KR20140077882A

KR20140077882A - Device for changing pitch of stacked objects

Info

Publication number: KR20140077882A
Application number: KR1020147005758A
Authority: KR
Inventors: 마사히로 카토; 세이라 카토
Original assignee: 플러스 세이키 가부시키가이샤
Priority date: 2011-09-22
Filing date: 2012-08-13
Publication date: 2014-06-24
Also published as: US20140219767A1; WO2013042489A1; WO2013042489A9; DE112012003973T5; CN103827005A

Abstract

하나의 피치로 하나의 용기에 적층되어 있는 적층물을 다른 피치로 변경하고 다른 용기에 적층 형상으로 수납하는 작업을 효율적으로 행하는 것.
베이스 플레이트(3)에 소정의 피치로 적층 형상으로 나란히 배치된 다수의 워크(51)를 흡착하는 흡착 패드(25)가 설치된다. 베이스 플레이트에 구동축(31)에 연동하는 가변 스페이서(17)의 회전에 의해 베이스 플레이트 간의 피치가 가변으로 된다. 이때 1군의 베이스 플레이트와의 사이에 흡착 패드에 연통하는 기밀의 연통로(28)가 형성된다. 연통로(28)는 인접하는 베이스 플레이트의 통과구멍 사이에 신축 자유로운 탄성 패킹(15)이 연이어 설치됨으로써 형성된다. 탄성 패킹, 가변 스페이서는 베이스 플레이트에 연동하여 이동한다. 베이스 플레이트에는 베이스 플레이트 간의 피치의 고정을 해제하기 위한 스프링(9)이 설치된다. 가변 스페이서(17)는 원주면 위에서 두께가 상이한 부분이 형성되어 있다. The laminate which is laminated in one container at one pitch is changed to another pitch, and the work of efficiently stacking the laminate in another container is performed.
There is provided an adsorption pad 25 for adsorbing a plurality of workpieces 51 arranged side by side in a laminated form at a predetermined pitch on the base plate 3. [ The pitch between the base plates is made variable by the rotation of the variable spacer 17 interlocked with the drive shaft 31 on the base plate. At this time, an airtight communication passage (28) communicating with the adsorption pad is formed between the base plate and the group of the first group. The communication path (28) is formed by providing an elastic packing (15) stretched freely between the passing holes of the adjacent base plates. The elastic packing and the variable spacer move in conjunction with the base plate. The base plate is provided with a spring (9) for releasing the fixing of the pitch between the base plates. The variable spacer 17 has a portion having a thickness different from that of the circumferential surface.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pitch change apparatus,

본원 발명은 다수의 얇은 두께의 워크가 소정의 피치로 적층 형상으로 나란히 배치되어 있는 경우의 워크 간 피치를 변경하는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for changing the pitch between workpieces when a plurality of thin-walled workpieces are arranged side by side in a laminated shape at a predetermined pitch.

예를 들면, 솔라 패널과 같은 셀이라고 불리는 얇은 두께의 이송 대상물(이하, 「워크」라고 함)을 하나의 용기로부터 다른 용기로 옮기는 경우, 생산 공정상의 이유로, 적층 형상으로 나란히 배치되는 워크 간의 피치가 상이할 때가 있다. For example, in the case of transferring a thin transport object (hereinafter referred to as a " work ") called a cell, such as a solar panel, from one container to another container, .

이러한 경우, 종래는 사람 손으로 한장 한장 상이한 피치의 용기로 옮기고 있었다. 그렇지만, 이러한 대응으로는 효율이 매우 나쁘다. 그것뿐만 아니라, 예를 들면, 솔라 패널과 같은 얇은 두께의 워크에서는, 경사 방향에 예측하지 못한 외력이 걸리면 워크가 용이하게 손상된다고 하는 문제가 있었다. In this case, conventionally, human hands have been transferred to containers of different pitches one by one. However, the efficiency is very bad with this countermeasure. In addition, there has been a problem in that, for example, in the case of a thin-walled work such as a solar panel, if an unexpected external force is applied in the oblique direction, the work is easily damaged.

