)는 상면(120a) 및 상면(120a)에 반대되는 하면(120b)을 갖는다. 이러한 유리 기재(120)의 재질로는 실리케이트를 포함하는 유리가 이용될 수 있다. 예를 들어, 유리 기재(120)는 알루미노실리케이트, 보로실리케이트, 보로알루미노실리케이트 등에서 선택될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 아울러, 유리 기재(120)는 내구성, 표면 평활성 및 투명도를 향상시키기 위한 첨가 물질이 더 포함되어 있을 수 있다. 첨가 물질로는 알칼리 금속이나, 알칼리 토금속 및 이들의 산화물일 수 있다.
유리 기재(120)는 온도 및 습도에 민감한 마스크 필름(140)에 비하여, 온도 및 습도에 매우 안정적일 뿐만 아니라 우수한 내구성을 갖는다. 이러한 유리 기재(120)는 마스크 필름(140)을 안정적으로 안착시키기 위해 마스크 필름(140)에 비하여 큰 면적을 갖는 것이 바람직하다.
마스크 필름(140)은 일면(140a) 및 일면(140a)에 반대되는 타면(140b)을 가지며, 유리 기재(120)의 상면(120a) 상에 일면(140a)이 안착된다. 이러한 마스크 필름(140)은 차광 패턴(145)을 구비하고, 인장에 의해 차광 패턴(145)이 위치 정렬된 상태로 유리 기재(120)의 상면(120a)에 안착된다.
이러한 마스크 필름(140)은 마스크 필름(140)의 일면(140a)이 유리 기재(120)의 상면(120a)과 마주보도록 안착된다.
차광 패턴(145)은 마스크 필름(140)의 타면(140b) 상에 형성되어 있을 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 차광 패턴(145)은 마스크 필름(140)의 일면(140a) 상에 형성되어 있을 수도 있다. 아울러 차광 패턴(145)은 마스크 필름(140)의 일면(140a) 또는 타면(140b) 내에 매립되는 임베디드 형태로 형성될 수도 있다.
마스크 필름(140)은 플렉서블한 재질의 고분자 필름 재질로 형성될 수 있다. 고분자 필름은 COP(cyclo olefin copolymer) 필름, PMMA(poly(methyl methacrylate) 필름, PC(polycarbonate) 필름; PE(polyethylene) 필름, PVA(polyvinyl alcohol) 필름, PES(poly ether sulfone) 필름, PPS(polyphenylsulfone) 필름, PEI(polyetherimide) 필름, PEN(polyethylenemaphthatlate) 필름, PET(polyethyleneterephtalate) 필름 및 PI(polyimide) 필름 중 선택된 어느 하나일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
아울러, 차광 패턴(145)은 광을 차단하는 차광부로만 이루어질 수 있다. 이와 달리, 차광 패턴(145)은 광을 차단하는 차광부와, 광의 일부는 차단하고 일부는 투과시키는 반투과부로 이루어질 수 있다. 이를 위해, 차광 패턴(145)의 반투과부는 슬릿 형태로 설계될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
이러한 차광 패턴(145)은 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 바나듐(V), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 니오브(Nb), 티타늄(Ti), 철(Fe), 크롬(Cr), 코발트(Co) 및 구리(Cu) 중 선택된 1종 이상의 금속 물질로 이루어질 수 있다.
접착 부재(160)는 인장된 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)를 합착시키는 역할을 한다.
이러한 접착 부재(160)는 마스크 필름(140)의 일면(140a)과 유리 기재(120)의 상면(120a) 사이에서, 마스크 필름(140)의 네 가장자리와 대응되는 위치에 배치되어, 마스크 필름(140)의 네 가장자리 끝단과 중첩되도록 배치된다. 이와 같이, 접착 부재(160)가 마스크 필름(140)과 유리 기재(120) 사이에서 마스크 필름(140)의 네 가장자리 끝단을 따라 중첩되도록 형성되는 것에 의해, 마스크 필름(140)의 가장자리 끝단 부분이 가압되면서 마스크 필름(140)을 유리 기재(120)에 견고하게 부착시켜 안정적인 합착이 이루어질 수 있게 된다.
즉, 접착 부재(160)는 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)의 중첩된 사이 공간에 삽입 배치되어, 마스크 필름(140)의 일면(140a)과 유리 기재(120)의 상면(120a) 상호 간을 물리적으로 견고하게 부착시키게 된다.
