KR20120046734A - 초박판 유리 기판의 제조 방법 - Google Patents

초박판 유리 기판의 제조 방법 Download PDF

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KR20120046734A
KR20120046734A KR20127003279A KR20127003279A KR20120046734A KR 20120046734 A KR20120046734 A KR 20120046734A KR 20127003279 A KR20127003279 A KR 20127003279A KR 20127003279 A KR20127003279 A KR 20127003279A KR 20120046734 A KR20120046734 A KR 20120046734A
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유따까 구로이와
세이끼 오하라
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 유리 기판의 프리폼을 보유 지지하면서 제조 라인에 공급하는 공급 공정과, 상기 공급 공정으로부터 공급된 상기 프리폼을 연화점 근방까지 가열하는 가열 공정과, 상기 가열 공정에서 연화된 프리폼을 연신시켜 초박판 유리 기판으로 하는 연신 공정을 구비하는 초박판 유리 기판의 제조 방법에 있어서, 상기 프리폼이 롤 직경 100mm 내지 1500mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 감겨진, 두께 Tp=20㎛ 내지 250㎛, 폭 Wp=10mm 내지 2000mm, 길이=1m 내지 5000m이고, 상기 연신 공정에 의해 제조되는 초박판 유리 기판이 두께 Tg=2㎛ 내지 50㎛, 폭 Wg=0.3mm 내지 500mm, 길이=5m 내지 500000m이고, 상기 연신 공정에 의한 상기 프리폼의 두께 방향의 축소율을 Tg/Tp, 폭 방향의 축소율을 Wg/Wp로 하면, Tg/Tp=1/125 내지 1/2, Wg/Wp=1/125 내지 1로 되는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

초박판 유리 기판의 제조 방법 {METHOD FOR MANUFACTURING ULTRA-THIN GLASS SUBSTRATE}
본 기술은 표시 장치, 전자 페이퍼, 터치 패널, 반도체 집적 회로, MEMS, 유기 EL 조명 장치 등의 제조에 사용되는, 두께 50㎛ 이하의 초박판 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
두께가 1mm 이하인 박판 유리 기판의 제조 방법은 플로트법, 퓨전법, 슬롯 다운드로우법, 리드로우법이 이용되어 왔다.
플로트법은 용융 주석 상에 용융 유리를 부유시켜 용융 유리의 폭 방향 양단부를 보유 지지하면서 용융 유리의 폭을 넓혀 유리 기판을 제조한다. 그러나, 용융 주석 상에서의 용융 유리의 평형 두께는 4mm 초과이며, 두께가 4mm 이하인 박판 유리 기판을 제조하기 위해서는 용융 유리의 폭 방향 양단부를 더 강하게 인장하여 용융 유리의 폭을 더 확장할 필요가 있기 때문에, 박판 유리 기판 전체의 두께를 균일하게 하는 것은 극히 곤란하다. 플로트법에 의한 박판 유리 기판의 두께의 한계는 0.3mm 정도이다.
퓨전법은 용융 유리를 통에 쏟아 붓고, 통으로부터 용융 유리를 넘쳐 흐르게 하여 통 하방에서 일체화된 용융 유리를 끌어 내리면서 박판 유리 기판을 제조한다. 박판 유리 기판을 제조하기 위해서는 용융 유리를 끌어 내리는 장력과 용융 유리를 보유 지지하는 가로 방향에의 장력을 밸런스 좋게 조정시킬 필요가 있다. 상기 밸런스가 나쁘면, 판 두께 편차가 커서 굴곡이 있는 박판 유리 기판으로 된다. 퓨전법에 의한 박판 유리 기판의 두께의 한계는 50㎛ 정도이다.
슬롯 다운드로우법은 용융 유리를 통에 쏟아 붓고, 통의 바닥에 형성된 슬롯으로부터 나오는 용융 유리를 냉각하면서 중력 및 하방에의 장력에 의해 끌어 내리면서 박판 유리 기판을 제조한다. 끌어 내리는 공정에서의 온도 영역은, 저점성의 온도 영역부터 고체에 가까운 온도 영역까지 미치기 때문에, 그러한 넓은 온도 영역에서 박판 유리 기판의 변형을 제어하는 것은 곤란하다. 슬롯 다운드로우법에 의한 박판 유리 기판의 두께의 한계는 0.1mm 정도이다. 또한, 박판 유리 기판의 표면은 슬롯에 접촉하기 때문에, 슬롯의 형상이나 재질의 영향을 받기 쉽다. 따라서, 박판 유리 기판의 표면 품질이 나빠지기 쉽다고 하는 결점이 있다.
리드로우법은 유리 기판을 수직으로 보유 지지하면서 하방으로 보내고, 하방으로 보내진 유리 기판의 하단부를 전기로 등의 가열 공정에서 연화점 근방까지 가열하고, 연화된 유리 기판을 하방으로 연신시킴으로써 박판 유리 기판을 제조한다. 박판 유리 기판의 단면은 가열 전의 유리 기판(이하, 「프리폼」이라고 함)의 유사형으로 되므로, 프리폼의 치수 정밀도를 높게 함으로써 박판 유리 기판도 높은 치수 정밀도로 제조하는 것이 가능하다.
리드로우법의 제조 방법으로서는 1매의 프리폼을 가열 및 연신하여 초박판 유리 기판을 제조하는 방법이 특허문헌 1에 기재되어 있다.
일본 특허 공표 제2008-508179호 공보
「유리 공학 핸드북」, 아사꾸라 서점, 1999년, P419
최근, 전자 디바이스를 효율적으로 양산하기 위하여, 긴 박판 유리 기판을 롤 형상으로 권취하여 후속 공정(고객을 포함함)에 공급하는 것이 고려되고 있다.
그러나, 특허문헌 1에서의 제조 방법은 배치식을 채용하고 있어, 프리폼의 길이에 따라 제조되는 초박판 유리 기판의 길이가 제한된다. 예를 들어, 길이 1m, 두께 0.1mm의 프리폼을 두께 10㎛의 초박판 유리 기판으로 연신시킨 경우, 프리폼의 폭 방향의 단면 형상의 유사비를 10:1로 하면, 길이 100m의 초박판 유리 기판을 제조하는 것이 한계이며, 긴 초박판 유리 기판을 제조하는 것은 불가능하다.
