KR20090077697A - Photomasks Used for Exposure - Google Patents

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KR20090077697A KR1020090001409A KR20090001409A KR20090077697A KR 20090077697 A KR20090077697 A KR 20090077697A KR 1020090001409 A KR1020090001409 A KR 1020090001409A KR 20090001409 A KR20090001409 A KR 20090001409A KR 20090077697 A KR20090077697 A KR 20090077697A
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Abstract

A photo mask capable of being usable for exposure is provided to reduce cost for material by forming a photo mask through separately created portions including force transmission region and pattern display region. Force is added to the periphery of a photo mask(1) of a film type and the photo mask is elastically transformed. A dimension or configuration of a pattern drawn on the photo mask is changed. The pattern has a plurality of position fitting marks(2). The pattern is imprinted on a substrate. The photo mask has a center portion(3) and a force transmission portion(4). The force transmission portion is created separately from the center portion. The force transmission portion is arranged so as to surround the periphery of the center portion. The force transmission portion includes a force adding unit and a connecting unit. The force adding unit elastically transforms the center portion.

Description

노광에 이용되는 포토마스크{PHOTOMASK FOR USE IN EXPOSURE}Photomask used for exposure {PHOTOMASK FOR USE IN EXPOSURE}

본 발명은, 필름형상의 포토마스크의 주연(周緣)에 힘을 가하여 상기 포토마스크를 탄성적으로 변형시킴으로써, 상기 포토마스크 상에 그려진, 복수의 위치맞춤마크를 포함하는 패턴의 치수 및/또는 형상을 바꾸고, 그에 따라 상기 포토마스크와 기판을 위치맞춤시킨 후에, 상기 패턴을 상기 기판상에 전사하는 노광방법에 이용되는 포토마스크에 관한 것이다.The present invention provides a dimension and / or shape of a pattern including a plurality of alignment marks drawn on the photomask by applying a force to the periphery of the film-like photomask to elastically deform the photomask. The present invention relates to a photomask for use in an exposure method for transferring the pattern onto the substrate after the photomask and the photomask and the substrate are positioned accordingly.

상술한 노광방법은 일본특허 제3402681호에 개시되어 있다. 도 5 및 도 6에 기초하여 그 원리를 설명한다. 도시한 바와 같이, 포토마스크(101)의 주위에는, 포토마스크(101)의 주연부에 인장력을 부여하기 위한 복수의 액추에이터(102)가 힘 부여수단으로서 설치되어 있다. 액추에이터(102)는 포토마스크(101)를 둘러싸도록 하여 베이스부재(103)에 부착되어 있다. 액추에이터(102)의 가동단부(104)에는 후크(105)가 형성되어 있다.The above-mentioned exposure method is disclosed in Japanese Patent No. 342681. The principle is explained based on FIG. 5 and FIG. As shown in the figure, around the photomask 101, a plurality of actuators 102 for imparting tensile force to the peripheral portion of the photomask 101 are provided as force applying means. The actuator 102 is attached to the base member 103 so as to surround the photomask 101. The hook 105 is formed in the movable end 104 of the actuator 102.

한편, 포토마스크(101)의 주연부에는 복수의 구멍(106; 긴 구멍)이 형성되어 있다. 구멍(106)은, 액추에이터(102)의 후크(105)를 수용하여 이것과 걸림결합하고, 힘 부여수단으로서의 액추에이터(102)의 인장력을 포토마스크(101)에 전달하는 연결부를 구성하고 있다.On the other hand, a plurality of holes 106 (long holes) are formed in the peripheral portion of the photomask 101. The hole 106 accommodates the hook 105 of the actuator 102 and engages with it, and constitutes a connecting portion for transmitting the tension force of the actuator 102 as a force applying means to the photomask 101.

포토마스크(101)의 평면성을 유지하기 위한 투명한 유리판(107)이 베이스부재(103)에 의해 지지되어 있다.A transparent glass plate 107 for maintaining the planarity of the photomask 101 is supported by the base member 103.

기판(108)이 포토마스크(101)에 대향하는 위치에 배치된다. 기판(108)은 기판지지부재(109) 상에 지지되어 있으며, 포토마스크(101)와의 사이의 틈새량이 가변으로 되어 있다.The substrate 108 is disposed at a position opposite the photomask 101. The substrate 108 is supported on the substrate supporting member 109, and the gap amount between the substrate 108 and the photomask 101 is variable.

