KR20020007484A - 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치 - Google Patents

운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20020007484A
KR20020007484A KR1020000040451A KR20000040451A KR20020007484A KR 20020007484 A KR20020007484 A KR 20020007484A KR 1020000040451 A KR1020000040451 A KR 1020000040451A KR 20000040451 A KR20000040451 A KR 20000040451A KR 20020007484 A KR20020007484 A KR 20020007484A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
cassette
support
wafer cassette
moving member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020000040451A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100358512B1 (ko
Inventor
이성현
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1020000040451A priority Critical patent/KR100358512B1/ko
Publication of KR20020007484A publication Critical patent/KR20020007484A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100358512B1 publication Critical patent/KR100358512B1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3218—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H7/00—Gearings for conveying rotary motion by endless flexible members
    • F16H7/02—Gearings for conveying rotary motion by endless flexible members with belts; with V-belts
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3214—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼카세트가 안착되는 카세트안착판의 기울기를 자유롭게 조절하여 웨이퍼카세트를 적재하거나 내리기 용이하도록 한 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 구성은 상면에 웨이퍼카세트가 안착되는 카세트안착판과, 상기 카세트안착판의 하부를 지지하도록 운송장치에 장착되는 지지판과, 상기 지지판과 상기 카세트안착판 사이에 마련되는 완충수단을 포함하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 있어서, 상기 지지판과 상기 카세트안착판의 경사를 조절할 수 있도록 상기 지지판의 일측이 상기 운송장치에 회동 가능하게 결합되고, 상기 지지판의 타측이 승강장치를 통해 승강 가능하게 된 것이다.

