KR102732165B1

KR102732165B1 - 전기접속용 커넥터

Info

Publication number: KR102732165B1
Application number: KR1020190029970A
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2019-03-15
Filing date: 2019-03-15
Publication date: 2024-11-22
Anticipated expiration: 2039-03-15
Also published as: KR20200110011A

Abstract

검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 위치하여 검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터가 제공된다. 커넥터는, 제1 도전 시트와, 제2 도전 시트와, 접합 시트를 포함한다. 제1 도전 시트는 상하 방향으로 도전 가능한 복수의 제1 도전부와 제1 절연부를 포함한다. 제2 도전 시트는 상하 방향으로 도전 가능한 복수의 제2 도전부와 제2 절연부를 포함한다. 접합 시트에는 가이드 홀이 상하 방향으로 관통 형성되어 있다. 접합 시트는 제1 도전 시트와 제2 도전 시트의 사이에 개재되어 제1 도전 시트와 제2 도전 시트에 각각 접합된다. 접합 시트의 가이드 홀 내에서 제1 도전부의 단부와 제2 도전부의 단부가 접촉된다.

Description

전기접속용 커넥터{CONNECTOR FOR ELECTRICAL CONNECTION}

본 개시는 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 위치하여 검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터에 관한 것이다.

피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사 장치에 접촉되어 피검사 디바이스와 검사 장치를 전기적으로 접속시키는 커넥터가, 피검사 디바이스의 검사 분야에서 사용되고 있다. 이러한 커넥터로서, 포고핀 소켓과 러버 소켓이 당해 분야에 알려져 있다.

포고핀 소켓은 피검사 디바이스에 의해 상하 방향으로 탄력적으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 소켓은, 포고핀을 수용하는 포고핀 하우징을 필요로 하므로, 상하 방향으로 얇은 두께를 갖기 어렵다.

러버 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있는 도전부와 절연부를 갖는다. 러버 소켓은, 포고핀 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 소켓을 러버 소켓으로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 시도되고 있다.

포고핀 소켓은 포고핀 하우징으로 인해 러버 소켓보다 두꺼운 두께를 갖는다. 포고핀 소켓을 러버 소켓으로 대체하기 위해서는, 러버 소켓은 포고핀 소켓만큼의 두께를 가져야한다. 그러나, 러버 소켓은 상하 방향의 도전을 원활하게 실행하기 위해 소정 두께 이상으로 제조되기가 어렵다. 따라서, 두개 이상의 러버 소켓을 상하 방향으로 적층시키는 것이 고려될 수 있다.

적층형 러버 소켓을 제조하는 일 예로서, 도전부의 단부가 절연부로부터 돌출되어 있는 두개의 러버 소켓이 상하 방향으로 적층될 수 있다. 이 경우, 상측 러버 소켓의 프레임과 하측 러버 소켓의 프레임의 사이에 시임(shim)을 개재시키고, 상하의 프레임과 시임은 접착제로 접합될 수 있다. 또한, 상하의 도전부의 돌출된 단부가 접촉되므로, 적층형 러버 소켓의 내부에서는 도전부들 사이에 공간이 형성된다.

다수 회의 피검사 디바이스의 검사가 수행됨으로써, 적측형 러버 소켓은 검사 시마다 상하 방향으로 가압 및 압축된다. 반복적인 가압 및 압축으로 인해, 프레임 측에서 러버 소켓을 잡아 당겨 중앙부가 휘는 현상이 발생할 수 있다. 이에 따라, 일부 도전부들의 상하 방향에서의 접촉이 끊어질 수 있다. 이와 같이, 돌출된 단부를 갖는 러버 소켓을 상하 방향으로 적층시킨 구조는, 구조적인 이유로 인해, 적층형 러버 소켓 내부에서의 전기적 접촉이 불안정해지고 그에 따라 적층형 러버 소켓의 전도성이 저하될 수 있다.

본 개시의 일 실시예는, 전도성의 저하 없이 증가된 두께를 갖는 적층형 커넥터를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 반복적 가압 및 압축을 받아도 저항 안정성을 가지며 향상된 사용 수명을 갖는 적층형 커넥터를 제공한다.

