KR102936634B1 - 약액 공급 장치 - Google Patents

약액 공급 장치

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KR102936634B1 KR1020240095388A KR20240095388A KR102936634B1 KR 102936634 B1 KR102936634 B1 KR 102936634B1 KR 1020240095388 A KR1020240095388 A KR 1020240095388A KR 20240095388 A KR20240095388 A KR 20240095388A KR 102936634 B1 KR102936634 B1 KR 102936634B1
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Abstract

본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것이다.
본 발명은 약액 공급원으로부터 공급받은 약액을 수용하고, 수용된 약액을 복수의 기판 처리 장치로 분배하는 약액 분배 시스템 탱크, 상기 약액 분배 시스템 탱크로 비활성 가스를 공급하는 비활성가스 공급부, 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 가스를 배기하는 배기 버퍼, 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 상기 배기 버퍼의 내부 공간의 압력 차이인 차압을 측정하는 차압계 및 상기 차압계로부터 전달받은 차압에 따라 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하고, 생성된 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부를 통해 제공되도록 제어하는 제어기를 포함한다.
본 발명에 따르면, 약액 분배 시스템 탱크와 배기 버퍼 사이에 설치된 차압계를 이용하여 획득한 차압을 이용하여 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 외부 공간의 차압을 간접적으로 획득하고, 그 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보와 알람 정보를 생성하여 관리자에게 제공함으로써, 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 효율적으로 방지할 수 있으며, 가스 유출입 방지를 위한 시스템 구현 비용을 저감할 수 있는 약액 공급 장치가 제공되는 효과가 있다.

Description

약액 공급 장치{CHEMICAL SUPPLY APPARATUS}
본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 약액 분배 시스템 탱크와 배기 버퍼 사이에 설치된 차압계를 이용하여 획득한 차압을 이용하여 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 외부 공간의 차압을 간접적으로 획득하고, 그 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보와 알람 정보를 생성하여 관리자에게 제공함으로써, 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 효율적으로 방지할 수 있으며, 가스 유출입 방지를 위한 시스템 구현 비용을 저감할 수 있는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
약액 분배 시스템(Chemical Delivery System, CDS) 탱크는 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액을 저장하고 공급하는 기능을 수행한다.
도 1은 약액 분배 시스템 탱크를 포함하는 종래 기술에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 약액 공급 장치는 약액 분배 시스템 탱크(30), 비활성가스 공급부(40), 배기 버퍼(50)를 포함하여 구성된다.
약액 분배 시스템 탱크(30)는 약액 공급원(10)으로부터 공급받은 약액을 수용하고, 수용된 약액을 복수의 기판 처리 장치(20)로 분배한다.
비활성가스 공급부(40)는 약액 분배 시스템 탱크(30)로 비활성 가스를 공급한다.
배기 버퍼(50)는 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 가스를 배기한다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 흄(fume) 제거를 위해 일정한 배기량이 유지되어야 하며, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 비활성 분위기 조성을 위해 일정한 유량의 비활성가스가 약액 분배 시스템 탱크(30)로 유입된다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간은 설정된 비활성가스 유량과 배기량에 의해 일정한 환경을 유지된다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 작으면, 외기가 유입될 수 있어 습도 및 오염원으로부터 민감한 약액에 악영향을 끼친다.
또한, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 크면, 유해한 약액이 외부로 유출될 수 있어 안전에 문제가 있다.
그러나 종래 기술에 따르면, 약액 유출 문제 등으로 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부와 외부를 직접 연결하는 차압계(60)를 설치하기 어려워 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력과 외부 공간의 압력의 차이를 모니터링 할 수 없어 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 환경을 확인하는데 어려움이 있다는 문제점이 있다.
또한, 종래 기술에 따르면, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 압력을 측정하기 위한 센서를 직접 설치할 경우, 수 파스칼(Pa) 수준의 낮은 압력을 측정하기 위한 정밀하게 측정해야 하는 시스템의 구현 비용이 매우 높아 경제성이 떨어진다는 문제점이 있다.