Description

운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치{WAFER CASSETTE SUPPORTING APPARATUS FOR TRANSPORTER}
본 발명은 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 운송장치의 이동 중에 웨이퍼의 이탈방지를 위해 웨이퍼카세트를 기울여 적재할 수 있도록 한 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공장에서는 제조된 웨이퍼(Wafer)를 웨이퍼카세트에 적층시켜 보관하며, 이 웨이퍼카세트를 후 공정의 생산라인이나 다른 보관장소로 운송할 때에는 통상 공장 내부를 순회하는 무인반송차(AGV, Automatic Guided Vehicle)를 이용한다. 이를 위해 무인반송차에는 이 웨이퍼카세트를 적재하거나 내리기 위한 다관절 로봇이 마련되어 있고, 또한 무인반송차의 이동 중에 웨이퍼카세트를 안정적으로 지지하기 위한 지지장치가 마련되어 있다.
무인반송차에 장착되는 웨이퍼카세트 지지장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 무인반송차의 상부에 설치되는 지지판(1)과, 지지판(1)의 상부에 설치되는 카세트안착판(2), 그리고 카세트안착판(2)과 지지판(1)사이에 마련되는 완충장치(3,4)를 포함한다. 이때 카세트안착판(2)은 일단의 두께가 얇고 타단의 두께가 두껍게 형성되어 웨이퍼카세트(5)가 안착되는 상부가 경사면(2a)을 이루도록 되어 있으며, 카세트안착판(2)의 상면에는 웨이퍼카세트(5)가 안착되는 다수의 지지블럭(6)이 설치되어 있다. 이러한 구성은 카세트안착판(2)에 안착되는 웨이퍼카세트(5)의 개구부(5a)가 상향경사를 이루어 무인반송차의 이동 중에 발생되는 진동과 충격 또는 급정거 등에 의해 웨이퍼(7)가 웨이퍼카세트(5)로부터 이탈하지 않도록 한 것이다.
그런데, 이러한 구성의 종래 웨이퍼카세트 지지장치는 웨이퍼카세트(5)가 탑재되는 카세트안착판(2)의 상면이 경사면(2a)으로 구성되어 있기 때문에 카세트안착판(2)에 웨이퍼카세트(5)를 올리거나 내리기 어려울 뿐 아니라, 웨이퍼카세트(5)가 카세트안착판(2)에 안착된 상태에서 웨이퍼(7)를 웨이퍼카세트(5)에 끼우거나 빼기 어려운 문제점이 있었다.
또한 종래 웨이퍼카세트 지지장치는 경사면(2a)을 이루기 위해 두껍게 형성되는 카세트안착판(2)으로 인해 외부로 노출되는 지지장치의 부피가 큰 결점이 있었다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 웨이퍼카세트가 안착되는 카세트안착판의 경사를 자유롭게 조절할 수 있도록 함으로써 웨이퍼카세트를 적재하거나 내리기 용이할 뿐 아니라, 외부로 노출되는 지지장치의 부피가 작아지는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치를 제공하는 것이다.
도 1은 종래 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치의 구성을 보인 측면도이다.
도 2는 본 발명이 적용되는 운송장치로 무인반송차의 구성을 보인 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치의 구성을 보인 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치의 승강장치 구성을 보인 사시도이다.
도 5와 도 6은 본 발명에 따른 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치의 동작을 보인 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
12: 웨이퍼카세트, 20: 웨이퍼카세트 지지장치,
21: 카세트안착판, 22: 지지판,
24: 댐퍼, 25: 완충스프링,
26: 이탈방지판, 29: 회동축,
40: 승강장치, 41: 고정판,
42: 수평이송부재, 43: 나선이송축,
44: 구동모터, 46: 핀,
47: 레일, 48: 승강부재,
49: 경사홈, 52,53: 풀리,
54: 벨트, 55,56: 감지센서.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치는, 상면에 웨이퍼카세트가 안착되는 카세트안착판과, 상기 카세트안착판의 하부를 지지하도록 운송장치에 장착되는 지지판과, 상기 지지판과 상기 카세트안착판 사이에 마련되는 완충수단을 포함하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 있어서, 상기 지지판과 상기 카세트안착판의 경사를 조절할 수 있도록 상기 지지판의 일측이 상기 운송장치에 회동 가능하게 결합되고, 상기 지지판의 타측이 승강장치를 통해 승강 가능하게 된 것을 특징으로 한다.
또한 상기 승강장치는 상기 지지판의 하부에 횡방향으로 미끄럼운동 가능하게 설치되는 수평이동부재와, 상기 수평이동부재를 이동시키도록 상기 수평이동부재와 나사 결합되며 횡방향으로 길게 배치되는 나선이송축과, 상기 나선이송축을 회전시키는 구동모터와, 상기 수평이동부재의 운동에 의해 상기 지지판의 승강이 이루어지도록 상기 지지판에 결합되며 일측에 형성된 경사홈이 상기 수평이동부재에서 연장된 핀과 결합되는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 지지판 하부에는 상기 수평이동부재, 상기 구동모터, 상기 나선이송축의 설치를 위한 고정판이 설치되고, 상기 고정판에는 상기 수평이동부재의 안내를 위한 레일이 설치되며, 레일의 양측에는 상기 수평이동부재의 위치를 감지하는 감지센서가 설치된 것을 특징으로 한다.
