KR20140051449A - 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법 - Google Patents

Abstract

본원은, 세장형 샤프트 (16), 원위방향으로 돌출된 팁 (18), 근위 유지부 (20), 및 체액을 수집하고 샤프트 (16) 를 따라서 팁 (18) 의 영역까지 연장되는 측방향으로 개방된 수집 채널 (22) 을 갖는 관통 요소 (14) 의 마스크-에칭을 위한 방법에 관한 것이다. 이 목적을 위해서, 양면 에칭 마스크 (10) 가 기재 (12) 의 2 개의 측부들에 적용되고, 에칭제의 작용하에서, 관통 요소 (14) 는 화학 블랭킹에 의해서 만들어진 부분으로서 형성되고, 에칭 마스크 (10) 의 채널 측부 (28) 는 수집 채널 (22) 의 일측성 (unilateral) 에칭을 위한 채널 에칭 슬릿 (38) 을 구비한다. 채널 에칭 슬릿 (38) 의 근위 및/또는 원위 단부 (40, 60) 는 슬릿의 단부를 향해서 테이퍼링되도록 구성된다.

Description

관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법{METHOD FOR THE MASK-ETCHING OF A PIERCING ELEMENT}

본 발명은, 세장형 샤프트, 원위방향으로 돌출된 팁, 근위 유지부, 및 체액을 수집하고 샤프트를 따라서 팁의 영역까지 연장되는 측방향으로 개방된 수집 채널을 갖는 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법에 관한 것으로, 이 방법에 있어서, 양면 에칭 마스크의 일 측부가 기재의 2 개의 측부들에 각각 적용되고, 에칭제의 작용 하에서, 관통 요소는 화학 블랭킹에 의해서 만들어지는 부분으로서 형성되고, 에칭 마스크의 채널 측부는 수집 채널의 일측성 (unilateral) 에칭을 위한 채널 에칭 슬릿을 구비한다. 본 발명은 또한 이와같이 제조된 관통 요소에 관한 것이다.

혈액 글루코스 정량을 위한 모세관 혈액과 같은 피부 절개로부터 원래의 위치에서 뽑아내지는 것과 같은 적은 양의 샘플들의 회수를 위한 일회용 관통 요소들을 위한 이러한 에칭 방법은 WO2006/066744 A1 에 제안된다. 그러나, 마지막 문헌은 전방에서 개방되고 근위 단부에서 폐쇄된 모세관 채널을 위한 에칭 마스크 레이아웃을 제안하고, 관통 팁은 채널로부터 멀리 지향되는 후면으로부터 원위방향으로 돌출된다. 문제는 전방 단부에서 돌출되는 채널 벽들에 의해서 유발되는 관통 프로세스에서의 간섭 외형들을 피하는 데 또한 있다.

이로부터 진보하는 본 발명의 목적은 종래 기술에 공지된 에칭 방법들 및 상기 방법들에 의해서 제조된 관통 요소를 더욱 최적화하는 것이고, 샘플들의 수집 및 일체화된 진단 시스템들에서 샘플들의 전달을 향상시키는 것이다.

이 목적은 독립 청구항들에서 언급된 특징들의 조합에 의해서 달성된다. 본 발명의 유리한 실시형태들 및 개량물들은 종속 청구항들에서 개시된다.

본 발명은 샘플들의 수집 및 전달을 위한 수집 채널의 단부를 최적화하는 개념에 기초한다. 따라서, 본 발명에 따르면, 채널 에칭 슬릿의 근위 및/또는 원위 단부 부분은 슬릿의 단부를 향해서 테이퍼되도록 구성되는 것이 제안된다.