이를 위해, 접착 부재(160)는 대략 -10 ~ 40℃의 상온 접합력이 우수한 점접착제를 이용하는 것이 바람직한데, 이는 마스크 필름(140)이 고온에 노출될 시 인장된 마스크 필름(140)에 변형을 유발할 수 있기 때문이다.
이러한 접착 부재(160)는 감압성 점접착제(pressure sensitive adhesive: PSA) 또는 광학 투명 점접착제(optically clear adhesive: OCA)로 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 접착 부재(160)는 (메타)아크릴계 공중합체, 우레탄계 공중합체, 실리콘계 공중합체, 에폭시계 공중합체 등의 점착성 공중합체를 포함하는 OCA 조성물일 수 있다. 이 중, 접착 부재(160)로는 (메타)아크릴계 공중합체 또는 실리콘계 공중합체를 이용하는 것이 보다 바람직하다.
이러한 접착 부재(160)는 양면 테이프 형태의 PSA 필름 또는 OCA 필름을 유리 기재(120) 또는 마스크 필름(140)의 표면에 부착하고, 상온에서 가압 롤러 또는 가압 프레스로 압착하는 것에 의해 형성될 수 있다. 또한, 접착 부재(160)는 점착제 조성물을 유리 기재(120) 또는 마스크 필름(140)의 표면 상에 디스펜서 노즐 코팅(dispenser nozzle coating), 나이프 코팅(knife coating), 스프레이 코팅(spray coating), 딥 코팅(dip coating) 및 바 코팅(bar coating) 방법 중 어느 하나의 방식으로 도포하고, 상온에서 건조하는 것에 형성될 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 접착 부재(160)는 유리 기재(120) 상의 인장된 마스크 필름(140)의 네 가장자리 끝단과 중첩되는 위치에 형성된다. 이후, 인장된 마스크 필름(140)을 접착 부재(160)를 매개로 유리 기재(120)에 부착하여 합착하게 되는 것이다.
한편, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크를 보다 구체적으로 나타낸 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크(100)는 유리 기재(120), 마스크 필름(140) 및 접착 부재(160)와 더불어, 고정 부재(180)를 더 포함할 수 있다.
고정 부재(180)는 합착된 마스크 필름(140) 및 유리 기재(120)를 고정시키기 위해, 유리 기재(120)의 상면(120a)과 마스크 필름(140)의 측면 및 타면(140b)을 덮도록 형성된다.
이러한 고정 부재(180)는 마스크 필름(140)의 타면(140b) 네 가장자리 및 네 측면과 마스크 필름(140)의 네 가장자리에 인접한 유리 기재(120)의 상면(120a)을 따라 형성되어, 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)를 고정시키게 된다. 이에 따라, 고정 부재(180)는 마스크 필름(140)과 유리 기재(120) 상호 간을 물리적으로 견고하게 부착시키게 된다.
여기서, 고정 부재(180)는 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)의 중첩된 사이 공간에 삽입 배치된 접착 부재(160)와 상호 접합시키는 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 고정 부재(180)는 접착 부재(160)와 측면 접합 방식에 의해 상호 간이 접합된다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에서는, 마스크 필름(140)을 인장시킨 상태에서 유리 기재(120)에 견고하게 부착시킨 복합 구조를 갖는 것에 의해, 온도 및 습도에 대한 안정성 확보가 가능하여 반복 사용에 의한 변화량을 최소화할 수 있게 된다.
아울러, 본 발명의 실시예에서는, 출력된 마스크 필름(140)을 인장기를 이용하여 인장할 시 실시간으로 차광 패턴(145)의 위치를 측정한 상태에서 접착 부재(160) 또는 접착 부재(160) 및 고정 부재(180)를 매개로 유리 기재(120)에 합착시키는 것에 의해, 마스크 필름(140)의 차광 패턴(145)에 대한 위치 정밀도를 향상시킬 수 있어 노광 공정에 대한 신뢰성을 확보할 수 있게 된다.
이러한 고정 부재(180)는, 접착 부재(160)와 마찬가지로, 대략 -10 ~ 40℃의 상온 접합력이 우수한 점접착제를 이용하는 것이 바람직한데, 이는 마스크 필름(140)이 고온에 노출될 시 인장된 마스크 필름에 변형을 유발할 수 있기 때문이다.
