KR20020009746A - 무인운반 시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 설비라인상을 주행하며, 차체의 주행을 위한 구동장치와, 카세트내에 수용된 웨이퍼의 이적재를 위한 이송장치를 갖는 무인운반차와; 상기 무인운반차의 작업을 제어하는 중앙제어장치를 포함하는 무인운반 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 무인운반 시스템은, 상기 중앙제어장치에 설치되며 상기 무인운반차와 소정의 통신 프로토콜로 통신하는 중앙통신부와; 상기 무인운반차에 설치되며 상기 통신 프로토콜에 따라 상기 중앙통신부와 통신하는 무선통신부와; 상기 무선통신부로 수신된 명령에 따라 상기 이송장치를 작동시켜 상기 웨이퍼를 이적재하고, 상기 무인운반차의 작동상태와 상기 구동장치의 작동을 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 본 통신 프로토콜에 의해 웨이퍼를 낱장 단위로 이적재할 수 있도록 중앙제어장치와 무인운반차 간의 통신이 가능하다.

Description

무인운반 시스템 및 그 제어방법{AUTOMATIC CARRYING SYSTEM AND CONTROLLING METHOD}
본 발명은 무인운반 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 웨이퍼를 낱장 단위로 이적재할 수 있도록 중앙제어장치와 무인운반차 간의 통신이 가능하도록 하는 무인운반 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
무인운반차는, 생산 공장 등에서 사용되는 자동화 설비중의 하나로서, 생산 공장내에서 설비가 위치한 장소 즉, 설정된 레이아웃에 따라 이동하면서 작업을 수행한다.
무인운반차는, 사각통상의 차체와, 차체의 구동을 위한 구동장치를 갖는다. 구동장치는, 차체의 하부영역에 설치되어 차체를 구동하는 도시않은 복수의 구동휠과, 차체를 지지하는 복수의 캐스터를 포함하며, 각 구동휠의 측부에는 배터리로부터 구동력을 제공받아 구동휠을 구동하는 휠구동모터가 각각 부착되어 있다.
차체의 전방에는 장애물을 감지하기 위한 장애물센서가 설치되어 있고, 구동휠의 전방에는 궤도상의 피감지부로부터의 신호를 감지하는 한 쌍의 트랙감지센서가 설치되어 있다. 한편, 무인운반차는, 외부의 중앙제어장치와의 통신을 위한 무인통신부와, 무인통신부에서 수신한 중앙제어장치로부터의 명령에 따라 장애물센서와 트랙감지센서로부터 감지된 신호를 기초로 하여 각각의 휠구동모터의 구동을 제어하는 제어부를 갖는다.
이러한 무인운반차중 설비간의 웨이퍼 이송을 위한 웨이퍼 반송용 무인운반차는, 도 4에 도시된 바와 같이, 차체의 상부에 카세트(60)가 안착되는 복수의 안착판(65)이 형성되어 있고, 차체 상부 일측에는 카세트(60)의 이적재를 위한 로봇아암(55)이 설치되어 있다.
웨이퍼 반송용 무인운반차(51)는 통상적으로 웨이퍼의 검사를 위한 검사장치가 설비된 설비라인내에서 운행하며, 중앙제어장치로부터의 명령에 따라 검사장치에 카세트(60)를 이적재하게 된다. 일반적으로 설비라인내에는 동일한 종류의 검사장치가 여러대 배치되어 있으며, 무인운반차(51)에 적재된 웨이퍼는 카세트(60) 단위로 각 검사장치에 이적재된다. 각 검사장치에서는 카세트(60)를 이송받으면, 카세트(60)내에 수용된 각 웨이퍼를 검사하고, 모든 웨이퍼에 대한 검사가 완료되면, 검사결과와 검사완료 신호를 중앙제어장치로 송신한다. 그러면, 중앙제어장치에서는 각 검사장치에서의 검사결과에 따라 각 웨이퍼의 이상유무를 판단하고, 다음 공정으로 카세트(60)를 이송하게 된다.
