KR20040000340A - 혼합 칼럼 및 크립톤-크세논 회수기를 구비한 공기분별증류 공정 및 설비 - Google Patents
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Abstract
질소-산소 분리(5, 6)를 위해 증류 칼럼 시스템내에서의 저온 공기 분리를 위한 공정 및 장치이다. 제 1 충전 공기 스트림(4)이 질소-산소 분리를 위하여 증류 칼럼 시스템에 도입된다. 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로부터의 산소 부유 분획(22)이 액상으로 가압되고, 혼합 칼럼(26)으로 첨가된다(25). 열 전달 매질 스트림, 특히 제 2 충전 공기 스트림(43, 343)이 혼합 칼럼(26)의 하부 영역으로 도입되고, 산소 부유 분획(22, 25)과 역류식으로 접촉하게 된다. 기상 최상부 생성물(260)이 혼합 칼럼(26)의 상부 영역에서 수득된다. 혼합 칼럼의 저부 또는 중간 영역으로부터의 액체(38, 39, 40, 41)이 질소-산소 분리를 위하여 증류 칼럼 시스템으로 도입된다. 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로부터의 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림(44, 46, 47, 48)이 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)으로 도입된다. 크립톤- 및 크세논-부유 분획(51)이 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)내에서 수득된다. 혼합 칼럼(26)의 기상 최상부 생성물(260)이 추가의 칼럼(27)으로 도입되고, 그것의 상부 영역에서 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)이 수득된다.
Description
본 발명은 청구항 제 1항의 전제부에 따른 공정에 관한 것이다.
본 발명의 질소-산소 부리를 위한 증류 칼럼 시스템은 2-칼럼 시스템, 예를 들어 종래 이중 칼럼 시스템으로 설계되어 있으나, 1-칼럼, 3-칼럼 또는 다중-칼럼 시스템으로 설계될 수 있다. 질소-산소 분리를 위한 칼럼에 더하여, 공기의 기타 성분, 특히 희귀 기체 (예를 들어, 아르곤)를 수득하기 위한 추가의 설비를 포함할 수 있다.
혼합 칼럼의 충전물로서 사용되는 산소-부유 분획은 공기 보다 높은 농도의 산소로서, 예를 들어 70 내지 99.5 몰%, 바람직하게는 90 내지 98 몰%이다. 혼합 칼럼은 역류식 접촉 칼럼을 의미하며 비교적 높은 휘발성 기상 분획이 반대 방향에서 낮은 휘발성 액체로 전달된다.
본 발명에 따른 공정은 특히 불순한 가압 기상 산소를 수득하기에 적당하다. 본원에서, 불순 산소란 산소 함량이 99.5 몰% 이하, 특히 70 내지 99.5 몰%인 혼합물을 의미한다. 생성물 압력은 예를 들어 2.2 내지 4.9 bar, 바람직하게는 2.5 내지 4.5 bar이다. 물론, 필요한 경우, 가압 생성물이 기상 상태로 추가로 압축될 수 있다. 원칙적으로, 본 발명은 고압 칼럼 압력 보다 높은 혼합 칼럼 압력, 예를 들어 4.5 내지 16 bar, 특히 5 내지 12 bar에서 이용될 수도 있다.
서두에 언급된 유형의 공정은 EP 531182 A1, DE 19951521 A1 및 EP1139046 A1에 공지되어 있다. 비록 EP 1139046 A1에서 크립톤-크세논 회수 수단이 이러한 유형의 혼합 칼럼 시스템의 하류에 연결될 수 있다고 우연히 언급되었지만, 사실상 이것이 지금까지 실현되지 않았으며, 그 이유는 이러한 성질의 시스템으로 지금까지 관용적인 방법이 경제적으로 실현가능한 수율의 크립톤 및 크세논을 달성할 수 없었기 때문이다.
