KR20140065581A - 사이드 롤러 유닛 및 이를 갖는 기판 이송 장치 - Google Patents

사이드 롤러 유닛 및 이를 갖는 기판 이송 장치 Download PDF

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KR20140065581A
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Abstract

사이드 롤러 유닛은 기판 이송을 가이딩하기 위한 지지 샤프트 및 사이드 롤러를 포함한다. 상기 사이드 롤러는 상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하며, 제1 컬러를 갖는 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능하며 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 외륜을 구비한다.

Description

사이드 롤러 유닛 및 이를 갖는 기판 이송 장치{SIDE ROLLER UNIT AND SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS HAVING THE SIDE ROLLER UNIT}
본 발명은 사이드 롤러 유닛 및 이를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 기판의 이송을 가이딩하기 위한 사이드 롤러 유닛 및 이를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
기판 처리 장치는 유리 기판과 같은 기판을 처리하여 평판 디스플레이를 제조할 수 있다. 예를 들면, 기판 처리 장치는 상기 기판을 처리하기 위한 공정 챔버를 포함할 수 있다. 상기 공정 챔버 내에는 상기 기판을 이송시키기 위한 기판 이송 장치 및 상기 기판 상에 처리액을 분사하기 위한 처리액 분사 장치가 구비될 수 있다.
상기 기판 이송 장치는 상기 기판을 이송시키기 위한 다수개의 이송 롤러들 및 상기 기판 이송을 가이딩하기 위한 다수개의 사이들 롤러들을 포함할 수 있다. 상기 사이드 롤러는 상기 기판의 측면과 접촉하는 상기 기판의 반송 시에 상기 기판을 가이딩할 수 있다. 따라서, 상기 기판의 측면과 접촉하는사이드 롤러에 갈림 현상이 발생할 수 있다. 이 때, 상기 공정 챔버의 커버를 개방한 후 육안으로 판단하여 상기 사이드 롤러를 교체하여야 하며, 상기 사이드 롤러 부품 전체를 교체하여야 하므로, 교체 여부 확인이 어렵고 소모품에 대한 원가 손실의 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은 사이드 롤러의 교체 시기를 육안으로 손쉽게 확인할 수 있고 소모품의 원가를 절감시킬 수 있는 사이드 롤러 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 사이드 롤러 유닛을 포함하는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
그러나, 본 발명이 해결하고자 하는 과제들이 전술한 과제들에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 사이드 롤러 유닛은 기판 이송을 가이딩하기 위한 지지 샤프트 및 사이드 롤러를 포함한다. 상기 사이드 롤러는 상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하며, 제1 컬러를 갖는 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능하며 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 외륜을 구비한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 사이드 롤러 유닛은 상기 지지 샤프트 및 상기 내륜 사이에 구비되는 베어링을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 외륜은 0.5㎜ 내지 2㎜의 두께를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 외륜은 상기 내륜에 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 내륜은 제1 물질을 포함하며, 상기 외륜은 상기 제1 물질과 다른 제2 물질을 포함할 수 있다. 상기 제1 물질은 제1 탄성계수를 갖고, 상기 제2 물질은 상기 제1 탄성계수보다 작은 제2 탄성계수를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 내륜은 제1 두께를 가지고 상기 외륜은 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 가질 수 있다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 사이드 롤러 유닛은 기판 이송을 가이딩하기 위한 지지 샤프트, 및 상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하는 사이드 롤러를 포함한다. 