그런데, 이러한 종래의 무인운반차(51)는 설비에 카세트(60) 단위로 웨이퍼를 이적재하고 있기 때문에, 검사장치에서 카세트(60)내의 각 웨이퍼를 모두 검사하지 아니하면 각각의 웨이퍼에 대한 검사결과를 파악할 수 없다. 따라서, 웨이퍼의 검사결과를 파악하기 까지의 시간이 오래 걸린다. 또한, 검사장치가 여러 대 배치되어 있음에도 불구하고, 검사할 카세트(60)가 하나인 경우에는 단일의 검사장치만 검사작업을 수행하며, 단일의 검사장치에서 카세트(60)내에 웨이퍼를 검사하는 동안 다른 검사장치는 정지하고 있게 된다. 따라서, 검사장치를 효율적인 사용을 저해할 뿐만 아니라, 검사시간이 연장된다는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 단일의 카세트를 가지며, 낱장의 웨이퍼 단위로 설비에 투입하는 이송장치가 설치된 무인운반차가 제안되어 있다. 이러한 무인운반차의 개발에 따라, 낱장 단위로 웨이퍼를 이송하기 위해 중앙제어장치와의통신을 위해 새로운 통신 프로토콜 체계가 필요하게 된다.
따라서 본 발명의 목적은, 웨이퍼를 낱장 단위로 이적재할 수 있도록 중앙제어장치와 무인운반차 간의 통신이 가능하도록 하는 프로토콜 체계를 갖는 무인운반 시스템 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 무인운반시스템의 구성도,
도 2는 도 1의 무인운반차의 사시도,
도 3은 도 2의 무인운반차의 이송장치의 사시도,
도 4는 종래의 무인운반차의 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 무인운반차 3 : 무선통신부
5 : 제어부 10 : 카세트
20 : 이송장치 25 : 수평아암
27 : 척 30 : 웨이퍼
35 : 회동아암 40 : 승강아암
50 : 검사장치 100 : 중앙제어장치
110 : 중앙통신부
상기 목적은, 본 발명에 따라, 설비라인상을 주행하며, 차체의 주행을 위한 구동장치와, 카세트내에 수용된 웨이퍼의 이적재를 위한 이송장치를 갖는 무인운반차와; 상기 무인운반차의 작업을 제어하는 중앙제어장치를 포함하는 무인운반 시스템에 있어서, 상기 중앙제어장치에 설치되며 상기 무인운반차와 소정의 통신 프로토콜로 통신하는 중앙통신부와; 상기 무인운반차에 설치되며 상기 통신 프로토콜에 따라 상기 중앙통신부와 통신하는 무선통신부와; 상기 무선통신부로 수신된 명령에 따라 상기 이송장치를 작동시켜 상기 웨이퍼를 이적재하고, 상기 무인운반차의 작동상태와 상기 구동장치의 작동을 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템에 의해 달성된다.
여기서, 상기 중앙제어장치는 상기 무인운반차의 웨이퍼를 상기 설비라인상의 장비에 적재하도록 하는 적재명령을 송신하며, 상기 적재명령은 상기 카세트의 슬롯내에 수용된 웨이퍼의 슬롯번호와, 상기 웨이퍼 플레이트의 각도와, 상기 무인운반차의 충전여부 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 중앙제어장치는 상기 장비에 적재되었던 웨이퍼를 상기 무인운반차로 이재하도록 하는 이재명령을 송신하며, 상기 이재명령은 상기 카세트의 슬롯내에 수용된 웨이퍼의 슬롯번호와, 상기 웨이퍼 플레이트의 각도와, 상기 무인운반차의 충전여부 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 중앙제어장치는 상기 무인운반차의 작업상태의 보고를 요구하는 상태보고명령을 송신하며, 상기 상태보고명령에 대해 상기 무인운반차에서 송신하는 상태보고응답에는 상기 무인운반차의 운행모드와, 상기 무인운반차의 작업상태와, 상기 카세트내의 웨이퍼의 재하상태와, 배터리의 소비량 중 적어도 하나의 정보를 포함할 수 있다.