이를 위해, 고정 부재(180)는 감압성 점접착제(pressure sensitive adhesive: PSA) 또는 광학 투명 점접착제(optically clear adhesive: OCA)로 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 고정 부재(180)는 (메타)아크릴계 공중합체, 우레탄계 공중합체, 실리콘계 공중합체, 에폭시계 공중합체 등의 점착성 공중합체를 포함하는 OCA 조성물일 수 있다. 이 중, 고정 부재(180)로는 (메타)아크릴계 공중합체 또는 실리콘계 공중합체를 이용하는 것이 보다 바람직하다.
고정 부재(180)는 양면 테이프 형태의 PSA 필름 또는 OCA 필름을 유리 기재(120) 및 마스크 필름(140)의 표면에 각각 부착하고, 상온에서 가압 롤러 또는 가압 프레스로 압착하는 것에 의해 형성될 수 있다. 또한, 고정 부재(180)는 점착제 조성물을 유리 기재(120) 및 마스크 필름(140)의 표면 상에 디스펜서 노즐 코팅(dispenser nozzle coating), 나이프 코팅(knife coating), 스프레이 코팅(spray coating), 딥 코팅(dip coating) 및 바 코팅(bar coating) 방법 중 어느 하나의 방식으로 도포하고, 상온에서 건조하는 것에 형성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 변형예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크를 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4의 A 부분을 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 변형예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크(200)는 유리 기재(220), 마스크 필름(240) 및 접착 부재(260)를 포함한다. 이때, 본 발명의 변형예에 따른 유리 기재(220) 및 마스크 필름(240)은 제1 그루브 패턴(H1) 및 제2 그루브 패턴(H2)을 더 포함하는 것을 제외하고는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 본 발명의 실시예와 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
본 발명의 변형예에서, 유리 기재(220)는 마스크 필름(240)과 마주보는 상면(220a)에 제1 그루브 패턴(H1)을 구비하고, 마스크 필름(240)은 유리 기재(220)의 상면(220a)과 마주보는 일면(240a)에 제2 그루브 패턴(H2)을 구비한다.
여기서, 제1 및 제2 그루브 패턴(H1, H2)은 접착 부재(260)와 대응되는 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 이러한 제1 및 제2 그루브 패턴(H1, H2)은 접착 부재(260)와 실질적으로 동일하거나, 좁은 폭으로 형성될 수 있다.
이때, 단면 상으로 볼 때, 제1 그루브 패턴(H1)은 역삼각형 형상을 갖고, 제2 그루브 패턴(H2)은 삼각형 형상을 갖는다. 이에 따라, 제1 및 제2 그루브 패턴(H1, H2) 상호 간은 대칭 구조를 갖는다.
여기서, 제1 그루브 패턴(H1)은 유리 기재(220) 전체 두께의 10% 이하의 높이를 갖는 것이 바람직한데, 이는 제1 그루브 패턴(H1)의 높이가 유리 기재(220) 전체 두께의 10%를 초과하여 과도한 높이로 설계될 시에는 유리 기재(220)의 가공시 유리 기재(220)에 크랙 등의 불량을 유발할 수 있기 때문이다.
아울러, 제2 그루브 패턴(H2)은 마스크 필름(240) 전체 두께의 50% 이하의 높이를 갖는 것이 바람직한데, 이는 제2 그루브 패턴(H2)의 높이가 마스크 필름(240) 전체 두께의 50%를 초과하여 과도한 높이로 설계될 시에는 마스크 필름(240)의 강도 및 강성을 약화시키는 요인으로 작용할 수 있기 때문이다.
본 발명의 변형예와 같이, 유리 기재(220)의 상면(220a)에는 제1 그루브 패턴(H1)이 구비되고, 유리 기재(220)의 상면(220a)과 마주보는 마스크 필름(240)의 일면(240a)에는 제2 그루브 패턴(H2)이 구비된다.
이와 같이, 유리 기재(220) 및 마스크 필름(240)이 상호 대칭 구조의 제1 그루브 패턴(H1) 및 제2 그루브 패턴(H2)을 구비하는 것에 의해, 유리 기재(220)의 제1 그루브 패턴(H1)과 마스크 필름(240)의 제2 그루브 패턴(H2) 사이 공간에서 압착되는 접착 부재(260)와의 접착 면적을 보다 확장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유리 기재(220) 및 마스크 필름(240)의 내부에 임베디드 형태로 접착 부재(260)가 삽입되므로 유리 기재(220)와 마스크 필름(240) 간의 접합력을 보다 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
아울러, 본 발명의 변형예와 같이, 접합 부재(260)는 유리 기재(220)와 마스크 필름(240)의 사이 공간에서 제1 그루브 패턴(H1) 및 제2 그루브 패턴(H2)과 중첩된 위치에 부착된다.