또한, 비특허문헌 1에서의 제조 방법은 가열 공정 투입 전의 인접하는 프리폼의 상단부와 하단부를 버너 등으로 가열 접합하고, 가열 접합된 프리폼을 가열 및 연신시킴으로써 긴 초박판 유리 기판을 제조하고 있다. 그러나, 판 두께가 얇은 프리폼의 단부끼리를 가열 접합한 경우, 프리폼 단부에의 부분 가열에 의해 프리폼 단부의 파손이나 변형이 발생할 우려가 있다. 또한, 프리폼 단부끼리의 위치 정렬이나 버너 등에 의한 가열 조건을 최적화하여도 위치 정렬이나 가열 접합을 위한 공정 시간이 필요하게 되어 생산성이 저하된다.
본 발명자는 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 검토를 거듭하여 본 발명을 완성하였다.
즉, 본 발명은 이하의 (1) 내지 (7)에 관한 것이다.
(1) 유리 기판의 프리폼을 보유 지지하면서 제조 라인에 공급하는 공급 공정과, 상기 공급 공정으로부터 공급된 상기 프리폼을 연화점 근방까지 가열하는 가열 공정과, 상기 가열 공정에서 연화된 프리폼을 연신시켜 초박판 유리 기판으로 하는 연신 공정을 구비하는 초박판 유리 기판의 제조 방법에 있어서, 상기 프리폼이 롤 직경 100mm 내지 1500mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 감겨진, 두께 Tp=20㎛ 내지 250㎛, 폭 Wp=10mm 내지 2000mm, 길이=1m 내지 5000m이고, 상기 연신 공정에 의해 제조되는 초박판 유리 기판이 두께 Tg=2㎛ 내지 50㎛, 폭 Wg=0.3mm 내지 500mm, 길이=5m 내지 500000m이고, 상기 연신 공정에 의한 상기 프리폼의 두께 방향의 축소율을 Tg/Tp, 폭 방향의 축소율을 Wg/Wp로 하면, Tg/Tp=1/125 내지 1/2, Wg/Wp=1/125 내지 1로 되는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
(2) 상기 프리폼은 상기 프리폼의 편면 또는 양면에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제1 보호 시트를 겹쳐 상기 제1 권취 롤에 감겨져 있고, 상기 가열 공정에 상기 프리폼을 투입하기 전에 상기 제1 보호 시트를 상기 프리폼으로부터 박리하는 보호 시트 박리 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는, (1)에 기재된 초박판 유리 기판의 제조 방법.
(3) 상기 연신 공정은 1개 또는 한 쌍의 연신 롤로 연신하는 공정이고, 상기 가열 공정 후의 상기 초박판 유리 기판을 1개의 연신 롤에 접촉시키면서 상기 초박판 유리 기판을 인장하거나, 또는 상기 가열 공정 후의 상기 초박판 유리 기판을 한 쌍의 연신 롤로 파지하면서 상기 초박판 유리 기판을 인장하는 것을 특징으로 하는, (1) 또는 (2)에 기재된 초박판 유리 기판의 제조 방법.
(4) 상기 가열 공정은 상기 연화된 프리폼의 폭 방향 양단부를 파지 롤로 파지하는 것을 특징으로 하는, (1) 내지 (3) 중 어느 한 항에 기재된 초박판 유리 기판의 제조 방법.
(5) 상기 연신 공정 후, 상기 초박판 유리 기판을 롤 직경 50mm 내지 2000mm의 원통 형상의 제2 권취 롤에 권취하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는, (1) 내지 (4) 중 어느 한 항에 기재된 초박판 유리 기판의 제조 방법.
(6) 상기 연신 공정에서, 상기 연신 롤과 상기 초박판 유리 기판의 사이에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제2 보호 시트를 삽입시키는 것을 특징으로 하는, (3) 내지 (5) 중 어느 한 항에 기재된 초박판 유리 기판의 제조 방법.
(7) 상기 연신 공정 후, 상기 초박판 유리 기판의 편면 또는 양면에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제3 보호 시트를 공급하고, 상기 초박판 유리 기판과 상기 제3 보호 시트를 겹쳐 상기 제2 권취 롤로 권취하는 것을 특징으로 하는, (5) 또는 (6)에 기재된 초박판 유리 기판의 제조 방법.
본 발명에 따르면, 원통 형상의 롤에 감겨진 긴 프리폼을 리드로우법으로 연신함으로써, 종래의 짧은 프리폼을 사용한 리드로우법보다 생산성이 높은 긴 초박판 유리 기판의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에서의 초박판 유리 기판의 제조 방법의 실시 형태를 도시하는 개략 단면도.
도 2a는 도 1의 실시 형태의 폭 연신 공정을 도시하는 개략 정면도.
도 2b는 도 2a의 변형예를 도시하는 개략 정면도.
본 발명의 초박판 유리 기판의 제조 방법의 실시 형태에 대하여 도면을 이용하여 설명한다.
도 1에는 본 발명에서의 초박판 유리 기판의 제조 방법의 실시 형태를 나타내는 개략 단면도가 도시되어 있다.
도 1에 도시하는 실시 형태에서는, 공급 공정에서 제1 권취 롤(2)에 권취된 프리폼(1)은 반송 롤(3)에 의해 하방으로 풀어내어진다. 그 후, 보호 시트 박리 공정에서 보호 시트 박리 롤(4)에 의해 프리폼(1)의 편면 또는 양면에 밀착되어 있는 제1 보호 시트(5)를 프리폼(1)으로부터 박리한다. 가열 공정에서 프리폼(1)은 가열로(6)에 투입되어 연화점 근방까지 가열되어 연화된다. 가열로(6) 내에서 연화된 프리폼(1)은 연신 공정에서 연신 롤(7)에 의해 하방으로 인장되어 연신되고, 초박판 유리 기판(9)으로 된다. 상기 초박판 유리 기판(9)과 연신 롤(7)의 사이에는 제2 보호 시트(8)가 삽입되고, 제2 보호 시트(8)가 초박판 유리 기판(9)의 표면과 밀착하여 초박판 유리 기판(9)의 표면을 보호한다. 마지막으로 초박판 유리 기판(9)은 제2 권취 롤(10)에 권취된다.
본 발명에서의 프리폼(1)에 대하여 설명한다.