포토마스크(101)의, 기판(108)과 반대측에는 CCD 카메라(110)가 배치되어 있다. CCD 카메라(110)는, 그 위치를 바꿀 수 있으며, 포토마스크(101) 상에 그려진 위치맞춤마크(111; 도 5)와 기판(108) 상에 그려진 위치맞춤마크(111; 도 8)를 동시에 판독할 수 있다. 또, 포토마스크(101) 상의 위치맞춤마크(111)간의 피치는, 기판(108) 상의 위치맞춤마크(116)간의 피치보다 약간 작아지도록 되어 있다.The CCD camera 110 is arrange | positioned on the opposite side to the board | substrate 108 of the photomask 101. FIG. The CCD camera 110 can change its position and simultaneously position alignment marks 111 (FIG. 5) drawn on the photomask 101 and alignment marks 111 (FIG. 8) drawn on the substrate 108 at the same time. Can be read. The pitch between the alignment marks 111 on the photomask 101 is slightly smaller than the pitch between the alignment marks 116 on the substrate 108.

도 5에서 2점쇄선(B)으로 둘러싼 포토마스크(101)의 영역은, 그 안에 위치맞춤마크(111)를 포함하는 패턴이 그려진 부분의 패턴표시영역(112)으로서 인식할 수 있다. 또한, 패턴표시영역(112)의 주위를 둘러싸는 포토마스크(101)의 영역은, 포토마스크(101)를 힘 부여수단으로서의 액추에이터(102)에 연결하여 힘을 전달하기 위한 영역인 힘 전달영역(113)으로서 인식할 수 있다.In FIG. 5, the area of the photomask 101 enclosed by the dashed-dotted lines B can be recognized as the pattern display area 112 of the portion where the pattern including the alignment mark 111 is drawn therein. In addition, the area of the photomask 101 surrounding the pattern display area 112 is a force transmission area that is an area for transmitting the force by connecting the photomask 101 to the actuator 102 as a force applying means ( 113).

포토마스크(101)와 기판(108)을 위치맞춤시키기 위해서는, 먼저 양쪽에 그려진 위치맞춤마크가 겹쳐진 상태를 CCD 카메라(110)로 판독하고, 위치편차량의 데이터에 기초하여 포토마스크(101) 또는 기판(108)을 이동시켜, 각 위치맞춤마크에서의 위치편차량을 평균화한다.In order to align the photomask 101 and the substrate 108, first, the state where the alignment marks drawn on both sides are overlapped is read by the CCD camera 110, and based on the data of the position deviation amount, the photomask 101 or The substrate 108 is moved to average the amount of positional deviation at each alignment mark.

이어서, 액추에이터(102)를 작동시켜 포토마스크(101)에 인장력을 부여함으로써, 위치맞춤마크(111)를 포함하는 패턴의 치수 및/또는 형상을 바꾸어, 포토마스크(101)의 위치맞춤마크(111)와 기판(108)의 위치맞춤마크(116)가 높은 정밀도로 서로 겹쳐지도록 한다.Subsequently, by actuating the actuator 102 to impart a tensile force to the photomask 101, the dimension and / or shape of the pattern including the alignment mark 111 is changed to place the alignment mark 111 of the photomask 101. ) And the alignment marks 116 of the substrate 108 overlap each other with high precision.

이와 같이 하여 포토마스크(101)와 기판(108)과의 위치맞춤이 종료하였다면, 포토마스크(101)를 통해 노광용 광(114; 도 6)을 기판(108)에 조사하고, 포토마스크(101)의 패턴표시영역(112) 내에 그려진 패턴을 기판(108) 상에 전사한다. 패턴은 높은 치수 정밀도 및 높은 위치맞춤 정밀도로 기판(108) 상에 전사된다. When the alignment between the photomask 101 and the substrate 108 is completed in this manner, the exposure light 114 (FIG. 6) is irradiated to the substrate 108 through the photomask 101, and the photomask 101 is provided. The pattern drawn in the pattern display area 112 is transferred onto the substrate 108. The pattern is transferred onto the substrate 108 with high dimensional accuracy and high positioning precision.