등록특허공보 제10-1402161호(등록일자: 2014년 05월 26일, 명칭: 케미컬 약액 공급장치) 공개특허공보 제10-2009-0006269호(공개일자: 2009년 01월 15일, 명칭: 약액 공급 장치, 그리고 이를 구비하는 기판 처리 설비 및 방법)
본 발명의 기술적 과제는 약액 분배 시스템 탱크와 배기 버퍼 사이에 설치된 차압계를 이용하여 획득한 차압을 이용하여 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 외부 공간의 차압을 간접적으로 획득하고, 그 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보와 알람 정보를 생성하여 관리자에게 제공함으로써, 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 효율적으로 방지할 수 있으며, 가스 유출입 방지를 위한 시스템 구현 비용을 저감할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는 것이다.
이러한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 약액 공급 장치는 약액 공급원으로부터 공급받은 약액을 수용하고, 수용된 약액을 복수의 기판 처리 장치로 분배하는 약액 분배 시스템 탱크, 상기 약액 분배 시스템 탱크로 비활성 가스를 공급하는 비활성가스 공급부, 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 가스를 배기하는 배기 버퍼, 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 상기 배기 버퍼의 내부 공간의 압력 차이인 차압을 측정하는 차압계 및 상기 차압계로부터 전달받은 차압에 따라 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하고, 생성된 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부를 통해 제공되도록 제어하는 제어기를 포함한다.
본 발명에 따른 약액 공급 장치에 있어서, 상기 제어기는 상기 차압계로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 벗어나는 경우, 알람정보 출력부를 통하여 알람정보가 출력되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 약액 공급 장치에 있어서, 상기 제어기는 상기 차압계로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 유지하는 경우, 상기 차압 모니터링 정보가 상기 상태정보 제공부에 제1 형식으로 제공되도록 제어하고, 상기 차압계로부터 전달받은 차압이 음(-)의 값을 갖는 경우, 상기 차압 모니터링 정보가 상기 상태정보 제공부에 상기 제1 형식과 구분되는 제2 형식으로 제공되도록 제어하고, 상기 차압계로부터 전달받은 차압이 상기 양(+)의 설정치를 초과하는 경우, 상기 차압 모니터링 정보가 상기 상태정보 제공부에 상기 제1 형식 및 상기 제2 형식과 구분되는 제3 형식으로 제공되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 약액 공급 장치에 있어서, 상기 차압계는 마노미터(manometer)인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 약액 분배 시스템 탱크와 배기 버퍼 사이에 설치된 차압계를 이용하여 획득한 차압을 이용하여 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 외부 공간의 차압을 간접적으로 획득하고, 그 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보와 알람 정보를 생성하여 관리자에게 제공함으로써, 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 효율적으로 방지할 수 있으며, 가스 유출입 방지를 위한 시스템 구현 비용을 저감할 수 있는 약액 공급 장치가 제공되는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 전체적인 동작 구성을 예시적으로 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 제어기가 차압계로부터 전달받은 차압의 측정치에 따라 차압 모니터링 정보를 상이한 형식으로 제공하여 현재상황 판단과 관련한 관리자의 시인성을 향상시키는 구성을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 약액 분배 시스템 탱크(30), 비활성가스 공급부(40), 배기 버퍼(50), 차압계(60), 제어기(70), 상태정보 제공부(80) 및 알람정보 제공부(90)를 포함하여 구성될 수 있다.
약액 분배 시스템 탱크(30)는 약액 공급원(10)으로부터 공급받은 약액을 수용하고, 수용된 약액을 복수의 기판 처리 장치(20)로 분배한다. 예를 들어, 약액 분배 시스템 탱크(30)로부터 약액을 공급받는 기판 처리 장치(20)는 기판 세정 장치일 수 있으나, 이에 한정되지는 않으며, 반도체 기판을 처리하기 위한 약액 분배 시스템 탱크(30)로부터 공급받는 약액을 이용하여 반도체 기판에 대한 임의의 공정을 수행하는 장치일 수 있다.
비활성가스 공급부(40)는 약액 분배 시스템 탱크(30)로 비활성 가스를 공급한다. 예를 들어, 약액이 수용되어 있는 약액 분배 시스템 탱크(30)의 상부 공간에는 비활성가스 및 약액의 기화 또는 승화 성분이 합쳐진 가스가 채워지고 이 가스의 밀도에 따라 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 변동될 수 있다. 예를 들어, 관리자는 제어기(70)의 제어에 따라 상태정보 제공부(80)를 통해 제공되는 차압 모니터링 정보를 활용하여 비활성가스 공급부(40)와 약액 분배 시스템 탱크(30) 사이에 설치된 유량계를 조절하여 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간으로 공급되는 비활성 가스의 유량을 조절함으로써, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 정해진 목표 범위에서 벗어나지 않도록 할 수 있다.