본 개시의 실시예는, 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 위치하여 검사 장치와 피검사 디바이스를 전기적으로 접속시키는 커넥터를 제공한다. 일 실시예에 따른 커넥터는, 제1 도전 시트와, 제2 도전 시트와, 접합 시트를 포함한다. 제1 도전 시트는 상하 방향으로 도전 가능한 복수의 제1 도전부와 제1 절연부를 포함한다. 제2 도전 시트는 상하 방향으로 도전 가능한 복수의 제2 도전부와 제2 절연부를 포함한다. 접합 시트에는 가이드 홀이 상하 방향으로 관통 형성되어 있다. 접합 시트는 제1 도전 시트와 제2 도전 시트의 사이에 개재되어 제1 도전 시트와 제2 도전 시트에 각각 접합된다. 접합 시트의 가이드 홀 내에서 제1 도전부의 단부와 제2 도전부의 단부가 접촉된다.

일 실시예에 있어서, 제1 도전 시트와 접합 시트는, 제1 절연부에 포함된 절연 물질 분자와 접합 시트에 포함된 절연 물질 분자의 화학 결합에 의해 접합되고, 제2 도전 시트와 접합 시트는, 제2 절연부에 포함된 절연 물질 분자와 접합 시트에 포함된 절연 물질 분자의 화학 결합에 의해 접합된다.

일 실시예에 있어서, 접합 시트는 절연 물질에 첨가된 첨가제를 포함한다.

본 개시의 일 실시예에 따른 커넥터에 의하면, 제1 도전 시트와 제2 도전 시트는 접합 시트를 매개로 상하 방향으로 적층되며, 제1 도전 시트의 도전부의 단부와 제2 도전 시트의 도전부의 단부는 접합 시트의 가이드 홀 내에 수용되어 상하 방향으로 접촉된다. 접합 시트의 가이드 홀이 도전부들의 단부를 보호하므로, 도전부들의 단부는 손상 없이 상하 방향으로 안정적으로 접촉될 수 있고 안정적인 전기 저항을 나타낼 수 있다. 따라서, 일 실시예에 따른 커넥터는 안정적인 접합 구조를 갖도록 적층되어, 향상된 사용 수명을 가질 수 있고 포고핀 소켓의 대체를 위해 사용될 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 커넥터에 의하면, 접합 시트가 방열성과 내구성 향상을 위한 첨가제를 포함하여, 고온 환경에 적용될 수 있는 적층형 커넥터가 제공될 수 있다.

도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 커넥터를 개략적으로 도시한다.
도 2는 도 1에 도시된 커넥터의 분리 상태를 개략적으로 도시한다.
도 3a 및 도 3b는 접합 시트를 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 개시의 또 하나의 실시예에 따른 커넥터를 개략적으로 도시한다.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 커넥터가 검사 장치에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "상하 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.

첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

도 1은 일 실시예에 따른 커넥터를 개략적으로 도시한다. 도 1은, 실시예의 설명을 위해, 커넥터, 커넥터가 배치되는 검사 장치, 커넥터와 접촉되는 피검사 디바이스의 예시적 형상을 도시한다. 또한, 도 1은, 커넥터의 형상, 도전부의 형상, 절연부의 형상을 개략적으로 도시하며, 이들은 실시예의 이해를 위해 선택된 예에 불과하다.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 커넥터(100)는, 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)의 사이에 위치하며, 피검사 디바이스(20)의 전기적 검사 시에, 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)에 각각 접촉되어 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)의 전기적 접속을 실행할 수 있다. 일 예로, 커넥터(100)는, 피검사 디바이스(20)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스의 최종적인 전기적 검사 시에 사용될 수 있다.

커넥터(100)는 시트(sheet) 형상의 구조물이다. 커넥터(100)는 테스트 소켓에 결합되어 검사 장치(10)에 제거가능하게 장착될 수 있다. 상기 테스트 소켓은 운반 장치에 의해 검사 장치(10)로 운반된 피검사 디바이스(20)를 그 안에 수용하고 피검사 디바이스(20)를 검사 장치(10)에 위치시킨다.

피검사 디바이스(20)는, 내부에 반도체 IC 칩을 갖는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 피검사 디바이스(20)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(21)를 가질 수 있다.

검사 장치(10)는 피검사 디바이스(20)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있다. 검사 장치(10)는, 검사가 수행되는 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(11)를 가질 수 있다. 커넥터(100)는 상기 테스트 소켓에 의해 검사 장치(10)의 단자(11)와 접촉되도록 배치될 수 있다.