에칭 프로세스 동안, 전방 원위 팁 영역에서 채널 단면은 테이퍼지거나 또는 적어도 일정하게 남아 있고, 에칭제의 유동 프로세스들의 결과로서 채널 단부에서 발생되는 뼈-형상의 확장이 발생되지 않는 점을 보장하는 것이 한편으로 가능하다. 비록 이러한 "뼈 형성" 이 팁 영역에서 액체의 흡입을 위해서 중요하지 않은 것으로 처음에 분류된다고 하더라도, 그럼에도 불구하고 이것은 감소된 재료의 두께 때문에 팁의 영역에서 에칭-관통으로 이어질 수도 있다. 따라서, 수집 채널이 앞에까지 안내되지 않을 수도 있고, 팁과 채널 단부 사이의 증가된 거리는 반드시 절개의 더 깊은 깊이로 이어질 것이고, 그래서 증가된 통증의 감각으로 이어질 것이다. 따라서, 절개 깊이를 감소시키고 샘플들 또는 혈액의 최적 수집을 보장하기 위해서, 모세채널이 피부 아래 절개 동안에 이미 혈액 또는 조직 액체와 접촉되는 것이 필수적이다. 에칭된 부분의 이러한 구성은, 채널 에칭 슬릿이 원위 팁 영역까지 안내되고 이 부근에서 테이퍼지는 에칭 마스크를 이용함으로써 달성된다.

다른 한편으로는, 근위 단부에서 에칭 슬릿의 테이퍼링은 에칭된 수집 채널이 후방 단부에서 일정한 또는 심지어 감소하는 모세관 직경으로 종단되어, 표준 에칭 기술에 의한 모세관 확장의 경우에 불가피하게 모세관 전달이 너무 이르게 중단되지 않는 효과를 갖는다.

유리한 실시형태에 있어서, 채널 에칭 슬릿의 단부 부분은, 에칭된 수집 채널이 일정한 단면 영역으로 또는 연속적으로 감소하는 단면 영역으로 테이퍼 방향으로 연장되도록 선형으로 테이퍼진다.

샘플들의 모세관-능동 전달을 지지하기 위해서, 만약, 에칭된 수집 채널이 유지부 상의 전방 단부에서 개방되도록 채널 에칭 슬릿이 에칭 마스크의 근위 영역에 배치되면 유리하다.

일체화된 테스트 구성에서 샘플 처리에 관한 추가적 개선은, 에칭 마스크가 근위 방향으로 채널 에칭 슬릿에 연결된 플랜지-형성 영역을 구비한다는 사실과, 플랜지-형성 영역을 언더컷팅함으로써, 특히 유지부 상에 테스트 요소를 플랜징 (flanging) 하기 위해서, 수집 채널의 마우스 (mouth) 를 형성하는 바람직하게는 직선 플랜지 가장자리를 형성한다는 사실에 의해서 달성될 수 있다.

마우스에 평면 한계를 주기 위하여, 플랜지-형성 영역이 채널 에칭 슬릿에 대해서 횡방향으로, 채널 에칭 슬릿의 근위 슬릿 단부를 가로질러 연장되는 마스크 브릿지를 갖는다면 유리하다.

유지부의 규정된 구성에 관한 추가의 개선에 있어서, 에칭 마스크가, 채널 에칭 슬릿의 하류에 근위방향으로 이격되어 배치되고, 수집 채널의 마우스 영역에서 에칭제의 효과를 스크리닝하는 (screening) 역할을 하는 희생 연속부를 구비하는 것이 제안된다.

마스크 가장자리 뒤 반 공간 (half space) 의 반경방향 스크리닝에 대해서, 만약 마스크 가장자리 상에서 자유롭게 돌출된 희생 연속부가, 채널 에칭 슬릿의 근위 슬릿 단부로부터 멀리 지향되는 가장자리 영역에서 아크 형상에 의해서, 특히 원형 아크 형상에 의해서 규정된다면, 유리하다. 희생 연속부의 치수는, 희생 연속부가 희생 연속부의 근위 베이스에 완전히 에칭 제거되도록 에칭제의 언더컷팅 폭에 따라 조절될 것이다. 원칙적으로, 에칭 매체로부터 수집 채널의 마우스 영역의 보호를 위한 일정한 폭 및 적합한 가장자리 거리를 갖는 스크리닝 표면을 이용가능하게 하기 위해서 희생 연속부의 다른 기하학적 구조들, 예를 들어 직사각형 또는 삼각형이 또한 착상가능하다.