[특허문헌 1] 일본특허 제3402681호[Patent Document 1] Japanese Patent No. 3402681

상술한 노광방법에 이용되어 온 종래의 포토마스크는, 그 이전에 이용되던 포토마스크보다 필연적으로 커야만 했다. 패턴이 그려지는 부분의 패턴표시영역(112)의 주위에, 힘 전달영역(113)을 형성할 필요가 있기 때문이다. 노광시에 포토마스크의 외주연을 단순히 지지하기만 한다면, 패턴표시영역(112)의 주위에 폭이 좁은 「지지용 영역」을 형성하면 된다. 그러나, 힘 부여수단을 연결하게 되면, 연결용 구멍을 형성할 필요가 있을 뿐만 아니라, 각각의 액추에이터의 인장력에 의한 포토마스크의 국소적 왜곡이 패턴에 직접 영향을 미치지 않도록 하기 위해서, 힘 전달영역(113)의 폭을 상당히 크게 취해야 한다. 그 결과, 고가의 재료로 구성되는 포토마스크를 크게 할 수 밖에 없다.The conventional photomask used in the above-mentioned exposure method had to be inevitably larger than the photomask used before. This is because the force transmission area 113 needs to be formed around the pattern display area 112 in the portion where the pattern is drawn. As long as the outer periphery of the photomask is simply supported at the time of exposure, a narrow "supporting area" may be formed around the pattern display area 112. However, when connecting the force applying means, it is not only necessary to form a connection hole, but also in order that the local distortion of the photomask due to the tensile force of each actuator does not directly affect the pattern, The width of 113 should be taken fairly large. As a result, the photomask which consists of expensive materials is inevitably enlarged.

종래의 포토마스크(101)의 크기와 그 이전의 포토마스크의 크기를 도 7에서 비교해 본다. 2점쇄선(B)으로 둘러싸인 패턴표시영역(112)의 면적에 대해, 종래의 포토마스크(101)의 면적은 약 2.6배이지만, 2점쇄선(C)으로 나타낸 그 이전의 포토마스크의 면적은 패턴표시영역(112)의 약 1.6배였다. 이것은, 패턴표시영역(112) 주위의 영역이, 종래의 포토마스크(101)에서는 힘 전달영역(113)을 크게 할 수 밖에 없는데 반해, 그 이전의 포토마스크에서는 작은 지지용 영역(115)으로도 무방하였기 때문이다.The size of the conventional photomask 101 and the size of the previous photomask are compared in FIG. 7. The area of the conventional photomask 101 is about 2.6 times the area of the pattern display area 112 surrounded by the double-dotted lines B, but the area of the previous photomask indicated by the double-dotted lines C is It was about 1.6 times the pattern display area 112. This is because the area around the pattern display area 112 can only increase the force transmission area 113 in the conventional photomask 101, whereas in the previous photomask, even the small support area 115 can be used. Because it was okay.

도 8은, 포토마스크에 대향되어 배치되는 기판(108)과 그 위에 형성된 위치맞춤마크(116)를 나타낸 평면도이다. 포토마스크와 기판(108)을 위치맞춤시킨 후, 포토마스크 상에 그려진 패턴이 노광에 의해 기판(108) 상에 전사된다. 기판(108)에 비해, 포토마스크(101)는 약 2.5배 이상의 크기를 가지는데, 그 절반 이상은 고가인 포토마스크 재료로 작성될 필요성이 없는 힘 전달영역(113)이다.FIG. 8 is a plan view showing the substrate 108 arranged opposite to the photomask and the alignment mark 116 formed thereon. After aligning the photomask and the substrate 108, the pattern drawn on the photomask is transferred onto the substrate 108 by exposure. Compared to the substrate 108, the photomask 101 is about 2.5 times or more in size, more than half of which is a force transmission region 113 without the need to be made of expensive photomask material.

포토마스크가 커짐에 따라 초래되는 문제점은, 포토마스크 제작비의 증대만이 아니다. 커다란 포토마스크는 현상태의 포토마스크 묘화장치로는 대응할 수 없기 때문이다. 대응가능한 묘화장치를 구하기 위해서, 새로운 설비투자가 필요하게 된다.The problem caused by the increase of the photomask is not only an increase in the manufacturing cost of the photomask. This is because large photomasks cannot be handled with the photomask drawing apparatus in the present state. In order to obtain a corresponding drawing device, new equipment investment is required.

따라서, 본 발명의 과제는 힘 전달영역을 포함하는 부분과 패턴표시영역을 포함하는 중앙부분을 별개로 작성한 후에 접합하여 포토마스크를 형성함으로써, 재료비의 절감 및 새로운 설비투자의 회피에 대한 가능성을 불러일으키는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to create a photomask by separately forming a portion including a force transmission region and a central portion including a pattern display region, thereby bringing about the possibility of reducing material costs and avoiding new equipment investment. It's about raising

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따르면, 필름형상의 포토마스크의 주연에 힘을 가하여 상기 포토마스크를 탄성적으로 변형시킴으로써, 상기 포토마스크 상에 그려진, 복수의 위치맞춤마크를 포함하는 패턴의 치수 및/또는 형상을 바꾸고, 그에 따라 상기 포토마스크와 기판을 위치맞춤시킨 후에 상기 패턴을 상기 기판 상에 전사하는 노광에 이용되는 포토마스크로서,In order to solve the above problems, according to the present invention, by applying a force to the periphery of the film-shaped photomask to elastically deform the photomask, the pattern comprising a plurality of alignment marks drawn on the photomask A photomask used for exposure for changing a dimension and / or shape, thereby aligning the photomask and a substrate, and then transferring the pattern onto the substrate,