따라서, 본 발명의 목적은 서두에 언급된 유형의 공정 및 대응 장치를 제공하는 것이고, 이들은 특히 경제적으로 동작하며, 특히 비교적 높은 크립톤 및/또는 크세논 수율을 갖는다.
도 1은 병합된 칼럼 및 비교적 낮은 산소 생성물 압력을 구비한 본 발명의 제 1 구체예를 나타낸다.
도 2는 개별 크립톤-크세논 회수를 구비한 도 1의 변형예를 나타낸다.
도 3은 높은 산소 생성물 압력을 구비한 추가의 구체예를 나타낸다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 정제된 공기3 : 주 열교환기
5 : 고압 칼럼6 : 저압 칼럼
7 : 주 응축기8 : 산소 부유 액체
9 : 제 1 과냉각 역류식 열교환기10 : 교축 밸브
11 : 기상 질소13 : 가압 질소 생성물
15 : 액상 질소20 : 기상 불순 질소
22 : 액상 산소25 : 산소 부유 분획
24: 제 2 과냉각 역류식 열교환기26 : 혼합 칼럼
27 : 추가 칼럼28 : 크립톤/크세논 고갈 최상부 분획
32: 응축기-증발기36 : 크립톤-크세논 부유화 칼럼
44 : 크립톤/크세논 함유 산소 스트림45 : 펌프
53 : 재압축기57 : 팽창 터빈
이러한 목적은 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로부터의 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림이 크립톤-크세논 부유화 칼럼으로 도입되어, 크립톤- 및 크세논-부유 분획이 크립톤-크세논 부유화 칼럼내에서 수득된다는 사실, 및 혼합 칼럼의 기상 최상부 생성물이 추가 칼럼으로 도입되어, 그 상부 영역에서 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획이 수득된다는 사실을 통해 달성된다.
크립톤-크세논 부유화 칼럼은 크립톤 및 크세논 부유화 수단의 표준 기능을 수행함과 동시에 메탄을 방출한다. 그러나, 이것 단독으로는 혼합 칼럼 공정내에서 만족스러운 크립톤 및 크세논 수율을 달성하기에 불충분하다. 왜냐하면, 공기 중 비교적 낮은-휘발성 성분의 상당량이 공정으로부터 혼합 칼럼의 최상부 생성물과 함께 일반적으로 제거되기 때문이다.
따라서, 본 발명에서는, 크립톤-크세논 부유화 칼럼에 더하여, 혼합 칼럼의 최상부 생성물에 여전히 존재하는 크립톤 및 크세논을 보유하는 추가 칼럼이 존재한다. 따라서, 이러한 고가의 생성물이 가압 산소 생성물과 함께 더이상 손실되지 않고, 예를 들어 오히려 혼합 칼럼 또는 증류 칼럼 시스템으로 회귀되고, 그로부터 크립톤-크세논 부유화 칼럼으로 도입될 수 있다.
"혼합 칼럼" 및 "추가 칼럼'이란 상응하는 역류식 물질 전달 영역을 나타내는 기능적 용어로서 문장내에서 각각의 경우에 이해될 수 있다. 반드시 그런 것은 아니지만, 이들은 별개의 용기내에 배열된다. 특히, 이들이 유사한 압력 수준에 있는 경우에는, 이들 유형의 2개 이상의 영역이 공통 용기내에서 적층되어 위치될 수 있다. 본 발명에서는, 예를 들어, 혼합 칼럼 및 추가 칼럼이 이러한 유형의 병합 칼럼으로서 생성되었다. 대안적으로, 혼합 칼럼 및 추가 칼럼 사이에 수평 격벽이 설치될 수 있거나, 혼합 칼럼 및 추가 칼럼이 완전히 별개의 용기내에 수용될 수 있다.
추가 칼럼으로부터의 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획의 일부가 크립톤 및 크세논을 상당량 손실하지 않고 기상 가압 산소 생성물로서 수득되는 것이 바람직하다.