다른 바람직한 실시형태에 있어서, 에칭 마스크는 팁 외형을 형성하기 위해서 팁-형성 영역을 기재의 양 측부들 상에 구비하고, 채널-측부 팁-형성 영역은 반대쪽 측부 상에 놓여있는 팁-형성 영역의 원위방향으로 전방에 배치된다. 이 방식에 있어서, 충분한 기재 재료가, 가능한 멀리 전방으로 경로가 형성된 수집 채널을 위한 팁의 영역에서 또한 이용가능한 한편, 절개 작용은 반대 측부 상의 간섭 외형들에 의해서 방해되지 않는다.

임의의 간섭 외형들을 더욱 감소시키기 위해서, 채널 에칭 슬릿으로부터 멀리 지향하는 에칭 마스크의 반대쪽 측부 상에서, 에칭 마스크는, 특히 팁의 영역에서 언더컷 가장자리들을 방지하기 위해서 보조 개구를 갖는다. 유리하게는, 보조 개구는 마스크 가장자리로부터 측방향으로 이격되어 에칭 마스크의 팁-형성 영역에 배치된다. 이와 관련하여, 만약 보조 개구가 원위방향으로 V 형상으로 서로를 향해서 연장되는 2 개의 보조 개구 가지들 (limbs) 을 갖는다면, 그리고 만약 보조 개구가, 보조 개구 가지들을 넘어서 원위방향으로 연장되고, 바람직하게는 슬릿 또는 일련의 구멍들로서 구성되는 원위 보조 개구 연속부를 갖는다면 특히 바람직하다.

갈고리들 (barbs) 또는 비바람직한 혹들을 방지하기 위해서, 보조 개구 연속부의 단부는, 근위방향으로 보았을 때, 형성될 팁의 원위 단부 뒤에 놓여야 한다.

따라서, 만약 보조 개구가 Y- 형상이라면 바람직하고, 서로를 향해서 연장되는 개구 가지들의 연결 지점은 형성될 팁 외형으로부터 원위방향으로 이격되어 배치된다.

피부에서 이미 얻어질 샘플들을 위해서, 만약 채널 에칭 슬릿은 수집 채널이 팁의 원위 단부 앞 50 내지 1000 ㎛, 바람직하게는 150 내지 400 ㎛ 의 거리에서 종단되도록 에칭 마스크의 팁-형성 영역 안까지 연장된다면 특히 유리하다.

다른 실시형태에 있어서, 채널 에칭 슬릿의 테이퍼진 단부 부분은 100 내지 300 ㎛ 범위의 길이를 따라서, 뭉뚝한 단부 가장자리를 향해 채널 에칭 슬릿의 초기 폭의 0.4 내지 0.6 배만큼 폭이 감소된다.

본 발명의 다른 양태는 세장형 샤프트, 원위방향으로 돌출된 팁, 근위 유지부, 및 체액을 수집하고 팁의 영역까지 샤프트를 따라서 연장되는 측방향으로 개방된 수집 채널을 갖는 관통 요소에 관한 것이고, 수집 채널은 적어도 일 단부 부분에서, 연속적으로 감소하는 단면 영역으로 연장되고, 특히 앞의 청구항들 중 하나에 청구된 바와 같은 마스크-에칭 방법에 의해서 형성된다.

본 발명은 도면에서 개략적으로 도시된 도해적인 실시형태에 근거해서 이하 더욱 상세히 설명된다.

도 1 은 수집 채널을 구비하는 관통 요소를 제조하기 위한 에칭 마스크의 원위 채널-측부 마스크 부분의 평면도를 도시하고;
도 2 는 도 1 에 따른 마스크 부분으로 형성된 관통 요소의 영역을 도시하고;
도 3 은 도 1 에 따른 도면에서 원위 후방-측부 마스크 부분을 도시하고;
도 4 는 도 3 에 따른 마스크 부분에 의해서 형성된 관통 요소의 영역을 도시하고;
도 5 는 근위 채널-측부 마스크 부분의 평면도를 도시하고;
도 6 은 도 5 에 따른 마스크 부분에 의해서 형성된 관통 요소의 영역을 도시하고;
도 7 및 도 8 은 도 9 의 선분 7-7 및 선분 8-8 을 따른 관통 요소 및 에칭 마스크를 통과하는 단면을 도시하고;
도 9 는 근위 단부에서 플랜징된 테스트 요소와 결합된 화학적 블랭킹에 의해서 만들어진 부분으로서 형성된 관통 요소의 사시도를 도시한다.