상기 사이드 롤러는 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능한 외륜을 포함하며, 상기 외륜은 서로 다른 컬러들을 갖는 적어도 2층들을 갖는다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 외륜은 적어도 제1 층과 제2 층을 포함하는 다층 구조를 가지고, 상기 제1 층은 상기 제2 층보다 내측에 위치하며 상기 제1 층은 제1 컬러를 가지며 상기 제2 층은 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 층은 상기 기판의 측면과 직접 접촉할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 제1 방향으로 배치된 다수개의 반송 샤프트들, 상기 반송 샤프트에 결합되어 상기 반송 샤프트와 함께 회전하여 기판을 이송시키는 이송 롤러들, 상기 제1 방향으로 배치된 다수개의 지지 샤프트들, 및 상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하며 제1 컬러를 갖는 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능하며 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 외륜을 구비하는 사이드 롤러들을 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판 이송 장치는 상기 기판을 식각하거나 세정하기 위한 공정 챔버 내에 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 반송 샤프트는 상기 공정 챔버 내에서 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지 샤프트는 상기 공정 챔버의 저면으로 상부로 연장하는 기둥 형상을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 외륜은 0.5㎜ 내지 2㎜의 두께를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 외륜은 상기 내륜에 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 내륜은 제1 물질을 포함하며, 상기 외륜은 상기 제1 물질과 다른 제2 물질을 포함할 수 있다. 상기 제1 물질은 제1 탄성계수를 갖고, 상기 제2 물질은 상기 제1 탄성계수보다 작은 제2 탄성계수를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 외륜은 적어도 제1 층과 제2 층을 포함하는 다층 구조를 가지고, 상기 제1 층은 상기 제2 층보다 내측에 위치할 수 있다. 상기 제1 층은 상기 제2 컬러를 가지며 상기 제2 층은 상기 제2 컬러와 다른 제3 컬러를 가질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치에 있어서, 사이드 롤러는 색깔이 다른 내륜과 외륜을 포함함으로써, 상기 사이들 롤러의 마모에 따른 교체 시기를 육안으로 손쉽게 확인할 수 있고 상기 외륜만을 교체하여 소모품의 원가를 절감시킬 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 2의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 2의 IV-IV'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 5는 마모된 상태의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 6은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 6의 사이드 롤러 유닛의 외륜의 일부를 나타내는 부분 절개 사시도이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러가지 형태를 가질수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든변경, 균등물 내지대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기구성요소들은 상기 용어들에 의해한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는이들을 조합한 것이존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가가능성을 미리 배제하지 않는것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이다. 도 2는 도 1의 기판 이송 장치의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 정면도이다. 도 3은 도 2의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 사시도이다. 도 4는 도 2의 IV-IV'라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 5는 마모된 상태의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 이송 롤러 유닛 및 사이드 롤러 유닛(200)을 포함할 수 있다.