한편, 상기 목적은, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 설비라인상을 주행하며, 차체의 주행을 위한 구동장치와, 카세트내에 수용된 웨이퍼의 이적재를 위한 이송장치를 갖는 무인운반차와; 상기 무인운반차의 작업을 제어하는 중앙제어장치를 포함하는 무인운반 시스템의 제어방법에 있어서, 상기 중앙제어장치로부터 상기 무인운반차로 소정의 통신 프로토콜에 의한 명령을 송신하는 단계와; 상기 명령에 따라 상기 무인운반차의 작업상태를 파악하는 단계와; 상기 중앙제어장치로 상기 무인운반차의 작업상태를 송신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템의 제어방법에 의해서도 달성될 수 있다.
여기서, 상기 명령을 송신하는 단계는, 상기 무인운반차의 웨이퍼를 상기 설비라인상의 장비에 적재하도록 하는 적재명령, 상기 장비에 적재되었던 웨이퍼를 상기 무인운반차로 이재하도록 하는 이재명령, 상기 무인운반차의 작업상태의 보고를 요구하는 상태보고명령중 적어도 하나를 송신하는 단계인 것이 바람직하다.
상기 적재명령과 상기 이재명령은 상기 카세트의 슬롯내에 수용된 웨이퍼의 슬롯번호와, 상기 웨이퍼 플레이트의 각도와, 상기 무인운반차의 충전여부 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 무인운반차의 작업상태를 송신하는 단계는, 상기 상태보고명령에 대해 상기 무인운반차의 운행모드와, 상기 무인운반차의 작업상태와, 상기 카세트내의 웨이퍼의 재하상태와, 배터리의 소비량 중 적어도 하나의 정보를 수신하는 단계를 포함할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
본 무인운반 시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이, 설비라인상을 주행하며 웨이퍼를 이적재하는 무인운반차(1)와, 무인운반차(1)의 작업을 제어하는 중앙제어장치(100)를 포함한다.
중앙제어장치(100)는, 설비라인내의 각 검사장치(50)와 무인운반차(1)로부터 수집된 정보에 기초하여 무인운반차(1)와 각 검사장치(50)의 작동을 제어하며, 중앙제어장치(100)에는 무인운반차(1)에 무선으로 명령을 송신하고, 무인운반차(1)로부터의 응답을 수신하는 중앙통신부(110)가 설치되어 있다.
무인운반차(1)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 차체의 상부에 웨이퍼(30)를 적재하기 위한 카세트(10)와, 카세트(10)로부터 웨이퍼(30)를 이적재하기 위한 이송장치(20)가 설치되어 있으며, 이송장치(20)는 차체의 상부에 안착된 사각통상의 케이싱(15)내에 수용되어 있다. 그리고, 무인운반차(1)는, 중앙제어장치(100)와의 통신을 위한 무선통신부(3)와, 무선통신부(3)에서 수신한 중앙제어장치(100)로부터의 명령에 따라 이송장치(20)와 타 부품의 작동을 제어하는 제어부(5)를 갖는다.
카세트(10)는 다수의 웨이퍼(30)가 적재될 수 있도록 상하방향을 따라 다수의 슬롯(11)이 형성되어 있고, 각 슬롯(11)은 소정의 이격거리를 두고 상호 이격되어 웨이퍼(30)의 이적재시 후술할 수평아암의 출입이 용이하도록 한다. 이러한 카세트(10)에는 웨이퍼(30)의 출입을 위해 케이싱(15)을 향해 개구된 출입구가 형성되어 있다. 이에 대해, 케이싱(15)에는 카세트(10)의 출입구에 대향하여 개구가 형성되어 있고, 케이싱(15)의 측부에는 웨이퍼(30)를 설비에 이적재시키기 위해 개방된 이송공(9)이 형성되어 있다.