도면에 도시된 에칭 마스크 (10) 는, 세장형 샤프트 (16), 원위방향으로 돌출된 팁 (18), 근위 유지부 (20) 및, 피부 절개부로부터 체액 (혈액, 조직액) 을 수집하고, 팁 (18) 의 영역까지 샤프트 (16) 를 따라서 연장되고, 길이를 따라서 반-개방 되거나 그루브 형상인 수집 채널 (22) 을 갖는, 도 9 에 따른, 화학적 블랭킹에 의해서 만들어진 부분으로서 관통 요소 (14) 를 형성하기 위해서 얇은 스테인레스 강 기재 (12) 의 두 측부들 상에 양면 레이아웃으로서 적용된다. 관통 요소 (14) 는, 모세관 수집 채널 (22) 에 수용된 샘플 유체를 분석물 (예를 들어, 글루코스) 을 정량하기 위한 시약층 (26) 으로 전달하기 위해서, 일체적 진단 소모품으로서 테스트 요소 (24) 와 결합될 수 있다. 테스트 요소 (24) 는 처음부터 관통 요소 (14) 상에 고정적으로 일체화될 수 있거나, 또는 테스트 요소는 단지 나중의 샘플의 전달을 위해서만 관통 요소 (14) 에 연결될 수 있다.

에칭 마스크 (10) 는, 포토리소그라피에 의해서, 즉 그 자체로 공지된 방식으로 노출 및 포토레지스트로부터 씻겨져 나감에 의해서 기재 (12) 상에서 구조화 될 수 있다. 이렇게 형성된 에칭 마스크 (36) 중의 리세스들을 통해서, 기재 (12) 는 다음으로 에칭제에 노출되고, 피복된 또는 마스크된 영역들은 기본 모양에 따라 에칭되어 떨어진다. 재료 제거는 깊이 방향뿐만 아니라 에칭 마스크 (10) 의 가장자리 외형의 후면 에칭 (back-etching) 또는 언더컷팅 (undercutting) 에 의해서 발생되는 점이 보장된다. 기판에 영향을 주는 외부 파라미터들의 결과로서, 또는 기재의 재료 특성들의 결과로서, 에칭 프로세스는 이방성으로 또한 발생될 수 있고, 즉 따라서, 측방향 언더컷팅율 또는 폭이 깊이 에칭율보다 더 크거나 또는 더 작다.

도 1 에 도시된 원위 부분에서 에칭 마스크 (10) 의 채널 측부 (28) 는 샤프트 (16) 를 위한 샤프트-형성 영역 (30), 및 팁 (18) 의 형성을 위한 팁-형성 영역 (32) 을 갖는다. 잘록부 (34) 로부터 시작되는 팁-형성 영역 (32) 은 원위방향으로 광폭 스크리닝 영역 (36) 에 의해 연결되고, 이 광폭 스크리닝 영역은, 특별히 날카로운 팁 외형이 단지 팁-형성 영역 (32) 의 측방향 언더컷팅에 의해서만 에칭되어 떨어지도록 하여, 팁 (18) 의 전방측 에칭 절단을 방지한다.

팁의 외형을 형성하기 위한 이러한 스크리닝의 더욱 상세한 내용은, 이와 관련하여 참조되는 WO2006/066744 에 개시된다. 그러나, 나중에, 원위로 돌출된 팁 영역은 모세관 채널로부터 먼쪽을 지향하는 (여기서 후방 측부로서 지정된) 기재 측부 상에 배치되는 반면, 전방에서 개방된 모세관 채널은 단지 팁의 뒤에서 측방향으로 한정된다.

본 발명에 따른 마스크 레이아웃에 있어서, 채널 에칭 슬릿 (38) 은, 팁 (18) 의 영역에서 종단되고 전방에서 폐쇄되는 수집 채널 (22) 의 일측면 (그루브-형상의) 에칭을 위해서 채널 측부 (28) 상에 제공된다. 이 목적을 위해서, 채널 에칭 슬릿 (38) 의 원위 단부 부분 (40) 은 팁-형성 영역 (32) 에 배치된 원위 슬릿 단부 (42) 를 향해서 테이퍼지도록 구성된다.