배기 버퍼(50)는 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 가스를 배기한다. 예를 들어, 배기 버퍼(50)의 내부 공간은 약액 분배 시스템 탱크(30)로부터 배기되는 가스를 버퍼링하기 위해 일정한 부피를 갖도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 관리자는 제어기(70)의 제어에 따라 상태정보 제공부(80)를 통해 제공되는 차압 모니터링 정보를 활용하여 배기 버퍼(50)의 후단에 연결된 댐퍼(300)의 개폐율을 조절하여 약액 분배 시스템 탱크(30)로부터 배기 버퍼(50)를 통해 배기되는 가스의 유량을 조절함으로써, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 정해진 목표 범위에서 벗어나지 않도록 할 수 있다.
차압계(60)는 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간과 배기 버퍼(50)의 내부 공간의 압력 차이인 차압을 측정하고, 측정된 차압에 대한 정보를 제어기(70)로 실시간 전달한다. 예를 들어, 차압계는 차압계(60)는 마노미터(manometer)일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
제어기(70)는 차압계(60)로부터 전달받은 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하고, 생성된 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)를 통해 관리자 등에게 제공되도록 제어한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 차압계(60)가 획득한 정보를 이용하여 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하는 구성의 이유 및 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 흄(fume) 제거를 위해 일정한 배기량이 유지되어야 하며, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 비활성 분위기 조성을 위해 일정한 유량의 비활성가스가 약액 분배 시스템 탱크(30)로 유입된다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간은 설정된 비활성가스 유량과 배기량에 의해 일정한 환경을 유지된다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 작으면, 외기가 유입될 수 있어 습도 및 오염원으로부터 민감한 약액에 악영향을 끼친다.
또한, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 크면, 유해한 약액이 외부로 유출될 수 있어 안전에 문제가 있다.
약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 환경은 약액 분배 시스템 탱크(30) 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력과 동일하거나 아주 약간 높은 것이 바람직하다.
그러나, 약액 유출 문제 등으로 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부와 외부를 직접 연결하는 차압계(60)를 설치하기 어려워 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력과 외부 공간의 압력의 차이를 모니터링 할 수 없어 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 환경을 확인하는데 어려움이 있다는 문제점이 있다.
또한, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 압력을 측정하기 위한 센서를 직접 설치할 경우, 수 파스칼(Pa) 수준의 낮은 압력을 측정하기 위한 정밀하게 측정해야 하는 시스템의 구현 비용이 매우 높아 경제성이 떨어진다는 문제점이 있다.
본 발명의 일 실시예는 이러한 문제점을 해결하기 위한 것이다.
즉, 본 발명의 일 실시예는 차압계(60)를 이용하여 내부 공간과 배기 버퍼(50)의 내부 공간의 압력 차이인 차압을 측정하고, 제어기(70)는 차압계(60)로부터 전달받은 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하고, 생성된 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)를 통해 관리자 등에게 제공되도록 제어한다.
본 발명의 일 실시예는 약액 분배 시스템 탱크(30)와 배기 버퍼(50) 사이에 설치된 차압계(60)를 이용하여 획득한 차압을 이용하여 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간과 외부 공간의 차압을 간접적으로 획득하고, 그 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보와 알람 정보를 생성하여 관리자에게 제공함으로써, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 효율적으로 방지할 수 있으며, 가스 유출입 방지를 위한 시스템 구현 비용을 저감할 수 있다.
예를 들어, 제어기(70)는 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 벗어나는 경우, 알람정보 출력부(90)를 통하여 알람정보가 출력되도록 제어할 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 관리자가 약액 유출 및 외기 유입에 의한 위험 상황 발생 가능성을 신속하게 인지하여 대처할 수 있다.
