KR20090068902A - 프로브 카드의 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 카드의 검사장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면 마더보드에 고정되는 프로브 카드의 검사장치에 있어서, 메인프레임과, 이 메인프레임의 일측에 회동 가능하도록 결합 되며 마더보드가 고정되는 마더보드 고정플레이트와, 메인프레임의 타측에 설치되어 프로브 카드의 평탄도를 검사하는 평탄도 측정부가 구비된 메인프레임 어셈블리; 이 메인프레임의 일측에 결합 되며 일측에 포고어셈블리 수납부가 형성되고 내부에 테스터랙이 설치된 테스터프레임과, 포고어셈블리 수납부에 수납되어 테스터랙과 마더보드를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리가 구비된 테스터프레임 어셈블리; 이 메인프레임의 타측에 결합 되며 일측에 좌우로 이동되는 슬라이딩부재가 결합 된 스코프프레임과, 슬라이딩부재의 일측에 결합 되는 화면표시수단과, 슬라이딩부재의 타측에 결합 되는 마이크로스코프부가 구비된 스코프프레임 어셈블리를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치가 제공된다.
프로브 카드, 메인프레임 어셈블리, 테스터프레임 어셈블리, 스코프프레임 어셈블리, 평탄도 측정부

Description

프로브 카드의 검사장치{Inspection apparatus of a probe card}
본 발명은 프로브 카드의 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 칩의 주요 검사 장치인 프로브 카드에 니들(needle) 및 여러 부품 들을 부착한 상태에서도 테스트가 가능한 프로브 카드의 검사장치에 관한 것이다.
프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것으로, PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.
종래에는 현미경이 준비된 단순한 테이블 위에 프로브 카드를 올려놓은 상태에서 작업자가 검사 위치를 수동적으로 설정해 가면서 검사하게 되므로 정확한 검사를 실시하지 못하였다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 선행기술이 한국등록특허공보 제10-0180610 호(1999.04.01) "프로브카드 검사기"에 개시되어 있다. 상기 선행기술은 본 수평으로 분리되서 전,후방향과 좌,우방향으로 위치를 변경시켜 줄 수 있도록 하는 X, Y방향이동장치를 구성하는 카드벤취를 일정한 구간에서만 회전할 수 있게 하는 메세조정용 회전장치를 구성하며 상기의 X, Y방향이동장치와 미세조정용 회전장치를 동시에 상승시켜 주거나 하강시켜주는 리프트장치를 구성하고 현미경이 전·후·좌·우로 자유롭게 슬라이드 이동하는 현미경 슬라이드 이동 장치를 가진 프로브카드(probe card) 검사기를 구성하되, 상기의 프로브카드 검사기는, 판상의 테이블을 형성하여 그 저면에는 지지각을 형성하고 일측면의 중앙에는 핸들축지지부를 형성하며, 상기의 테이블 상면에는 회전축을 결합하여 회전판베어링을 회동 설치한 회전판이 360°자유회동할 수 있게 결합하되 그 상면에는 가이드베어링지지판을 형성하여 리프트가이드베어링을 결합하는 한편 반구형홈에 아암지지베어링이 자유회동할 수 있게 된 베어링홀더를 결합하고 또한, 상기의 아암지지베어링 상면에는 양단부중 일단부에는 스크류축을 가진 높낮이조정핸들과 그 반대쪽에 리프트베어링을 결합한 리프트아암을 결합하며, 상기의 리프트아암 상면에는 가이드베어링지지각을 하방향으로 형성하여 리프트가이드베어링을 결합한 리프트판을 결합하며 그 상면에는 사각판체의 상면양쪽에 Y방향가이드베어링을 결합하고 전면 중앙에는 마이크로미터브라켓을 결합한 고정판을 결합하며 상기의 고정판 상면에는 저면 중심부와 양쪽부에 장축간의 스프링입설홈과 기이드베어링홈을 형성하여 장축간 압축스프링과 Y방향가이드베어링을 결합한 Y방향이동판을 결합하고 상기의 Y방향이동판 상면에는 X방향가이드베어링을 결합하고 중심 저면부에 스프링입설홈을 형성하여 압축스프링 을 탄설하고 X방향마이크로미터로 조정되는 X방향이동판을 형성하여 결합하며 상기 X방향이동판의 상면에는 일측면에 두 개의 마이크로브라켓을 결합하여 회전용 마이크로미터를 결합한 회전판벤취를 결합하되, 그 외주연 일측에는 축브라켓을 형성하여 수직상의 회전유도축을 결합하고 저면 중심부에는 회전축을 형성하여 상기의 회전판벤취 상면에서 회전가능하게 결합하며 상기 카드벤취회전판의 상면에는 평면상 원형 또는 사각형의 진공홈과 연통구멍을 형성하고 판체의 사면에는 구멍을 형성하여 자석을 입설한 프로브카드벤취를 결합하고 또한 상기 회전판의 네곳 모서리 상면에는 후레임포스트를 입설하여 그 상면에 작업대후레임을 결합하고 그 작업대후레임의 상면 양측에는 작업대가이드를 결합하여 초점판과 작업판을 결합하고 상기의 테이블 배면 양쪽에는 수직상 현미경포스트를 입설하여 그 상단부 양쪽에 종축브라켓을 결합하고 그 종축브라켓에는 두 개의 수평간 좌,우횡축을 입설하여 횡축하우징을 결합하며 그 횡축하우징에는 전,후횡축을 수평간 입설하여 현미경회전축을 가진 현미경축하우징을 결합하고 또 전,후횡축브라켓을 결합하고 현미경을 결합 구성함을 특징으로 하는 프로브카드 검사기에 관한 것이다.
