KR20020034473A - 동특성이 보다 안정된 서보밸브 - Google Patents

동특성이 보다 안정된 서보밸브 Download PDF

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Abstract

본 발명은 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격(gap)을 조정하기 위한 유압 자동화설비에서 사용되는 서보 밸브에 관한 것으로, 메인 밸브로 공급되는 유압펌프의 정지나 설정압력의 저하, 유압배관의 누유등이 발생하는 경우, 메인 밸브의 메인 스풀이 불안정하게 되는 것을 최소화하여 보다 안정정으로 신속하게 응답하고, 대상기기의 보다 정확한 제어가 이루어지도록 된 동특성이 보다 안정된 서보밸브에 관한 것이다.
본 발명은 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격(gap)을 조정하기 위한 유압 자동화설비에서 사용되는 서보 밸브에서, 메인 밸브의 유압공급라인을 설정압력으로 항상 유지시키는 압력 밸런싱 기구를 구비하여 동작개시시점부터 정상제어 목표도달시점까지 또는 제어중 일시 변화에서 정상안정제어 도달시점까지 메인 밸브 스풀로 부터의 사전 필요한 움직임을 방지하여 원하는 방향으로 메인 밸브스풀의 신속한 이동을 가능하게 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브를 제공한다.

Description

동특성이 보다 안정된 서보밸브{SERVO VALVE FOR ENHANCING THE CAPACITY OF TRANSFERRING SIGNAL}
본 발명은 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격(gap)을 조정하기 위한 유압 자동화설비에서 사용되는 서보 밸브에 관한 것으로, 보다 상세히는 메인 밸브로 공급되는 유압펌프의 정지나 설정압력의 저하, 유압배관의 누유등이 발생하는 경우, 메인 밸브의 메인 스풀이 불안정하게 되는 것을 최소화하여 보다 안정정으로 신속하게 응답하고, 대상기기의 보다 정확한 제어가 이루어지도록 된 동특성이 보다 안정된 서보밸브에 관한 것이다.
일반적으로 산업분야에서 다양하게 사용되어지는 서보밸브는 제철산업에서는 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격을 조절하기 위한 전기 자동화 유압설비등에 사용되며, 이는 매우 민감한 동작특성을 가져야 하고, 정밀하게 작동되어야 한다. 이러한 조건을 만족시키지 못하는 경우에는 설비의 성능에 직접적인 영향을 미치고, 그에 따라서 전체 시스템에 불균형을 초래하여 생산제품의 품질불량 및 생산 불안정등의 문제점을 야기시키는 것이다.
통상적으로 서보 밸브(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 유압 실린더(110)를 제어하기 위하여 사용되는 메인 밸브(120)와, 상기 메인 밸브(120)를 제어하기 위한 파일럿 밸브(130)들이 갖춰지고, 입력 전류의 대소에 따라서 유압 실린더(110)에 공급하는 유압과 유량을 비례적으로 제어하여 원하는 동작특성을 얻도록 구성된 것이다. 즉, 메인 밸브(120)의 상부측으로 파일럿 밸브(130)가 위치되고, 그 상부측으로는 솔레노이드(140)가 배치되며, 상기 메인 밸브(120)의 일측으로는 메인 밸브(120)내의 메인 스풀(122)의 위치를 검출하기 위한 위치검출기(150)가 배치된다.
그 작동원리는 입력전류가 솔레노이드(140)의 코일(142)로 인가되어 아마추어(armature)(144)에 자기적 극성이 형성되면, 상,하부 자석(146a)(146b)사이에 위치하고 있던 아마추어(144)는 전류의 극성과 크기에 따라서 상부 혹은 하부측의 자석(146a)(146b)으로 이동하게 되고, 이에 따라서 상기 아마추어(144)에 일체로 형성된 플래퍼(148)가 도면의 좌측 또는 우측으로 기울면서 노즐(149)의 배압을 변화시키며, 상기 좌,우노즐(149)의 배압변화는 그 노즐(149)에 각각 연결된 파일럿 밸브(130)의 스풀(133)을 좌우로 이동시키게 된다.