예를 들어, 제어기(70)는 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 유지하는 경우, 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)에 제1 형식으로 제공되도록 제어하고, 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 음(-)의 값을 갖는 경우, 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)에 제1 형식과 구분되는 제2 형식으로 제공되도록 제어하고, 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 양(+)의 설정치를 초과하는 경우, 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)에 제1 형식 및 제2 형식과 구분되는 제3 형식으로 제공되도록 제어할 수 있다. 이와 같이, 차압의 측정치에 따라 차압 모니터링 정보를 상이한 형식으로 제공함으로써, 현재상황 판단과 관련한 관리자의 시인성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는, 도 3 및 도 4를 추가로 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 동작 구성을 예시적으로 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 전체적인 동작 구성을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 추가로 참조하면, 단계 S10에서는, 제어기(70)가 약액 공급원(10)에 저장된 약액이 약액 분배 시스템 탱크(30)로 공급되어 수용되고, 약액 분배 시스템 탱크(30)에 수용된 약액이 복수의 기판 처리 장치(20)로 분배되도록 제어하는 과정이 수행된다.
예를 들어, 단계 S10에서, 제어기(70)는 제1 밸브(100)를 온시켜 약액 공급원(10)에 저장된 약액이 약액 분배 시스템 탱크(30)로 공급되어 일정 수위를 유지하도록 한 후, 제2 밸브(400)를 온시키고 펌프(500)를 동작시켜 약액 분배 시스템 탱크(30)에 수용된 약액이 복수의 기판 처리 장치(20)로 분배되도록 제어할 수 있다. 펌프(500)와 약액 분배 시스템 탱크(30)에 설치된 필터(600)는 기판 처리 장치(20)로 유입되는 약액에 포함된 이물질을 제거한다.
단계 S20에서는, 차압계(60)가 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간과 배기 버퍼(50)의 내부 공간의 압력 차이인 차압을 측정하여 제어기(70)로 실시간 전달한다.
단계 S30에서는, 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하고, 생성된 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)를 통해 제공되도록 제어하는 과정이 수행된다.
이하에서는 단계 S30에서 수행될 수 있는 동작 구성을 도 4를 추가로 참조하여 예시적으로 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압의 측정치에 따라 차압 모니터링 정보를 상이한 형식으로 제공하여 현재상황 판단과 관련한 관리자의 시인성을 향상시키는 구성을 예시적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 추가로 참조하면, 단계 S310에서는, 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하는 과정이 수행된다.
단계 S320에서는, 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압, 즉, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간과 배기 버퍼(50)의 내부 공간의 압력 차이가 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 유지하는지 여부를 판단하는 과정이 수행된다. 단계 S320에서의 판단 결과, 차압이 허용 범위를 유지하면 단계 S330으로 전환되고, 차압이 허용 범위를 벗어나면 단계 S340으로 전환된다.
단계 S330는 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 유지하는 경우에 수행되는 과정으로서, 단계 S330에서는, 제어기(70)에 의해 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)에 제1 형식으로 제공되는 과정이 수행된다. 관리자는 이를 통해 현재 상황이 가스 유출입 위험이 없는 상태라는 것을 인지할 수 있다.
단계 S340에서는, 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 0보다 작은지 여부를 판단하는 과정이 수행된다. 단계 S340에서의 판단 결과, 차압이 0보다 작으면 단계 S350, 단계 S360으로 전환되고, 차압이 0 이상이면 단계 S370으로 전환된다.
단계 S350에서는, 제어기(70)의 제어에 따라 알람정보 출력부(80)가 알람정보를 출력하는 과정이 수행된다. 이에 따라, 관리자가 외기 유입에 의한 약액 오염 위험 상황 발생 가능성을 신속하게 인지하여 대처할 수 있다.
단계 S360은 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 음(-)의 값을 갖는 경우에 수행되는 과정으로서, 단계 S360에서는, 제어기(70)의 제어에 따라 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)에 제1 형식과 구분되는 제2 형식으로 제공되는 과정이 수행된다. 이와 같이 정상 상태와는 상이한 형식으로 제공되는 정보를 활용하여, 관리자는 유량계(200)를 조절하여 약액 분배 시스템 탱크(30)로 유입되는 비활성가스의 유량을 증가시키거나 배기 버퍼(50)의 후단에 연결된 댐퍼(300)의 개폐율을 조절하여 약액 분배 시스템 탱크(30)로부터 배기되는 가스의 배기량을 감소시키는 등의 작업을 수행할 수 있다. 이에 따라, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 낮아, 외기가 약액 분배 시스템 탱크(30)로 유입되어 약액을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.
단계 S370에서는, 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 양(+)의 설정치를 초과하는지 여부를 판단하는 과정이 수행된다. 단계 S370에서의 판단 결과, 차압이 (+)의 설정치를 초과하면 단계 S380, 단계 S390으로 전환된다.