전술한 선행기술은 프로브 카드가 작업판에 고정되지 않아 테이블이나 회전판의 진동에 의한 영향을 받기 쉽고, 이 영향으로 프로브 탐침의 접촉이 안정되기 어려우며, 나아가서는 검사의 안정화가 어려운 단점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출 된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 프로브 카드에 니들(needle) 및 여러 부품 들을 부착한 상태에서도 안정적으로 테스트가 가능한 프로브 카드의 검사장치와 관련된다.
본 발명의 바람직한 일 실시예는 마더보드에 고정되는 프로브 카드의 검사장치에 있어서, 메인프레임과, 이 메인프레임의 일측에 회동 가능하도록 결합 되며 마더보드가 고정되는 마더보드 고정플레이트와, 메인프레임의 타측에 설치되어 프로브 카드의 평탄도를 검사하는 평탄도 측정부가 구비된 메인프레임 어셈블리; 이 메인프레임의 일측에 결합 되며 일측에 포고어셈블리 수납부가 형성되고 내부에 테스터랙이 설치된 테스터프레임과, 포고어셈블리 수납부에 수납되어 테스터랙과 마더보드를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리가 구비된 테스터프레임 어셈블리; 이 메인프레임의 타측에 결합 되며 일측에 좌우로 이동되는 슬라이딩부재가 결합 된 스코프프레임과, 슬라이딩부재의 일측에 결합 되는 화면표시수단과, 슬라이딩부재의 타측에 결합 되는 마이크로스코프부가 구비된 스코프프레임 어셈블리를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치를 제공한다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면 첫째, 프로브 카드가 고정된 마더보드를 마드보드 고정플레이트에 고정시켜 안정적으로 프로브 카드를 검사 할 수 있다.
둘째, 메인프레임에 설치된 진공포트에 의해 마더보드 고정플레이트를 진공 흡착시켜 작업중에 발생 될 수 있는 진동을 미리 방지할 수 있다.
셋째, 메인프레임에 설치된 평탄도 측정부에 의해 프로브 카드의 평탄도(탐침의 높낮이)을 정확하게 측정할 수 있다.
넷째, 테스터프레임에 설치된 역진공포트에 의해 마더보드 고정플레이트가 180°회전된 상태에서도 진공 흡착시켜 진동을 방지할 수 있다.
다섯째, 마더보드 고정플레이트에 형성된 후크와 테스터프레임에 설치된 역로커에 의해 역진공포트의 흡착이 해제된 상태에서도 마더보드 고정플레이트의 갑작스런 회전을 방지할 수 있다.
여섯째, 마이크로스코프를 슬라이딩부재에 의해 좌우로 이동시킴과 더불어 Y축 이동레일에 의해 전후 이동시킬 수 있다.
일곱째, 마더보드 고정플레이트에 연결된 하중균형모듈에 의해 마더보드 고정플레이트를 부드럽게 180°회전시킬 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 검사장치를 도시한 사시도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드의 검사장치(1)는 마더보드가 안착되며 프로브 카드(90)의 평탄도를 측정하는 메인프레임 어셈블리(10)와, 상기 마더보드(80)와 테스터랙(61a)을 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)가 수납되는 테스터프레임 어셈블리(60)와, 마더보드(80)에 고정된 프로브 카드(90)를 검사하는 마이크로스코프(73b)와 화면표시수단(72)이 구비된 스코프프레임 어셈블리(70)를 포함한다.