또한 상기 구동모터와 상기 나선이송축의 연결부에는 회전속도의 감속을 위해 벨트와 복수의 풀리 또는 복수의 기어로 된 동력전달수단이 마련된 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 상기 카세트안착판이 평판으로 이루어진 것을 특징으로한다.
이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명이 적용되는 무인반송차(AGV)는 도 2에 도시된 바와 같이, 내부에 구동 및 제어장치가 내장된 본체(10)의 하단에 이동을 위한 휠(11)을 구비하고, 본체(10)의 상부에 웨이퍼카세트(12)를 적재하기 위한 지지장치(20)를 구비한다. 또 본체(10)의 일측 상부에는 웨이퍼카세트(12)를 집어 올려 상부의 지지장치(20)의 위에 싣거나 생산라인에 내려놓는 다관절 로봇아암(15)이 마련된다.
여기서 본 발명에 따른 지지장치(20)는 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 상부에 웨이퍼카세트(12)가 안착되는 카세트안착판(21), 카세트안착판(21)을 지지하도록 본체(10)의 상부에 회동 가능하게 장착되는 지지판(22), 지지판(22)과 카세트 안착판(21) 사이에 설치된 완충수단, 그리고 지지판(22)의 하부에서 지지판(22)의 일단을 승강시킴으로써 지지판(22)의 경사를 조절하는 승강장치(40)를 포함한다.
카세트안착판(21)은 소정의 두께를 가진 평판으로 이루어지며, 상면에는 웨이퍼카세트(12)를 안정적으로 지지하기 위한 다수의 지지블럭(23a,23b,23c)이 설치된다. 그리고 카세트안착판(21)의 하면과 지지판(22) 사이에 설치되어 충격과 진동을 감쇄시키는 완충수단은 내부에 완충액이 충진된 고무재로 이루어진 다수의 댐퍼(24)와, 두 판(21,22) 사이를 탄력 지지하는 다수의 완충스프링(25)으로 이루어진다. 이때 댐퍼(24)는 두 지지판(21,22) 사이의 네 모서리부에 배치되고, 완충스프링(25)은 각 댐퍼(24)의 사이에 배치된다. 또한 댐퍼(24)와 완충스프링(25)은카세트안착판(21)과 지지판(22) 사이에 개재되며 다수의 지지공(26a)이 형성된 이탈방지판(26)을 통해 지지되며, 카세트안착판(21)을 관통하여 체결되는 다수의 고정나사(27,28)를 통해 지지된다. 이때 완충스프링(25)을 지지하는 고정나사(27)가 카세트안착판(21)과 완충스프링(25)을 관통하여 지지판(22)에 체결됨으로써, 카세트안착판(21)과 지지판(22)이 결합상태를 유지시킨다.
또한 지지판(22)은 하부 일측이 본체(10)의 상부에 결합되는 회동축(29)을 통해 회전 가능하게 결합되고, 타측이 상술한 승강장치(40)에 의해 상하로 승강하도록 마련되어 지지판(22)과 이에 결합되는 카세트안착판(21)의 경사를 자유롭게 조절할 수 있도록 구성된다.
승강장치(40)는 도 4에 도시된 바와 같이, 본체(10)의 내부에 고정되는 고정판(41) 상부에 횡방향으로 미끄럼 가능하게 설치되는 수평이송부재(42)와, 수평이송부재(42)와 결합되는 나선이송축(43), 나선이송축(43)을 정·역방향으로 회전시키는 구동모터(44)를 포함한다. 또한 승강장치(40)는 지지판(22)의 하부에 결합되며, 일측에 수평이송부재(42)와 연동하는 핀(46)이 결합되는 경사홈(49)이 형성된 승강부재(48)를 포함한다.
좀더 상세히 설명하면, 수평이송부재(42)는 고정판(41)의 상면에 횡방향으로 길게 마련된 레일(47)을 따라 수평왕복운동을 하도록 설치된다. 그리고 나선이송축(43)은 수평이송부재(42)와 나사결합을 이룬 상태로 레일(47)의 일측방에 레일(47)과 평행하게 배치되고, 양단이 고정판(41) 상면에서 돌출된 블록(50a,50b)에 회전 가능하게 지지된다.
또 구동모터(44)는 고정판(41)의 상면 일측에 고정되고, 구동모터(44)의 회전축(44a)과 나선이송축(43) 사이에는 동력전달을 위한 두 개의 풀리(52,53)와, 이 두 풀리(52,53)를 연결하는 벨트(54)로 이루어진 동력전달수단이 마련된다. 여기서 동력전달수단은 복수의 기어가 치합 구조를 이루도록 구성하여도 동일한 목적을 달성할 수 있다. 또한 레일(47)의 양단부 일측에는 레일(47)을 따라 이동하는 수평이송부재(42)의 위치를 감지하여 구동모터(44)의 회전을 제어하기 위한 감지센서(55,56)가 설치된다.
이러한 구성들은 구동모터(44)와 함께 회전하는 나선이송축(43)을 통해 수평이송부재(42)가 횡방향으로 왕복운동을 하도록 한 것이고, 감지센서(55,56)를 통해 수평이송부재(42)의 위치를 감지하여 구동모터(44)의 구동 및 회전방향을 제어하기 위한 것이다.
또한 수평이송부재(42)에는 상술한 승강부재(48)와의 결합을 위해 상방향으로 연장된 수직연장부(42a)를 구비하고, 이 수직연장부(42a)의 상부에는 레일(47)과 교차하는 방향으로 연장되어 승강부재(48)의 경사홈(49)에 끼워지는 소정길이의 핀(46)이 마련된다.
그리고 승강부재(48)는 지지판(22)의 하면에 고정되는 고정부(48a)와, 고정부(48a)로부터 하부로 절곡되어 연장되는 연장부(48b)로 이루어지며, 이 연장부(48b)에 수평이송부재(42)와 연동하는 핀(46)이 끼워지는 경사홈(49)이 형성된다. 이때 경사홈(49)은 핀(46)의 외경에 상응하는 폭으로 연장부(48b)의 대각방향으로 경사지게 형성된다.
다음은 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치의 동작을 설명한다.