단계 S380에서는, 제어기(70)의 제어에 따라 알람정보 출력부(80)가 알람정보를 출력하는 과정이 수행된다. 이에 따라, 관리자가 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 높아, 약액 분배 시스템 탱크(30) 내부의 유해 가스가 외부로 유출되어 안전사고를 발생시키는 문제를 사전에 인지하여 방지할 수 있다.
단계 S390은 제어기(70)가 차압계(60)로부터 전달받은 차압이 양(+)의 설정치를 초과하는 경우에 수행되는 과정으로서, 단계 S390에서는, 제어기(70)의 제어에 따라 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부(80)에 제1 형식 및 제2 형식과 구분되는 제3 형식으로 제공되는 과정이 수행된다. 이와 같이 정상 상태 및 외기 유입 상황과는 상이한 형식으로 제공되는 정보를 활용하여, 관리자는 유량계(200)를 조절하여 약액 분배 시스템 탱크(30)로 유입되는 비활성가스의 유량을 감소시키거나 배기 버퍼(50)의 후단에 연결된 댐퍼(300)의 개폐율을 조절하여 약액 분배 시스템 탱크(30)로부터 배기되는 가스의 배기량을 증가시키는 등의 작업을 수행할 수 있다. 이에 따라, 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간의 압력이 외부 공간의 압력보다 높아, 약액 분배 시스템 탱크(30) 내부의 유해 가스가 외부로 유출되어 안전사고를 발생시키는 문제를 사전에 방지할 수 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 약액 분배 시스템 탱크(30)와 배기 버퍼(50) 사이에 설치된 차압계(60)를 이용하여 획득한 차압을 이용하여 약액 분배 시스템 탱크(30)의 내부 공간과 외부 공간의 차압을 간접적으로 획득하고, 그 차압에 따라 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보와 알람 정보를 생성하여 관리자에게 제공함으로써, 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 효율적으로 방지할 수 있으며, 가스 유출입 방지를 위한 시스템 구현 비용을 저감할 수 있는 약액 공급 장치가 제공되는 효과가 있다.
10: 약액 공급원
20: 기판 처리 장치
30: 약액 분배 시스템(Chemical Delivery System, CDS) 탱크
40: 비활성가스 공급부
50: 배기 버퍼
60: 차압계
70: 제어기
80: 상태정보 제공부
90: 알람정보 출력부
100: 제1 밸브
200: 유량계
300: 댐퍼
400: 제2 밸브
500: 펌프
600: 필터

Claims (4)

  1. 약액 공급원으로부터 공급받은 약액을 수용하고, 수용된 약액을 복수의 기판 처리 장치로 분배하는 약액 분배 시스템 탱크;
    상기 약액 분배 시스템 탱크로 비활성 가스를 공급하는 비활성가스 공급부;
    상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 가스를 배기하는 배기 버퍼;
    상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 공간과 상기 배기 버퍼의 내부 공간의 압력 차이인 차압을 측정하는 차압계; 및
    상기 차압계로부터 전달받은 차압에 따라 상기 약액 분배 시스템 탱크의 내부 및 외부로의 가스 유출입을 방지하기 위한 차압 모니터링 정보를 생성하고, 생성된 차압 모니터링 정보가 상태정보 제공부를 통해 제공되도록 제어하는 제어기를 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 차압계로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 유지하는 경우, 상기 차압 모니터링 정보가 상기 상태정보 제공부에 제1 형식으로 제공되도록 제어하고,
    상기 차압계로부터 전달받은 차압이 음(-)의 값을 갖는 경우, 상기 차압 모니터링 정보가 상기 상태정보 제공부에 상기 제1 형식과 구분되는 제2 형식으로 제공되도록 제어하고,
    상기 차압계로부터 전달받은 차압이 상기 양(+)의 설정치를 초과하는 경우, 상기 차압 모니터링 정보가 상기 상태정보 제공부에 상기 제1 형식 및 상기 제2 형식과 구분되는 제3 형식으로 제공되도록 제어하는, 약액 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 차압계로부터 전달받은 차압이 0 이상 양(+)의 설정치 이하의 허용 범위를 벗어나는 경우, 알람정보 출력부를 통하여 알람정보가 출력되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 약액 공급 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 차압계는 마노미터(manometer)인 것을 특징으로 하는, 약액 공급 장치.
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