상기 패턴이 그려진 중앙부분과,A central portion where the pattern is drawn,

상기 중앙부분과는 별개로 작성되어, 전체적으로 상기 중앙부분의 외주연부를 둘러싸도록 배치되며 또한 상기 중앙부분의 외주연부에 접합된 힘 전달부분으로 하여, 상기 중앙부분을 탄성적으로 변형시키기 위한 힘 부여수단과 연결하기 위한 연결부를 가지는 힘 전달부분을 구비하여 이루어진 포토마스크가 제공된다.Separately from the center portion, and arranged to surround the outer periphery of the central portion as a whole, as a force transmission portion bonded to the outer periphery of the central portion, imparting force for elastically deforming the central portion A photomask is provided having a force transmission portion having a connection for connecting with the means.

상기 힘 전달부분을, 상기 중앙부분의 각 변마다 개별적으로 작성된 복수의 띠형상 부재로 이루어진 것으로 하고, 상기 띠형상 부재를 상기 중앙부분의 각 변마다 접합함으로써 포토마스크를 형성해도 된다.The said force transmission part may consist of several strip | belt-shaped member created individually for each side of the said center part, and you may form a photomask by joining the strip | belt-shaped member for each side of the said center part.

혹은 또, 상기 힘 전달부분을 단일 액자형상부재로서 작성하고, 상기 액자형상부재를 상기 중앙부분에 접합함으로써 포토마스크를 형성해도 된다.Alternatively, a photomask may be formed by creating the force transmission portion as a single frame member and joining the frame member to the center portion.

혹은 또, 상기 힘 전달부분을, 상기 중앙부분의 서로 인접하는 2개의 변마다 작성된 한 쌍의 L자형상 부재로 이루어진 것으로 하여, 상기 한 쌍의 L자형상 부재를 상기 중앙부분에 접함함으로써 포토마스크를 형성해도 된다.Alternatively, a photomask is formed by contacting the pair of L-shaped members with the central portion, wherein the force transmission portion is composed of a pair of L-shaped members created for each of two adjacent sides of the central portion. You may form.

상기 중앙부분 및 상기 힘 전달부분은, 서로 가장자리 단면을 대면시킨 상태에서, 상기 대면부의 적어도 한쪽면측에 점착테이프를 붙임으로써 서로 접합할 수 있다.The center portion and the force transmission portion can be joined to each other by attaching an adhesive tape to at least one side of the facing portion in a state where the edge cross sections face each other.

상기 연결부는, 힘 부여수단으로서의 액추에이터의 가동단부에 형성된 후크를 걸기 위한 복수의 구멍을 구성할 수 있다.The connecting portion may constitute a plurality of holes for hooking formed in the movable end of the actuator as the force imparting means.

상기 힘 전달부분은, 상기 중앙부분을 구성하는 재료와 동등한 영계수(young modulus)를 가지는 재료로 구성할 수 있다.The force transmission portion may be made of a material having a young modulus equivalent to the material constituting the central portion.

본 발명의 포토마스크에 따르면, 패턴이 그려진 중앙부분과, 중앙부분의 주위에 있어서, 중앙부분을 탄성적으로 변형시키는 힘을 전달하는 힘 전달부분이 별개로 작성되므로, 힘 전달부분을 고가의 포토마스크 재료로 만들 필요는 없고, 보 다 염가의 재료로 구성할 수 있다. 이에 따라, 고가의 포토마스크 재료를 사용하는 부분이 적어져, 포토마스크 전체로서의 제작비를 저감시킬 수 있다.According to the photomask of the present invention, since a force transmission portion for transmitting a force for elastically deforming the central portion is separately created around the central portion on which the pattern is drawn and the central portion, the force transmission portion is expensive. It does not need to be made of a mask material, but can be made of a more inexpensive material. Thereby, the part using expensive photomask material becomes few, and the manufacturing cost as a whole photomask can be reduced.

또한, 포토마스크에 패턴을 그릴 경우에는, 힘 전달부분과는 분리된 상태의 중앙부분만을 묘화장치에 세팅하면 된다. 중앙부분은 현상태의 묘화장치로 대응할 수 있는 크기이므로, 새로운 설비투자는 필요없다.In addition, when drawing a pattern on a photomask, only the center part of the state separated from the force transmission part may be set in the drawing apparatus. Since the central part can cope with the current drawing apparatus, no new equipment investment is required.