상기 이송 롤러 유닛은 제1 방향(D1)으로 배치된 다수개의 반송 샤프트들(110) 및 반송 샤프트(110)에 결합되는 다수개의 이송 롤러들(120)을 포함할 수 있다. 사이드 롤러 유닛(200)은 제1 방향(D1)으로 배치된 다수개의 지지 샤프트들(110) 및 지지 샤프트들(110) 각각에 회전 가능하도록 지지되는 사이드 롤러들을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 기판 이송 장치(100)는 표시 패널과 같은 기판(S)을 처리하기 위한 공정 챔버(10) 내에 구비되어 기판(S)을 지지하고 이송하는 역할을 수행할 수 있다. 또한, 공정 챔버(10) 내에는 기판(S)을 식각하거나 세정하기 위한 약액 공급 장치(도시되지 않음)가 구비될 수 있다.
다수개의 반송 샤프트들(110)은 챔버(10) 내에 구비되어 기판(S)을 이동시키기 위하여 소정 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들면, 반송 샤프트들(110)은 제1 방향(D1)을 따라 이격 배치될 수 있다. 반송 샤프트(110)는 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)으로 연장할 수 있다.
이송 롤러들(120)은 반송 샤프트(110)에 결합되어 반송 샤프트(110)와 함께 회전하여 기판(S)을 이송시킬 수 있다. 예를 들면, 이송 롤러들(120) 각각에는 반송 샤프트(110)가 삽입되는 홀(도시되지 않음)이 형성되어 이송 롤러들(120)들은 반송 샤프트(110)에 결합될 수 있다. 이송 롤러들(120)은 기판(S)의 하부면과 직접 접촉하고 반송 샤프트(110)와 함께 회전하여 기판(S)을 제1 방향(D1)으로 이송시킬 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 반송 샤프트들(110)은 자기력을 매개로 하는 마그네틱 기어(130)를 통해 공정 챔버(10) 외부의 구동 유닛(도시되지 않음)으로부터 회전력을 전달받을 수 있다. 예를 들면, 마그네틱 기어(130)는 제1 회전판(132) 및 제2 회전판(134)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 회전판들(132, 134)은 공정 챔버(10)의 일측벽을 사이에 두고 서로 대향되도록 배치될 수 있다. 제1 및 제2 회전판들(132, 134)은 내부에 서로 마주보는 자석들을 각각 가질 수 있다.
제1 회전판(132)은 반송 샤프트(110)의 단부에 고정 결합되고, 제2 회전판(134)은 상기 구동 유닛의 구동 샤프트에 고정 결합될 수 있다. 따라서, 상기 구동 유닛의 모터에 의해 제2 회전판(134)이 회전되면 상기 자석들의 자기력에 의해 제1 회전판(132)이 회전되어 상기 모터의 회전력은 반송 샤프트(110)로 전달될 수 있다.
다수개의 지지 샤프트들(210)은 챔버(10) 내에서 반송 샤프트들(110) 사이에 구비되어 기판(S)의 이동을 가이딩할 수 있다. 예를 들면, 지지 샤프트들(210)은 제1 방향(D1)을 따라 이격 배치될 수 있다. 지지 샤프트들(210)은 제1 방향(D1)으로 이송되는 기판(S)의 양측부를 지지하도록 공정 챔버(10)의 마주보는 양측부를 따라 배열될 수 있다. 지지 샤프트(210)는 공정 챔버(10)의 저면으로부터 상부로 연장하는 기둥 형상을 가질 수 있다.
상기 사이드 롤러는 지지 샤프트(210)에 회전 가능하도록 지지되어 기판(S)의 측면과 접촉하여 기판(S)을 가이딩할 수 있다. 상기 사이드 롤러는 내륜(220) 및 내륜(220)을 둘러싸는 외륜(230)을 포함할 수 있다.
내륜(220)은 지지 샤프트(210)를 둘러싸도록 구비될 수 있다. 예를 들면, 내륜(220)은 고정 볼트(202)에 의해 지지 샤프트(210)에 장착될 수 있다. 내륜(220)은 고정부(204)에 의해 지지 샤프트(210)에 고정될 수 있다. 다수의 베어링들(212)이 고정부(204) 내부에 설치될 수 있다. 따라서, 지지 샤프트(210)는 내륜(220)의 회전에 의해 간섭받지 않을 수 있다.
외륜(230)은 내륜(220)을 둘러싸도록 구비되어 기판(S)의 측면과 직접 접촉할 수 있다. 외륜(230)은 내륜(220)에 탈착 가능하도록 내륜(220)에 설치될 수 있다. 예를 들면, 외륜(230)은 내륜(220)에 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있다. 따라서, 사용자의 외력에 의해 외륜(230)만이 내륜(220)으로부터 탈착되고 교체가 필요할 경우 외륜(230)만이 용이하게 교체될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 내륜(220)은 제1 컬러를 갖고 외륜(230)은 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 가질 수 있다. 예를 들면, 내륜(220)의 외측면이 흰색이고, 외륜(230)은 검정색일 수 있다. 또한, 내륜(220)은 제1 두께를 가지고 외륜(230)은 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 가질 수 있다. 외륜(230)의 두께(t)는 사이드 롤러 교체시기에 따라 결정될 수 있다. 