상기 스풀(133)이 좌우로 이동됨에 따라서, 유압입력포트(136)의 공급압이 파일럿 포트(138)측으로 공급될 수 있도록 유로가 형성되며, 이와 같이 파일럿 스풀(133)이 좌측으로 이동하여 유로가 형성되면, 이는 메인 밸브(120)의 메인 밸브스풀(122)측면에 우측 유로를 통하여 오일이 공급되고, 이와 같이 메인 밸브(120)의 스풀(122) 우측측면에 공급된 오일은 메인 밸브(120)의 스풀(122)을 좌측으로 밀게 되며, 따라서, 메인 밸브(120)에 공급되는 유압 펌프(170)로부터 공급압 P이 유압공급라인(160)을 통해 우측포트(162)로 흐르게 되면, 실린더 로드(115)는 후진하는 방향으로 이동하게 된다.
그리고, 반대로 파일럿 밸브(130)의 스풀(133)이 우측으로 이동하여 포트에 유로가 형성되면, 이는 메인 밸브(120)의 좌측유로를 통하여 메인 밸브스풀(122)의 좌측면에 오일이 공급되고, 이와 같이 메인 밸브스풀(122)측면에 공급된 오일은 메인 밸브(120)의 스풀을 우측으로 밀게 되며, 따라서, 메인 밸브(120)에 유압공급라인(160)을 통하여 공급되는 공급압이 좌측 포트(164)를 통해 흐르게 되면, 실린더 로드(115)가 전진하는 방향으로 움직이게 된다.
상기와 같은 구성으로 된 종래의 서보밸브(100)는 유압펌프(170)에서 적당한 압력과 유량을 가진 오일이 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)에 연속적으로 공급되는 경우에는 아무런 지장이 없으나, 현장작업상황에서는 불연속적인 경우가 많게 되어, 오일 공급이 불안정하게 되는 것이다. 따라서, 서보 제어계의 불안정에 따라서 메인 밸브(120)의 제어 불량률이 종종 품질관리의 문제점으로 제기된다.
또한, 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)의 불연속적인 오일 공급은 그 오일과 압력이 "0"에서 시작하여 설정치까지 증가한 다음 메인 스풀(122)의 이동을 이루는 것으로, 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)에 오일과 압력이 순간적으로 설정값 이하로 하락되면, 메인 밸브(120)의 메인 밸브스풀(122)이 그 위치를 이탈하게 되고, 메인 밸브스풀(122)의 위치이탈에 따른 메인 밸브(120) 위치검출기(150)에서의 출력변화는 설비 제어루프(미도시)내에서 불필요한 보상 출력값이 지나치게 나가게 되어 시스템의 안정복귀시간이 길어지게 되고, 불필요한 이상 동작에 따른 서보 제어계의 불안정성을 반복적으로 야기시키게 된다.
즉, 현장 작업조건에 따라서, 유압펌프(170)의 정지후 재가동시나, 압연 작업조건을 준비하는 경우, 유압공급라인(160)에는 항상 일정압력, 예를 들면 70kg/cm2의 압력이 유지되어야 메인 밸브(120)의 메인 스풀(122)이 정위치되어 위치변동이 최소화 될 수 있지만, 종래에는 유압펌프(170)의 정지시나, 정지후 초기 기동시, 상기 유압공급라인(160)의 압력은 별도의 압력유지수단이 없기 때문에 0으로 저하되며, 이와 같은 경우는 메인 스풀(122)의 양측에 잔류하는 압력이 메인 스풀(122)의 위치를 이동시키게 되며, 이러한 메인 스풀(122)의 위치이동은 메인 스풀 위치검출기(150)에 의해서 서보밸브(100)의 초기 설정값을 변화시키는 문제점을 갖게 된다.