게다가, 추가 칼럼으로부터의 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획의 (추가의) 일부가 응축기-증발기내에서 응축되는 것이 바람직하다. 응축기-증발기에서 발생한 응축물은 실질적으로 크립톤 및 크세논이 없으며, 추가 칼럼 및 크립톤-크세논 부유화 칼럼용 환류로서 이용된다.
응축기-증발기는 크립톤-크세논 부유화 칼럼의 바닥 증발기로서 동시에 기능한다. 따라서, 추가 칼럼 및 크립톤-크세논 부유화 칼럼은 이중 칼럼의 고압 및 저압 부분을 각각 구성한다.
본 발명에 따른 공정의 바람직한 구성에서, 혼합 칼럼에 더해지는 산소-부유 분획은 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템의 칼럼 중 하나 또는 칼럼들의 바닥 위에 있는 1개 내지 5개의 이론단, 바람직하게는 2개 내지 4개의 이론단으로부터 제거된다. 이러한 분획은 일반적으로 2-칼럼 시스템 중 저압 칼럼의 상응하는 중간 위치로부터 유출된다. 대조적으로, 크립톤-크세논 부유화 칼럼용 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림은 이 칼럼의 바닥으로부터 인출된다.
또한, 본 발명은 청구항 제9항에 설명된 바와 같은 저온 공기 분별증류를 위한 장치에 관한 것이다.
도 1에 도시된 구체예에서, 정제된 공기(1)는 예를 들어 4.5 내지 7.1 bar, 바람직하게는 약 5.8 bar의 압력에서 공급된다. 이 공기의 제 1부분은 라인(2)을 통해 주 열교환기(3)로 흐르고, 여기에서 대충 이슬점까지 냉각되고 궁극적으로 라인(4)을 통해 "제 1 충전 공기 스트림"으로서 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템의 고압 칼럼(5)으로 흐른다. 고압 칼럼(5)의 동작 압력은 예를 들어 4.3 내지 6.9 bar, 바람직하게는 약 5.6 bar이다. 또한, 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템은 저압 칼럼(6)을 가지며, 이것은 예를 들어 1.3 내지 1.7 bar, 바람직하게는 약 1.5 bar에서 동작한다. 이들 2개의 칼럼은 주 응축기(7)를 통해 열교환 관계에 있도록 연결된다.
질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템은 구체예에서 종래 린데 이중 칼럼 장치로서 설계되었다. 그러나, 본 발명은 기타 응축기 및/또는 칼럼 구성을 구비한 정류 시스템에 사용될 수도 있다.
고압 칼럼(5)의 바닥으로부터의 산소-부유 액체(8)는 제 1 과냉각 역류식 열교환기(9)내에서 냉각되고, 교축(10) 후에 중간 위치에서 저압 칼럼(6)으로 공급된다. 고압 칼럼(5)의 최상부로부터의 기상 질소(11)의 일부(12)는 주 열교환기(3)내에서 가열될 수 있고, 가압 질소 생성물(13)로서 수득된다. 잔류물(14)은 주 응축기(7)내에서 실질적으로 완전히 응축된다. 수득된 액상 질소(15)의 적어도 일부가 환류로서 고압 칼럼(5)에 첨가된다. 필요한 경우, 다른 부분(17)이 액상 생성물로서 인출될 수 있다. 고압 칼럼(5)으로부터의 중간 액체(18)(불순 질소)는 과냉각(9) 및 교축(19) 후에, 환류로서 저압 칼럼(6)에 사용된다. 저압 칼럼의 최상부로부터의 기상 불순 질소(20)는 열교환기(9 및 3)에서 가열되어 궁극적으로 라인(21)을 통해 인출된다. 이것은 공기(1)용 정화 장치(미도시)를 위한 재생 기체로서 이용될 수 있다.