또한 로봇에 의해 상기 옮김을 행하는 경우에는 이러한 예측하지 못한 힘이 걸리는 것을 방지할 수 있지만, 역시 한장 한장 옮기므로 효율을 높일 수 없다. In addition, in the case of carrying out the transfer by the robot, it is possible to prevent such unpredictable force from being applied, but the efficiency can not be increased because it is also transferred one by one.

본원 발명은 상기 워크의 적층 상태를 유지한 채 적층 피치만 변경하는 장치이다. 이러한 장치에 관하여, 국제특허분류「B65H 3/00」에서「피치」,「흡착」,「가변」에 관한 기술을 조사해 보았지만, 의미있는 정보를 발견할 수 없었다. 또한, 참고 정보는 다음과 같다. The present invention is an apparatus for changing only the lamination pitch while maintaining the lamination state of the work. With respect to such a device, although the technology relating to "pitch", "adsorption", "variable" was examined in the international patent classification "B65H 3/00", meaningful information could not be found. The reference information is as follows.

일본 특개 평5-253877호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 5-253877

(발명의 개요)(Summary of the Invention)

(발명이 해결하고자 하는 과제)(Problems to be Solved by the Invention)

본원 발명은 상기 결점을 해소하고, 하나의 피치(예를 들면, 작은 피치)로 하나의 용기에 적층되어 있는 적층물을, 다른 피치(예를 들면, 큰 피치)로 변경하고 다른 용기에 적층 형상으로 수납하는 작업을 효율적으로 행하는 것을 목적으로 한다. The present invention solves the above drawbacks and can be achieved by changing the laminate stacked in one container to one pitch (for example, a small pitch) to another pitch (for example, a large pitch) In order to efficiently carry out the work of storing the product.

또한 상기 옮김 작업을 확실하고, 안정적이고, 원활하게 행하는 것을 목적으로 한다. It is another object of the present invention to carry out the transfer operation reliably, stably, and smoothly.

또한, 옮겨지는 워크가 이상 상태에 있는지 아닌지를 검출하는 것도 목적으로 한다. It is also intended to detect whether or not the transferred work is in an abnormal state.

상기 목적 달성을 위해, 본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치는, 소정의 피치로 적층 형상으로 나란히 배치된 다수의 얇은 두께의 워크 간의 피치를 변경하는 장치로서, 이동 자유로운 가동 유지부와, 이 가동 유지부를 구동하는 구동부로 이루어지고, 상기 가동 유지부는 다수의 베이스 플레이트가 소정의 피치로 적층 형상으로 나란히 배치되어 이루어지고, 상기 각 베이스 플레이트에 상기 워크를 유지하는 동작 부재가 설치되고, 이 동작 부재는 연통로로부터 보내지는 구동 파워에 의해 작동되어 상기 워크를 각 개별로 유지하고, 상기 각 베이스 플레이트에 구동부의 구동축에 연동하는 회전 자유로운 가변 스페이서가 설치되고, 이 가변 스페이서의 회전에 의해 베이스 플레이트 간의 피치가 가변으로 되고, 또한 상기 각 베이스 플레이트에 상기 워크가 유지될 때, 1군의 베이스 플레이트와의 사이에 상기 동작 부재에 연통하는 기밀이며 신축 자유로운 연통로가 형성되는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a laminate pitch changing device according to the present invention is an apparatus for changing the pitch between a plurality of thin-walled workpieces arranged side by side in a laminated shape at a predetermined pitch, the apparatus comprising: And a driving unit for driving the holding unit, wherein the movable holding unit includes a plurality of base plates arranged side by side at a predetermined pitch in a stacked manner, and each of the base plates is provided with an operating member for holding the work, Is rotatably supported by the driving shaft of the driving part and is provided with a rotatable variable spacer which is operated by the driving power sent from the communication path to keep the work individually, The pitch becomes variable, and the pitch of the phase When the workpiece is held, characterized in that between the base plate of the first group it is confidential and is formed by stretching the free communication of communicating with the operating member.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 연통로는 인접하는 베이스 플레이트의 통과 구멍 사이에 신축 자유로운 탄성 패킹이 연이어 설치됨으로써 형성되는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the communication path is formed by continuously extending elastic pads between the through holes of the adjacent base plates.