이송장치(20)는, 본체(21)와, 본체(21)의 상부에 설치되며 웨이퍼(30)를 픽업하여 케이싱(15)의 내외부로 이송하기 위한 수평아암(25)과, 수평아암을 구동시키기 위한 수평아암구동부를 포함한다. 수평아암구동부는 본체(21)에 형성되어 수평아암(25)의 슬라이딩을 안내하는 안내레일(28)과, 수평아암(25)을 구동하기 위한 도시않은 수평아암모터를 포함한다. 그리고, 본체(21)의 하부에는 본체(21)를 회동시키기 위해 직립방향으로 설치된 회동아암(35)과, 회동아암(35)을 회동시키기 위한 도시않은 회동아암모터가 설치되어 있고, 회동아암(35)은 승강구동부에 의해 상하이동하게 된다. 승강구동부는, 회동아암(35)의 하부를 감싸는 승강아암(40)과, 회동아암(35)을 상하방향으로 승하강시키는 도시않은 승강아암모터를 포함한다. 수평아암모터와 회동아암모터 및 승강아암모터는 스텝모터로 형성된다.
한편, 수평아암(25)의 자유단부에는 중앙영역이 반원상으로 절취되어 상호이격된 한 쌍의 안착아암부(26)가 형성되어 있으며, 안착아암부(26)에는 웨이퍼(30)의 이적재시 웨이퍼(30)가 안착된다. 이러한 본체(21)에는 수평아암(25)의 상부영역에 안착아암부(26) 영역까지 길게 커버판(29)이 설치되어 있고, 커버판(29)의 수평아암(25)을 향한 하부에는 웨이퍼(30)의 위치를 감지하는 웨이퍼감지센서(24)가 설치되어 있다. 웨이퍼감지센서(24)는 빛에 의해 웨이퍼(30)의 위치를 감지하며, 수평아암(25)의 길이방향을 따라 길게 배치되어 있다.
수평아암의 하부에는 웨이퍼(30)를 파지하는 원판상의 척(27)이 설치되어 있으며, 척(27)은 수평아암의 철회시 양 안착아암부(26) 사이에 위치하도록 설치되어 있다. 척(27)은 웨이퍼(30)의 안착시 공기를 흡입하여 웨이퍼(30)를 파지하며, 상하방향으로 승강가능할 뿐만 아니라, 웨이퍼(30)의 판면방향을 따라 회전가능하다.
이러한 척(27)의 전방에는 카세트(10)의 각 슬롯(11)에 웨이퍼(30) 적재여부를 감지하는 광센서로 형성된 스케닝부(23)가 설치되어 있으며, 스케닝부(23)는 카세트(10)를 무인운반차(1)에 장착한 초기와, 필요시 제어부(5)로부터의 신호에 따라 작동한다. 또한, 카세트(10)에 인접한 케이싱(15)의 상부영역에는 카세트(10)에 이적재되는 웨이퍼(30)의 식별번호를 판독하는 판독부(22)가 설치되어 있으며, 판독부(22)는 OCR로 형성된다.
이러한 무인운반 시스템에서는, 중앙제어장치(100)로부터 웨이퍼(30)의 이적재시키기 위해 작업에 필요한 기본정보를 무인운반차(1)에 전달하고, 무인운반차(1)의 작업진행 상황을 점검하기 위해 중앙제어장치(100)와무인운반차(1) 간의 통신을 위한 통신 프로토콜이 필요하다.
설비라인상의 검사장치(50)로부터 무인운반차(1)의 카세트(10)로 웨이퍼(30)를 이재할 경우, 중앙제어장치(100)는 카세트(10)내의 웨이퍼(30) 슬롯번호, 웨이퍼(30) 플레이트의 각도, 이재작업중 무인운반차(1)의 충전여부 등을 포함하는 이재명령을 무인운반차(1)로 송신한다.
이재명령은 다음의 표 1 및 표 2에 나타난 바와 같은 형태로 전송된다.