도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도이고, 도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도이고, 도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도이다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 메인프레임 어셈블리(10)는 메인프레임(20), 마더보드 고정부(30), 평탄도 측정부(40), 진공포트(50)를 구비한다.
메인프레임(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상으로 전면과 측면에는 후술할 테스터프레임 어셈블리(60), 스코프프레임 어셈블리(70)와 연결되는 연결핀(21)이 다수 형성된다. 또한, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(22)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(23)가 다수 결합 된다. 나아가, 그 상측에는 마우스와 키보드가 놓여 지는 작업플레이트(24)가 볼트 결합 되고, 이 작업플레이트(24)의 상측에는 후술할 진공포트(50) 등을 작동하는 조작패널(25)이 고정된다.
마더보드 고정부(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 메인프레임(20)의 상측에 힌지 결합되며 일측에 후크(31a)가 형성되고 중앙 부분에 큰 홀이 형성된 마더보드 고정플레이트(31)와, 상기 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되어 마더보드 고정플레이트(31)가 부드럽게 180° 회전되도록 하는 하중균형모듈(32)을 구비한다.
상기 하중균형모듈(32)은 도 3에 도시된 바와 같이 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 메인베이스(32a)와, 상기 메인베이스(32a)의 일측에 이동가능하도록 결합 되는 균형추(32b)와, 상기 메인베이스(32a)의 타측에 결합 되어 균형추(32b)를 상하로 이동시키는 균형추 구동모터(32c)와, 상기 메인베이스(32a)에 결합 되어 전원을 온(ON) 시켰을 경우 균형추 구동모터(32c)의 회전 위치를 파악하는 리미트 센서(32d)와 전원을 온/오프(ON/OFF) 시켰을 경우 균형추(32b)의 위치를 파악하는 홈센서(32e)와, 메인베이스(32a)를 스코프프레임(71)에 볼트 고정하도록 하는 브래킷(32f)을 구비한다. 상기 균형추 구동모터(32c)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.
상기 메인베이스(32a)는 도 3에 도시된 바와 같이 바람직하게는 긴 직육면체 형상으로 일측에는 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 연결로커(32aa)가 볼트 결합되고, 내부에는 리드스크류(32ab)에 의해 상하 이동되는 이동블록(32ac)이 설치되고, 상·하측에는 균형추(32b)를 안내하는 가이드레일(32ad)이 설치된다. 이 메인베이스(32a)의 전·후면에는 이동블록(32ac)과 균형추(32b)가 연결되도록 하는 슬롯(32ae)이 형성된다.
이하에서 하중균형모듈(32)의 작동 원리를 설명한다. 마더보드 고정플레이트(31)는 메인프레임(20)에 힌지 결합 된 상태에서 연결로커(32aa)와 축 연결되어 있고, 연결로커(32aa)는 메인베이스(32a)에 탈착 가능하도록 볼트 결합 되어 있고, 균형추(32b)는 메인베이스(32a)에 결합 되어 있으므로, 균형추(32b)는 지렛대의 원리에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31,도 7 참조)를 지지한다. 이때, 균형추(32b)는 균형추 구동모터(32c)에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31)와 동일한 무게를 같도록 특정 위치에 미리 세팅된다.
평탄도 측정부(40)는 프로브 카드(90) 탐침의 평탄도를 측정하는 것으로 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 중앙 부분에 설치되며 내설 된 볼스크류(41ba)를 갖는 Z축 스테이지(41)와, 상기 Z축 스테이지(41)의 일측에 결합되어 볼스크류(41ba)를 구동하는 볼스크류 구동모터(42)와, 상기 Z축 스테이지(41)에 고정되어 볼스크류 구동모터(42)를 정밀 제어하는 선형 엔코더(43)와, 상기 Z축 스테이지(41)의 상측에 고정되어 프로브 카드(90)의 탐침 평편도를 측정하는 평탄플레이트부(44)를 구비한다. 상기 볼스크류 구동모터(42)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.