프리폼(1)의 형상은 특별히 제한되지 않고, 대략 직사각 형상인 것이 바람직하다. 프리폼(1)의 두께는 20㎛ 내지 250㎛이고, 30㎛ 내지 200㎛인 것이 바람직하고, 40㎛ 내지 150㎛인 것이 보다 바람직하고, 50㎛ 내지 100㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 프리폼(1)의 두께가 20㎛ 이상이면, 가열로(6)에서 연화된 프리폼(1)이 연신 롤(7)에 의한 인장에 의해 파단되기 어려워진다. 프리폼(1)의 두께가 250㎛ 이하이면, 프리폼(1)을 파손시키지 않고 롤 직경이 작은 제1 권취 롤(2)에 감을 수 있다.
프리폼(1)의 폭은 10mm 내지 2000mm이고, 20mm 내지 1800mm인 것이 바람직하고, 30mm 내지 1600mm인 것이 보다 바람직하고, 40mm 내지 1400mm인 것이 더욱 바람직하다. 프리폼(1)의 폭이 10mm 이상이면, 가열로(6)에서 연화된 프리폼(1)이 연신 롤(7)에 의한 인장에 의해 파단되기 어려워진다. 프리폼(1)의 폭이 2000mm 이하이면, 초박판 유리 기판 제조 장치를 소형화할 수 있고, 또한 프리폼(1)을 보호하는 제1 보호 시트(5)의 크기를 대형화할 필요가 없어 입수하기 쉽다.
프리폼(1)의 길이는 1m 내지 5000m이고, 2m 내지 4000m인 것이 바람직하고, 3m 내지 3000m인 것이 보다 바람직하고, 5m 내지 2000m인 것이 더욱 바람직하다. 프리폼(1)의 길이가 1m 이상이면, 리드로우법에 의해 제조되는 초박판 유리 기판(9)의 길이가 길어져 생산성의 개선 효과가 얻어진다. 프리폼(1)의 길이가 5000m 이하이면, 제1 권취 롤(2)에 권취된 프리폼(1)의 롤 직경이 작아져 초박판 유리 기판 제조 장치를 소형화할 수 있다.
프리폼(1)의 조성은 특별히 제한되지 않고, 예를 들어 종래 알려져 있는 알칼리 금속 산화물을 함유하는 유리, 무알칼리 유리와 동일하여도 된다. 그 중에서도 얻어지는 초박판 유리 기판(9)의 강도나 화학적 내구성이 우수한 점에서 무알칼리 유리인 것이 바람직하다.
프리폼(1)을 제조하는 방법도 특별히 제한되지 않고, 종래 알려져 있는 방법을 들 수 있다. 예를 들어, 플로트법, 퓨전법, 슬롯 다운드로우법, 인상법을 적용할 수 있다.
본 발명에서의 제1 권취 롤(2)에 대하여 설명한다.
제1 권취 롤(2)은 프리폼(1)을 권취하기 위한 롤이다. 제1 권취 롤(2)의 형상은 원통 형상인 것이 바람직하다. 여기서, 원통 형상이란, 실질적으로 대략 원통 형상이다. 제1 권취 롤(2)의 폭의 크기는, 프리폼(1)을 보호하기 위하여 프리폼(1)의 폭 이상이면 특별히 제한되지 않는다.
제1 권취 롤(2)의 롤 직경은 100mm 내지 1500mm이고, 150mm 내지 1000mm인 것이 바람직하고, 200mm 내지 800mm인 것이 보다 바람직하고, 300mm 내지 500mm인 것이 더욱 바람직하다. 100mm 이상이면, 프리폼(1)의 가요성을 상실하지 않고 프리폼(1)을 제1 권취 롤(2)에 권취할 수 있다. 제1 권취 롤(2)의 롤 직경이 1500mm 이하이면, 제1 권취 롤(2)에 권취된 프리폼(1)의 롤 직경이 작아져 초박판 유리 기판 제조 장치를 소형화할 수 있다.
제1 권취 롤(2)의 재질은, 권취한 프리폼(1)의 중량에 의해 변형되지 않는 강성이면 특별히 제한되지 않는다.
또한, 프리폼(1)은 프리폼(1)의 편면 또는 양면에 제1 보호 시트(5)를 겹쳐 제1 권취 롤(2)에 감겨져 있다. 따라서, 프리폼(1)끼리, 또는 프리폼(1)과 제1 권취 롤(2)의 접촉에 의한 프리폼(1) 표면의 흠집 발생을 방지할 수 있다. 프리폼(1) 표면에 흠집이 있는 경우, 초박판 유리 기판(9)의 제조 중에 프리폼(1)이 파괴될 우려가 있다.
제1 보호 시트(5)의 두께는 10㎛ 내지 1000㎛인 것이 바람직하고, 12㎛ 내지 800㎛인 것이 보다 바람직하고, 15㎛ 내지 700㎛인 것이 더욱 바람직하고, 20㎛ 내지 600㎛인 것이 가장 바람직하다. 10㎛ 이상이면, 제1 보호 시트(5)의 강도가 충분히 강해져 프리폼(1) 표면에의 흠집 발생 방지의 역할을 하기 때문에 바람직하다. 제1 보호 시트(5)의 두께가 1000㎛ 이하이면, 제1 권취 롤(2)에 권취된 프리폼(1)의 롤 직경이 작아져 바람직하다.
또한, 제1 보호 시트(5)는 프리폼(1)을 가열로(6)에 투입하기 전에 프리폼(1)으로부터 박리되는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 가열로(6) 근방에서 제1 보호 시트(5)가 연화, 용융, 연소 등의 상태의 변화가 일어나기 전에 제1 보호 시트(5)를 프리폼(1)으로부터 박리하는 것이 바람직하다.
제1 보호 시트(5)의 재질은 프리폼(1)의 표면을 보호할 수 있으면 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 수지 또는 종이를 들 수 있다. 수지이면 폴리에스테르 수지, 폴리카르보네이트 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리올레핀 수지, 폴리비닐알코올 수지, 실리콘 수지, 폴리아미드 수지, 아크릴 수지, 폴리스티렌 수지, 트리아세틸셀룰로오스 수지, 폴리이미드 수지, 폴리염화비닐 수지, 불소 수지 등을 들 수 있다. 또한, 이들 공중합체나 필러 등의 첨가제를 함유한 것이어도 된다. 종이이면, 예를 들어 널리 보급되어 있는 목질지, 갱지, 불연지, 난연지를 들 수 있다. 이들 종이에 특수 가공을 실시한 것이어도 된다.