그리고, 상기와 같이 압력이 0인 상태에서 유압펌프(170)를 작동시키면, 유압공급라인(160)으로 부터의 급격한 압력발생으로 인하여 메인 스풀(122)의 또 다른 위치이동이 일어나게 되고, 이러한 위치변동은 상기 메인 스풀 위치검출기(150)를 통하여, 또 다시 서보밸브(100)의 초기 설정값을 변경시키게 되는 문제점도 갖는 것이다.
이와 같이 메인 스풀 위치검출기(150)로 부터의 출력변화값에 기인한 서보밸브(100)의 초기 설정값 변화는 이를 정상으로 복귀시켜 전체적인 시스템 제어가 이루어지도록 하여야 함으로서 시스템의 정상적인 복귀시간이 길어지게 되고, 작동 후 정상작업까지 소요시간이 길어지게 한다.
따라서, 종래에는 유압공급라인(160)에서 불연속적인 오일 압력이 유지됨으로써, 메인 밸브(120)에서 최초 안정복귀시간이 길어지고, 불필요한 스풀(122)의 위치 변화발생과, 보상관계의 발생이 전체 서보밸브 시스템에서 발생되어 이 서보밸브 시스템이 장착되어지는 설비 전체 시스템을 동요시키게 되고, 조기 안정을 방해하여 정밀 제어 시스템의 제어 신뢰성을 의심케 하는 문제점을 발생시키는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하고자 한 것으로서, 그 목적은 메인 밸브의 유압 공급라인의 포트에 가해지는 유압의 변화를 최소화하여 메인 스풀내의 공간이 항상 일정압력을 유지토록 함으로써 메인 밸브의 작동시 정확하고 신속하게 응답하면서 대상 기기의 보다 안정적인 제어가 이루어질 수 있도록 한 동특성이 보다 안정된 서보밸브를 제공함에 있는 것이다.
도 1은 종래의 기술에 따른 서보밸브를 도시한 단면도;
도 2는 본 발명에 따른 서보밸브를 도시한 도면으로서 압력 밸런싱기구에 의 해서 유압공급라인이 폐쇄되어 메인 스풀이 위치된 챔버의 압력이 설정압력으로 일정하게 유지되는 상태를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명에 따른 서보밸브를 도시한 도면으로서, 압력 밸런싱기구에 의해서 유압공급라인이 개방되어 메인 스풀이 위치된 챔버로 유압 펌프의 압력이 공급되는 상태를 도시한 단면도;
도 4는 종래 기술과 본 발명의 응답시험결과를 각각 도시한 그래프도;
도 5는 본 발명의 서보밸브를 시험하기 위한 동특성 실험장치의 회로 구성 도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
5..... 챔버(chamber) 8...... 밸런싱 스풀
10.... 밸런싱 기구 12,14,16... 관로
27a,27b... 제 1 및 제2단면 29a,29b.... 제 1 및 제 2내경부
32.... 오목홈 42..... 스프링
45.... 볼트 60..... 실험장치
110... 유압 실린더 115.... 실린더 로드
120... 메인 밸브 130.... 파일롯 밸브(Pilot Valve)
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격(gap)을 조정하기 위한 유압 자동화설비에서 사용되는 서보 밸브에 있어서, 메인 밸브의 유압공급라인을 설정압력으로 항상 유지시키는 압력 밸런싱 기구를 구비하여 동작개시시점부터 정상제어 목표도달시점까지 또는 제어중 일시 변화에서 정상안정제어 도달시점까지 메인 밸브스풀로 부터의 사전 필요한 움직임을 방지하여 원하는 방향으로 메인 밸브스풀의 신속한 이동을 보장함을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브를 마련함에 의한다.
그리고, 본 발명은 제 1항에 있어서, 상기 밸런싱 기구는 메인 밸브의 유압공급라인에 중공실린더형 챔버를 형성하고, 상기 중공실린더형 챔버내에서 좌우로 이동가능한 밸런싱 스풀을 가지며, 상기 밸런싱 스풀이 상기 메인 밸브의 유압공급라인을폐쇄하여 일정압력으로 유지하고, 메인 공급압력이 설정압력이상으로 유지되면, 메인 밸브의 유압공급라인의 유로를 개방하도록 이동되어 유압공급라인의 압력이 메인 밸브스풀을 이동시키고, 메인 실린더로 오일과 압력이 공급되어짐을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브를 마련함에 의한다.