여기서, 접합 부재(260)는 접합 부재(260)의 내부에 균일하게 분산되도록 첨가된 접착 강화 필러(265)를 구비할 수 있다. 이러한 접착 강화 필러(265)는 산화알루미늄(Al2O3), 실리카(Silica), 질화알루미늄(AlN), 질화붕소(BN), 실리콘카바이드(SiC) 및 탈크(Talc) 중 선택된 1종 이상을 이용하는 것이 바람직하다.
접착 강화 필러(265)는 접착 부재(260) 전체 100 중량%에 대하여, 0.5 ~ 10 중량%의 함량비로 첨가되는 것이 바람직하고, 보다 바람직한 범위로는 1 ~ 2 중량%를 제시할 수 있다. 접착 강화 필러(265)의 첨가량이 0.5 중량% 미만일 경우에는 그 첨가량이 미미한 관계로 유리 기재(220)와 마스크 필름(240) 간의 접착 강화 효과를 제대로 발휘하는데 어려움이 따를 수 있다. 반대로, 접착 강화 필러(265)의 첨가량이 10 중량%를 초과할 경우에는 유리 기재(220)와 마스크 필름(240) 간의 접합력은 향상될 수 있으나, 내열성이 저하될 우려가 있다.
이러한 접착 강화 필러(265)는 10 ~ 1,000nm의 평균 직경을 갖는 것을 이용하는 것이 바람직하고, 보다 바람직한 범위로는 30 ~ 200nm를 제시할 수 있다. 접착 강화 필러(265)의 평균 직경이 10nm 미만일 경우에는 그 크기가 미세화됨에 따라 입자의 분산성의 문제로 인해 접착력이 저하될 수 있다. 반대로, 접착 강화 필러(265)의 평균 직경이 1,000nm를 초과할 경우에는 불가피하게 접착 부재(260)의 두께가 증가될 수 밖에 없어 내열성 등의 물성이 저하될 우려가 있다.
지금까지 살펴본 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 마스크 필름을 인장시킨 상태에서 접착 부재를 이용하여 유리 기재에 부착시킨 복합 구조를 갖는 것에 의해, 온도 및 습도에 대하여 안정적이므로 장 기간 동안 반복 사용하더라도 뒤틀림이 발생할 염려가 없어 변화량을 최소화할 수 있게 된다.
아울러, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 출력된 마스크 필름을 인장기를 이용하여 인장할 시 실시간으로 차광 패턴의 위치를 측정한 후 유리 기재에 접착 부재를 매개로 부착 및 고정되는 것에 의해, 차광 패턴에 대한 위치 정밀도를 향상시킬 수 있어 노광 공정에 대한 신뢰성 확보가 가능해질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 노광 공정에 대한 신뢰성 확보가 가능하면서도 상대적으로 저가의 고분자 필름 및 글래스 등의 재질을 사용하므로, 고가의 글래스 포토마스크(소다라임 크롬 마스크 또는 석영 크롬 마스크)에 비하여 제조 원가를 획기적으로 절감할 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 출력된 마스크 필름을 인장시켜 마스크 필름의 차광 패턴을 위치 정렬시킨 상태에서 마스크 필름과 유리 기재를 접착 부재로 합착시킨 복합 구조로 이루어지므로, 차광 패턴의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.
아울러, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 장 기간의 사용으로 포토마스크를 폐기 처분해야 할 시, 접착 부재 또는 접착 부재 및 고정 부재를 제거하여 유리 기재로부터 마스크 필름을 떼어내고 세척하는 것에 의해 유리 기재를 재활용하는 것이 가능하므로 제조 원가를 보다 절감할 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크는 유리 기재 및 마스크 필름이 상호 대칭 구조의 제1 그루브 패턴 및 제2 그루브 패턴을 구비하는 것에 의해, 유리 기재의 제1 그루브 패턴과 마스크 필름의 제2 그루브 패턴 사이 공간에서 압착되는 접착 부재와의 접착 면적을 보다 확장시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유리 기재 및 마스크 필름의 내부에 임베디드 형태로 삽입되므로 유리 기재와 마스크 필름 간의 접합력을 보다 향상시킬 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법에 대하여 설명하도록 한다.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법을 나타낸 공정 평면도이고, 도 10 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 6 및 도 10에 도시된 바와 같이, 차광 패턴(145)이 형성된 마스크 필름(140)을 출력한다.