예를 들면, 외륜(230)의 두께(t)는 0.1㎜ 내지 2㎜일 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 외륜(230)에는 이송되는 기판(S)과의 접촉에 의해 갈림 현상이 발생하고 이에 따라 외륜(230)에는 홈(C)이 형성될 수 있다. 이 때, 홈(C)에 의해 내륜(220)의 외측면이 노출될 수 있다. 예를 들면, 사용자는 정비 시에 검정색의 외륜(230)의 홈(C)을 통해 노출된 흰색의 내륜(220)을 육안으로 쉽게 확인할 수 있다. 따라서, 사용자는 사이드 롤러(외륜(230)만)의 마모를 육안으로 쉽게 확인하고 교체시기를 판단하고, 외륜만을 교체할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 내륜(220)은 제1 물질을 포함하며, 외륜(230)은 상기 제1 물질과 다른 제2 물질을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 물질들의 예로서는, 플라스틱, 고무 등을 들 수 있다. 또한, 상기 제1 물질은 제1 탄성계수를 갖고, 상기 제2 물질은 상기 제1 탄성계수보다 작은 제2 탄성계수를 가질 수 있다. 내륜(220)과 외륜(230)의 탄성계수를 적절히 선택함으로써사이드 롤러의 교체시기를 연장하고 기판(S)의 이송 가이딩을 보다 용이하게 수행할 수 있다.
도 6은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치의 사이드 롤러 유닛을 나타내는 사시도이다. 도 7은 도 6의 사이드 롤러 유닛의 외륜의 일부를 나타내는 부분 절개 사시도이다. 상기 사이드 롤러 유닛은 외륜의 구조를 제외하고는 도 4를 참조로 설명한 사이드 롤러 유닛과 실질적으로 동일하거나 유사하다. 이에 따라, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 6을 참조하면, 사이드 롤러 유닛은 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되는 사이드 롤러를 포함할 수 있다. 상기 사이드 롤러는 기판(S)의 측면과 접촉하여 기판(S)을 가이딩할 수 있다. 상기 사이드 롤러는 내륜(220) 및 외륜(230)을 포함할 수 있다.
내륜(220)은 고정부(204)에 의해 상기 지지 샤프트에 고정될 수 있다. 외륜(230)은 내륜(220)을 둘러싸도록 구비되어 기판(S)의 측면과 직접 접촉할 수 있다. 외륜(230)은 내륜(220)에 탈착 가능하도록 내륜(220)에 설치될 수 있다.
예를 들면, 외륜(230)은 내륜(220)에 끼워맞춤 방식으로 결합될 수 있다. 내륜(220)의 외측면에는 돌출부들이 형성되고 외륜(230)의 내측면에는 상기 돌출부들에 대응하는 결합홈들이 형성될 수 있다. 따라서, 사용자의 외력에 의해 외륜(230)만이 내륜(220)으로부터 탈착되고 교체가 필요할 경우 외륜(230)만이 용이하게 교체될 수 있다.
외륜은 서로 다른 컬러들을 갖는 적어도 2층들을 가질 수 있다. 외륜(230)은 적어도 제1 층(232)과 제2 층(234)을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 제1 층(232)은 제2 층(234)보다 내측에 위치할 수 있다. 제2 층(234)은 제1 층(232)을 둘러싸도록 형성될 수 있다.
제1 층(232)은 제1 컬러를 가지며 제2 층(234)은 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 가질 수 있다. 제2 층(234)은 외륜(230)의 최외곽에 배치될 수 있다. 제1 층(232)은 제1 두께(t1)를 가지고 제2 층(234)은 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께(t2)를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 층(232)과 제2 층(234)의 두께 비는 1 : 9 내지 1 : 2 일 수 있다. 제2 층(234)의 제2 두께(t2)는 1mm 내지 5mm 일 수 있다.
외륜(230)은 이송되는 기판(S)과의 접촉에 의해 마모될 수 있다. 최외각에 있는 제2 층(234)이 마모에 의해 홈이 형성되면, 제1 층(232)이 노출될 수 있다. 예를 들면, 사용자는 정비 시에 제2 컬러의 상층이 마모됨에 따라 제1 컬러의 하층을 육안으로 쉽게 확인할 수 있다. 따라서, 사용자는 사이드 롤러(외륜(230))의 마모를 육안으로 쉽게 확인하고 교체시기를 판단하고, 외륜만을 교체할 수 있다.
상술한 바와 같이, 사이드 롤러는 색깔이 다른 내륜과 외륜을 포함함으로써, 상기 사이들 롤러의 마모에 따른 교체 시기를 육안으로 손쉽게 확인할 수 있고 상기 외륜만을 교체하여 소모품의 원가를 절감시킬 수 있다.
본 발명은 반도체 제조용 웨이퍼 및 평판 디스플레이 제조용 유리 기판 등의 기판을 처리하기 위한 기판 처리 장치에 적용될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: 공정 챔버 100: 기판 이송 장치
110: 반송 샤프트 120: 이송 롤러
130: 마그네틱 기어 132: 제1 회전판
134: 제2 회전판 200: 사이드 롤러 유닛
210: 지지 샤프트 212: 베어링
220: 내륜 230: 외륜
232: 제1 층 234: 제2 층