더욱이, 힘 전달부분을, 중앙부분을 구성하는 재료와 동등한 영계수를 가지는 재료로 구성한 경우에는, 힘 전달부분이 중앙부분과 같게 연장되므로, 2개의 다른 부재를 접합한 구조라도 전체적으로 비틀리거나 왜곡되는 경우가 없다.Moreover, when the force transmission portion is composed of a material having a Young's modulus equal to the material constituting the center portion, the force transmission portion extends in the same way as the center portion. There is no.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 포토마스크(1)의 평면도이다. 포토마스크(1)는, 복수의 위치맞춤마크(2)를 포함하는 패턴이 그려진 중앙부분(3)과, 전체적으로 중앙부분(3)의 외주연부를 둘러싸도록 배치된 힘 전달부분(4)을 구비한다. 힘 전달부분(4)은, 중앙부분(3)과는 별개로 작성된다.1 is a plan view of a photomask 1 according to an embodiment of the present invention. The photomask 1 has a central portion 3 on which a pattern including a plurality of alignment marks 2 is drawn, and a force transmission portion 4 arranged to surround the outer periphery of the central portion 3 as a whole. do. The force transmission part 4 is created separately from the center part 3.

중앙부분(3)은, 2점쇄선(D)으로 둘러싼 영역, 즉 그 안에 패턴이 그려지는 부분의 패턴표시영역(5)과, 그 주위를 둘러싸는 부착용 영역(6)으로 구분할 수 있다. 중앙부분(3)은, 종래의 포토마스크를 형성하는 재료와 동일하거나 또는 동등한 재료로 구성된다.The central portion 3 can be divided into a region surrounded by the double-dotted line D, that is, a pattern display region 5 of a portion where a pattern is drawn, and an attaching region 6 surrounding the periphery thereof. The central portion 3 is made of the same or equivalent material as that of the conventional photomask.

상기 실시형태에 있어서, 힘 전달부분(4)은 도 2에 나타낸 바와 같이, 중앙부분(3)의 각 변마다 개별적으로 작성된 4개의 띠형상 부재(4a-4d)로 이루어진다. 각각의 띠형상 부재(4a-4d)는 중앙부분(3)의 각 변마다 접합된다.In the above embodiment, the force transmission portion 4 is composed of four belt-shaped members 4a-4d separately created for each side of the central portion 3, as shown in FIG. Each strip-shaped member 4a-4d is joined to each side of the central portion 3.

접합시에는, 중앙부분(3)의 부착용 영역(6)의 외주연 단면과 이에 대향하는 각 띠형상 부재(4a-4d)의 가장자리 단면을 대향시킨 상태로 하고, 양쪽의 가장자리 단면을 따라 점착테이프(7; 도 1)를 접착시킨다. 점착테이프(7)는, 가장자리 단면의 대면부의 한쪽측면에만 붙여도 되고, 양면에 붙여도 된다. 양쪽의 가장자리 단면은 서로 접촉시켜도 되고, 근접시키도록 해도 된다. 또한, 점착테이프(7) 대신에, 또는 점착테이프(7)와 함께 중앙부분(3)의 부착용 영역(6)의 외주연 단면 및 이에 대향하는 각 띠형상부재(4a-4d)의 가장자리 단면 사이에 잡착제를 도포해도 된다. 다른 적당한 기계적 접합수단을 이용해도 된다. 접합치수 정밀도를 높게 하기 위해 지그를 사용하는 것이 바람직하다.At the time of joining, the outer peripheral end surface of the attachment area 6 of the center part 3 and the edge end surface of each strip | belt-shaped member 4a-4d opposing it faced, and the adhesive tape along both edge end surfaces. (7; Fig. 1) is bonded. The adhesive tape 7 may be pasted only on one side of the facing portion of the edge end face, or may be pasted on both sides. Both edge sections may be in contact with each other or may be in close proximity. Further, instead of the adhesive tape 7 or together with the adhesive tape 7, between the outer circumferential end face of the attaching region 6 of the central portion 3 and the edge end face of each band-shaped member 4a-4d opposite thereto. You may apply an adhesive agent to it. Other suitable mechanical joining means may be used. It is preferable to use a jig in order to increase the joining precision.

각 띠형상 부재(4a-4d)에는, 힘 부여수단으로서의 액추에이터의 가동단부에 형성된 후크(도시생략)를 걸기 위한 복수의 구멍(8; 긴 구멍)이 형성되어 있다. 이들 구멍(8)은 중앙부분(3)을 그 내면에서 탄성적으로 변형시키기 위한 힘 부여수단과 연결하기 위한 연결부를 구성한다.Each strip | belt-shaped member 4a-4d is formed with the some hole 8 (long hole) for engaging the hook (not shown) formed in the movable end of the actuator as a force provision means. These holes 8 constitute a connection for connecting the central portion 3 with the force imparting means for elastically deforming on its inner surface.