일 실시예의 커넥터(100)는, 상하 방향(VD)으로 도전 가능한 제1 도전 시트(110) 및 제2 도전 시트(120)와, 제1 및 제2 도전 시트(110, 120) 사이에 개재되며 이들에 각각 접합된 접합 시트(130)를 포함한다. 접합 시트(130)에 의해 접합되어 적층된 제1 및 제2 도전 시트(110, 120)를 커넥터(100)가 포함하므로, 커넥터(100)는 상하 방향(VD)으로 증가된 두께 및 증가된 눌림량을 갖는다.

제1 도전 시트(110), 제2 도전 시트(120) 및 절연 시트(130)는 탄성을 갖는 절연 물질을 포함한다. 따라서, 외력이 상하 방향(VD)에서의 하방으로 커넥터(100)에 가해지면, 커넥터(100)는 하방 방향과 수평 방향(HD)으로 탄성 변형될 수 있다. 상기 외력은, 푸셔 장치가 피검사 디바이스(20)를 검사 장치(10) 측으로 눌러서 발생될 수 있다. 이러한 외력에 의해, 피검사 디바이스의 단자(21)와 커넥터(100)가 상하 방향(VD)으로 접촉될 수 있고, 커넥터(100)와 검사 장치의 단자(11)가 상하 방향(VD)으로 접촉될 수 있다. 상기 외력이 제거되면, 커넥터(100)는 그 원래 형상으로 복원될 수 있다.

제1 도전 시트(110)는, 상하 방향(VD)으로 도전 가능한 복수의 제1 도전부(111)와, 복수의 제1 도전부(111)를 수평 방향(HD)으로 이격 및 절연시키는 제1 절연부(112)를 포함한다 제1 도전 시트(110)는, 하측에 제1 절연부(112)에 접촉된 제1 지지 부재(113)를 포함한다. 제1 지지 부재(113)는 필름의 형태이며, 합성 수지로 이루어질 수 있다.

제2 도전 시트(120)는 제1 도전 시트(110)와 유사한 구성을 갖는다. 제2 도전 시트(120)는 상하 방향(VD)으로 도전 가능한 복수의 제2 도전부(121)와, 복수의 제2 도전부(121)를 수평 방향(HD)으로 이격 및 절연시키는 제2 절연부(122)를 포함한다. 제2 도전 시트(120)는 상측에 제2 절연부(122)에 접촉된 제2 지지 부재(123)를 포함한다. 제2 지지 부재(123)는 제1 지지 부재(113)와 유사한 구성을 갖는다.

제1 도전부(111)의 하단부는 제1 지지 부재(113)의 하면으로부터 돌출하며, 제1 지지 부재(113)에 의해 지지되고 절연된다. 제1 도전부(111)는 그 하단부에서 검사 장치(10)의 단자(11)와 접촉된다. 제1 도전부(111)의 상단부는 제1 절연부(112)의 상면으로부터 돌출한다. 제1 도전부(111)는 그 상단부에서, 대응하는 제2 도전 시트(120)의 제2 도전부(121)의 하단부와 접촉된다. 제2 도전부(121)의 하단부는 제2 절연부(122)의 하면으로부터 돌출한다. 제2 도전부(121)의 상단부는, 제2 절연부(122)의 상면으로부터 돌출하며, 제2 지지 부재(123)에 의해 지지되고 절연된다. 제2 도전부(121)는 그 상단부에서 피검사 디바이스(20)의 단자(21)와 접촉된다.

접합 시트(130)를 매개로 하여 상하 방향(VD)으로 적층된 제1 도전 시트(110)와 제2 도전 시트(120)에서, 제1 도전부(111)와 제2 도전부(121)들이 상하 방향(VD)으로 정렬되어 있으며, 제1 도전부(111)와 제2 도전부(121)들은 각자의 단부에서 도전 가능하게 접촉되어 있고 적어도 부분적으로 접합될 수 있다. 이에 따라, 커넥터(100)에서는, 상하 방향(VD)으로 접촉된 제1 도전부(111)와 제2 도전부(121)를 매개로 하여, 이들에 대응하는 단자(11)와 단자(21)의 사이에서 상하 방향의 도전로가 형성된다. 따라서, 검사 장치(10)의 테스트 신호는 단자(11)로부터 제1 및 제2 도전부(111, 121)를 통해 피검사 디바이스(20)의 단자(21)에 전달될 수 있고, 피검사 디바이스(20)의 응답 신호는 단자(21)로부터 제1 및 제2 도전부(111, 121)를 통해 검사 장치(10)의 단자(11)에 전달될 수 있다.

