KR102755670B1 - 공조 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공정은 높은 청정도가 요구되는 클린룸(Clean room) 내에서 이루어지며, 이러한 클린룸에는 유입되는 공기의 온도와 습도를 미리 정해진 설정 온도 및 설정 습도로 유지하기 위하여 공조 시스템이 마마련되어 있다.
도 2는 본 발명에 따르는 공조 시스템의 실시 형태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따르는 공조 시스템의 실시 형태에서의 제어와 관련되는 구성의 일부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따르는 공조 시스템의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.
210 : 덕트 230 : 냉각 열교환기
240 : 가열 열교환기 250 : 가습기
300 : 냉동기 310 : 압축기
320 : 응축기 330 : 팽창 장치
340 : 증발기 400 : 가열가습 장치
411 : 가열 밸브 412 : 가습 밸브
410 : 가열기 500 : 방열기
510 : 순환 펌프 520 : 제1 밸브
610 : 순환 펌프 620 : 제1 온도 센서
630 : 제2 온도 센서 640 : 습도 센서
810 : 제1 열회수 열교환기 820 : 제2 열회수 열교환기
830 : 제2 밸브 840 : 제3 밸브
850 : 제4 밸브 900 : 제어부
L300 : 냉매 배관 L400 : 가열가습 배관
L500 : 방열 배관 L600 : 냉각 배관
L800 : 열회수 배관 L810 : 열회수 분기배관
L820 : 연결 배관
Claims (6)
- 공기에 대해서 냉각 및 제습을 행하는 냉각 열교환기, 상기 냉각 열교환기를 거친 공기를 가열하여 공기의 온도가 설정 온도가 되도록 조절하는 가열 열교환기, 및 상기 가열 열교환기를 거친 공기를 가습하여 공기의 습도가 설정 습도가 되도록 조절하는 가습기를 포함하는 공조기와,
압축기, 응축기, 팽창 장치 및 증발기를 포함하며, 이 순서로 냉매가 순환하도록 하는 냉매 배관을 구비하는 냉동기와,
상기 증발기를 통과하면서 상기 냉매와 열교환하여 냉각된 제1 열매체를 상기 냉각 열교환기로 흐르게 하여 공기를 냉각시킨 후 상기 증발기로 순환하도록 하는 냉각 배관과,
상기 응축기를 통과하면서 상기 냉매와 열교환하여 가열된 제2 열매체를 방열기를 거쳐 상기 응축기로 순환하도록 하는 방열 배관과,
상기 냉각 열교환기와 상기 가열 열교환기 사이에 배치되고, 상기 응축기를 거친 제2 열매체와 상기 냉각 열교환기를 거친 공기가 열교환되는 제1 열회수 열교환기와,
상기 방열 배관에서의 상기 응축기 출구의 일지점(A1)에서 상기 방열 배관으로부터 분기되고, 상기 제1 열회수 열교환기를 통과하여 상기 방열기의 입구의 일지점(A2)에서 상기 방열 배관과 합류하는 열회수 배관과,
상기 열회수 배관에서의 상기 제1 열회수 열교환기를 거친 상기 제2 열매체와, 상기 냉각 배관에서의 상기 냉각 열교환기로 유입되는 상기 제1 열매체를 열교환하는 제2 열회수 열교환기와,
상기 열회수 배관에서의 상기 제1 열회수 열교환기의 출구의 일지점(A3)에서 분되어 상기 제2 열회수 열교환기를 통과하여 일지점(A4)에서 합류하는 열회수 분기배관과,
상기 제1 열회수 열교환기 및 상기 제2 열회수 열교환기로 흐르는 상기 제2 열매체의 유량을 변화시키는 제어부를 구비하며,
상기 제어부는, 상기 열회수 배관에서 상기 제1 열회수 열교환기를 거쳐 상기 제2 열회수 열교환기로 들어가는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 의해서, 상기 설정 습도와 상기 가습기로 들어가는 공기의 습도 H1와의 차이인 (설정 습도- 습도 H1)이 소정의 습도 범위 내에 들어가도록 조절하는 것을 특징으로 하는 공조 시스템. - 청구항 1에 있어서,
상기 열회수 배관에서의 상기 제1 열회수 열교환기의 입구의 일지점(A5)에서 분기되고 상기 제1 열회수 열교환기의 출구와 상기 열회수 분기배관이 분기하는 일지점(A3)과의 사이의 일지점(A6)에서 합류하는 연결 배관을 더 포함하고,
상기 제어부는, 상기 연결 배관을 통해서 상기 제2 열회수 열교환기로 바이패스되는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하여 상기 제1 열회수 열교환기로 들어가는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 의해서, 상기 설정 온도와 상기 가열 열교환기로 들어가는 공기의 온도 T1와의 차이인 (설정 온도- 온도 T1)이 소정의 온도 범위 내로 들어가도록 조절하는 것을 특징으로 하는 공조 시스템. - 청구항 2에 있어서,
상기 제어부는, 상기 연결 배관으로 흐르는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 더하여, 상기 응축기를 거쳐 상기 제1 열회수 열교환기로 유입되는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 의해서 상기 설정 온도와 상기 가열 열교환기로 들어가는 공기의 온도 T1와의 차이인 (설정 온도- 온도 T1)이 소정의 온도 범위 내로 들어가도록 조절하는 것을 특징으로 하는 공조 시스템. - 청구항 1에 기재된 공조 시스템의 제어 방법으로서,
상기 열회수 배관에서 상기 제1 열회수 열교환기를 거쳐 상기 제2 열회수 열교환기로 들어가는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 의해서, 상기 설정 습도와 상기 가습기로 들어가는 공기의 습도 H1와의 차이인 (설정 습도- 습도 H1)이 소정의 습도 범위 내에 들어가도록 조절하는 습도 조절 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공조시스템의 제어 방법. - 청구항 4에 있어서,
상기 습도 조절 단계 후, 상기 제2 열회수 열교환기로 바이패스되는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하여 상기 제1 열회수 열교환기로 들어가는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 의해서, 상기 설정 온도와 상기 가열 열교환기로 들어가는 공기의 온도 T1와의 차이인 (설정 온도- 온도 T1)이 소정의 온도 범위 내로 들어가도록 온도를 조절하는 온도 조절 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공조시스템의 제어 방법. - 청구항 5에 있어서,
상기 온도 조절 단계에서는, 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 더하여, 상기 응축기를 거쳐 상기 제1 열회수 열교환기로 유입되는 상기 제2 열매체의 유량을 조절하는 것에 의해서 상기 설정 온도와 상기 가열 열교환기로 들어가는 공기의 온도 T1와의 차이인 (설정 온도- 온도 T1)이 소정의 온도 범위 내로 들어가도록 조절하는 것을 특징으로 하는 공조 시스템의 제어 방법.
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| JP2006207856A (ja) | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Sanki Eng Co Ltd | 外気調整用空調装置 |
| JP2009257649A (ja) | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Orion Mach Co Ltd | 温湿度調整装置 |
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