또한, 제1 보호 시트(5)의 구성은 2층 이상으로 이루어져도 된다. 이 경우, 제1 보호 시트(5)의 두께는 모든 층의 합계의 두께를 의미하는 것으로 한다. 또한, 제1 보호 시트(5)가 2층 이상으로 이루어지는 경우에는, 각각의 층을 형성하는 수지 또는 종이의 종류가 상이하여도 된다.
프리폼(1)과 제1 보호 시트(5)를 제1 권취 롤(2)에 권취할 때, 프리폼(1)과 제1 보호 시트(5)는 단순히 겹친 것만이어도 되고, 접착재 등에 의한 접착력 또는 고체 분자간에서의 판데르발스 힘에 기인하는 밀착력 중 어느 하나의 힘에 의해 프리폼(1)과 제1 보호 시트(5)가 일체화되어도 된다. 단, 프리폼(1)의 표면을 보호하면서 제1 보호 시트(5)를 프리폼(1)으로부터 용이하게 박리하기 위하여, 프리폼(1)과 제1 보호 시트(5)는 상기 밀착력으로 밀착되어 있는 것이 바람직하다.
보호 시트 박리 공정은, 프리폼(1)을 파괴하지 않고, 제1 보호 시트(5)를 프리폼(1)으로부터 용이하게 박리할 수 있으면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 원통 형상의 박리 롤(4)의 곡면에 접착재를 도포하고, 박리 롤(4)의 곡면을 제1 보호 시트(5)의 표면에 눌러 제1 보호 시트(5)를 프리폼(1)으로부터 박리하면서 박리 롤(4)에 권취한다. 혹은, 상기 접착재 대신에 밀착력을 갖는 재료를 사용하여 프리폼(1)으로부터 제1 보호 시트(5)를 박리할 수도 있다.
본 발명에서의 초박판 유리 기판(9)에 대하여 설명한다.
초박판 유리 기판(9)은, 가열로(6)에서 연화된 프리폼(1)을 연신 롤(7)에 의해 하방으로 연신함으로써 제조할 수 있다. 초박판 유리 기판(9)의 단면 형상은 가열 전의 프리폼(1)의 단면의 크기를 축소시킨 유사 형상으로 된다.
초박판 유리 기판(9)의 두께는 2㎛ 내지 50㎛이고, 3㎛ 내지 40㎛인 것이 바람직하고, 5㎛ 내지 30㎛인 것이 보다 바람직하고, 7㎛ 내지 20㎛인 것이 더욱 바람직하다. 초박판 유리 기판(9)의 두께가 2㎛ 이상이면, 연신 롤(7)에 의한 인장에 의해 파단되기 어려워진다. 초박판 유리 기판(9)의 두께는 경량화를 위하여 50㎛ 이하이다. 또한, 50㎛ 이하로 함으로써, 구부렸을 때에 응력에 의해 갈라지는 가능성을 낮게 억제할 수 있다. 보다 바람직하게는 30㎛ 이하이다. 또한, 초박판 유리 기판(9)의 두께가 50㎛ 이하이면, 본 발명의 제조 방법 이외(예를 들어 퓨전법)로는 제조가 곤란해지고, 30㎛보다 얇으면, 본 발명의 제조 방법 이외, 예를 들어 퓨전법으로는 제조가 불가능해지므로 본 발명의 우위성을 유지할 수 있다.
초박판 유리 기판(9)의 폭은 0.3mm 내지 500mm이고, 1mm 내지 400mm인 것이 바람직하고, 10mm 내지 350mm인 것이 보다 바람직하고, 100mm 내지 300mm인 것이 더욱 바람직하다. 초박판 유리 기판(9)의 폭이 0.3mm 이상이면, 연신 롤(7)에 의한 인장에 의해 파단되기 어려워진다. 초박판 유리 기판(9)의 폭이 500mm 이하이면, 초박판 유리 기판 제조 장치 및 초박판 유리 기판(9)을 사용하는 제품의 제조 장치를 소형화할 수 있다.
초박판 유리 기판(9)의 길이는 5m 내지 500000m이고, 10m 내지 200000m인 것이 바람직하고, 20m 내지 100000m인 것이 보다 바람직하고, 50m 내지 50000m인 것이 더욱 바람직하다. 초박판 유리 기판(9)의 길이가 5m 이상이면, 종래의 리드로우법에서 사용되고 있는 프리폼의 가열 접합으로는 불가능한, 생산성이 높은 긴 초박판 유리 기판(9)을 제조할 수 있다. 초박판 유리 기판(9)의 길이가 500000m 이하이면, 초박판 유리 기판(9)의 보관 점유 면적의 축소화나 초박판 유리 기판(9)을 사용하는 제품의 제조 장치를 소형화할 수 있다.
프리폼(1)의 두께를 Tp, 초박판 유리 기판(9)의 두께를 Tg로 하고, 연신 롤(7)에 의한 프리폼(1)의 두께 방향의 축소율을 Tg/Tp로 하면, Tg/Tp=1/125 내지 1/2이고, 1/75 내지 1/3인 것이 바람직하고, 1/50 내지 1/4인 것이 보다 바람직하고, 1/25 내지 1/5인 것이 더욱 바람직하다. Tg/Tp가 1/125 이상이면, 초박판 유리 기판(9)이 연신 롤(7)에 의한 인장에 의해 파단되기 어려워진다. Tg/Tp가 1/2 이하이면, 초박판 유리 기판 제조 장치 및 초박판 유리 기판(9)을 사용하는 제품의 제조 장치를 소형화할 수 있다.
프리폼(1)의 폭을 Wp, 초박판 유리 기판(9)의 폭을 Wg로 하고, 연신 롤(7)에 의한 프리폼(1)의 폭 방향의 축소율을 Wg/Wp로 하면, Wg/Wp=1/125 내지 1이고, 1/75 내지 4/5인 것이 바람직하고, 1/50 내지 2/3인 것이 보다 바람직하고, 1/25 내지 1/2인 것이 더욱 바람직하다. Wg/Wp가 1/125 이상이면, 초박판 유리 기판(9)이 연신 롤(7)에 의한 인장에 의해 파단되기 어려워진다. Wg/Wp가 1 이하이면, 초박판 유리 기판 제조 장치 및 초박판 유리 기판(9)을 사용하는 제품의 제조 장치를 소형화할 수 있다.
이어서, 본 발명에서의 공급 공정, 가열 공정, 연신 공정 및 초박판 유리 기판을 권취하는 공정의 각각에 대하여 설명한다.