이러한 마스크 필름(140)은 일면(140a) 및 일면(140a)에 반대되는 타면(140b)을 갖는다. 마스크 필름(140)은 플렉서블한 재질의 고분자 필름 재질로 형성될 수 있다. 고분자 필름은 COP(cyclo olefin copolymer) 필름, PMMA(poly(methyl methacrylate) 필름, PC(polycarbonate) 필름; PE(polyethylene) 필름, PVA(polyvinyl alcohol) 필름, PES(poly ether sulfone) 필름, PPS(polyphenylsulfone) 필름, PEI(polyetherimide) 필름, PEN(polyethylenemaphthatlate) 필름, PET(polyethyleneterephtalate) 필름 및 PI(polyimide) 필름 중 선택된 어느 하나일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
아울러, 차광 패턴(145)은 광을 차단하는 차광부로만 이루어질 수 있다. 이와 달리, 차광 패턴(145)은 광을 차단하는 차광부와, 광의 일부는 차단하고 일부는 투과시키는 반투과부로 이루어질 수 있다. 이를 위해, 차광 패턴(145)의 반투과부는 슬릿 형태로 설계될 수 있다.
이러한 차광 패턴(145)은 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 바나듐(V), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 니오브(Nb), 티타늄(Ti), 철(Fe), 크롬(Cr), 코발트(Co) 및 구리(Cu) 중 선택된 1종 이상의 금속 물질로 이루어질 수 있다.
다음으로, 도 7 및 도 11에 도시된 바와 같이, 출력된 마스크 필름(140)을 인장기에 로딩하고, 인장하여 마스크 필름(140)의 차광 패턴(145)을 위치 정렬한다.
본 단계에서, 인장기의 인장 클램프(200)는 출력된 마스크 필름(140)의 네측 변에 각각 장착되는 것이 바람직하다. 이때, 인장기의 인장 클램프(200)는 출력된 마스크 필름(140)의 상하좌우 네 방향으로 각각 인장하게 되고, 인장기의 디스플레이부를 통하여 실시간으로 차광 패턴(145)의 위치 정렬을 모니터링하게 된다.
이에 따라, 출력된 마스크 필름(140)은 제1 평면적을 갖고, 인장된 마스크 필름(140)은 제1 평면적보다 큰 제2 평면적을 갖는다.
다음으로, 도 8 및 도 12에 도시된 바와 같이, 인장된 마스크 필름(140)의 일면(140a)을 접착 부재(160)를 매개로 유리 기재(120)의 상면(120a)에 합착한다.
본 단계에서, 유리 기재(120)는 상면(120a) 및 상면(120a)에 반대되는 하면(120b)을 갖는다. 유리 기재(120)의 재질로는 실리케이트를 포함하는 유리가 이용될 수 있다. 예를 들어, 유리 기재(120)는 알루미노실리케이트, 보로실리케이트, 보로알루미노실리케이트 등에서 선택될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 아울러, 유리 기재(120)는 내구성, 표면 평활성 및 투명도를 향상시키기 위한 첨가 물질이 더 포함되어 있을 수 있다. 첨가 물질로는 알칼리 금속이나, 알칼리 토금속 및 이들의 산화물일 수 있다.
유리 기재(120)는 온도 및 습도에 민감한 마스크 필름(140)에 비하여, 온도 및 습도에 매우 안정적일 뿐만 아니라 우수한 내구성을 갖는다. 이러한 유리 기재(120)는 마스크 필름(140)을 안정적으로 안착시키기 위해 마스크 필름(140)에 비하여 큰 면적을 갖는 것이 바람직하다.