액상 산소(22)는 저압 칼럼(6)으로부터 "산소-부유 분획"으로서 인출되고, 펌프(23)내에서 예를 들어 5.7 내지 8.3 bar, 바람직하게는 약 7.0bar로 가압되며, 제 2 과냉각 역류식 열교환기(24)내에서 가열되어, 최종적으로 혼합 칼럼(26)의 최상부에 첨가된다. 액상 산소(22)가 제거되는 위치는 예를 들어 저압 칼럼(6)의 바닥으로부터 4개 이론단이다.
열전달 매질 스트림은 액상 산소-부유 분획(25)에 반대 방향에서 혼합 칼럼으로 전달되고, 이러한 열전달 매질 스트림은 구체예에서 제 2 충전 공기 스트림(42, 43)에서 형성되며, 냉각 단부보다 약간 위의 중간 온도에서 제 1 충전 공기 스트림(4)으로부터 분지되며 주 열교환기(3)로부터 제거되고, 제 2 과냉각 역류식 열교환기(24)내에서 추가로 냉각되며, 최종적으로 혼합 칼럼(26)의 바닥 영역으로 송풍된다. 혼합 칼럼(26)으로부터의 바닥 액체(38 - 39) 및 중간 액체(40 -41)는 제 2 과냉각 역류식 열교환기(24)내에서 각각 과냉각되고, 그 조성에 대응하는 위치에서 저압 칼럼(6)으로 교축된다.
혼합 칼럼(26)의 기상 최상부 생성물은 추가 칼럼(27)의 하부 단부로 흐르고, 상기 칼럼은 본 구체예에서 혼합 칼럼(26)과 병합된다. 병합된 칼럼은 3개 섹션으로 구성되고, 그 최상부 섹션은 추가 칼럼(27)을 형성하며; 2개의 하부 섹션은 혼합 칼럼(26)을 구성한다. 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)의 제 1부분(29)은 주 열교환기(3)내에서 가열되고, 라인(30)을 통해 기상 가압 산소 생성물로서 수득된다. 잔류물(31)은 응축기-증발기(32)내에서 실질적으로 완전히 응축된다. 형성된 응축물(32)은 매우 소량의 크립톤 및 크세논을 함유할 뿐이며, 이러한 응축물의 제 1 부분(34)은 환류로서 추가 칼럼(27)에 부가되고, 이러한 응축물의 제 2부분(35)은 환류로서 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)에 부가된다. 필요한 경우, 제 3부분(37)은 액상 산소 생성물로서 인출될 수 있다.
크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)은 추가 칼럼(27)의 최상부 압력보다 약 1 bar 낮은 압력에서 동작하고, 실시예에서 약 5.6 bar이다. 결과적으로, 응축기-증발기(32)는 동시에 크립톤-크세논 부유화 칼럼을 위한 바닥 증발기로 사용될 수 있다. 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)(저압 부분) 및 이 경우에 추가 칼럼(27)과 혼합 칼럼(26)의 병합(고압 부분)은 이중 칼럼을 형성한다. 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림(44)은 저압 칼럼(6)의 바닥으로부터 액상 형태로 인출되고, 펌프(45)내에서 상승된 압력으로 가압되며, 가열(24) 후에, 2개의 상이한 위치에서 라인(46 및 47 또는 48)을 통해, 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)을 위한 충전 분획으로서 공급된다. 일부 메탄은 저압 칼럼으로 역 공급되는 최상부 기체(49 - 50)와 함께 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)에 잔류한다. 대조적으로, 크립톤 및 크세논은 바닥에서 정화되고, 그로부터 크립톤- 및 크세논-부유 분획(51)이 액상 형태로 인출된다.
공정에서, 제 3 충전 공기 스트림(52 - 55- 56)의 대략 저압 칼럼의 동작 압력으로의 일-수행 팽창(57)에 의해 냉동이 수득된다. 주 열교환기(3)내에서의 냉각 상류부에서, 터빈 공기가, 팽창 터빈(57)에 의해 구동되는 재냉각기(54)를 구비한 재압축기(53)내에서 추가로 압축된다. 팽창된 제 3 충전 공기 스트림(58)은 최종적으로 위치(59)에서 저압 칼럼(6)으로 송풍된다.