다른 연결부의 양태로서는, 힘 부여수단의 가동단부와 서로 걸림결합하여 힘을 전달할 수 있도록 각 띠형상부재(4a-4d)에 형성된 요철형상부(도시생략) 등을 들 수 있다.As an aspect of another connection part, the uneven | corrugated part (not shown) etc. which were formed in each strip | belt-shaped member 4a-4d so that it may be mutually engaged with the movable end part of a force provision means can be mentioned.

힘 전달부분(4)에는 패턴이 그려지지 않는다. 따라서, 힘 전달부분(4)을 중앙부분(3)과 같도록 고가의 포토마스크 재료로 구성할 필요는 없다. 보다 염가인 재료를 채용할 수 있다. 구체적으로는 중앙부분(3)은 통상의 포토마스크 재료인, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트)에 감광재를 도포한 것으로 작성되며, 힘 전달부 분(4)은 감광재를 도포하지 않은 상태의 PET로 작성하면 된다. 양자의 영률은 실질적으로 동일하므로, 장력이 가해졌을 때에 동일한 신장을 한다. 따라서, 다른 부재를 접합한 구조임에도 불구하고, 인장하였을 때에 비틀림이나 왜곡이 생기지 않는다. 또, 힘 전달부분(4)에 이용되는 PET재는, 감광재를 도포하지 않아도 될 뿐만 아니라, 중앙부분(3)에 이용되는 PET재와 같이 「결함 없음」이 요구되지 않으므로, 그 점에서도 염가이다.No pattern is drawn in the force transmission portion 4. Thus, the force transmission portion 4 need not be constructed of expensive photomask material to be the same as the central portion 3. More inexpensive materials can be employed. Specifically, the center portion 3 is made of a photosensitive material coated on PET (polyethylene terephthalate), which is a conventional photomask material, and the force transmission part 4 is PET without a photosensitive material applied. Just write Since the Young's modulus of the two is substantially the same, when the tension is applied, the same extension. Therefore, despite the structure in which the other members are joined, no twisting or distortion occurs when it is stretched. Moreover, PET material used for the force transmission part 4 does not need to apply a photosensitive material, and it is inexpensive also in that it does not require "defect-free" like the PET material used for the center part 3. .

도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 포토마스크(11)의 평면도이다. 포토마스크(11)는, 복수의 위치맞춤마크(2)를 포함하는 패턴이 그려진 중앙부분(3)과, 전체적으로 중앙부분(3)의 외주연부를 둘러싸도록 배치된 힘 전달부분(14)을 구비한다. 힘 전달부분(14)은 중앙부분(3)과는 별개로 작성된다.3 is a plan view of a photomask 11 according to another embodiment of the present invention. The photomask 11 has a central portion 3 on which a pattern including a plurality of alignment marks 2 is drawn, and a force transmission portion 14 arranged to surround the outer periphery of the central portion 3 as a whole. do. The force transmission portion 14 is created separately from the central portion 3.

상기 실시형태에 있어서는, 힘 전달부분(14)은 도 4에 나타낸 바와 같이 단일 액자형상부재로서 작성된다. 힘 전달부분(14)의 내주연부의 치수 및 형상은, 힘 전달부분(14)과 중앙부분(3)을 맞추었을 때에, 힘 전달부분(14)의 내주연부가 구획을 형성하는 공간내에 중앙부분(3)의 외주연부가 딱 끼워지도록 결정된다.In the above embodiment, the force transmission portion 14 is created as a single picture frame member as shown in FIG. 4. The dimension and shape of the inner circumferential edge of the force transmission portion 14 are centered in the space where the inner circumference of the force transmission portion 14 forms a compartment when the force transmission portion 14 and the center portion 3 are aligned. The outer periphery of (3) is determined to fit snugly.

도 3에 나타낸 바와 같이, 액자형상의 힘 전달부분(14)의 공간내에 중앙부분(3)이 끼워지는 상태로 한 후, 점착테이프(7)로 힘 전달부분(14) 및 중앙부분(3)의 양쪽을 서로 접합한다. 접합 및 힘 전달부분(14)을 구성하는 재료에 대해서는, 도 1 및 도 2의 실시형태에 관하여 설명한 바와 같이, 다양한 수단을 선택할 수 있다.As shown in FIG. 3, after the center portion 3 is fitted into the space of the frame-shaped force transmission portion 14, the pressure transmission portion 14 and the central portion 3 of the force transmission portion 14 are attached to the adhesive tape 7. Join both sides together. As for the material constituting the bonding and force transmission portion 14, various means can be selected as described with respect to the embodiments of FIGS. 1 and 2.