Claims (20)

  1. 기판 이송을 가이딩하기 위한 지지 샤프트; 및
    상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하며, 제1 컬러를 갖는 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능하며 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 외륜을 구비하는 사이드 롤러를 포함하는 사이드 롤러 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 샤프트 및 상기 내륜 사이에 구비되는 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 외륜은 0.2㎜ 내지 2㎜의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 외륜은 상기 내륜에 끼워맞춤 방식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 내륜은 제1 물질을 포함하며, 상기 외륜은 상기 제1 물질과 다른 제2 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제1 물질은 제1 탄성계수를 갖고, 상기 제2 물질은 상기 제1 탄성계수보다 작은 제2 탄성계수를 갖는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 내륜은 제1 두께를 가지고 상기 외륜은 상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  8. 기판 이송을 가이딩하기 위한 지지 샤프트; 및
    상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하며, 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능하며 서로 다른 컬러들을 갖는 적어도 2층들을 갖는 외륜을 구비하는 사이드 롤러를 포함하는 사이드 롤러 유닛.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 외륜은 적어도 제1 층과 제2 층을 포함하는 다층 구조를 가지고, 상기 제1 층은 상기 제2 층보다 내측에 위치하며 상기 제1 층은 제1 컬러를 가지며 상기 제2 층은 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 제2 층은 상기 기판의 측면과 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 사이드 롤러 유닛.
  11. 제1 방향으로 배치된 다수개의 반송 샤프트들;
    상기 반송 샤프트에 결합되어 상기 반송 샤프트와 함께 회전하여 기판을 이송시키는 이송 롤러들;
    상기 제1 방향으로 배치된 다수개의 지지 샤프트들; 및
    상기 지지 샤프트에 회전 가능하도록 지지되어 상기 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판을 가이딩하며, 제1 컬러를 갖는 내륜 및 상기 내륜을 둘러싸도록 탈착 가능하며 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 외륜을 구비하는 사이드 롤러들을 포함하는 기판 이송 장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 기판 이송 장치는 상기 기판을 식각하거나 세정하기 위한 공정 챔버 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 반송 샤프트는 상기 공정 챔버 내에서 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 지지 샤프트는 상기 공정 챔버의 저면으로 상부로 연장하는 기둥 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  15. 제 11 항에 있어서, 상기 외륜은 0.5㎜ 내지 2㎜의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  16. 제 1 항에 있어서, 상기 외륜은 상기 내륜에 끼워맞춤 방식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  17. 제 1 항에 있어서, 상기 내륜은 제1 물질을 포함하며, 상기 외륜은 상기 제1 물질과 다른 제2 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 제1 물질은 제1 탄성계수를 갖고, 상기 제2 물질은 상기 제1 탄성계수보다 작은 제2 탄성계수를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  19. 제 11 항에 있어서, 상기 외륜은 적어도 제1 층과 제2 층을 포함하는 다층 구조를 가지고, 상기 제1 층은 상기 제2 층보다 내측에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 제1 층은 상기 제2 컬러를 가지며 상기 제2 층은 상기 제2 컬러와 다른 제3 컬러를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017193828A1 (zh) * 2016-05-11 2017-11-16 京东方科技集团股份有限公司 传送装置及其控制方法
KR20220170561A (ko) * 2021-06-23 2022-12-30 한국알박(주) 롤러 및 기판 처리 설비

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017193828A1 (zh) * 2016-05-11 2017-11-16 京东方科技集团股份有限公司 传送装置及其控制方法
US10023401B1 (en) 2016-05-11 2018-07-17 Boe Technology Group Co., Ltd. Conveyer and method of controlling the same
KR20220170561A (ko) * 2021-06-23 2022-12-30 한국알박(주) 롤러 및 기판 처리 설비

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