본 발명에 따른 공정에서, 충전 공기(1)에 함유된 실질적으로 모든 크립톤 및 크세논이 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)의 바닥으로 전달되고, 따라서 그로부터 인출되는 응축물(51)로 전달된다. 제 1 충전 공기 스트림(4)으로부터의 저-휘발성 분획은 고압 칼럼(5)으로부터의 바닥 액체(8)와 함께 저압 칼럼으로 수송된다. 혼합 칼럼 공기(제 2 충전 공기 스트림)(42 - 43)내에 존재하는 크립톤 및 크세논은 추가 칼럼(27)에 의해 가압 산소 생성물(28, 29, 30)과 함께 유실되는 것이 방지되고, 액체(38 - 39 및 40 - 41)와 함께 저압 칼럼(6)으로 전달된다. 터빈 공기(제 3 충전 공기 스트림)(58 - 59)의 저-휘발성 분획도 궁극적으로 저압 칼럼의 바닥에서 끝난다. 혼합 칼럼(26)으로 전달된 액상 산소(22)도 크립톤 및 크세논을 함유하는 경우, 이것도 추가 칼럼(27)내에 유지되고 저압 칼럼으로 회귀된다.
본 발명에 따라, 저압 칼럼(6)의 바닥 액체(44)로 모든 크립톤 및 크세논을 제거하고, 동시에 메탄이 방출되도록 조합된 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)에서 추가로 농축하여 크립톤 및 크세논의 매우 높은 수율을 수득하였다.
도 2는 추가 칼럼(27)이 혼합 칼럼(26)으로부터 분리된 용기내에 수용된다는 점에서 도 1과 상이하다. 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36) 및 추가 칼럼(27)은 이 경우에 응축기-증발기(32)와 함께 이중 칼럼을 형성한다.
공정 공학의 관점에서, 칼럼(26 및 27)을 별개로 정열하는 것은 도 1에 도시된 병합된 칼럼에 상당하는데, 그 이유는 혼합 칼럼(26)으로부터의 모든 기상 최상부 생성물(260)이 추가 칼럼(27)의 바닥으로 전달되고, 역으로 추가 칼럼(27)으로부터의 모든 바닥 액체(261)가 혼합 칼럼(26)의 최상부로 회귀하여 흐르기 때문이다.
도 2의 변형예는 크립톤-크세논 회수 수단으로 개장되어야 하는 현존하는 혼합 칼럼 설비에 대하여 특히 바람직하다.
도 1 및 도 2에 도시된 공정이 고압 칼럼 압력 이하의 산소 생성물 압력에 적당하지만, 도 3은 보다 고압의 생성물 압력을 달성할 수 있게 하는 공정을 도시하고 있다. (기타 도 3은 도 1과 다르지 않다.)
이 경우에, 제 2 충전 공기 스트림(342- 343)은 주 열교환기(3)로부터의 전체 공기(1) 스트림으로부터 라인(362)을 통해 분지된다. 그것은 재냉각기(364)를 구비한 재압축기(363)에 의해 보다 고압으로 압축되어, 혼합 칼럼(26)이 예를 들어 7.0 내지 17.0 bar, 바람직하게는 약 12.0 bar의 압력에서 동작한다.
본 발명에 따른 방법 및 장치는 특히 경제적으로 동작하며, 특히 비교적 높은 크립톤 및/또는 크세논 수율을 갖는다.