도 2 는 관통 요소 (14) 의 에칭되어 떨어진 원위 부분과 함께, 파단선으로 도 1 에 따른 에칭 마스크 (10) 의 확대된 상세를 도시한다. 채널 에칭 슬릿 (38) 의 단부 부분 (40) 의 선형 테이퍼는 에칭된 수집 채널 (22) 이 연속적으로 감소하는 폭 및 깊이로 팁 (18) 의 영역 안으로 연장되도록 선택된다는 것이 이로부터 도시될 것이다.

기재의 두께는, 바람직하게는 100 내지 300 ㎛ 의 범위이다. 가운데 부분에서 채널 에칭 슬릿 (38) 의 폭은 약 100 내지 150 ㎛ 일 수 있는 반면, 기재 두께에 대략적으로 대응하는 100 내지 300 ㎛ 의 길이를 따라서, 테이퍼진 단부 부분 (40) 은 슬릿 단부 (42) 를 형성하는 뭉뚝한 단부 가장자리를 향해서 초기 폭의 대략 절반만큼 감소된다. 따라서, 수집 채널 (22) 은 팁 (18) 의 원위 단부 (44) 앞에서 150 내지 400 ㎛ 범위의 근거리에서 종단되는 것이 달성될 수 있다.

도 3 은 채널 측부 (28) 로부터 멀리 지향하는 반대쪽 측부 (46) 상의 에칭 마스크 (10) 의 원위 부분을 도시한다. 2 개의 마스크 측부들 (28, 46) 은, 위치잡기 또는 인덱싱 구멍들 (48, 48') 이 서로 동심적으로 놓이도록 서로에 대해서 위치된다. 또한 반대쪽 측부 (46) 상에서, 에칭 마스크 (10) 는 샤프트 (16) 를 위한 샤프트-형성 영역 (30'), 및 팁 외형의 형성을 위한 팁-형성 영역 (32') 을 갖는다. 스크리닝 영역 (36') 은 전방에서 뭉뚝함을 피하기 위해서 팁-형성 영역 (32') 의 원위방향으로 전방에 배치된다. 또한, Y-형상의 보조 개구 (50) 는, 아래에서 더욱 상세히 설명되는 바와 같이, 채널 반대쪽 측부 (46) 상에서 팁의 외형의 영역에서 언더컷된 가장자리들 및 혹들을 피하기 위해서 제공된다.

반대쪽 측부 (46) 상의 팁-형성 영역 (32') 은 채널-측부의 팁-형성 영역 (32) 에 대한 관계에서 근위 방향으로 후퇴되어, 팁 (18) 이, 종방향으로 보았을 때, 원위 단부 (44) 로부터 시작되는 볼록한 라운딩부를 갖는다.

도 4 로부터 보여지는 바와 같이, 가장자리들 (54) 을 거쳐 꼭지점 (52) 까지의 쐐기 형상으로 테이퍼링되는 팁 외형은 반대쪽 측부 (46) 상에 팁-형성 영역 (32') 에 의해서 관통 요소 (14) 상에 형성된다. 적합하게는 꼭지점 (52) 은, 기재의 두께를 초과하는 만큼, 근위 방향으로 채널-측부 원위 단부 (44) 뒤에 위치된다. 가장자리들 (54) 에 대략 평행하게 전개된 보조 개구 (50) 의 개구 가지들은, 가장자리들 (54) 이 추가적으로 침투하는 에칭제에 의해서 단면이 볼록하게 둥글게 되고, 중공을 형성하지 않는 것을 보장한다. 따라서, 서로를 향해서 테이퍼링되는 개방 가지들 (50') 의 연결 지점 (56) 은 꼭지점 (52) 의 원위방향으로 전방에 배치되어, 절개를 방해하는 어떠한 언터컷된 갈고리가 또한 종방향으로 형성되지 않도록 한다. 만약 연결 지점 (56) 이 더 앞으로 배치된다면, 이러한 효과를 얻은 것이 더 이상 가능하지 않다. 대조적으로, 만약 연결 지점이 더 뒤로 이동되면, 연결 지점 앞에 놓인 혹을 갖는 일종의 횡방향 채널이 얻어진다. 바늘의 절개를 방해하는 이 종류의 외형을 피하기 위해서, 연결 지점 (56) 에서 시작되는 보조 개구 (50) 는 원위 베이스 가지 또는 보조 개구 슬릿 (50'') 을 갖고, 이 보조 개구 슬릿은 바람직하게는 원위방향으로 동일한 폭을 가지고 연장된다. 보조 개구 슬릿 (50'') 은 형성될 팁 (18) 의 채널-측부 원위 단부 (44) 에 대한 관계에서 근위방향으로 이격되어 종단된다. 이 방식에 있어서, 채널-측부 팁-형성 영역 (32) 의 더 큰 폭이 고려된다.