본 발명에서의 공급 공정에 대하여 설명한다.
본 발명에서의 공급 공정은 프리폼(1)을 보유 지지하면서 제조 라인에 공급한다. 프리폼(1)을 보유 지지하는 방향은 제한되지 않으며, 도 1에서 도시한 바와 같이 프리폼(1)을 수직으로 보유 지지하면서 하방으로 공급하여도 되고, 수평하게 보유 지지하면서 공급하여도 된다. 또한, 프리폼(1)을 파손시키지 않고, 가열 공정에 반송할 수 있는 공정이면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같은 프리폼(1) 양면을 파지하면서 프리폼(1)을 반송하는 반송 롤(3)을 들 수 있다.
본 발명에서의 가열 공정에 대하여 설명한다.
본 발명에서의 가열 공정은, 상기 공급 공정으로부터 보내진 프리폼(1)을 연화점 근방까지 가열로(6)에서 가열하여 연화시킨다. 프리폼(1)을 연화점 근방까지 가열할 수 있는 가열로이면 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 전기로나 가스로를 들 수 있다.
본 발명에서의 연신 공정에 대하여 설명한다.
본 발명에서의 연신 공정은 1개 또는 한 쌍의 연신 롤(7)로 연신하는 공정이며, 가열 공정 후의 초박판 유리 기판(9)을 1개의 연신 롤(7)에 접촉시키면서 초박판 유리 기판(9)을 인장하거나, 또는 가열 공정 후의 초박판 유리 기판(9)을 한 쌍의 연신 롤(7)로 파지하면서 초박판 유리 기판(9)을 인장하는 것이 바람직하다. 초박판 유리 기판(9)이 연신 롤에 접촉 또는 파지된 상태에서 연신 롤(7)이 회전하면, 연신 롤(7)의 회전 토크가 초박판 유리 기판에 작용하여 초박판 유리 기판이 인장되고, 그 인장에 따라 가열 공정에 의해 연화된 프리폼(1)이 연신되어 초박판 유리 기판(9)으로 된다.
연화된 프리폼(1)은 자유 공간에서 연신되기 때문에, 표면 품위가 양호한 초박판 유리 기판(9)을 제조할 수 있다.
연신 롤(7)의 형상은 원통 형상인 것이 바람직하다. 여기서, 원통 형상이란, 실질적으로 대략 원통 형상이다. 연신 롤(7)의 폭의 크기는, 제조되는 초박판 유리 기판(9)의 폭 이상의 크기이면 특별히 제한되지 않으며, 연신 롤(7)의 롤 직경의 크기도 특별히 제한은 없다.
상기 연신 롤(7)은 전기 모터 등의 구동 장치에 의해 회전 구동된다.
연신 공정의 연신 롤(7)이 1개인 경우, 가열로(6)를 통과한 초박판 유리 기판(9)의 편면을 연신 롤(7)의 곡면에 접촉시키면서 초박판 유리 기판(9)을 연신 롤(7)측으로 구부려 연신 롤(7)을 회전시킨다. 연신 롤(7)로부터 초박판 유리 기판(9)에 작용하는 회전 토크에 의해 초박판 유리 기판(9)이 인장되고, 그 인장에 따라 가열로(6)에서 연화된 프리폼(1)이 연신되어 초박판 유리 기판(9)으로 된다. 연신 롤(7)에서의 초박판 유리 기판(9)의 굽힘 방향은, 원하는 크기의 초박판 유리 기판(9)이 얻어지는 방향이면 특별히 제한되지 않는다.
연신 공정의 연신 롤(7)이 한 쌍인 경우, 가열로(6)를 통과한 초박판 유리 기판(9)을 한 쌍의 연신 롤(7) 사이에 삽입한다. 한 쌍의 연신 롤(7)의 곡면을 상기 초박판 유리 기판의 양면에 접촉시키면서 한 쌍의 연신 롤(7)을 회전시킨다. 한 쌍의 연신 롤(7)로부터 초박판 유리 기판(9)에 작용하는 회전 토크에 의해 초박판 유리 기판(9)이 인장되고, 그 인장에 따라 가열로(6)에서 연화된 프리폼(1)이 연신되어 초박판 유리 기판(9)으로 된다.
또한, 한 쌍의 연신 롤(7)은 가변의 간극을 갖는 한 쌍의 연신 롤(7)로서 동작한다. 이 가변의 간극에 의해 초박판 유리 기판(9)의 판 두께의 사양 변경에 대응할 수 있다.
또한, 가열 공정에 있어서, 연화된 프리폼(1)의 폭 방향 양단부를 파지 롤로 파지하는 것이 바람직하다. 리드로우법에 의해 제조되는 유리 기판은 판 두께를 얇게 할 수 있는 반면, 판 폭이 좁아지는 문제가 있다. 따라서, 가열 공정에서 연화된 프리폼(1)의 폭 방향 양단부를 파지함으로써, 연화된 프리폼(1)이 연신 공정에 의해 폭 방향으로 수축되는 것을 억제할 수 있어 판 폭이 넓은 초박판 유리 기판(9)을 제조할 수 있다.
파지 롤은, 연화된 프리폼(1)이 그 폭 방향으로 수축되는 것을 억제하는 구성이면 특별히 제한되지 않는다. 도 2a는 도 1의 실시 형태의 가열로(6)부터 연신 롤(7)까지의 공정을 확대한 개략 정면도이다. 도 2b는 도 2a의 가열로(6)에 한 쌍의 파지 롤(11)을 추가한 변형예의 개략 정면도이다. 한 쌍의 파지 롤(11)은 대략 원통 형상의 형상을 하고 있다. 한 쌍의 파지 롤(11)은 가열로(6) 내에 설치되어, 가열로(6)에서 연화된 프리폼(1)의 폭 방향 양단부를 파지하면서, 연화된 프리폼(1)을 그 폭 방향 외측을 향하여 회전한다. 연화된 프리폼(1)의 폭 방향에 작용하는 회전 토크에 의해, 연화된 프리폼(1)의 연신에 의한 폭 방향으로의 수축을 억제할 수 있어 판 폭이 넓은 초박판 유리 기판(9)을 제조할 수 있다.
또한, 연신 공정에 있어서, 연신 롤(7)과 상기 초박판 유리 기판(9)의 사이에 제2 보호 시트(8)를 삽입시키는 것이 바람직하다. 연신 롤(7)과 초박판 유리 기판(9)의 사이에 제2 보호 시트(8)를 삽입시킴으로써, 초박판 유리 기판(9) 표면에 연신 롤(7)에 의한 흠집이 나지 않도록 하기 위해서이다.