본 단계에서, 접착 부재(160)는 마스크 필름(140)의 일면(140a)과 유리 기재(120)의 상면(120a) 사이에서, 마스크 필름(140)의 네 가장자리와 대응되는 위치에 배치시켜, 마스크 필름(140)의 네 가장자리 끝단과 중첩되도록 배치한다. 이와 같이, 접착 부재(160)를 마스크 필름(140)과 유리 기재(120) 사이에서 마스크 필름(140)의 네 가장자리 끝단을 따라 중첩되도록 형성하는 것에 의해, 마스크 필름(140)의 가장자리 끝단 부분이 가압되면서 마스크 필름(140)을 유리 기재(120)에 견고하게 부착시켜 안정적인 합착이 이루어질 수 있게 된다.
즉, 접착 부재(160)는 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)의 중첩된 사이 공간에 삽입 배치하여, 마스크 필름(140)의 일면(140a)과 유리 기재(120)의 상면(120a) 상호 간을 물리적으로 견고하게 부착시키게 된다.
이를 위해, 접착 부재(160)는 대략 -10 ~ 40℃의 상온 접합력이 우수한 점접착제를 이용하는 것이 바람직한데, 이는 마스크 필름(140)이 고온에 노출될 시 인장된 마스크 필름(140)에 변형을 유발할 수 있기 때문이다.
이러한 접착 부재(160)는 감압성 점접착제(pressure sensitive adhesive: PSA) 또는 광학 투명 점접착제(optically clear adhesive: OCA)로 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 접착 부재(160)는 (메타)아크릴계 공중합체, 우레탄계 공중합체, 실리콘계 공중합체, 에폭시계 공중합체 등의 점착성 공중합체를 포함하는 OCA 조성물일 수 있다. 이 중, 접착 부재(160)로는 (메타)아크릴계 공중합체 또는 실리콘계 공중합체를 이용하는 것이 보다 바람직하다.
이러한 접착 부재(160)는 양면 테이프 형태의 PSA 필름 또는 OCA 필름을 유리 기재(120) 또는 마스크 필름(140)의 표면에 부착하고, 상온에서 가압 롤러 또는 가압 프레스로 압착하는 것에 의해 형성될 수 있다. 또한, 접착 부재(160)는 점착제 조성물을 유리 기재(120) 또는 마스크 필름(140)의 표면 상에 디스펜서 노즐 코팅(dispenser nozzle coating), 나이프 코팅(knife coating), 스프레이 코팅(spray coating), 딥 코팅(dip coating) 및 바 코팅(bar coating) 방법 중 어느 하나의 방식으로 도포하고, 상온에서 건조하는 것에 형성될 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 합착 단계는 유리 기재(120) 상의 인장된 마스크 필름(140)의 네 가장자리 끝단과 대응되는 위치에 접착 부재(160)를 형성하여 인장된 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)를 가접합시키는 가접합 과정과, 접착 부재(160)를 매개로 인장된 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)를 압착시켜 합착하는 압착 과정을 포함할 수 있다.
여기서, 가접합 과정은 인장된 마스크 필름(140)을 고정시킨 상태에서 유리 기재(120)를 상승시키는 방식으로 수행될 수 있다. 또한, 가접합 과정은 유리 기재(120)를 고정시킨 상태에서 인장된 마스크 필름(140)을 하강시키는 방식으로 수행될 수도 있다.
다음으로, 도 10 및 도 14에 도시된 바와 같이, 유리 기재(120)의 상면(120a)과 마스크 필름(140)의 측면 및 타면(140b)을 덮는 고정 부재(180)를 이용하여, 합착된 마스크 필름(140) 및 유리 기재(120)를 고정시킨다. 이러한 고정 부재(180)를 이용한 고정 단계는 반드시 수행되어야 하는 것은 아니며, 필요에 따라 생략하는 것도 무방하다.
본 단계에서, 고정 부재(180)는 마스크 필름(140)의 타면(140b) 네 가장자리 및 네 측면과 마스크 필름(140)의 네 가장자리에 인접한 유리 기재(120)의 상면(120a)을 따라 형성하여, 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)를 고정시키게 된다. 이에 따라, 고정 부재(180)는 마스크 필름(140)과 유리 기재(120) 상호 간을 물리적으로 견고하게 부착시키게 된다.
여기서, 고정 부재(180)는 마스크 필름(140)과 유리 기재(120)의 중첩된 사이 공간에 삽입 배치된 접착 부재(160)와 상호 접합시키는 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 고정 부재(180)는 접착 부재(160)와 측면 접합 방식에 의해 상호 간이 접합된다.