상기 Z축 스테이지(41)는 평탄플레이트부(44)를 상하 이동시키는 것으로 메인프레임(20)의 일측에 고정되는 베이스플레이트(41a)와, 볼스크류 구동모터(42)와 볼스크류(41ba)로 연결되어 베이스플레이트(41a) 내에서 전후 이동되는 슬라이딩부(41b)와, 상기 슬라이딩부(41b)와 리니어 베어링에 의해 면 접촉되어 마찰력에 의해 상하 이동되는 피슬라이딩부(41c)로 구성된다.
상기 평탄플레이트부(44)는 상기 피슬라이딩부(41c)의 상측에 결합 되며 일측에 연결포트(44aa)가 형성된 에폭시공간블록(44a)과, 상기 에폭시공간블록(44a)의 상측에 볼트 고정되며 상측에 연결용 PCB(44ba)가 결합 된 평탄플레이트(44b)로 구성된다.
이하에서 프로브 카드(90)의 탐침 평탄도 측정 원리를 설명한다. 먼저 후술할 테스터랙(61a)에 프로브 카드의 테이터, 유효 평탄값, 마더보드 높이, 프로브 카드의 높이를 입력한 후 평탄플레이트부(44)를 Z축 스테이지(41)를 이용하여 맨 아래로 이동한다. 다음으로, 평탄플레이트부(44)를 일정 위치로 상향이동한다. 계속해서 상승중에 50k ohm 이하의 저항이 검출되면 탐침이 평탄플레이트(44b)에 닿은 것으로 간주하여 접촉된 탐침의 수를 측정한다. 계속해서 평탄플레이트(44b)를 1μm 상향 이동시킨다. 이때, 평탄플레이트(44b)가 그 거리만큼 이동하면 평탄플레이트(44b)를 맨 아래로 이동시켜 작업을 마무리한다. 마지막으로, 평균 평탄도와 측정데이터를 출력하여 작업을 마무리한다. 만약, 입력된 거리 만큼 이동하지 않으면 접촉한 탐침수를 측정하는 단계로 돌아가서 전술한 측정단계를 반복한다.
진공포트(50)는 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 일측에 바람직하게는 한 쌍이 이격 형성되며, 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착한다.
도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.
테스터프레임 어셈블리(60)는 도 5에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 내부에 테스터랙(61a,제어부)이 설치되고 상측에 포고어셈블리 수납부(61b)가 형성된 테스터프레임(61)과, 상기 포고어셈블리 수납부(61b)에 수납되며 테스터랙(61a)과 마더보드(80)를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)와, 상기 테스터프레임(61)의 일측에 설치되어 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착하는 역진공포트(63)와, 상기 테스터프레임(61)의 상측에 설치되어 마더보드 고정플레이트(31)의 후크(31a)와 맞물리는 역로커(64)를 구비한다.
상기 테스터프레임(61)의 측면에는 메인프레임(20)의 연결핀(21)과 연결되는 테스터프레임 연결핀(61c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(61d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(61e)가 다수 결합 된다
상기 역로커(64)는 테스터프레임(61)의 상측에 고정되는 역로커몸체(64a)와, 이 역로커몸체(64a)에 탄성 지지 되는 고정후크(64b)로 구성되며, 180° 회전된 마더보드 고정플레이트(31)를 고정되도록 한다.
도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.
스코프프레임 어셈블리(70)는 도 6에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 상측에 형성된 X축 이동레일(71a)과 상기 이동레일에 결합 된 슬라이딩부재(71b)를 갖는 스코프프레임(71)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 일측에 고정되는 화면표시수단(72)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 타측에 고정되는 마이크로스코프부(73)를 구비한다.
상기 스코프프레임(71)의 전면에는 테스터프레임 어셈블리(60)의 연결핀(21)과 연결되는 스코프프레임 연결핀(71c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(71d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(71e)가 다수 결합 된다.