연신 공정에 사용하는 연신 롤(7)이 1개인 경우, 연신 롤(7)의 곡면과 초박판 유리 기판(9)의 편면의 사이에 제2 보호 시트(8)가 삽입된다. 연신 공정에 사용하는 연신 롤(7)이 한 쌍인 경우, 한 쌍의 연신 롤(7)의 곡면과 상기 초박판 유리 기판(9)의 양면의 사이에 제2 보호 시트(8)가 삽입된다. 즉, 제2 보호 시트(8)가 초박판 유리 기판(9)을 그 두께 방향에 있어서 사이에 끼우는 구성으로 된다.
제2 보호 시트(8)의 폭 및 길이는 초박판 유리 기판(9)의 표면을 보호할 수 있는 크기이면 특별히 제한되지 않으며, 초박판 유리 기판(9)의 폭 및 길이의 각각보다 큰 것이 바람직하다.
제2 보호 시트(8)의 두께는 10㎛ 내지 1000㎛인 것이 바람직하고, 12㎛ 내지 800㎛인 것이 보다 바람직하고, 15㎛ 내지 700㎛인 것이 더욱 바람직하고, 20㎛ 내지 600㎛인 것이 가장 바람직하다. 제2 보호 시트(8)의 두께가 10㎛ 이상이면, 제2 보호 시트(8)의 강도가 충분히 강해져 초박판 유리 기판(9) 표면에의 흠집 발생을 방지하는 역할을 하기 때문에 바람직하다. 제2 보호 시트(8)의 두께가 1000㎛ 이하이면, 제2 권취 롤(10)에 권취된 초박판 유리 기판(9)의 롤 직경이 작아져 바람직하다.
제2 보호 시트(8)의 종류는 연신 공정에서의 초박판 유리 기판(9)의 열에 의해 연소, 회화, 이상한 냄새 등이 발생하지 않는 내열성을 갖고, 또한 초박판 유리 기판(9)의 표면을 보호할 수 있으면 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 내열 수지 또는 내열지를 들 수 있다. 내열 수지이면, 폴리이미드 수지, 불소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에테르케톤 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리에틸렌나프탈레이트 수지, 폴리카르보네이트 수지, 각종 액정 중합체 수지 등을 들 수 있다. 또한, 이들 공중합체나 필러 등의 첨가제를 함유한 것이어도 된다. 내열지이면, 유리 섬유지, 세라믹지, 불연지, 난연지, 폴리에스테르지, 합성 수지 혼합지, 불소 섬유지를 들 수 있다. 연신 공정에서의 초박판 유리 기판(9)의 온도가 충분히 낮은 경우, 내열성은 없어도 되며, 그 경우 제1 보호 시트(5)와 마찬가지의 종류를 사용할 수 있다.
또한, 제2 보호 시트(8)는 2층 이상으로 되어 있어도 된다. 이 경우, 제2 보호 시트(8)의 두께는 모든 층의 합계의 두께를 의미하는 것으로 한다. 또한, 제2 보호 시트(8)가 2층 이상으로 이루어지는 경우에는, 각각의 층을 형성하는 수지 또는 종이의 종류가 상이하여도 된다.
초박판 유리 기판(9)과 상기 제2 보호 시트(8)를 연신 롤(7)로 겹쳤을 때, 초박판 유리 기판(9)과 제2 보호 시트(8)는 간단히 겹친 것만이어도 되고, 접착재 등에 의한 접착력, 또는 고체 분자간에서의 판데르발스 힘에 기인하는 밀착력, 또는 상기 초박판 유리 기판(9)의 열에 의한 열융착력 중 어느 하나의 힘에 의해 초박판 유리 기판(9)과 제2 보호 시트(8)가 일체화되어도 된다.
본 발명에서의 초박판 유리 기판(9)을 권취하는 공정에 대하여 설명한다.
본 발명에서의 초박판 유리 기판(9)을 권취하는 공정은, 연신 공정에 의해 얻어진 초박판 유리 기판(9)을 제2 권취 롤(10)로 권취하는 공정이다.
제2 권취 롤(10)의 형상은 원통 형상인 것이 바람직하다. 여기서, 원통 형상이란, 실질적으로 대략 원통 형상이다. 제2 권취 롤(10)의 폭의 크기는, 초박판 유리 기판(9)을 보호하기 위하여 초박판 유리 기판(9)의 폭 이상의 크기이면 특별히 제한되지 않는다.
상기 제2 권취 롤(10)의 롤 직경은 50mm 내지 2000mm인 것이 바람직하고, 60mm 내지 1800mm인 것이 보다 바람직하고, 70mm 내지 1500mm인 것이 더욱 바람직하고, 90mm 내지 1200mm인 것이 가장 바람직하다. 제2 권취 롤(10)의 롤 직경이 50mm 이상이면, 초박판 유리 기판(9)의 가요성을 상실하지 않고, 초박판 유리 기판(9)을 제2 권취 롤(10)에 권취할 수 있기 때문에 바람직하다. 제2 권취 롤(10)의 롤 직경이 2000mm 이하이면, 제2 권취 롤(10)에 권취된 초박판 유리 기판(9)의 롤 직경이 작아져, 초박판 유리 기판 제조 장치 및 초박판 유리 기판(9)을 사용하는 제품의 제조 장치를 소형화할 수 있기 때문에 바람직하다.
제2 권취 롤(10)의 종류도 특별히 제한되지 않으며, 권취한 초박판 유리 기판(9)의 중량에 의해 변형되지 않는 강성인 것이 바람직하다.
연신 공정에서 연신 롤(7)과 초박판 유리 기판(9)의 사이에 제2 보호 시트(8)를 삽입하지 않는 경우, 연신 공정 후에 초박판 유리 기판(9)의 편면 또는 양면에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제3 보호 시트(도시하지 않음)를 공급하고, 초박판 유리 기판(9)과 제3 보호 시트를 겹친 채, 제2 권취 롤(10)로 권취하는 것이 바람직하다. 초박판 유리 기판(9)끼리, 또는 초박판 유리 기판(9)과 제2 권취 롤(10)의 접촉에 의한 초박판 유리 기판(9) 표면의 흠집 발생을 방지할 수 있기 때문이다. 또한, 초박판 유리 기판(9)의 한층 더한 보호나 사용 상에서 필요하면, 연신 공정에서 초박판 유리 기판(9)의 편면 또는 양면에 제2 보호 시트(8)를 겹친 후, 제3 보호 시트를 더 겹쳐도 된다.