$ Y ID N1 N2 M A C B B1 B2 … B15 B1 CR LF
<표 1>
$ Y ID N1 N2 M A C X CR LF
<표 2>
여기서, $는 이재명령의 시작을 알리는 부호이고, Y는 송신하는 명령이 이재명령임을 나타내는 기호이다. ID에는 송신되는 본 명령이 몇 번째 명령인지에 대한 정보가 표시된다. N1과 N2는 무인운반차(1)의 웨이퍼(30)가 장착된 카세트(10)의 슬롯번호를 계산하기 위한 정보이고, 카세트(10)의 슬롯번호는 N1*10+N2의 식에 의해 산출된다. M은 검사설비에서 웨이퍼(30)가 반송되는 스테이지의 번호를 나타내며, A는 웨이퍼(30) 플레이트의 각도로 나타낸 것이다. 통상적으로 웨이퍼(30) 플레이트의 각도는 0°,90°,180°,270°로 설정되며, A에는 웨이퍼(30) 플레이트의 각도가 0°면 0, 90°면 3, 180°면 5, 270°면 7로 나타낸다. C에는 이재작업시 무인운반차(1)의 충전작업을 동시수행할 것인지 여부를 표시하며, 동시충전이 필요한 경우에는 T로 나타내고, 동시충전이 필요치 아니할 경우에는 F로 나타낸다. B는 웨이퍼(30)의 식별번호를 사용할 것인지 여부를 나타내며, 식별번호를 사용할경우에는 B로 나타내고, B1부터 B16은 웨이퍼(30)의 식별번호를 사용할 경우의 식별번호가 표시되는 위치이다. 식별번호를 사용하지 아니할 경우에는 표 2에서와 같이 X로 나타낸다. CR과 LF는 이재명령이 종료되었음을 알리는 표시이다.
무인운반차(1)에서 이러한 이재명령이 수신되면, 무인운반차(1)는 표 3과 같은 이재응답을 중앙제어장치(100)로 송신한다.
$ y ID X CR LF
<표 3>
여기서, y는 이재응답을 나타내는 부호이고, ID에는 이재명령과 마찬가지로 수신된 명령이 몇 번째 명령인지를 표시된다. X에는 무인운반차(1)의 상태를 나타내는 기호를 표시하며, A(Acknowldged)는 이재명령을 인식하였음, B(Busy)는 다른 작업을 진행중임, E(Error State)는 무인운반차(1)가 에러상태임, P(Protocol Error)는 이재명령에 이상이 있음, D(Data Logic Error)는 이재명령이 불가한 작업 또는 의미없는 작업임을 나타낸다. D로 나타나는 경우의 대표적인 예로는 충전위치가 아닌 작업위치에서 충전을 명령하는 경우를 들 수 있다.
이러한 중앙제어장치(100)로부터의 이재명령의 실제적인 예는 다음의 표 4와 같다.
$ Y 6 0 1 1 3 F B T E S T … CR LF
<표 4>
여기서, ID가 6이므로 이재명령이 6번째 명령임을 나타내고, N1과 N2가 각각0과 1이므로, N1*10+2를 하면, 슬롯번호는 2가 된다. 그리고, 검사장치(50)의 스테이지 번호는 1이며, 웨이퍼(30) 플레이트의 각도는 3이므로 90°가 된다. F는 충전하지 아니한다는 표시이고, B는 웨이퍼(30)의 식별번호 사용한다는 표시이고, TEST…는 식별번호이다. 한편, CR과 LF는 실제로는 특수문자로 표시된다.
이러한 이재명령에 대한 무인운반차(1)로부터의 이재응답은 다음의 표 5와 같다.
$ y 6 A CR LF
<표 5>
여기서, 이재명령과 마찬가지로 이재응답의 경우에도 ID가 6이며, A는 이재명령이 인식되었고 이재명령을 수행하겠다는 표시이다.
한편, 무인운반차(1)의 카세트(10)로부터 검사장치(50)의 스테이지로 웨이퍼(30)를 적재시키는 경우에는, 중앙제어장치(100)로부터 무인운반차(1)로 표 6 및 표 7과 같은 적재명령이 송신된다.