Claims (9)
- - 제 1 충전 공기 스트림(4)을 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로 도입시키고,- 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로부터의 산소-부유 분획(22)을 액상 형태로 가압시켜 혼합 칼럼(26)에 첨가하고,- 열 전달 매질 스트림, 특히 제 2 충전 공기 스트림(43, 343)을 혼합 칼럼(26)의 저부 영역으로 도입시키고, 산소-부유 분획(22, 25)과 역류식으로 접촉시키며,- 기상 최상부 생성물(260)을 혼합 칼럼(26)의 상부 영역에서 수득하며, 여기에서,- 혼합 칼럼의 저부 또는 중간 영역으로부터의 액체(38, 39, 40, 41)를 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로 도입시켜, 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템에서 저온 분별증류를 하기 위한 공정에 있어서,- 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로부터의 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림이 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)으로 도입되고,- 크립톤- 및 크세논-부유 분획(51)이 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)내에서 수득되며, 여기에서- 혼합 칼럼(26)의 기상 최상부 생성물(260)이 추가 칼럼(27)으로 도입되고, 그 상부 영역에서 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)이 수득됨을 특징으로하는 공정.
- 제 1항에 있어서, 추가 칼럼(27)으로부터의 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)의 일부(29, 30)가 기상 가압 산소 생성물로서 수득됨을 특징으로 하는 공정.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 추가 칼럼(27)으로부터의 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)의 일부(31)가 응축기-증발기(32)내에서 응축됨을 특징으로 하는 공정.
- 제 2항에 있어서, 응축기-증발기(32)에서 발생된 응축물(33)의 일부(34)가 환류로서 추가 칼럼(27)에 첨가됨을 특징으로 하는 공정.
- 제 2항 또는 제 4항에 있어서, 응축기-증발기(32)에서 발생된 응축물(33)의 일부(35)가 환류로서 크립톤-크세논 부유화 칼럼에 첨가됨을 특징으로 하는 공정.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서, 응축기-증발기(32)에서, 크립톤-크세논(36)의 하부 영역으로부터의 액체가 증발됨을 특징으로 하는 공정.
- 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 산소-부유 분획(22)이, 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템의 칼럼(들), 특히 고압 칼럼(5)도 구비한 2-칼럼 시스템의 저압 칼럼(6)의 바닥상의 1개 내지 5개 이론단에서 제거됨을 특징으로 하는 공정.
- 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림(44)이, 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템의 칼럼(들), 특히 고압 칼럼(5)도 구비한 2-칼럼 시스템의 저압 칼럼(6)의 바닥으로부터 제거됨을 특징으로 하는 공정.
- - 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템에 연결된 제 1 충전 공기 라인(4)을 구비하고,- 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템에 연결되고, 액체의 압력을 증가시키기 위한 수단(23)을 통해 혼합 칼럼(26)에 이르는 제 1 액상 산소 라인(22, 25)을 구비하고,- 혼합 칼럼(26)의 저부 영역에 이르는, 열 전달 매질 라인, 특히 제 2 충전 공기 라인(43, 343)을 구비하고,- 혼합 칼럼(26)의 상부 영역에서 기상 최상부 생성물(260)을 수득하기 위한 수단을 구비하고,- 혼합 칼럼의 저부 또는 중간 영역으로부터 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템에 이르는 액체 라인(38, 39, 40, 41)을 구비하며, 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템(5, 6)을 구비하고, 혼합 칼럼(26)을 구비하는 공기의 저온 분별증류를 위한 장치에 있어서,- 크립톤- 및 크세논-부유 분획(51)을 수득하기 위한 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36),- 질소-산소 분리를 위한 증류 칼럼 시스템으로부터의 크립톤- 및 크세논-함유 산소 스트림을 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)으로 도입시키기 위한 제 2 액상 산소 라인(44, 46, 47, 48),- 혼합 칼럼(26)의 기상 최상부 생성물을 추가 칼럼(27)으로 도입시키기 위한 수단(260), 및- 크립톤-크세논 부유화 칼럼(36)의 상부 영역에서 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)을 수득하기 위한 수단을 포함함을 특징으로 하는 장치.- 혼합 칼럼(26)의 기상 최상부 생성물(260)이 추가 칼럼(27)으로 도입되고, 그 상부 영역에서 크립톤- 및 크세논-고갈 최상부 분획(28)이 수득됨을 특징으로 하는 공정.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20030623 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |