KR102780376B1 - 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치는 측정대상체로부터 반사된 반사광을 편광부를 이용하여 층밀림하여 광 간섭신호를 획득할 수 있으므로 구조가 비교적 단순하여 제조에 소요되는 비용 및 인력을 절감할 수 있다.
또한, 본 발명은 종래의 일반적인 간섭계와 달리 기준광이 요구되지 않으므로 외부로부터 진동이 인가되더라도 보다 신뢰성이 높은 광 간섭신호를 획득할 수 있다.
그리고, 본 발명은 기존의 광학 현미경의 광검출부를 대신하여 층밀림 간섭계를 이용한 광검출모듈을 장착하여 구성할 수 있으므로 광강도 영상과 위상 영상을 동시에 획득하는 것이 가능하다.
Description
도 2 및 도 3은 도 1의 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치의 제1편광부에 대한 개념도이고,
도 4는 도 1의 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치의 광검출 모듈에 대한 도면이고,
도 5는 도 1의 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치의 광검출 모듈에서 획득한 광 간섭신호에 대한 예시도이고,
도 6 내지 도 13은 혈관에 대한 본 발명의 층밀링 위상차 영상 획득 모듈 장치에서 획득한 분석 영상이고,
도 14 및 도 15은 간에 대한 본 발명의 층밀링 위상차 영상 획득 모듈 장치에서 획득한 분석 영상이고,
도 16 내지 도 20은 신장에 대한 본 발명의 층밀링 위상차 영상 획득 모듈 장치에서 획득한 분석 영상이다.
300: 광학모듈 310: 광분배기
320: 콜리메이팅 렌즈 330: 대물렌즈
400: 신호생성부 410: 선형편광기
420: 튜브렌즈 430: 빔스플리터
440: 제1편광부 441: 제1편광부재
442: 제2편광부재 450: 광검출 모듈
451: 광검출부 452: 제2편광부
500: 미러부 510: 제1미러
520: 제2미러
Claims (11)
- 광원으로부터 출력되는 광을 측정대상물에 조사시켜, 해당 측정대상물로부터 반사되는 반사광을 획득하는 광학모듈; 및
상기 광학모듈에서 획득한 반사광을 층밀림시키기 위해 해당 반사광을 편광시켜 미러부에 조사하고, 상기 미러부에서 반사되는 광을 통해 광간섭 신호를 생성하는 신호생성부;를 구비하고,
상기 신호생성부는
상기 광학모듈에서 입사되는 반사광의 광 경로 상에 설치되어 해당 반사광을 편광시키는 선형편광기;
상기 선형편광기에서 편광된 반사광을 상기 미러부에 조사하는 빔스플리터;
상기 빔스플리터 및 미러부 사이에 설치되며, 상기 미러부로 입사되는 상기 반사광을 편광시키되, 해당 반사광을 상호 상이한 방향으로 회절되는 복수의 편광으로 분할하며, 상기 미러부에서 반사되는 상기 편광들을 재차 회절시키는 제1편광부;
상기 제1편광부에서 출사되는 편광들을 검출하고, 검출된 편광들을 토대로 광간섭 신호를 생성하는 광검출 모듈;을 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 제1편광부는 상기 빔스플리터로부터 입사되는 반사광을, 해당 반사광의 광축 선에 대해 소정의 각도를 갖고 상호 상이한 방향으로 회절되어 상기 미러부로 출력되는 좌원 편광 및 우원 편광으로 분할하고, 상기 미러부에서 반사된 상기 좌원 편광 및 우원 편광을 상기 반사광의 광축 선과 나란한 방향으로 상기 빔스플리터에 출사하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 빔스플리터는 상기 선형편광기에서 입사되는 반사광을 상호 교차되는 방향으로 출사되는 제1 및 제2분할광으로 분할하고,
상기 미러부는 해당 제1분할광의 광 경로 상에 설치되는 제1미러와, 해당 제2분할광의 광 경로 상에 설치되는 제2미러를 구비하고,
상기 제1편광부는
상기 빔스플리터 및 제1미러 사이에 설치되어 상기 제1분할광을 편광시키되, 해당 제1분할광을 복수의 편광으로 회절 및 분할하여 상기 제1미러로 출사하고, 상기 제1미러에서 반사된 편광을 재차 회절시켜 출사하는 제1편광부재; 및
상기 빔스플리터 및 제2미러 사이에 설치되어 상기 제2분할광을 편광시키되, 해당 제2분할광을 복수의 편광으로 회절 및 분할하여 상기 제2미러로 출사하고, 상기 제2미러에서 반사된 편광을 재차 회절시켜 출사하는 제2편광부재;를 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제4항에 있어서,