$ J ID N1 N2 M A C B B1 B2 … B15 B1 CR LF
<표 6>
$ J ID N1 N2 M A C X CR LF
<표 7>
여기서, J는 적재명령임을 나타내는 부호이고, 나머지 정보의 내용 및 순서는 이재명령의 경우와 동일하다.
이러한 적재명령을 송신한 무인운반차(1)는 표 8과 같은 적재응답을 중앙제어장치(100)로 송신한다.
$ j ID X CR LF
<표 8>
여기서, j는 적재응답임을 나타내는 부호이고, 나머지 정보의 내용 및 순서는 이재응답의 경우와 동일하다.
한편, 이러한 중앙제어장치(100)로부터의 이재명령 및 적재명령에 따라 무인운반차(1)가 이적재작업을 하는 도중, 중앙제어장치(100)는 무인운반차(1)의 작업상태를 점검하기 위해 표 9와 같은 상태보고명령을 지속적으로 송신한다.
$ S CR LF
<표 9>
여기서, S는 본 명령이 무인운반차(1)의 작업상태를 보고하도록 요청하는 상태보고명령임을 나타낸다.
무인운반차(1)는 이러한 상태보고명령을 수신하면, 표 10과 같은 상태보고응답을 중앙제어장치(100)로 송신하게 된다.
$ s M S N1 N2 N3 B C W1 W2 W3 W4 W5 ID1 ID2 CR LF
<표 10>
여기서, s는 상태보고응답을 나타내는 부호이다. M은 무인운반차(1)의 작업모드를 나타내며, M은 수동작업, A는 자동작업, C는 충전작업임을 나타낸다. S는무인운반차(1)의 상태를 나타내며, 무인운반차(1)가 주행중인지, 이적재작업을 수행중인지, 이적재작업을 수행완료했는지 등 무인운반차(1)의 상태를 상세히 표시하게 된다. N1, N2, N3는 무인운반차(1)가 최근 지나간 설비라인의 번호를 나타내고, B는 배터리 소비량을 표시하는 위치이다. C는 카세트(10)의 유무를 표시하는 위치이며, W1에서 W5는 각 슬롯내의 웨이퍼(30)의 장착여부를 표시하는 위치이고, W1에서 W5에는 다음의 표 11과 같은 형태로 데이터가 표시된다.
100xxxxx 100xxxxx 100xxxxx 100xxxxx 100xxxxx
<표 11>
일반적으로 카세트(10)에는 25장의 웨이퍼(30)가 장착되며, 표 11에서 각 칸의 최초의 100은 의미없는 데이터이고, x로 표시된 데이터 위치에서 각 슬롯에 웨이퍼(30)가 장착되어 있는지 여부를 표시한다. 첫 번째 칸인 W1에는 1번부터 5번까지의 슬롯에 웨이퍼(30)가 장착되어 있는지 여부를 표시하고, 마지막 칸인 W5에는 21번부터 25번까지의 슬롯에 웨이퍼(30)가 장착되어 있는지 여부를 표시하며, 장착되어 있는 경우에는 1로 장착되어 있지 아니한 경우에는 0으로 표시한다.
한편, ID1은 무인운반차(1)가 이전에 완료한 작업의 명령번호를 나타내고, ID2는 현재 진행중인 작업의 명령번호를 나타낸다. 여기서, ID2의 다음에는 무인운반차(1)의 에러를 나타내는 에러데이터와, 지정되지 아니한 명령을 수신받은 경우에 사용되는 디버깅 데이터가 표시될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 웨이퍼(30)를 낱장 단위로 검사장치(50)에 이적재할 수 있도록 중앙제어장치(100)와 무인운반차(1)간의 통신 프로토콜을 정의하고 있다. 이러한 통신 프로토콜에 의해 낱장 단위로 웨이퍼(30)를 무인운반차(1)와 검사장치(50) 간에 이적재 할 수 있도록 상호 통신할 수 있다. 또한, 명령이 제대로 수행되고 있는지 작업수행상태를 파악할 수 있으므로, 중앙제어장치(100)와 무인운반차(1) 간의 통신을 용이하게 하고, 무인운반차(1)의 작업을 보다 원활하게 수행하도록 할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 본 통신 프로토콜에 의해 웨이퍼를 낱장 단위로 이적재할 수 있도록 중앙제어장치와 무인운반차 간의 통신이 가능하다.