상기 마이크로스코프부(73)는 슬라이딩부재(71b)의 하면에 전후 이동가능하도록 고정되는 Y축 이동레일(73a)과, 이 Y축 이동레일(73a)과 스코프 연결부재(73c)에 의해 연결되는 마이크로스코프(73b)로 구성된다. 상기 스코프 연결부재(73c)는 마이크로스코프(73b)가 정해지 위치에 고정되도록 락핸들을 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명은 특허청구범위에서 청구하는 청구의 요지를 벗어나지 않고도 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로, 본 발명의 기술보호범위는 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 않는다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 검사장치를 도시한 사시도,
도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도,
도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도,
도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도,
도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도,
도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도,
도 7 은 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치의 사용 상태도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 프로브 카드의 검사장치 10 : 메인프레임 어셈블리
20 : 메인프레임 21 : 연결핀
22 : 바퀴 23 : 고정부재
24 : 작업플레이트 25 : 조작패널
30 : 마더보드 고정부 31 : 마더보드 고정플레이트
31a : 후크 32 : 하중균형모듈
32a : 메인베이스 32aa : 연결로커
32ab : 리드스크류 32ac : 이동블록
32ad : 가이드레일 32ae : 슬롯
32b : 균형추 32c : 균형추 구동모터
32d : 리미트센서 32e : 홈센서
32f : 브래킷 40 : 평탄도 측정부
41 : Z축 스테이지 41a : 베이스플레이트
41b : 슬라이딩부 41ba : 볼스크류
41c : 피슬라이딩부 42 : 볼스크류 구동모터
43 : 선형 엔코더 44 : 평탄플레이트부
44a : 에폭시공간블록 44aa : 연결포트
44b : 평탄플레이트 44ab : 연결용 PCB
50 : 진공포트 60 : 테스트프레임 어셈블리
61 : 테스트프레임 61a : 테스터랙
61b : 포고어셈블리 수납부 61c : 테스터프레임 연결핀
61d : 바퀴 61e : 고정부재
62 : 인터페이스 포고 어셈블리 63 : 역진공포트
64 : 역로커 64a : 역로커 몸체
64b : 고정후크 70 : 스코프프레임 어셈블리
71 : 스코프프레임 71a : X축 이동레일
71b : 슬라이딩부재 71c : 스코프프레임 연결핀
71d : 바퀴 71e : 고정부재
72 : 화면표시수단 73 : 마이크로스코프부
73a : Y축 이동레일 73b : 마이크로스코프
73c : 스코프 연결부재 80 : 마더보드
90 : 프로브 카드

Claims (7)

  1. 마더보드에 고정되는 프로브 카드의 검사장치에 있어서,
    메인프레임과, 상기 메인프레임의 일측에 회동 가능하도록 결합 되며 상기 마더보드가 고정되는 마더보드 고정플레이트와, 상기 메인프레임의 타측에 설치되어 상기 프로브 카드의 평탄도를 검사하는 평탄도 측정부가 구비된 메인프레임 어셈블리;
    상기 메인프레임의 일측에 결합 되며 일측에 포고어셈블리 수납부가 형성되고 내부에 테스터랙이 설치된 테스터프레임과, 상기 포고어셈블리 수납부에 수납되어 상기 테스터랙과 마더보드를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리가 구비된 테스터프레임 어셈블리; 및
    상기 메인프레임의 타측에 결합 되며 일측에 좌우로 이동되는 슬라이딩부재가 결합 된 스코프프레임과, 상기 슬라이딩부재의 일측에 결합 되는 화면표시수단과, 상기 슬라이딩부재의 타측에 결합 되는 마이크로스코프부가 구비된 스코프프레임 어셈블리를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인프레임에는 상기 마더보드 고정플레이트를 진공 흡착 고정하는 진공포트가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 평탄도 측정부는 상기 메인프레임의 일측에 고정되며 내설 된 볼스크류를 갖는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지의 일측에 결합 되어 상기 볼스큐를 구동하는 볼스크류 구동모터와, 상기 Z축 스테이지의 상측에 결합 되어 상기 볼스크류의 회전에 의해 상하로 이동되는 평탄플레이트부를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 테스터프레임에는 회전된 상기 마더보드 고정플레이트를 진공 흡착 고정하는 역진공포트가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 마더보드 고정플레이트의 일측에는 후크가 형성되고, 상기 테스터프레임의 일측에는 상기 후크가 고정되는 고정후크를 갖는 역로커가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 마이크로스코프부는 상기 슬라이딩부재의 일측에 전후 이동가능하도록 결합되는 Y축이동레일과, 스코프 연결부재에 의해 상기 Y축이동레일과 연결되는 마이크로스코프를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인프레임 어셈블리는 상기 마더보드 고정플레이트에 축 연결되며 내설 된 리드스크류에 의해 이동되는 이동블록을 갖는 메인베이스와, 상기 이동블록에 연결되어 이동되는 균형추와, 상기 메인베이스의 일측에 결합 되어 상기 리드스크류을 회전시키는 균형추 구동모터가 구비된 하중균형모듈을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 검사장치.
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