도 5 는 채널 측부 (28) 상의 에칭 마스크 (10) 의 근위 (후방) 영역 (58) 을 도시하고, 상기 근위 영역 (58) 은 유지부 (20) 를 형성하기 위해 제공된다. 채널 에칭 슬릿 (38) 은 근위 방향으로 테이퍼진 단부 부분 (60) 으로 이어진다. 원칙적으로, 이 후방 단부 부분 (60) 은 전방 원위 단부 부분 (40) 에 따라서 치수지어질 수 있다. 채널 에칭 슬릿 (38) 은, 에칭된 수집 채널 (22) 이, 샘플 액체의 테스트 요소 (24) 까지의 선형 모세관 전달을 허여하기 위하여 유지부 (20) 상의 전방에서 외부로 개방되는 방식으로 마스크 영역 (58) 에 위치될 수 있다.

테스트 요소 (24) 의 결합을 위해서, 수집 채널 (22) 의 마우스 영역은 가능한 멀리까지 단면의 확장이 없어야 하며, 이는 액체의 모세관 전달을 멈추게 할 수 있기 때문이다. 같은 방식으로, 테스트 요소 (24) 는 공기 갭 없이 수집 채널 상에 편평하게 놓여야 한다. 이를 달성하기 위해서, 에칭 마스크 (10) 는 플랜지-형성 영역 (62) 을 구비하고, 이 플랜지-형성 영역은 근위 방향으로 채널 에칭 슬릿 (38) 에 연결된다. 플랜지-형성 영역 (62) 은, 채널 에칭 슬릿 (38) 에 대해서 횡방향으로 채널 에칭 슬릿의 근위 슬릿 단부를 가로질러 연장되는 마스크 브릿지 (64) 를 갖고, 이 마스크 브릿지 (64) 는 원위방향으로 직선 가장자리 외형에 균일한 언더컷팅으로 이어진다.

그러나, 원위방향 언더컷에 부가하여, 에칭제는 또한 근위 방향으로 채널 에칭 슬릿 (38) 을 통해서 유동되고, 마우스에서 에칭의 대응하는 확장으로 이어질 수도 있다. 이 효과를 보상하기 위해서, 에칭 마스크 (10) 는 희생 연속부 (66) 를 구비하고, 이 희생 연속부는 채널 에칭 슬릿 (38) 으로부터 근위방향으로 이격되어 하류에 배치되며, 수집 채널 (22) 의 마우스 영역에서 원위방향 에칭제 효과를 방지한다.

이를 달성하기 위해서, 마스크 브릿지 (64) 상에 자유롭게 돌출된 희생 연속부 (66) 는 근위방향 가장자리 영역에서 아크-형상이고, 반경은 희생 연속부 (66) 가 완전히 에칭 제거되도록 언더컷팅 폭에 따라서 조절된다.

도 6 은, 위에서 설명된 마스크 레이아웃에 의해서 직선 플랜지 가장자리 (68) 가 유지부 (20) 에서 형성되고, 플랜지-온 (flange-on) 테스트 요소 (24) 로의 최적화된 샘플 전달로 이어지는 것을 도시한다. 희생 연속부 (66) 는 수집 채널 (22) 의 마우스 (70) 의 직선 경계를 보장하고, 또한 채널 단부 부분의 에칭의 추가적 확장을 방지한다. 반대쪽 측부를 위한 에칭 마스크 (10) 의 근위방향 영역은 채널 에칭 슬릿을 갖지 않고, 그래서 희생 연속부를 갖지 않는다는 점이 이해될 것이다. 그러나, 다른 점들에 있어서, 이것은 채널 측부 상의 근위방향 영역 (58) 에 대응한다.