제3 보호 시트의 두께는 10㎛ 내지 1000㎛인 것이 바람직하고, 12㎛ 내지 800㎛인 것이 보다 바람직하고, 15㎛ 내지 700㎛인 것이 더욱 바람직하고, 20㎛ 내지 600㎛인 것이 가장 바람직하다. 제3 보호 시트의 두께가 10㎛ 이상이면, 제3 보호 시트의 강도가 충분히 강해져, 초박판 유리 기판(9) 표면에의 흠집 발생을 방지하는 역할을 하기 때문에 바람직하다. 제3 보호 시트의 두께가 1000㎛ 이하이면, 제2 권취 롤(10)에 권취된 초박판 유리 기판(9)의 롤 직경이 작아져 바람직하다.
제3 보호 시트의 종류는 초박판 유리 기판(9)의 표면을 보호할 수 있으면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어 상기 제1, 제2 보호 시트(5, 8)와 마찬가지의 수지 또는 종이를 들 수 있다.
또한, 상기 제3 보호 시트는 2층 이상으로 이루어져도 된다. 이 경우, 제3 보호 시트의 두께는 모든 층의 합계의 두께를 의미하는 것으로 한다. 또한, 제3 보호 시트가 2층 이상으로 이루어지는 경우에는, 각각의 층을 형성하는 수지 또는 종이의 종류가 상이하여도 된다.
상기 초박판 유리 기판(9)과 상기 제3 보호 시트를 상기 제2 권취 롤(10)에 권취할 때, 상기 초박판 유리 기판(9)과 제3 보호 시트는 단순히 겹친 것만이어도 되고, 접착재 등에 의한 접착력, 또는 고체 분자간에서의 판데르발스 힘에 기인하는 밀착력 중 어느 하나의 힘에 의해 초박판 유리 기판과 제3 보호 시트가 일체화되어도 된다. 단, 초박판 유리 기판(9)의 표면을 보호하면서, 제3 보호 시트를 초박판 유리 기판(9)으로부터 용이하게 박리하기 위하여, 초박판 유리 기판(9)과 제3 보호 시트는 상기 밀착력으로 밀착되어 있는 것이 바람직하다.
<실시예>
(실시예 1)
처음에 두께 120㎛, 폭 120mm, 길이 2m의 프리폼(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)을 준비하고, 순수 세정, UV 세정하여 표면을 청정화한다. 다음에 상기 프리폼의 편면에 두께 30㎛의 제1 PET 필름을 겹쳐 프리폼과 제1 PET 필름을 롤 직경 160mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 권취하여 프리폼을 롤 형상으로 한다. 제1 권취 롤로부터 풀어내어진 프리폼을 초박판 유리 기판 제조 장치의 공급 공정에 투입하고, 보호 시트 제거 공정에서 프리폼으로부터 제1 PET 필름을 박리한다. 제1 PET 필름이 박리된 프리폼을 노 내를 1000℃로 가열한 전기로에 투입하고, 연화점 근방까지 가열하여 연화시킨다. 이미 전기로를 통과한 초박판 유리 기판의 양면을 한 쌍의 연신 롤 사이에 끼워 한 쌍의 연신 롤을 회전시킴으로써 초박판 유리 기판이 인장된다. 초박판 유리 기판의 인장에 의해 가열 공정에서 연화된 프리폼이 연신되어 두께 10㎛, 폭 10mm, 길이 200m의 초박판 유리 기판이 얻어진다. 연신 공정에서 초박판 유리 기판을 한 쌍의 연신 롤 사이에 끼울 때, 초박판 유리 기판과 연신 롤의 사이에 두께 30㎛의 제2 PET 필름을 삽입하면서 끼움으로써, 초박판 유리 기판의 양면에 제2 PET 필름의 표면이 밀착된다. 연신 공정 후, 초박판 유리 기판을 롤 직경 160mm의 원통 형상의 제2 권취 롤에 권취한다. 초박판 유리 기판의 양면에 밀착된 제2 PET 필름에 의해 초박판 유리 기판 표면이 보호되기 때문에, 강도 저하로 이어지는 흠집을 억제할 수 있다.
(실시예 2)
두께 100㎛, 폭 50mm, 길이 100m의 프리폼(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)을 준비하고, 순수 세정, UV 세정하여 표면을 청정화한다. 다음에 상기 프리폼의 편면에 두께 30㎛의 제1 PET 필름을 겹쳐 프리폼과 제1 PET 필름을 롤 직경 200mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 권취하여 프리폼을 롤 형상으로 한다. 제1 권취 롤로부터 풀어내어진 프리폼을 초박판 유리 기판 제조 장치의 공급 공정에 투입하고, 보호 시트 제거 공정에서 프리폼으로부터 제1 PET 필름을 박리한다. 제1 PET 필름이 박리된 프리폼을 노 내를 1000℃로 가열한 전기로에 투입하고, 연화점 근방까지 가열하여 연화시킨다. 이미 전기로를 통과한 초박판 유리 기판의 편면을1개의 연신 롤에 접촉시켜 1개의 연신 롤을 회전시킴으로써 초박판 유리 기판이 인장된다. 초박판 유리 기판의 인장에 의해 가열 공정에서 연화된 프리폼이 연신되어 두께 20㎛, 폭 10mm, 길이 2000m의 초박판 유리 기판이 얻어진다. 연신 공정에서 초박판 유리 기판의 편면을 1개의 연신 롤의 곡면에 접촉할 때, 초박판 유리 기판의 편면과 연신 롤의 곡면의 사이에 두께 20㎛의 제2 PET 필름을 삽입하면서 접촉시킴으로써, 얻어진 초박판 유리 기판의 편면에 제2 PET 필름의 표면이 밀착된다. 연신 공정 후, 상기 초박판 유리 기판을 롤 직경 160mm의 원통 형상의 제2 권취 롤에 권취한다.