이하, 본 발명을 도면에 따라서 보다 상세히 설명한다.
본 발명은, 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격(gap)을 조정하기 위한 유압 자동화설비에서 사용되는 서보 밸브(1)이고, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)을 설정압력으로 항상 유지시키는 압력 밸런싱 기구(10)를 구비하여 동작개시시점부터 정상제어 목표도달시점까지 또는 제어중 일시 변화에서 정상안정제어 도달시점까지 메인 밸브(120)의 스풀(122)이 사전 불필요한 움직임을 방지하여 원하는 방향으로 메인 밸브스풀(122)의 신속한 이동을 보장하게 된다.
이를 위하여, 본 발명은 메인 밸브(120)에 연결되도록 밸런싱 기구(10)를 유압펌프(170)와의 사이에 갖는 바, 상기 밸런싱 기구(10)는 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)에 중공실린더형 챔버(5)를 형성하고, 상기 중공실린더형 챔버(5)내에서 좌우로 이동가능한 밸런싱 스풀(8)을 갖는다. 상기 밸런싱 스풀(8)은 상기 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)을 폐쇄하여 메인 밸브(120)의 메인 스풀(122)이 장착된 실린더 공간(122a)의 압력을 일정압력으로 유지하고, 메인 공급압력이 설정압력이상으로 유지되면, 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)의 유로를 개방하도록 이동되어 유압펌프(170)의 압력이 메인 스풀(122)을 이동시키고, 메인밸브(120)의 실린더 공간(10)으로 오일의 압력이 공급되어지도록 구성되는 것이다.
상기 밸런싱 기구(10)는 상기 챔버(5)의 좌측 끝단부분과 유압펌프(170)측의 유압공급라인(160)의 유입포트를 연결시키는 제 1관로(12)와, 상기 챔버(5)의 우측 끝단부분과 배출관로(18)를 연결시키는 제 2관로(14) 및, 상기 제 2관로(14) 보다는 좌측 중앙으로 형성되어 상기 배출관로(18)에 연결되어지는 제 3관로(16)를 갖는다. 그리고, 상기 배출관로(18)는 그 중간에 오리피스(orifice)(20)를 형성하고, 오일 회수라인(23)에 연결되는 구조를 갖는다.
또한, 상기 챔버(5)의 내측에서 좌우로 활주이동가능한 밸런싱 스풀(8)은 유압공급라인(160)의 유로를 막는 제 1단면(27a)을 갖추고, 상기 제 1단면(27a)보다는 확대된 제 2단면(27b)을 갖추며, 상기 제 2단면(27b)은 제 2 및 제 3관로(14)(16)를 선택적으로 막도록 된 크기를 갖는다. 그리고, 상기 밸런싱 스풀(8)이 장착되는 챔버(5)도 상기 밸런싱 스풀(8)의 제 1단면(27a)에 일치되는 제 1내경부(29a)를 가지고, 상기 밸런싱 스풀(8)의 제 2단면(27b)에 일치하는 제 2내경부(29b)를 가지며, 상기 제 1관로(12)는 제 1내경부(29a)측에, 그리고 제 2 및 제 3관로(14)(16)는 제 2내경부(29b)측에 형성되는 구조를 갖는다. 또한, 상기 제 2내경부(29b)는 직경이 확대된 구조로 인하여 유압공급라인(160)으로부터 밸런싱 스풀(8)를 통하여 누출되는 오일을 저유하고 외부로 배출시키는 저유공간을 형성한다.