또한, 도 7 및 도 8 로부터 명확한 바와 같이, 관통 요소 (14) 의 구조적 외형들 및 지형 (topography) 은 기재 (12) 의 양 측부들 상에서 상이한 마스크 레이아웃에 의해서 규정된다. 일 측부 상에서 미세한 수집 채널 (22) 의 표면 에칭에 부가하여, 마스크 개구들 (70, 72) 을 통한 깊이 에칭은 기재에서 화학적 블랭킹 부분의 분리를 달성하며, 만약 적합하다면 롤에서 롤로 대응하는 마스크의 반복은 많은 배치 번호 (batch numbers) 의 생산을 허여한다.

Claims (19)

1. 세장형 샤프트 (16), 원위방향으로 돌출된 팁 (18), 근위 유지부 (20), 및 체액을 수집하고 상기 팁 (18) 의 영역까지 상기 샤프트 (16) 를 따라서 연장되는 측방향으로 개방된 수집 채널 (22) 을 갖는 관통 요소 (14) 의 마스크-에칭을 위한 방법으로서,
   양면 에칭 마스크 (10) 가 기재 (12) 의 2 개의 측부들에 적용되고, 에칭제의 작용하에서, 상기 관통 요소 (14) 는 화학 블랭킹 (blanking) 에 의해서 만들어지는 부분으로서 형성되고,
   상기 에칭 마스크 (10) 의 채널 측부 (28) 는 상기 수집 채널 (22) 의 일측성 (unilateral) 에칭을 위한 채널 에칭 슬릿 (38) 을 구비하고,
   상기 채널 에칭 슬릿 (38) 의 근위 단부 부분 (40) 및/또는 원위 단부 부분 (60) 은 상기 슬릿의 단부를 향해서 테이퍼진 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 채널 에칭 슬릿 (38) 의 상기 근위 단부 부분 (40) 및 상기 원위 단부 부분 (60) 은, 에칭된 상기 수집 채널 (22) 이 일정한 단면 영역 또는 연속적으로 감소하는 단면 영역으로 테이퍼의 방향으로 연장되도록 선형으로 테이퍼지는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 에칭 마스크 (10) 의 근위 영역 (58) 에서 상기 채널 에칭 슬릿 (38) 은, 에칭된 상기 수집 채널 (22) 이 상기 근위 유지부 (20) 상의 전방 단부에서 개방되도록 위치되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 한 항에 있어서,
   상기 에칭 마스크 (10) 는 플랜지-형성 영역 (62) 을 구비하고, 상기 플랜지-형성 영역은 근위방향으로 상기 채널 에칭 슬릿 (38) 에 연결되고, 상기 플랜지-형성 영역 (62) 을 언더컷팅함으로써, 특히 상기 근위 유지부 (20) 상에 테스트 요소 (24) 를 플랜징 (flanging) 하기 위해서 상기 수집 채널 (22) 의 마우스 (mouth) 를 형성하는 바람직하게는 직선 플랜지 가장자리 (68) 가 형성되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 플랜지-형성 영역 (62) 은 상기 채널 에칭 슬릿 (38) 에 대해서 횡방향으로, 상기 채널 에칭 슬릿의 근위 슬릿 단부를 가로질러 연장하는 마스크 브릿지를 갖는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 한 항에 있어서,
   상기 에칭 마스크 (10) 는 희생 연속부 (66) 를 구비하고, 상기 희생 연속부는 상기 채널 에칭 슬릿 (38) 의 하류에 근위방향으로 이격되어 배치되고, 상기 수집 채널 (22) 의 마우스 영역에서 에칭제 효과를 스크리닝하는 역할을 하는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
7. 제 6 항에 있어서,
   마스크 가장자리 상에 자유롭게 돌출된 상기 희생 연속부 (66) 는, 상기 채널 에칭 슬릿 (38) 의 상기 근위 슬릿 단부 (60) 로부터 멀리 지향되는 가장자리 영역에서, 아크 형상, 특히 원형 아크 형상에 의해서 규정되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
   상기 희생 연속부 (66) 의 치수들은, 상기 희생 연속부 (66) 가 상기 희생 연속부의 근위 베이스로 완전히 에칭 제거되도록 에칭제의 언더컷팅 폭에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 한 항에 있어서,