상기 도전부들의 평면 배열은 피검사 디바이스(20)의 단자(21)의 배열에 따라 다양할 수 있다. 제1 도전 시트(110) 내에서, 제1 도전부(111)들은 사각형의 제1 절연부(112) 내에서 하나의 행렬 또는 한 쌍의 행렬 형태로 배열될 수 있다. 또는, 제1 도전부(111)들은 사각형의 제1 절연부(112)의 각 변을 따라 복수 열로 배열될 수 있다. 제2 도전 시트(120)의 제2 도전부(121)들은 제1 도전부(111)들의 평면 배열과 동일한 평면 배열을 가질 수 있다.

각 도전부는 상하 방향(VD)으로 배열되고 도전 가능하게 서로 접촉된 다수의 도전성 요소를 포함한다. 상기 도전성 요소로는, 도전성 금속 입자 또는 와이어 형상 또는 섬유 형상을 갖는 도전체가 사용될 수 있다. 상하 방향으로 도전 가능하게 접촉된 도전성 요소들이 하나의 도전부 내에서 상하 방향에서의 신호 전달을 실행하는 도전로를 형성한다.

각 도전부에서, 절연 물질이 도전성 요소들의 사이를 채울 수 있다. 이러한 절연 물질은 절연부를 형성하는 절연 물질과 동일할 수 있다. 즉, 도전부는 절연부를 형성하는 절연 물질을 부분적으로 포함하며, 이러한 도전부의 절연 물질은 도전부의 일단부터 타단까지 존재할 수 있다. 또한, 절연부를 형성하는 절연 물질이 다수의 도전성 요소들을 도전부의 형상으로 유지할 수 있다. 따라서, 절연 물질을 포함하는 각 도전부는 상하 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 가진다. 피검사 디바이스의 단자에 의해 각 도전부가 하방으로 눌릴 때, 각 도전부는 수평 방향(HD)으로 약간 팽창될 수 있고, 각 절연부는 도전부의 이러한 팽창을 허용할 수 있다.

각 절연부는 각 도전 시트의 사각형의 탄성 영역을 형성할 수 있다. 각 절연부는 하나의 탄성체로서 형성될 수 있으며, 상하 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 가진다. 절연부는 도전부의 형상을 유지하고 도전부를 상하 방향으로 지지한다.

각 절연부는 절연 물질로 이루어진다. 제1 절연부(112)와 제2 절연부(122)는 동일하거나 상이한 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상세하게는, 각 절연부는 액상의 절연 물질이 경화됨으로써 성형된다. 일 예로서, 전술한 도전성 요소가 분산된 액상 절연 물질로부터 자기력을 이용하여 도전부를 형성하고, 그 후 액상 절연 물질이 경화되어 전술한 절연부가 형성될 수 있다. 또 다른 예로서, 상기 액상 절연 물질이 경화되어 성형되고 도전 시트 형상을 갖는 소재에 도전부의 위치마다 관통 홀이 형성되고, 이러한 관통 홀을 상기 액상 절연 물질로 충전시키고 자기력에 의해 도전부가 형성될 수 있다.

도전 시트들을 구성하는 절연 물질은 절연성과 탄성을 갖는다. 이러한 절연 물질이 도전 시트의 절연부를 구성하고 도전 시트의 도전부의 일부를 구성한다. 일 예로서, 절연 물질은 실리콘 러버일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다.

전술한 바와 같이, 제1 도전 시트(110)와 제2 도전 시트(120)는 접합 시트(130)를 매개로 하여 상하 방향(VD)으로 적층되고 접합된다. 커넥터(100)에서, 접합 시트(130)는 제1 도전 시트(110)와 제2 도전 시트(120)의 사이에 삽입되어 있다. 접합 시트(130)는 상하 방향(VD)으로 관통 형성되어 있는 복수의 가이드 홀(131)을 갖는다. 제1 도전부(111)의 상단부와 이에 대응하는 제2 도전부(121)의 하단부가 하나의 가이드 홀(131) 내에 삽입된다. 즉, 하나의 가이드 홀(131) 내에서, 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부는 상하 방향(VD)으로 접촉된다. 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부는 가이드 홀(131) 내에서 적어도 부분적으로 접합될 수도 있다. 또한, 커넥터(100)에서, 제1 절연부(112)의 상면은 접합 시트(130)의 하면과 접합되어 있고, 제2 절연부(122)의 하면은 접합 시트(130)의 상면과 접합되어 있다.