또 다른 실시형태(도시생략)에 있어서는, 힘 전달부분이 중앙부분의 서로 인 접하는 2개의 변마다 작성된 한 쌍의 L자형 부재로 이루어진다. 한 쌍의 L자형 부재는 서로 조합시킴으로써 중앙부분의 외주연부를 둘러싸는 치수 및 형상이 된다. 힘 전달부분과 중앙부분과의 접합 및 힘 전달부분을 구성하는 재료에 대해서는 다른 실시형태의 경우와 마찬가지이다.In still another embodiment (not shown), the force transmission portion consists of a pair of L-shaped members created for each of the two adjacent sides of the central portion. The pair of L-shaped members are combined with each other to have dimensions and shapes surrounding the outer periphery of the central portion. The material constituting the joint and the force transmission portion between the force transmission portion and the center portion is the same as in the case of other embodiments.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 포토마스크의 평면도이다.1 is a plan view of a photomask according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 포토마스크의 구성요소를 접합하기 전의 상태를 나타낸 분해 평면도이다.FIG. 2 is an exploded plan view illustrating a state before bonding the components of the photomask of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 포토마스크의 평면도이다.3 is a plan view of a photomask according to another embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 포토마스크를 형성하기 전의 힘 전달부분을 나타낸 분해 평면도이다.4 is an exploded plan view illustrating a force transmission part before forming the photomask of FIG. 3.

도 5는 종래의 포토마스크를 힘 부여수단과 조합하여 나타낸 평면도이다.5 is a plan view showing a conventional photomask in combination with a force applying means.

도 6은 도 5의 포토마스크 및 힘 부여수단을 기판과 함께 나타낸 종단면도이며, 도 5에서의 Ⅵ-Ⅵ선 단면 부분의 도면에 상당한다.FIG. 6 is a longitudinal cross-sectional view showing the photomask and the force applying means of FIG. 5 together with the substrate, and correspond to the view of the section VI-VI in FIG. 5.

도 7은 종래의 포토마스크와 그 이전의 포토마스크의 크기를 비교하기 위한 평면도이다.7 is a plan view for comparing the size of a conventional photomask and the previous photomask.

도 8은 기판을 그 위에 그려진 위치맞춤마크와 함께 나타낸 평면도이다.8 is a plan view showing a substrate with alignment marks drawn thereon;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 포토마스크 2 : 포토마스크의 위치맞춤마크1: photo mask 2: alignment mark of the photo mask

3 : 중앙부분 4 : 힘 전달부분3: center part 4: force transmission part

5 : 패턴표시영역 6 : 부착용 영역5: Pattern display area 6: Attachment area

7 : 점착테이프 8 : 구멍(연결부)7: adhesive tape 8: hole (connection)

11 : 포토마스크 14 : 힘 전달부분11: photomask 14: power transmission portion

101 : 포토마스크 102 : 액추에이터(힘 부여수단)101: photomask 102: actuator (force applying means)

103 : 베이스부재 104 : 가동단부103: base member 104: movable end

105 : 후크 106 : 구멍105: hook 106: hole

107 : 유리판 108 : 기판107: glass plate 108: substrate

109 : 기판지지부재 110 : CCD 카메라109: substrate support member 110: CCD camera

111 : 포토마스크의 위치맞춤마크 112 : 패턴표시영역 111: alignment mark of the photomask 112: pattern display area

113 : 힘 전달영역 114 : 광113: power transmission area 114: light

115 : 지지용 영역 116 : 기판의 위치맞춤마크115: support area 116: alignment mark of the substrate

Claims (7)