   상기 기재의 양 측부 상의 상기 에칭 마스크 (10) 는, 팁 외형을 형성하기 위해서 팁-형성 영역 (32, 32') 을 구비하고, 채널-측부의 상기 팁-형성 영역 (32) 은 반대 측부 상에 놓여있는 상기 팁-형성 영역 (32') 의 원위방향으로 앞에 배치되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 한 항에 있어서,
    상기 채널 에칭 슬릿 (38) 으로부터 멀리 지향되는 상기 에칭 마스크의 반대 측부 (46) 상의 상기 에칭 마스크 (10) 는, 특히 상기 팁 (18) 의 영역에서 언더컷된 가장자리들을 방지하기 위해서 보조 개구 (50) 를 갖는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 보조 개구 (50) 는 마스크 가장자리로부터 측방향으로 이격된 상기 에칭 마스크 (10) 의 팁-형성 영역 (32') 에 배치되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 보조 개구 (50) 는 원위방향으로 V-형상으로 서로를 향해서 연장되는 2 개의 보조 개구 가지들 (limbs; 50') 을 갖는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
13. 제 10 항 내지 제 12 항 중 한 항에 있어서,
    상기 보조 개구 (50) 는 원위 보조 개구 개구 연속부 (50'') 를 갖고, 상기 원위 보조 개구 연속부는 원위방향으로 연장되고, 바람직하게는 슬릿 또는 일련의 구멍들로서 구성되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 보조 개구 연속부 (50'') 의 근위 단부는, 근위방향으로 보았을 때, 형성될 상기 팁 (18) 의 상기 원위 단부 (44) 뒤에 배치되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
15. 제 10 항 내지 제 14 항 중 한 항에 있어서,
    상기 보조 개구 (50) 는 Y-형상이고, 서로를 향해서 연장되는 상기 개구 가지들의 연결 지점 (56) 은 상기 채널 반대쪽 측부 (46) 상에 형성될 팁 외형 (52) 으로부터 원위방향으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
16. 제 1 항 내지 제 15 항 중 한 항에 있어서,
    상기 채널 에칭 슬릿 (38) 은, 상기 수집 채널 (22) 이 상기 팁 (18) 의 상기 원위 단부 (44) 의 앞에 150 내지 400 ㎛ 의 거리에서 종단되도록 상기 에칭 마스크 (10) 의 원위 팁-형성 영역 (32) 안까지 연장되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
17. 제 1 항 내지 제 16 항 중 한 항에 있어서,
    상기 채널 에칭 슬릿의 상기 테이퍼진 단부 부분 (40, 60) 은 뭉뚝한 단부 가장자리를 향해서, 초기 폭의 0.4 내지 0.6 배만큼 폭이 감소되는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
18. 제 1 항 내지 제 17 항 중 한 항에 있어서,
    상기 채널 에칭 슬릿 (38) 은, 상기 채널 에칭 슬릿의 상기 단부 부분 (40, 60) 에서, 100 내지 300 ㎛ 범위의 길이를 따라서 슬릿 단부를 향해서 테이퍼지는 것을 특징으로 하는, 관통 요소의 마스크-에칭을 위한 방법.
19. 세장형 샤프트 (16), 원위방향으로 돌출된 팁 (18), 근위 유지부 (20), 및 체액을 수집하고 상기 팁 (18) 의 영역까지 상기 샤프트 (16) 를 따라서 연장되는 측방향으로 개방된 수집 채널 (22) 을 갖는 관통 요소 (14) 로서,
    상기 수집 채널 (22) 은, 적어도 일 단부 부분 (40, 60) 에서, 연속적으로 감소하는 단면 영역으로 연장되고, 특히 제 1 항 내지 제 18 항 중 한 항에 따른 마스크-에칭 방법에 의해서 형성된 관통 요소.

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