도 2를 참조하여, 제1 도전 시트와 제2 도전 시트의 사이에 개재되는 접합 시트를 설명한다. 도 2는, 도전 시트들과 접합 시트가 분리되어 있는 일 실시예에 따른 커넥터를 도시한다. 도 2는, 도전 시트들의 형상과 접합 시트의 형상을 개략적으로 도시하며, 이들은 실시예의 이해를 위해 선택된 예에 불과하다.

접합 시트(130)는 탄성을 갖는 절연 물질로부터 하나의 탄성체로서 형성될 수 있다. 접합 시트(130)의 절연 물질은, 제1 절연부의 절연 물질 또는 제2 절연부의 절연 물질과 동일하거나 다를 수 있다. 일 예로, 접합 시트(130)의 절연 물질을 실리콘 러버일 수 있다. 접합 시트(130)의 상하 방향(VD)에서의 두께는, 제1 도전부(111)의 상단부의 돌출 높이와 제2 도전부(121)의 하단부의 돌출 높이를 합한 치수와 동일하거나 이보다 약간 작을 수 있다.

접합 시트(130)에는, 상하 방향(VD)으로 다수의 가이드 홀(131)이 관통 형성되어 있다. 가이드 홀(131)은, 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부를 상하 방향(VD)으로 수용하고 수평 방향(HD)으로 유지하도록 형성되어 있다.

일 실시예의 커넥터(100)에서는, 제1 도전 시트(110), 접합 시트(130) 및 제2 도전 시트(120)가 상하 방향(VD)으로 적층된다. 또한, 제1 도전 시트(110)의 상면과 이에 상하 방향으로 대향하는 접합 시트(130)의 하면을 접합시키고, 제2 도전 시트(120)의 하면과 이에 상하 방향으로 대향하는 접합 시트(130)의 상면을 접합시킴으로써, 적층형 구조물로서 커넥터(100)가 이루어진다.

접합 시트(130)를 개재시켜 제1 및 제2 도전 시트(110, 120)를 적층시킬 때, 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부가 가이드 홀(131)에 삽입된다. 가이드 홀(131)이 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부를 이들이 상하 방향으로 정렬되도록 가이드할 수 있다. 따라서, 접합 시트(130)의 가이드 홀(131)에 의해, 하측의 제1 도전부(111)와 상측의 제2 도전부(121)는 안정적으로 상하 방향(VD)으로 접촉될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 도전 시트(110, 120)와 접합 시트(130)의 적층이 완료되면, 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부는 가이드 홀(131) 내에서 상호 접촉된 채로 유지될 수 있다. 따라서, 접합 시트(130)의 가이드 홀(131)에 의해, 제1 도전부(111)의 돌출된 상단부와 제2 도전부(121)의 돌출된 하단부가 적층 과정에서 손상 없이 보호될 수 있고 상하 방향(VD)으로 정렬될 수 있다.

접합 시트(130)를 사용하지 않고 제1 도전 시트(110)와 제2 도전 시트(120)가 적층 및 접합되는 비교예를 가정할 수 있다. 이러한 비교예의 경우, 제1 도전 시트와 제2 도전 시트의 적층 시에, 제1 도전부(111)의 돌출된 상단부와 제2 도전부(121)의 돌출된 하단부는 안정적인 접촉을 실행할 수 없고 손상을 받을 수 있다. 그러나, 일 실시예에 따른 접합 시트(130)는, 이러한 도전부들의 돌출된 단부를 보호할 수 있고 안정적인 접촉을 제공할 수 있다.

도 2에서는, 가이드 홀(131)의 벽면이 수직하게 도시되어 있지만, 이는 단지 예시적이다. 제1 도전부(111)의 돌출한 상단부와 제2 도전부(121)의 돌출한 하단부는, 원기둥 형상, 각기둥 형성, 절두원뿔 형상을 가질 수 있으며, 가이드 홀(131)은 이러한 제1 도전부(111)의 상단부와 제2 도전부(121)의 하단부의 형상에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다.