이러한 고정 부재(180)는, 접착 부재(160)와 마찬가지로, 대략 -10 ~ 40℃의 상온 접합력이 우수한 점접착제를 이용하는 것이 바람직한데, 이는 마스크 필름(140)이 고온에 노출될 시 인장된 마스크 필름(140)에 변형을 유발할 수 있기 때문이다.
이를 위해, 고정 부재(180)는 감압성 점접착제(pressure sensitive adhesive: PSA) 또는 광학 투명 점접착제(optically clear adhesive: OCA)로 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 고정 부재(180)는 (메타)아크릴계 공중합체, 우레탄계 공중합체, 실리콘계 공중합체, 에폭시계 공중합체 등의 점착성 공중합체를 포함하는 OCA 조성물일 수 있다. 이 중, 고정 부재(180)로는 (메타)아크릴계 공중합체 또는 실리콘계 공중합체를 이용하는 것이 보다 바람직하다.
고정 부재(180)는 양면 테이프 형태의 PSA 필름 또는 OCA 필름을 유리 기재(120) 및 마스크 필름(140)의 표면에 각각 부착하고, 상온에서 가압 롤러 또는 가압 프레스로 압착하는 것에 의해 형성될 수 있다. 또한, 고정 부재(180)는 점착제 조성물을 유리 기재(120) 및 마스크 필름(140)의 표면 상에 디스펜서 노즐 코팅(dispenser nozzle coating), 나이프 코팅(knife coating), 스프레이 코팅(spray coating), 딥 코팅(dip coating) 및 바 코팅(bar coating) 방법 중 어느 하나의 방식으로 도포하고, 상온에서 건조하는 것에 형성될 수 있다.
이상으로, 본 발명의 실시예에 따른 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법이 종료될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
100 : 하이브리드 타입의 포토 마스크
120 : 유리 기재
120a : 유리 기재의 일면
120b : 유리 기재의 타면
140 : 마스크 필름
140a : 마스크 필름의 일면
140b : 마스크 필름의 타면
145 : 차광 패턴
160 : 접착 부재
180 : 고정 부재

Claims (10)

  1. OLED용 메탈 마스크 제조시 노광 공정을 수행하는데 사용되는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법으로서,
    (a) 차광 패턴이 형성된 마스크 필름을 출력하는 단계;
    (b) 상기 출력된 마스크 필름을 인장기에 로딩하고, 인장하여 상기 마스크 필름의 차광 패턴을 위치 정렬하는 단계; 및
    (c) 상기 인장된 마스크 필름의 일면을 접착 부재를 매개로 유리 기재의 상면에 합착하는 단계;를 포함하며,
    상기 (c) 단계에서, 상기 접착 부재는 마스크 필름의 일면과 유리 기재의 상면 사이에서, 상기 마스크 필름의 네 가장자리와 대응되는 위치에 배치되어, 상기 마스크 필름의 네 가장자리 끝단과 중첩되도록 배치되고,
    상기 유리 기재는 상기 마스크 필름과 마주보는 상면에 제1 그루브 패턴을 구비하고, 상기 마스크 필름은 상기 유리 기재의 상면과 마주보는 일면에 제2 그루브 패턴을 구비하며,
    상기 제1 및 제2 그루브 패턴은 상기 접착 부재와 대응되는 위치에 배치되며, 상기 접착 부재는 내부에 균일하게 분산되도록 첨가된 접착 강화 필러를 구비하고, 상기 접착 강화 필러는 10 ~ 1,000nm의 평균 직경을 갖고, 상기 접착 강화 필러는 접착 부재 전체 100 중량%에 대하여, 0.5 ~ 10 중량%의 함량비로 첨가된 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 출력된 마스크 필름은 제1 평면적을 갖고,
    상기 인장된 마스크 필름은 상기 제1 평면적보다 큰 제2 평면적을 갖는 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서,
    상기 인장기의 인장 클램프는
    상기 출력된 마스크 필름의 네측 변에 각각 장착되며, 상기 인장기의 인장 클램프가 출력된 마스크 필름의 상하좌우 네 방향으로 각각 인장하면서 실시간으로 차광 패턴의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 그루브 패턴은 역삼각형 형상을 갖고, 상기 제2 그루브 패턴은 삼각형 형상을 갖는 것에 의해, 상기 제1 및 제2 그루브 패턴 상호 간이 대칭 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 (c) 단계 이후,
    (d) 상기 유리 기재의 상면과 마스크 필름의 측면 및 타면을 덮는 고정 부재를 이용하여, 상기 합착된 마스크 필름 및 유리 기재를 고정시키는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크 제조 방법.