무인반송차가 웨이퍼카세트(12) 적재를 위해 정지한 상태에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 지지판(22)이 수평상태를 유지한다. 즉 이때는 수평이송부재(42)가 "C"방향으로 이동하여 핀(46)이 경사홈(49)의 상측 "A"부에 위치한다.
그리고 로봇아암(15)의 동작을 통해 카세트안착판(21)에 웨이퍼카세트(12)가 적재된 후에는 도 6에 도시된 바와 같이, 구동모터(44)의 구동으로 지지판(22)과 카세트안착판(21)이 소정 경사(θ)로 기울여진다. 이때는 구동모터(44)의 회전으로 나선이송축(43)이 회전되고, 나선이송축(43)의 회전에 의해 수평이송부재(42)가 레일(47)을 따라 "D"방향으로 이동된다. 또한 이때는 수평이송부재(42)에 결합된 핀(46)이 승강부재(48)의 경사홈(49) 상부 "A"에서 경사홈(49) 하부 "B"쪽으로 이동하므로, 승강부재(48)의 상승이 이루어지면서 지지판(22)이 소정의 경사로 기울여진다.
이 상태에서 무인반송차가 이동을 하면, 웨이퍼카세트(12)가 기울여져 개구부(12a)가 상방향을 향하게 되므로 이동 중에 소정의 진동과 충격이 발생하더라도 웨이퍼(13)의 이탈이 방지된다.
그리고 무인반송차가 목적지에 도착하여 웨이퍼카세트(12)를 내리기 위해 정지한 때에는 카세트안착판(21)과 지지판(22)이 다시 수평상태로 복원되어 웨이퍼카세트(12)를 내리기 용이한 상태가 된다. 즉 이때는 구동모터(44)에 의해 나선이송축(43)이 다시 역방향으로 회전하면서 수평이송부재(42)를 상술한 경우와 반대 방향("C"방향)으로 이송시켜, 핀(46)이 경사홈(49)의 상부("A"방향)로 이동하도록 함으로써 승강부재(48)를 하강시킨다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치는 승강장치의 동작에 의해 카세트안착판의 경사가 자유롭게 조절되므로, 운송장치의 정지시에는 웨이퍼카세트가 수평상태를 유지하여 적재하거나 내리기 용이할 뿐만 아니라, 이동 중에는 웨이퍼카세트가 소정의 경사를 유지하여 웨이퍼의 이탈을 방지하는 효과가 있다.
또한 본 발명은 카세트안착판이 얇은 평판으로 구성되기 때문에 외부로 노출되는 지지장치의 부피가 작아지는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 상면에 웨이퍼카세트가 안착되는 카세트안착판과, 상기 카세트안착판의 하부를 지지하도록 운송장치에 장착되는 지지판과, 상기 지지판과 상기 카세트안착판 사이에 마련되는 완충수단을 포함하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치에 있어서,
    상기 지지판과 상기 카세트안착판의 경사를 조절할 수 있도록 상기 지지판의 일측이 상기 운송장치에 회동 가능하게 결합되고, 상기 지지판의 타측이 승강장치를 통해 승강 가능하게 된 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 승강장치는 상기 지지판의 하부에 횡방향으로 미끄럼운동 가능하게 설치되는 수평이동부재와, 상기 수평이동부재를 이동시키도록 상기 수평이동부재와 나사 결합되며 횡방향으로 길게 배치되는 나선이송축과, 상기 나선이송축을 회전시키는 구동모터와, 상기 수평이동부재의 운동에 의해 상기 지지판의 승강이 이루어지도록 상기 지지판에 결합되며 일측에 형성된 경사홈이 상기 수평이동부재에서 연장된 핀과 결합되는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지판 하부에는 상기 수평이동부재, 상기 구동모터, 상기 나선이송축의 설치를 위한 고정판이 설치되고, 상기 고정판에는 상기 수평이동부재의 안내를 위한 레일이 설치된 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치,
  4. 제3항에 있어서,
    상기 레일의 양측에는 상기 수평이동부재의 위치를 감지하는 감지센서가 설치된 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 구동모터와 상기 나선이송축의 연결부에는 벨트와 복수의 풀리로 된 동력전달수단이 마련된 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 구동모터와 상기 나선이송축의 연결부에는 복수의 기어로 된 동력전달수단이 마련된 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 카세트안착판이 평판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치.
KR1020000040451A 2000-07-14 2000-07-14 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치 Expired - Fee Related KR100358512B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000040451A KR100358512B1 (ko) 2000-07-14 2000-07-14 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000040451A KR100358512B1 (ko) 2000-07-14 2000-07-14 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020007484A true KR20020007484A (ko) 2002-01-29
KR100358512B1 KR100358512B1 (ko) 2002-10-30