일 실시예에 있어서, 제1 및 제2 도전 시트(110, 120)와 접합 시트(130)는, 접착제를 사용하지 않고 접합된다. 일 예로, 제1 및 제2 도전 시트(110, 120)와 접합 시트(130)는 자외선을 사용하는 광접합 방식으로 접합될 수 있다. 구체적으로, 제1 및 제2 도전 시트(110, 120)와 접합 시트(130)는, 절연 물질 분자 간의 화학 결합에 의해 접합될 수 있다. 즉, 제1 도전 시트(110)와 접합 시트(130)는 제1 절연부(122)에 포함된 절연 물질 분자와 접합 시트(130)에 포함된 절연 물질 분자의 화학 결합에 의해 접합될 수 있다. 또한, 제2 도전 시트(120)와 접합 시트(130)는 제2 절연부(122)에 포함된 절연 물질 분자와 접합 시트(130)에 포함된 절연 물질 분자의 화학 결합에 의해 접합될 수 있다.

제1 및 제2 도전 시트(110, 120)와 접합 시트(130)를 구성하는 절연 물질은 실리콘 러버일 수 있다. 제1 도전 시트(110)의 상면과 접합 시트(130)의 하면, 그리고, 제2 도전 시트(120)의 하면과 접합 시트(130)의 상면에, 산소를 포함하는 분위기 내에서 소정 조건 하에서 자외선을 조사한다. 그러면, 자외선이 조사된 표면은 접착성 작용기를 갖도록 개질될 수 있다. 이러한 접착성 작용기는 친수성 작용기가 될 수 있으며, 실리콘 러버의 실리콘 원자에 생성될 수 있다. 접착성 작용기를 갖도록 개질된, 제1 도전 시트(110)의 상면, 제2 도전 시트(120)의 하면 및 접합 시트(130)의 상하면을 상하 방향으로 적층시킴으로써, 접착성 작용기 간의 화학 결합을 통해, 제1 도전 시트(110)의 상면, 제2 도전 시트(120)의 하면 및 접합 시트(130)의 상하면이 접합될 수 있다.

제1 도전 시트(110), 제2 도전 시트(120) 및 접합 시트(130)의 절연 물질은 동일한 물질 또는 서로 다른 절연 물질일 수 있다. 일 예로, 실리콘 러버를 절연 물질로 사용하는 경우, 적어도 제1 및 제2 도전 시트에는 다른 경도를 나타내는 실리콘 러버가 사용될 수 있다. 이에 따르면, 커넥터(100)는, 상하 방향(VD)으로 인가되는 하중을 감소시킬 수 있고, 그에 따라 향상된 사용수명을 가질 수 있다.

도 3a 및 도 3b는 접합 시트의 평면도와 단면도를 각각 도시한다. 일 실시예에 있어서, 접합 시트(130)는 방열성의 향상과 내구성의 향상을 위한 첨가제(132)를 포함할 수 있다. 일 예로, 첨가제(132)는 탄소나노튜브일 수 있다.

다른 예로서, 상기 첨가제로서, 그래파이트(graphite), 탄소 섬유(carbon fiber), 그래핀(graphene) 중 하나가 접합 시트에 첨가될 수 있다. 또한, 상기 첨가제로서, 세라믹 재료가 접합 시트에 첨가될 수 있다. 세라믹 재료는, AlN, Al2O3, BN, SiC, BeO 등이 사용될 수 있다.

도 4는 또 하나의 실시예에 따른 커넥터를 도시한다. 이 실시예의 커넥터(200)는, 제1 도전 시트(110)와 제2 도전 시트(120)의 사이에 하나 이상의 제3 도전 시트(240)를 포함하여, 3단 적층 구조를 갖는다. 제3 도전 시트(240)로 인해, 커넥터(200)는 더욱 두꺼운 두께를 가질 수 있고 더욱 큰 수직 방향의 눌림량을 가질 수 있다.

제3 도전 시트(240)는, 수직 방향(VD)으로 도전 가능한 복수의 제3 도전부(241)와, 복수의 제3 도전부(241)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 절연시키는 제3 절연부(242)를 포함한다. 제3 도전부(241)의 하단부는 제3 절연부(242)의 하면으로 돌출하며, 제1 도전부(111)의 상단부와 접촉된다. 제3 도전부(241)의 상단부는 제3 절연부(242)의 상면으로부터 돌출하며, 제2 도전부(121)의 하단부와 접촉된다. 제3 도전부(241)는 제1 도전부(111) 또는 제2 도전부(121)와 유사한 구성을 갖는다. 제3 절연부(242)는 전술한 절연 물질로 이루어질 수 있다.