그리고, 상기 제 1관로(12)는 밸런싱 기구(10)의 유압공급라인(160)의 입측 포트에서 상기 제 1내경부(29a)측으로 유압펌프(170)의 압력을 공급하는 가압라인으로 동작하게 되며, 상기 제 1관로(12)를 통하여 유압펌프(170)의 유압이 밸런싱 스풀(8)의 일측에 신속히 이동되어 밸런싱 스풀(8)의 이동을 촉진시키게 된다.
그리고, 상기 저유공간은 챔버(5)의 제 2단면(27b)을 통하여 제 1 및 제 2공간으로 분할되고, 각각의 제 1 및 제 2공간들은 제 2 및 제 3관로(14)(16)에 연통되는 구조를 갖추어 오일 회수탱크(30)에 연결되는 것이다.
한편, 상기 밸런싱 스풀(8)은 제 1단면(27a)측에 직경이 축소된 고리형 오목홈(32)을 갖는 바, 이는 상기 고리형 오목홈(32)이 유압공급라인(160)에 일치되면, 상기 오목홈(32)으로 인하여 유압공급라인(160)이 유체 연통되는 구조를 갖는다.
또한, 상기 밸런싱 기구(10)의 일측으로는 가변탄성지지수단(40)을 갖추어 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)을 일정압력으로 폐쇄시키게 되는 바, 상기 가변탄성지지수단(40)은 스프링(42)과 상기 스프링(42)의 장력조절용 볼트(45)가 위치되며, 상기 스프링(42)의 선단은 상기 밸런싱 스풀(8)의 일측을 탄력적으로 지지하고, 스프링(42)의 타단은 장력보절용 볼트(45)의 선단에 결합된 구조를 갖는다. 그리고, 상기 볼트(45)는 밸런싱 기구(10)의 몸체(10a)에 나사결합된 것이어서 상기 몸체(10a)내로의 볼트(45)의 삽입길이에 따라서 상기 스프링(42)의 장력이 조절되도록 구성된 것이다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 서보밸브(1)는 현장 작업조건에 따라서, 유압펌프(170)의 정지후 재가동시나, 압연 작업조건을 준비하는 경우, 유압공급라인(160)에는 항상 일정압력, 예를들면 70kg/cm2의 압력이 유지되어야 메인 밸브(120)의 메인 스풀(122)이 정위치되어 위치변동이 최소화 될 수 있다.
이를 위하여 본 발명은 밸런싱 기구(10)의 스프링(42) 장력이 유압공급라인(160)의설정압력, 즉 메인 스풀(122)이 장착된 공간내의 오일 압력 70kg/cm2에 일치하도록 설정된다. 이는 장력조절볼트(45)를 이용하여 조절하게 되고, 유압펌프(170)의 작동시에는 유압공급라인(160)의 압력이 70kg/cm2의 압력보다 크게 되므로 밸런싱 스풀(8)은 도 3에 도시된 바와 같이 오목홈(32)이 유압공급라인(160)의 유로에 일치되어 유압펌프(170)의 작동을 방해하지 않는다.
그러나, 유압펌프(170)가 정지되면, 유압공급라인(160)의 압력은 점차 강하되고, 그 압력이 70kg/cm2의 압력까지 강하되고 더 이상 저하되면, 상기 스프링(42)의 장력으로 인하여 밸런싱 스풀(8)이 상기 챔버(5)의 좌측으로 밀고 들어오면서, 제 1단면(27a)으로 상기 유업공급라인(160)을 도 2와 같이 차단하게 된다. 이는 상기 밸런싱 스풀(8)이 위치된 챔버(5)내의 압력 균형에 의한 이동이며, 유압공급라인(160)의 압력저하는 제 1관로(12)측의 챔버(5)공간의 유압저하를 의미하므로 밸런싱 스풀(8)의 이동이 이루어지고, 이러한 경우에 밸런싱 스풀(8)의 제 2단면(27b) 좌측에 있던 오일은 제 3관로(16)를 통하여 외부로 배출된다.
따라서, 유압공급라인(160)은 외측으로의 압력누출이 없어지고, 70kg/cm2의 압력으로 유지되어 더 이상 압력강하는 이루어지지 않는다.