또한 청구항 2에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 각 탄성 패킹이 상기 각 베이스 플레이트에 연동하여 이동하는 것을 특징으로 한다. In the laminate pitch changing device according to the second aspect of the present invention, each of the elastic packing moves in conjunction with each of the base plates.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 각 가변 스페이서가 상기 각 베이스 플레이트에 연동하여 이동하는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the variable spacers are moved in association with the respective base plates.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 각 베이스 플레이트에 베이스 플레이트 간의 피치의 고정을 해제하기 위한 스프링이 설치되는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, a spring for releasing the fixing of the pitch between the base plates is provided on each of the base plates.

또한 청구항 2에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 탄성 패킹은 벨로우즈 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 2, the elastic packing is formed in a bellows shape.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 가변 스페이서는 원주면 상에서 두께가 상이한 부분이 형성되어 있고, 회전에 의해 상이한 두께의 부분이 상기 베이스 플레이트에 접함으로써 베이스 플레이트 간의 피치를 가변으로 하는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the variable spacer has a portion having a different thickness on the circumferential surface, and a portion having a different thickness comes into contact with the base plate by rotation, .

또한 청구항 5에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 스프링은 축소된 상태의 베이스 플레이트를 복원시키는 힘에 대하여 고정된 베이스 플레이트측의 스프링력을 가동의 베이스 플레이트측의 스프링력보다 크게 형성하는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 5, the spring force of the base plate side fixed to the force for restoring the reduced base plate is made larger than the spring force of the movable base plate side .

또한 청구항 8에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 스프링의 스프링력을 베이스 플레이트의 소정의 개수마다 가동의 베이스 플레이트측을 향하여 계단 모양으로 작게 하는 것을 특징으로 한다. In the laminate pitch changing device according to claim 8, the spring force of the spring is reduced stepwise toward the movable base plate every predetermined number of base plates.

또한 청구항 8에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 스프링의 스프링력을 가동의 베이스 플레이트측을 향하여 직선상으로 작게 하는 것을 특징으로 한다. In the laminate pitch changing device as set forth in claim 8, the spring force of the spring is reduced in a straight line toward the movable base plate side.

또한 청구항 5에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 스프링이 단일개의 스프링으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. In the laminate pitch changing device according to claim 5, the spring is formed of a single spring.

또한 청구항 5에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 스프링이 복수개의 스프링이 겹쳐져서 이루어지는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 5, the spring is characterized in that a plurality of springs are overlapped.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 워크가 흡착될 때, 워크의 갈라짐, 깨짐 등 워크의 상태를 검출하는 검출부를 설치하는 것을 특징으로 한다. In the laminate pitch changing device according to claim 1, when the workpiece is sucked, a detecting section for detecting a state of the workpiece such as cracking or breakage of the workpiece is provided.