Family

ID=19678024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000040451A Expired - Fee Related KR100358512B1 (ko) 2000-07-14 2000-07-14 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100358512B1 (ko)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180043919A (ko) * 2016-10-21 2018-05-02 전북대학교산학협력단 웨이퍼 파손 방지용 카세트
CN110491815A (zh) * 2019-08-15 2019-11-22 东方环晟光伏（江苏）有限公司 一种适用于大尺寸花篮传输及位置保持的传送装置
CN113125081A (zh) * 2019-12-30 2021-07-16 中核建中核燃料元件有限公司 一种氦检漏预装盒上料装置的拨片
CN115108244A (zh) * 2022-06-22 2022-09-27 四川金域医学检验中心有限公司 一种适用于病理玻片晾片和保存的设备
CN115148649A (zh) * 2022-06-23 2022-10-04 江苏亚电科技有限公司 一种晶圆水平传输机构
KR20240013540A (ko) * 2022-07-22 2024-01-30 주식회사 에스에프에이 이송대차 시스템 및 이송대차
KR20240037936A (ko) * 2020-11-04 2024-03-22 세메스 주식회사 인터페이스 장치 및 이를 구비하는 컨테이너 이송 시스템
CN118366902A (zh) * 2022-12-29 2024-07-19 连云港麦为半导体材料有限公司 一种晶圆载具
CN118366905A (zh) * 2024-06-19 2024-07-19 深圳市石金科技股份有限公司 硅片生产用移动装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200461676Y1 (ko) 2010-11-10 2012-07-30 주식회사 라우텍 각도 조절이 가능한 모터 베이스
KR102642971B1 (ko) * 2023-08-22 2024-03-04 신성델타테크 주식회사 이륜 이동 로봇 장치

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180043919A (ko) * 2016-10-21 2018-05-02 전북대학교산학협력단 웨이퍼 파손 방지용 카세트
CN110491815A (zh) * 2019-08-15 2019-11-22 东方环晟光伏（江苏）有限公司 一种适用于大尺寸花篮传输及位置保持的传送装置
CN113125081A (zh) * 2019-12-30 2021-07-16 中核建中核燃料元件有限公司 一种氦检漏预装盒上料装置的拨片
KR20240037936A (ko) * 2020-11-04 2024-03-22 세메스 주식회사 인터페이스 장치 및 이를 구비하는 컨테이너 이송 시스템
CN115108244A (zh) * 2022-06-22 2022-09-27 四川金域医学检验中心有限公司 一种适用于病理玻片晾片和保存的设备
CN115108244B (zh) * 2022-06-22 2024-01-26 四川金域医学检验中心有限公司 一种适用于病理玻片晾片和保存的设备
CN115148649A (zh) * 2022-06-23 2022-10-04 江苏亚电科技有限公司 一种晶圆水平传输机构
KR20240013540A (ko) * 2022-07-22 2024-01-30 주식회사 에스에프에이 이송대차 시스템 및 이송대차
CN118366902A (zh) * 2022-12-29 2024-07-19 连云港麦为半导体材料有限公司 一种晶圆载具
CN118366905A (zh) * 2024-06-19 2024-07-19 深圳市石金科技股份有限公司 硅片生产用移动装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR100358512B1 (ko) 2002-10-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100358512B1 (ko) 운송장치용 웨이퍼카세트 지지장치
KR102580660B1 (ko) 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법
TWI900688B (zh) 搬送車
CN1292967C (zh) 晶圆载入埠的搬运装置
KR102289021B1 (ko) 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
US7464823B2 (en) Overhead travelling carriage
KR102047285B1 (ko) 오버헤드 호이스트 이송장치의 안티드롭 모듈
US7798309B2 (en) Stabilizing substrate carriers during overhead transport
GB2362373A (en) Automatic containerised system of transferring work between processing stations
US12087607B2 (en) Article transport vehicle
WO2023013172A1 (ja) 天井搬送車
US12459788B2 (en) Article transport vehicle
TWI905483B (zh) 高架搬運車系統
CN116767772A (zh) 高架输送车
TW202319273A (zh) 高架搬運車
KR100948300B1 (ko) 카세트 이송 장치 및 이를 이용한 카세트 이송방법
KR19990024052A (ko) 엘씨디 카셋트 운송용 수송 대차
JP7567735B2 (ja) 搬送車
CN117174614A (zh) 检测装置和半导体工艺设备
JP2023110844A (ja) 物品搬送車
KR102632305B1 (ko) Oht 장치의 오픈 카세트용 낙하 방지 유닛
KR102677123B1 (ko) 반도체 공정설비에 적용되는 흔들림 방지 장치
KR20220048446A (ko) 물품 승강 장치 및 물품 승강 장치를 구비한 물품 반송차
JP7829842B2 (ja) 搬送装置
TWI920872B (zh) 氣瓶用無人運送自主行進裝置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

T11-X000 Administrative time limit extension requested

St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 8

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R17-oth-X000

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R17-oth-X000

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 9

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 10

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120925

Year of fee payment: 11

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130930

Year of fee payment: 12

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20141015

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20141015

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000