(실시예 3)
두께 200㎛, 폭 1000mm, 길이 50m의 프리폼(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)을 준비하고, 순수 세정, UV 세정하여 표면을 청정화한다. 다음에 상기 프리폼의 편면에 두께 50㎛의 제1 PET 필름을 겹쳐 상기 프리폼과 상기 제1 PET 필름을 롤 직경 500mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 권취하여 프리폼을 롤 형상으로 한다. 제1 권취 롤로부터 풀어내어진 프리폼을 초박판 유리 기판 제조 장치의 공급 공정에 투입하고, 보호 시트 제거 공정에서 프리폼으로부터 제1 PET 필름을 박리한다. 제1 PET 필름이 박리된 프리폼을 노 내를 1000℃로 가열한 전기로에 투입하고, 연화점 근방까지 가열하여 연화시킨다. 이미 전기로를 통과한 초박판 유리 기판의 양면을 한 쌍의 연신 롤 사이에 끼워 상기 연신 롤을 회전시킴으로써 초박판 유리 기판이 인장된다. 초박판 유리 기판의 인장에 의해 가열 공정에서 연화된 프리폼이 연신되어 두께 30㎛, 폭 150mm, 길이 2000m의 초박판 유리 기판이 얻어진다. 연신 공정에서 초박판 유리 기판을 한 쌍의 연신 롤 사이에 끼울 때, 초박판 유리 기판과 연신 롤의 사이에 두께 10㎛의 제2 PET 필름을 삽입하면서 끼움으로써, 초박판 유리 기판의 양면에 상기 제2 PET 필름의 표면이 밀착된다. 연신 공정 후, 초박판 유리 기판을 롤 직경 300mm의 원통 형상의 제2 권취 롤에 권취한다. 초박판 유리 기판의 양면에 밀착된 제2 PET 필름에 의해 초박판 유리 기판 표면이 보호되기 때문에, 강도 저하로 이어지는 흠집을 억제할 수 있다.
(비교예)
두께 50㎛, 폭 200mm, 길이 1m의 프리폼(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)을 준비하고, 순수 세정, UV 세정하여 표면을 청정화한다. 다음에 상기 프리폼의 편면에 두께 50㎛의 제1 PET 필름을 겹쳐, 상기 프리폼과 상기 제1 PET 필름을 롤 직경 500mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 권취하여 프리폼을 롤 형상으로 한다. 제1 권취 롤로부터 풀어내어진 프리폼을 초박판 유리 기판 제조 장치의 공급 공정에 투입하고, 보호 시트 제거 공정에서 프리폼으로부터 제1 PET 필름을 박리한다. 제1 PET 필름이 박리된 프리폼을 노 내를 1000℃로 가열한 전기로에 투입하여 연화점 근방까지 가열하여 연화시킨다. 이미 전기로를 통과한 초박판 유리 기판의 양면을 한 쌍의 연신 롤 사이에 끼워 연신 롤을 회전시켜 상기 가열 공정에서 연화된 프리폼을 두께 1㎛의 초박판 유리 기판으로 되도록 연신시키지만, 연신 시에 연화된 프리폼은 파단된다.
본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 여러가지 변경이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에게 있어서 명확하다.
본 출원은 2009년 8월 7일에 출원된 일본 특허 출원 제2009-184592호에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 포함된다.
<산업상 이용가능성>
본 발명의 제조 방법에 의해 얻어진 초박판 유리 기판은 표시 장치, 전자 페이퍼, 터치 패널, 반도체 집적 회로, MEMS, 유기 EL 조명 장치 등에 사용할 수 있다.
1: 프리폼
2: 제1 권취 롤
3: 반송 롤
4: 보호 시트 박리 롤
5: 제1 보호 시트
6: 가열로
7: 연신 롤
8: 제2 보호 시트
9: 초박판 유리 기판
10: 제2 권취 롤
11: 파지 롤

Claims (7)

  1. 유리 기판의 프리폼을 보유 지지하면서 제조 라인에 공급하는 공급 공정과,
    상기 공급 공정으로부터 공급된 상기 프리폼을 연화점 근방까지 가열하는 가열 공정과,
    상기 가열 공정에서 연화된 프리폼을 연신시켜 초박판 유리 기판으로 하는 연신 공정
    을 구비하는 초박판 유리 기판의 제조 방법에 있어서,
    상기 프리폼이 롤 직경 100mm 내지 1500mm의 원통 형상의 제1 권취 롤에 감겨진, 두께 Tp=20㎛ 내지 250㎛, 폭 Wp=10mm 내지 2000mm, 길이=1m 내지 5000m이고,
    상기 연신 공정에 의해 제조되는 초박판 유리 기판이 두께 Tg=2㎛ 내지 50㎛, 폭 Wg=0.3mm 내지 500mm, 길이=5m 내지 500000m이고,
    상기 연신 공정에 의한 상기 프리폼의 두께 방향의 축소율을 Tg/Tp, 폭 방향의 축소율을 Wg/Wp로 하면, Tg/Tp=1/125 내지 1/2, Wg/Wp=1/125 내지 1로 되는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프리폼은 상기 프리폼의 편면 또는 양면에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제1 보호 시트를 겹쳐 상기 제1 권취 롤에 감겨져 있고, 상기 가열 공정에 상기 프리폼을 투입하기 전에 상기 제1 보호 시트를 상기 프리폼으로부터 박리하는 보호 시트 박리 공정
    을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 연신 공정은 1개 또는 한 쌍의 연신 롤로 연신하는 공정이고,
    상기 가열 공정 후의 상기 초박판 유리 기판을 1개의 연신 롤에 접촉시키면서 상기 초박판 유리 기판을 인장하거나,
    또는 상기 가열 공정 후의 상기 초박판 유리 기판을 한 쌍의 연신 롤로 파지하면서 상기 초박판 유리 기판을 인장하는 것
    을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열 공정은 상기 연화된 프리폼의 폭 방향 양단부를 파지 롤로 파지하는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연신 공정 후, 상기 초박판 유리 기판을 롤 직경 50mm 내지 2000mm의 원통 형상의 제2 권취 롤에 권취하는 공정
    을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
  6. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연신 공정에서, 상기 연신 롤과 상기 초박판 유리 기판의 사이에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제2 보호 시트를 삽입시키는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 연신 공정 후, 상기 초박판 유리 기판의 편면 또는 양면에 두께 10㎛ 내지 1000㎛의 제3 보호 시트를 공급하고, 상기 초박판 유리 기판과 상기 제3 보호 시트를 겹쳐 상기 제2 권취 롤로 권취하는 것을 특징으로 하는 초박판 유리 기판의 제조 방법.
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