또한 청구항 13에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 검출부는 상기 연통로의 출입구에 상기 연통로를 개폐하기 위해 설치되는 개폐 밸브와, 이 개폐 밸브에 설치되어 진공압 검출로에 연통되는 오리피스와, 이 진공압 검출로에 접속되는 센서로 이루어지고, 상기 구동 파워가 상기 연통로에 입력되어 상기 개폐 밸브를 닫은 후, 연통로 내의 압력 변화를 검출하는 것을 특징으로 한다. [0030] In the laminate pitch changing device according to claim 13, the detecting unit may include an opening / closing valve provided to open / close the communication path at an entrance / exit of the communication path, an orifice communicating with the pneumatic- And a sensor connected to the vacuum pressure detection path. The driving power is inputted to the communication passage to close the opening / closing valve, and then detects a change in the pressure in the communication passage.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 동작 부재가 상기 워크를 흡착하는 흡착 패드로 이루어지는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the operation member comprises an adsorption pad for adsorbing the work.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 동작 부재가 상기 워크를 협착하는 협착 부재로 이루어지는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the operating member comprises a narrowing member for narrowing the work.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 1군의 베이스 플레이트는 소정의 개수마다 하나의 그룹으로 형성되는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the group of base plates is formed as one group for every predetermined number.

또한 청구항 1에 기재된 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 각 베이스 플레이트에 동작 부재가 한 쌍 설치되고, 상기 각 베이스 플레이트에는 상기 가변 스페이서 및 이 동작 부재에 연통하는 상기 연통로가 한 쌍 설치되는 것을 특징으로 한다. In the laminate pitch changing device according to claim 1, a pair of operation members is provided on each of the base plates, and each of the base plates is provided with a pair of the variable spacer and the communication path communicating with the operation member .

또한 청구항 1 기재의 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 동작 부재는 적층방향에 직교하는 방향의 워크의 면을 유지하는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the operation member holds the surface of the work in a direction orthogonal to the stacking direction.

또한 청구항 1 기재의 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 상기 동작 부재는 적층방향을 따르는 방향의 워크의 면을 유지하는 것을 특징으로 한다. Further, in the laminate pitch changing device according to claim 1, the operation member holds the surface of the work in the direction along the stacking direction.

또한 본원 발명은, 상기 적층물 피치 변경 장치에 있어서, 워크를 유지하는 수단이며, 상기 베이스 플레이트와의 사이에 기밀이며 신축 자유로운 연통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 적층물 피치 변경 장치용 흡착 패드도 제공한다. The present invention also provides an adsorption pad for a laminate pitch changing apparatus, characterized in that it is a means for holding a work, and a communication path is formed between the base plate and an airtight, to provide.

본원 발명에 의하면, 적층물인 워크의 적층 상태를 유지한 채 적층 피치만 변경할 수 있다. 따라서 하나의 피치(예를 들면, 작은 피치)로 하나의 용기에 적층되어 있는 적층물을, 다른 피치(예를 들면, 큰 피치)로 변경하고 다른 용기에 적층 형상으로 수납하는 작업(옮김)을 효율적으로 행할 수 있다. According to the present invention, only the lamination pitch can be changed while maintaining the lamination state of the work as the laminate. Accordingly, it is possible to change the laminate stacked in one container at one pitch (for example, a small pitch) to another pitch (for example, a large pitch) and to store the laminate in another container And can be performed efficiently.

상기 옮김은 적층물인 워크의 적층 상태를 유지한 채, 단숨에 행할 수 있다. 따라서 옮김 작업을 확실하고, 안정적으로, 원활하게 행할 수 있다. The transfer can be carried out at a glance while maintaining the laminated state of the work as the laminate. Therefore, the transfer operation can be performed reliably, stably, and smoothly.