상기 제1편광부재는 상기 빔스플리터로부터 입사되는 제1분할광을, 해당 제1분할광의 광축 선에 대해 소정의 각도를 갖고 상호 상이한 방향으로 회절되어 상기 제1미러로 출력되는 제1좌원 편광 및 제1우원 편광으로 분할하고, 상기 제1미러에서 반사된 상기 제1좌원 편광 및 제1우원 편광을 상기 제1분할광의 광축 선과 나란한 방향으로 상기 빔스플리터에 출사하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제4항에 있어서,
상기 제2편광부재는 상기 빔스플리터로부터 입사되는 제2분할광을, 해당 제2분할광의 광축 선에 대해 소정의 각도를 갖고 상호 상이한 방향으로 회전되어 상기 제2미러로 출력되는 제2좌원 편광 및 제2우원 편광으로 분할하고, 상기 제2미러에서 반사된 상기 제2좌원 편광 및 제2우원 편광을 상기 제2분할광의 광축 선과 나란한 방향으로 상기 빔스플리터에 출사하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 신호생성부는 상기 미러부에 설치되며, 상기 반사광의 층밀림량을 조절할 수 있도록 상기 미러부를 상기 제1편광부에 인접되거나 멀어지게 이동시키는 구동기;를 더 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 빔스플리터는 상기 미러부에서 반사된 광을 상기 광검출모듈로 출사하고,
상기 광검출 모듈은
상기 빔스플리터에서 출사되는 광을 검출하는 광검출부; 및
상기 빔스플리터 및 카메라 사이에 설치되며, 해당 카메라로 입사되는 광을 편광시키는 제2편광부;를 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 광학모듈은 상기 광원에서 출력되는 광을 반사하여 상기 측정대상물에 입사시키되, 해당 측정대상물로부터 반사되는 반사광을 투과시켜 상기 신호생성부로 출사하는 광분배기;를 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제8항에 있어서,
상기 광학모듈은 상기 광원 및 광분배기 사이에 설치되어 상기 광원에서 출력되는 광을 평행광으로 시준시키는 콜리메이팅 렌즈;를 더 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 신호생성부는 상기 선형 편광기와 빔스플리터 사이에 설치되어 상기 선형 편광기에서 편광된 반사광을 집속시켜 상기 빔스플리터로 출사하는 튜브렌즈;를 더 구비하는,
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치.
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| KR1020220151462A KR102780376B1 (ko) | 2022-11-14 | 2022-11-14 | 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치 |
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| KR1020220151462A KR102780376B1 (ko) | 2022-11-14 | 2022-11-14 | 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치 |
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| KR102543545B1 (ko) * | 2020-12-24 | 2023-06-13 | 조선대학교산학협력단 | 파면을 측정하기 위한 장치 및 이를 이용한 측정 방법 |
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2022
- 2022-11-14 KR KR1020220151462A patent/KR102780376B1/ko active Active
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| KR102316503B1 (ko) | 2020-04-23 | 2021-10-22 | 서울대학교산학협력단 | 동축 분광 이미징 엘립소미터 |
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