필름형상의 포토마스크의 주연(周緣)에 힘을 가하여 상기 포토마스크를 탄성적으로 변형시킴으로써, 상기 포토마스크 상에 그려진, 복수의 위치맞춤마크를 포함하는 패턴의 치수 및/또는 형상을 바꾸고, 그에 따라 상기 포토마스크와 기판을 위치맞춤시킨 후에, 상기 패턴을 상기 기판 상에 전사하는 노광에 이용되는 포토마스크로서,By applying a force to the periphery of the film-like photomask to elastically deform the photomask, the dimensions and / or shapes of the pattern including a plurality of alignment marks drawn on the photomask are changed, and A photomask used for exposure for transferring the pattern onto the substrate after aligning the photomask with the substrate, 상기 패턴이 그려진 중앙부분과,A central portion where the pattern is drawn, 상기 중앙부분과는 별개로 작성되어, 전체적으로 상기 중앙부분의 외주연부를 둘러싸도록 배치되며 또한 상기 중앙부분의 외주연부에 접합된 힘 전달부분으로 하여, 상기 중앙부분을 탄성적으로 변형시키기 위한 힘 부여수단과 연결하기 위한 연결부를 가지는 힘 전달부분을 구비하여 이루어진 포토마스크.Separately from the center portion, and arranged to surround the outer periphery of the central portion as a whole, as a force transmission portion bonded to the outer periphery of the central portion, imparting force for elastically deforming the central portion A photomask comprising a force transmission portion having a connection for connecting with the means. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 힘 전달부분이, 상기 중앙부분의 각 변마다 개별적으로 작성된 복수의 띠형상 부재로 이루어지며, 상기 띠형상 부재가 상기 중앙부분의 각 변마다 접합되어 있는 포토마스크.A photomask in which the force transmission portion is composed of a plurality of strip-shaped members individually created for each side of the central portion, and the strip-shaped member is joined to each side of the central portion. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 힘 전달부분이, 단일 액자형상부재로서 작성되며, 상기 액자형상부재가 상기 중앙부분에 접합되어 있는 포토마스크.A photomask in which said force transmission portion is created as a single picture frame member, and said picture frame member is joined to said central portion. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 힘 전달부분이, 상기 중앙부분의 서로 인접하는 2개의 변마다 작성된 한 쌍의 L자형상 부재로 이루어지며, 상기 한 쌍의 L자형상 부재가 상기 중앙부분에 접합되어 있는 포토마스크.A photomask in which said force transmission portion is composed of a pair of L-shaped members created for each of two adjacent sides of said central portion, and said pair of L-shaped members are joined to said central portion. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 중앙부분 및 상기 힘 전달부분은, 서로의 가장자리 단면을 대면시킨 상태에서, 상기 대면부의 적어도 한쪽면측에 점착테이프를 붙임으로써 서로 접합되어 있는 포토마스크.A photomask in which the center portion and the force transmission portion are joined to each other by attaching an adhesive tape to at least one side of the facing portion in a state where the edge sections of the facing portion face each other. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 연결부가, 힘 부여수단으로서의 액추에이터의 가동단부에 형성된 후크를 걸기 위한 복수의 구멍을 구성하고 있는 포토마스크.A photomask in which said connecting portion constitutes a plurality of holes for engaging a hook formed in the movable end of the actuator as a force applying means. 필름형상의 포토마스크의 주연에 힘을 가하여 상기 포토마스크를 탄성적으로 변형시킴으로써, 상기 포토마스크 상에 그려진, 복수의 위치맞춤마크를 포함하는 패턴의 치수 및/또는 형상을 바꾸고, 그에 따라 상기 포토마스크와 기판을 위치맞춤시킨 후에, 상기 패턴을 상기 기판 상에 전사하는 노광에 이용되는 포토마스크로 서,By applying a force to the periphery of the film-like photomask to elastically deform the photomask, the dimensions and / or shapes of the pattern including a plurality of alignment marks drawn on the photomask are changed, and accordingly After positioning the mask and the substrate, as a photomask used for the exposure to transfer the pattern on the substrate, 상기 패턴이 그려진 중앙부분과,A central portion where the pattern is drawn, 상기 중앙부분과는 별개로 작성되어, 전체적으로 상기 중앙부분의 외주연부를 둘러싸도록 배치되며 또한 상기 중앙부분의 외주연부에 접합된 힘 전달부분으로 하여, 상기 중앙부분을 탄성적으로 변형시키기 위한 힘 부여수단과 연결하기 위한 연결부를 가지는 힘 전달부분을 구비하고,Separately from the center portion, and arranged to surround the outer periphery of the central portion as a whole, as a force transmission portion bonded to the outer periphery of the central portion, imparting force for elastically deforming the central portion A force transmission portion having a connection for connecting with the means, 상기 중앙부분 및 상기 힘 전달부는, 서로의 가장자리 단면을 대면시킨 상태에서, 상기 대면부의 적어도 한쪽면측에 점착테이프를 붙임으로써 서로 접합되어 있으며, The center portion and the force transmission portion are joined to each other by attaching an adhesive tape to at least one surface side of the facing portion in a state where the edge sections of the facing portions face each other, 상기 연결부가, 힘 부여수단으로서의 액추에이터의 가동단부에 형성된 후크를 걸기 위한 복수의 구멍을 구성하고 있는 포토마스크.A photomask in which said connecting portion constitutes a plurality of holes for engaging a hook formed in the movable end of the actuator as a force applying means.
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