  7. OLED용 메탈 마스크 제조시 노광 공정을 수행하는데 사용되는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크로서,
    상면 및 하면을 갖는 유리 기재;
    상기 유리 기재의 상면 상에 일면이 안착되되, 차광 패턴을 구비하고, 인장에 의해 상기 차광 패턴이 위치 정렬된 마스크 필름; 및
    상기 인장된 마스크 필름과 유리 기재를 합착시키기 위한 접착 부재;를 포함하며,
    상기 접착 부재는 마스크 필름의 일면과 유리 기재의 상면 사이에서, 상기 마스크 필름의 네 가장자리와 대응되는 위치에 배치되어, 상기 마스크 필름의 네 가장자리 끝단과 중첩되도록 배치되고,
    상기 유리 기재는 상기 마스크 필름과 마주보는 상면에 제1 그루브 패턴을 구비하고, 상기 마스크 필름은 상기 유리 기재의 상면과 마주보는 일면에 제2 그루브 패턴을 구비하며,
    상기 제1 및 제2 그루브 패턴은 상기 접착 부재와 대응되는 위치에 배치되며, 상기 접착 부재는 내부에 균일하게 분산되도록 첨가된 접착 강화 필러를 구비하고, 상기 접착 강화 필러는 10 ~ 1,000nm의 평균 직경을 갖고, 상기 접착 강화 필러는 접착 부재 전체 100 중량%에 대하여, 0.5 ~ 10 중량%의 함량비로 첨가된 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1 그루브 패턴은 역삼각형 형상을 갖고, 상기 제2 그루브 패턴은 삼각형 형상을 갖는 것에 의해, 상기 제1 및 제2 그루브 패턴 상호 간이 대칭 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 포토마스크는
    상기 합착된 마스크 필름 및 유리 기재를 고정시키기 위해, 상기 유리 기재의 상면과 마스크 필름의 측면 및 타면을 덮는 고정 부재;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 및 습도 안정성이 우수한 하이브리드 타입의 포토마스크.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20250032402A (ko) * 2023-08-31 2025-03-07 풍원정밀(주) 필름 포토 마스크 및 필름 포토 마스크 제조 방법

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04124256U (ja) * 1991-04-22 1992-11-12 ホーヤ株式会社 フオトマスク保護体付フオトマスク
KR20060055939A (ko) * 2004-11-19 2006-05-24 (주)알투스 열 인가 스트레칭 마스크 제조 방법 및 장치
KR20090077697A (ko) * 2008-01-11 2009-07-15 상에이 기켄 가부시키가이샤 노광에 이용되는 포토마스크
KR100927518B1 (ko) * 2009-08-12 2009-11-17 이종오 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토마스크
KR20110003627A (ko) * 2009-07-06 2011-01-13 (주)세현 엑스레이 검출기 및 이의 제조 방법
KR20170031488A (ko) * 2015-09-11 2017-03-21 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
KR20200112468A (ko) * 2019-03-22 2020-10-05 주식회사 오럼머티리얼 마스크 지지 템플릿과 그의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04124256U (ja) * 1991-04-22 1992-11-12 ホーヤ株式会社 フオトマスク保護体付フオトマスク
KR20060055939A (ko) * 2004-11-19 2006-05-24 (주)알투스 열 인가 스트레칭 마스크 제조 방법 및 장치
KR20090077697A (ko) * 2008-01-11 2009-07-15 상에이 기켄 가부시키가이샤 노광에 이용되는 포토마스크
KR20110003627A (ko) * 2009-07-06 2011-01-13 (주)세현 엑스레이 검출기 및 이의 제조 방법
KR100927518B1 (ko) * 2009-08-12 2009-11-17 이종오 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토마스크
KR20170031488A (ko) * 2015-09-11 2017-03-21 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
KR20200112468A (ko) * 2019-03-22 2020-10-05 주식회사 오럼머티리얼 마스크 지지 템플릿과 그의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20250032402A (ko) * 2023-08-31 2025-03-07 풍원정밀(주) 필름 포토 마스크 및 필름 포토 마스크 제조 방법
KR102923778B1 (ko) 2023-08-31 2026-02-06 풍원정밀(주) 필름 포토 마스크 및 필름 포토 마스크 제조 방법

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