Claims (8)

  1. 설비라인상을 주행하며, 차체의 주행을 위한 구동장치와, 카세트내에 수용된 웨이퍼의 이적재를 위한 이송장치를 갖는 무인운반차와; 상기 무인운반차의 작업을 제어하는 중앙제어장치를 포함하는 무인운반 시스템에 있어서,
    상기 중앙제어장치에 설치되며 상기 무인운반차와 소정의 통신 프로토콜로 통신하는 중앙통신부와;
    상기 무인운반차에 설치되며 상기 통신 프로토콜에 따라 상기 중앙통신부와 통신하는 무선통신부와;
    상기 무선통신부로 수신된 명령에 따라 상기 이송장치를 작동시켜 상기 웨이퍼를 이적재하고, 상기 무인운반차의 작동상태와 상기 구동장치의 작동을 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 중앙제어장치는 상기 무인운반차의 웨이퍼를 상기 설비라인상의 장비에 적재하도록 하는 적재명령을 송신하며, 상기 적재명령은 상기 카세트의 슬롯내에 수용된 웨이퍼의 슬롯번호와, 상기 웨이퍼 플레이트의 각도와, 상기 무인운반차의 충전여부 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 중앙제어장치는 상기 장비에 적재되었던 웨이퍼를 상기 무인운반차로 이재하도록 하는 이재명령을 송신하며, 상기 이재명령은 상기 카세트의 슬롯내에 수용된 웨이퍼의 슬롯번호와, 상기 웨이퍼 플레이트의 각도와, 상기 무인운반차의 충전여부 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 중앙제어장치는 상기 무인운반차의 작업상태의 보고를 요구하는 상태보고명령을 송신하며, 상기 상태보고명령에 대해 상기 무인운반차에서 송신하는 상태보고응답에는 상기 무인운반차의 운행모드와, 상기 무인운반차의 작업상태와, 상기 카세트내의 웨이퍼의 재하상태와, 배터리의 소비량 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템.
  5. 설비라인상을 주행하며, 차체의 주행을 위한 구동장치와, 카세트내에 수용된 웨이퍼의 이적재를 위한 이송장치를 갖는 무인운반차와; 상기 무인운반차의 작업을 제어하는 중앙제어장치를 포함하는 무인운반 시스템의 제어방법에 있어서,
    상기 중앙제어장치로부터 상기 무인운반차로 소정의 통신 프로토콜에 의한 명령을 송신하는 단계와;
    상기 명령에 따라 상기 무인운반차의 작업상태를 파악하는 단계와;
    상기 중앙제어장치로 상기 무인운반차의 작업상태를 송신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템의 제어방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 명령을 송신하는 단계는, 상기 무인운반차의 웨이퍼를 상기 설비라인상의 장비에 적재하도록 하는 적재명령, 상기 장비에 적재되었던 웨이퍼를 상기 무인운반차로 이재하도록 하는 이재명령, 상기 무인운반차의 작업상태의 보고를 요구하는 상태보고명령중 적어도 하나를 송신하는 단계인 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템의 제어방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 적재명령과 상기 이재명령은 상기 카세트의 슬롯내에 수용된 웨이퍼의 슬롯번호와, 상기 웨이퍼 플레이트의 각도와, 상기 무인운반차의 충전여부 중 적어도 하나의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템의 제어방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 무인운반차의 작업상태를 송신하는 단계는, 상기 상태보고명령에 대해 상기 무인운반차의 운행모드와, 상기 무인운반차의 작업상태와, 상기 카세트내의 웨이퍼의 재하상태와, 배터리의 소비량 중 적어도 하나의 정보를 수신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인운반 시스템의 제어방법.
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