한편, 이와 같은 상태가 유지되다가, 유압펌프(170)가 재기동되면, 상기 유압공급라인(160)의 입측 포트(160a)로 부터는 70kg/cm2의 압력보다 높은 펌프(170) 작동압력이 유입되고, 이는 제 1관로(12)를 통하여 상기 밸런싱 스풀(8) 챔버(5)의 좌측으로 높은 압력이 미치게 된다. 이는 70kg/cm2의 압력보다 크므로 스프링(42)을 가압하면서 밸런싱 스풀(8)을 우측으로 이동시킨다. 따라서, 밸런싱 스풀(8)의 제 2단면(27b) 우측에 위치하는 공간내의 오일도 제 2관로(14)를 통하여 외부로 배출되고, 밸런싱 스풀(8)의 오목홈(32)은 유압공급라인(160)에 일치되어 유압펌프(170)의 작동압력이 메인 밸브(120)의 메인 스풀(122)로 유도되는 것이다
이와 같이 하여 정상적인 서보밸브(1)의 작동후, 유압펌프(170)를 작동 정지시키면, 상기에서 설명한 바와 같이 유압공급라인(160)의 압력이 저하되면서, 70kg/cm2의 압력이하로 되면, 스프링(42)에 의해서 밸런싱 스풀(8)이 이동되어 상기 유압공급라인(160)을 차단하는 것이다.
도 5에 도시된 바와 같은 실험장치(60)를 통하여 본 발명에 따른 서보 밸브(1)에 대한 실험을 하였는 바, 이는 통상적으로 사용되는 서보 밸브(1)에 대한 주파수 응답특성을 측정하여 이루어졌고, 서보밸브(1)에는 스텝 지령신호용 제너레이터(62)를 연결하여 이로부터 입력되는 전류와 주파수를 조정하게 되고, 그에 따라서 서보 밸브(1)는 상기 제너레이터(62)의 지령에 따라서 작동하게 되며, 이때, 서보밸브(1)의 메인 밸브(120)에 내장된 스풀(122)의 움직임을 위치검출기(150)가 검출하여 레코더(65)에 출력시킴으로써 도 4에 도시된 바와 같은 그래프 특성을 얻는 것이다.
도 5에 도시된 실험장치(60)에서 (67)는 오일 탱크이고, (70)는 펌프, (72)는 압력설정밸브,(1)는 실험용 서보 밸브, (74)는 스풀 위치 검출기, (76)는 압력 게이지,(79)는 회수 배관, (81)는 케이블, (83)는 개폐밸브이며, 이러한 실험장치(60)는 종래에 알려진 장치이므로 이에 대한 보다 상세한 설명을 생략하기로 한다.
상기와 같은 실험장치(60)에서, 시스템의 압력을 3,000 psi 로 하고, 입력신호를 추력에 대해 40%로 하며, ±4V( 최대 ±8V)로 하여 그 실험결과를 그림 4에 내타내었는 바, 이에 의하면 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 서보 밸브(1)가 종래의 서보 밸브(100)보다 현저히 빠른 응답특성을 가진 것으로 판명되었으며, 예컨대 서보 밸브의 메인 스풀이 동작시점부터 목표치 정상궤도의 안착시까지 소요되는 시간을 비교하여 보면, 종래기술의 서보 밸브(100)는 18밀리 초(m/sec) 가 소요되었지만, 본 발명에 의한 서보 밸브(1)는 14 밀리초(m/sec)가 소요되어 종래에 비하여 23%의 응답특성이 향상된 것으로 판명되었다.
그리고, 스풀의 고유 진동폭도 종래기술의 서보밸브는 132%이나 본 발명에 의한 서보밸브는 112%로서 15.2% 안정되게 시작됨을 알 수 있었다.