제1 도전 시트(110)와 제3 도전 시트(240)의 사이 및 제3 도전 시트(240)와 제2 도전 시트(120)의 사이에, 절연 시트(130)가 각각 개재되어 있다. 하측의 절연 시트(130)의 가이드 홀(131) 내에는, 돌출한 제1 도전부(111)의 상단부와 돌출한 제3 도전부(241)의 하단부가 수용되어 접촉되며, 적어도 부분적으로 접합될 수 있다. 또한, 상측의 절연 시트(130)의 가이드 홀(131) 내에는, 돌출한 제3 도전부(241)의 상단부와 돌출한 제2 도전부(121)의 하단부가 수용되어 접촉되며, 적어도 부분적으로 접합될 수 있다. 제1 및 제3 도전 시트(110, 240)와 접합 시트(130) 간의 접합과 제2 및 제3 도전 시트(120, 240)와 접합 시트(130) 간의 접합은, 전술한 자외선을 이용한 광접합으로 행해질 수 있다.

도 4에 도시된 도전 시트는 하나의 제3 시트를 포함한다. 다른 실시예의 도전 시트는, 동일한 구성을 갖는 둘 이상의 제3 시트를 포함할 수 있다. 이에 따라, 더욱 두꺼운 두께를 갖는, 적층 구조물로서의 커넥터가 실현될 수 있고, 그러한 커넥터는 다양한 두께의 포고핀 소켓을 용이하게 대체할 수 있다.

이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시하는 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

10: 검사 장치, 20: 피검사 디바이스, 100: 커넥터, 110: 제1 도전 시트, 111: 제1 도전부, 112: 제1 절연부, 120: 제2 도전 시트, 121: 제2 도전부, 122: 제2 절연부, 130: 접합 시트, 131: 가이드 홀, 132: 첨가제, 200: 커넥터, 240: 제3 도전 시트, VD: 상하 방향, HD: 수평 방향

Claims

검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 위치하여 상기 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 커넥터이며,
상하 방향으로 도전 가능한 복수의 제1 도전부와 상기 복수의 제1 도전부를 절연시키는 제1 절연부를 포함하는 제1 도전 시트와,
상기 상하 방향으로 도전 가능한 복수의 제2 도전부와 상기 복수의 제2 도전부를 절연시키는 제2 절연부를 포함하는 제2 도전 시트와,
상기 제1 도전부의 상단부와 상기 제2 도전부의 하단부가 삽입되는 가이드 홀이 상기 상하 방향으로 관통 형성되는 접합 시트를 포함하고,
상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부는 다수의 도전성 요소 및 탄성을 갖는 절연 물질로 이루어지고,
상기 제1 절연부, 상기 제2 절연부 및 상기 접합 시트는 상기 절연 물질로 이루어지고,
상기 절연 물질은 실리콘 러버이고,
상기 접합 시트는 상기 제1 도전 시트와 상기 제2 도전 시트의 사이에 개재되어 상기 제1 도전 시트의 상면과 상기 제2 도전 시트의 하면에 각각 접합되고, 상기 접합 시트의 상기 가이드 홀 내에서 상기 제1 도전부의 상단부와 상기 제2 도전부의 하단부가 접합되고,
상기 접합 시트는, 상기 절연 물질에 첨가되고 방열성 향상을 위한 첨가제를 포함하는,
커넥터.
제1항에 있어서,
상기 제1 도전 시트의 상면과, 상기 접합 시트의 하면 및 상면과, 상기 제2 도전 시트의 하면은 산소를 포함하는 분위기 내에서의 자외선의 조사에 의해 친수성 작용기를 갖도록 개질된 표면이고,
상기 제1 도전 시트의 상면과 상기 접합 시트의 하면, 상기 접합 시트의 상면과 상기 제2 도전 시트의 하면, 및 상기 제1 도전부의 상단부와 상기 제2 도전부의 하단부는 상기 친수성 작용기 간의 화학 결합을 통해 접합되는,
커넥터.
제1항에 있어서,
상기 첨가제는 탄소나노튜브, 그래파이트, 탄소 섬유 및 그래핀 중 하나인,
커넥터.
제1항에 있어서,
상기 첨가제는 AlN, Al2O3, BN, SiC 및 BeO 중 하나인,
커넥터.
제1항에 있어서,
상기 제1 도전 시트의 상기 실리콘 러버와 상기 제2 도전 시트의 상기 실리콘 러버는 서로 다른 경도를 나타내는,
커넥터.