상기에서와 같이 본 발명에 의하면, 메인 밸브(120)의 유압 공급라인(160) 포트에 가해지는 유압의 변화를 최소화하여 메인 스풀(122)의 공간(122a)이 항상 일정압력을 유지토록 함으로써 메인 밸브(120)의 작동시 정확하고 신속하게 응답할 수 있다. 그리고, 대상 기기의 보다 안정적인 제어가 이루어질 수 있음으로써, 서보밸브의 동특성이 보다 안정되는 효과를 얻는 것이다.

Claims (9)

  1. 압연기의 상,하 작업롤사이의 간격(gap)을 조정하기 위한 유압 자동화설비에서 사용되는 서보 밸브에 있어서, 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)을 설정압력으로 항상 유지시키는 압력 밸런싱 기구(10)를 구비하여 동작개시시점부터 정상제어 목표도달시점까지 또는 제어중 일시 변화에서 정상안정제어 도달시점까지 메인 밸브스풀(122)로 부터의 사전 필요한 움직임을 방지하여 원하는 방향으로 메인 밸브스풀(122)의 신속한 이동을 보장함을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 밸런싱 기구(10)는 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)에 중공실린더형 챔버(5)를 형성하고, 상기 중공실린더형 챔버(5)내에서 좌우로 이동가능한 밸런싱 스풀(8)을 가지며, 상기 밸런싱 스풀(8)이 상기 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)을 폐쇄하여 일정압력으로 유지하고, 메인 공급압력이 설정압력이상으로 유지되면, 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)의 유로를 개방하도록 이동되어 유압공급라인(160)의 압력이 메인 밸브 스풀(122)을 이동시키고, 메인 밸브(120)로 오일과 압력이 공급되어짐을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 밸런싱 스풀(8)은 일측에서 지지되는 가변탄성 지지수단(40)에 의해서 메인 밸브(120)의 유압공급라인(160)을 일정압력으로 폐쇄시킴을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 가변탄성지지수단(40)은 스프링(42)과 상기 스프링(42)의 장력조절용 볼트(45)를 갖추며, 상기 스프링(42)의 선단은 상기 밸런싱 스풀(8)의 일측을 탄력적으로 지지하고, 스프링(42)의 타단은 장력보절용 볼트(45)의 선단에 결합되며, 상기 볼트(45)는 밸런싱 기구(10)의 몸체(10a)에 나사 결합된 것이어서 상기 몸체(10a)내로의 볼트(45)의 삽입길이에 따라서 상기 스프링(42)의 장력이 조절되도록 구성됨을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 배출관로(18)는 그 중간에 오리피스(orifice)(20)를 형성하고, 오일 회수라인(23)에 연결되는 구조를 갖춤을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 실린더형 챔버(5)의 일측에는 유압공급라인(160)으로부터 밸런싱 스풀(8)을 통하여 누출되는 오일을 저유하고 외부로 배출시키는 저유공간이 형성됨을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  7. 제 2항에 있어서, 상기 저유공간은 밸런싱 스풀(8)의 제 2단면(27b)을 통하여 제 1 및 제 2공간으로 분할되고, 각각의 제 1 및 제 2공간들은 제 2 및 제 3관로(14)(16)에 연통됨을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  8. 제 2항에 있어서, 상기 밸런싱 스풀(8)은 제 1단면(27a)측에 직경이 축소된 고리형 오목홈(32)을 갖고, 상기 고리형 오목홈(32)이 유압공급라인(160)에 일치되면, 상기 오목홈(32)으로 인하여 유압공급라인(160)이 유체 연통되는 구조를 갖춤을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
  9. 제 2항에 있어서, 상기 밸런싱 기구(10)의 유압공급라인(160)의 입측 포트(160a)에는 챔버(5)의 제 1내경부(29a)측으로 유압펌프(170)의 압력을 공급하는 가압라인이 형성되어 유압펌프(170)의 유압이 밸런싱 스풀(8)의 일측에 신속히 미치도록 하여 밸런싱 스풀(8)의 이동을 촉진시킴을 특징으로 하는 동특성이 보다 안정된 서보밸브.
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