도 1은 본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치의 실시형태를 도시하는 일부 생략 주요부 절결 정면도이다.
도 2(A)는 스프링의 축소시에 있어서의 도 1의 A-B-C-D의 단면도, 도 2(B)는 도 2(A)의 B부 확대도, 도 2(C)는 스프링의 확장시에 있어서의 도 1의 A-B-C-D의 단면도, 도 2(D)는 도 2(C)의 D부 확대도이다.
도 3(A)는 가변 스페이서의 작은 피치 시에 있어서의 도 1의 E-F-G-H-I-J의 단면도, 도 3(B)는 도 3(A)의 B부 확대도, 도 3(C)는 가변 스페이서의 큰 피치 시에 있어서의 도 1의 E-F-G-H-I-J의 단면도, 도 3(D)는 도 3(C)의 D부 확대도이다.
도 4는 도 3(A)의 평면도이다.
도 5(A)는 베이스 플레이트 및 그 장착물을 도시하는 정면도, 도 5(B)는 도 5(A)의 B-B 확대 단면도이다.
도 6(A)는 도 1의 흡착 패드의 정면도, 도 6(B)는 도 6(A)의 저면도, 도 6(C)는 도 6(A)의 우측면도이다.
도 7(A)는 가변 스페이서의 정면도, 도 7(B)는 도 7(A)의 B-B 단면도, 도 7(C)는 도 7(B)의 Ｃ부 확대도이다.
도 8(A)는 연통로의 위치를 도시하는 도면, 도 8(B)는 연통로의 다른 위치를 도시하는 도면, 도 8(C)는 연통로의 또 다른 위치를 도시하는 도면이다.
도 9는 연통로의 위치를 도시하는 평면도이다.
도 10은 도 1의 적층물 피치 변경 장치에 사용하는 해제 스프링을 도시하는 일부 단면 정면도이다.
도 11(A)는 도 1의 우측면도, 도 11(B)는 도 11(A)의 해제 스프링의 블록마다의 조합을 도시하는 도면, 도 11(C)는 해제 스프링의 복원력을 모식적으로 나타낸 그래프이다.
도 12는 도 1의 장치의 연통로를 개폐하는 밸브 및 오리피스를 나타내는데, 도 12(A)는 밸브가 열린 상태일 때, 도 12(B)는 밸브가 닫힌 상태일 때를 도시하는 도면이다.
도 13은 본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치의 동작 플로우를 나타내는 도면이다.
도 14(A)는 다른 동작 부재의 정면도, 도 14(B)는 도 14(A)의 저면도, 도 14(C)는 도 14(A)의 우측면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a partially cutaway front view showing an embodiment of a laminate pitch changing device according to the present invention. FIG.
Fig. 2 (A) is a sectional view of ABCD in Fig. 1 when the spring is contracted, Fig. 2 (B) is an enlarged view of a portion B in Fig. Fig. 2 (D) is an enlarged view of part D in Fig. 2 (C). Fig.
Fig. 3 (A) is a sectional view of EFGHIJ in Fig. 1 at a small pitch of a variable spacer, Fig. 3 (B) is an enlarged view of a portion B in Fig. Fig. 3 (D) is an enlarged view of part D in Fig. 3 (C). Fig. 3 (A) is a sectional view of EFGHIJ in Fig.
Fig. 4 is a plan view of Fig. 3 (A).
Fig. 5 (A) is a front view showing the base plate and its attachment, and Fig. 5 (B) is an enlarged cross-sectional view of BB in Fig. 5 (A).
Fig. 6A is a front view of the adsorption pad of Fig. 1, Fig. 6B is a bottom view of Fig. 6A, and Fig. 6C is a right side view of Fig.
Fig. 7A is a front view of the variable spacer, Fig. 7B is a cross-sectional view taken along line BB of Fig. 7A, and Fig.
Fig. 8A is a view showing the position of the communication passage, Fig. 8B is a view showing another position of the communication passage, and Fig. 8C is a view showing another position of the communication passage.
9 is a plan view showing the position of the communication path.
10 is a partial cross-sectional front view showing a release spring for use in the apparatus for changing the stack pitch of Fig.
Fig. 11 (A) is a right side view of Fig. 1, Fig. 11 (B) is a view showing a combination of each release spring of Fig. 11 (A) Fig.
Fig. 12 shows a valve and an orifice for opening and closing a communication path of the apparatus of Fig. 1, wherein Fig. 12 (A) is a view showing a state in which the valve is open, and Fig.
13 is a view showing an operational flow of a laminate pitch changing apparatus according to the present invention.
Fig. 14A is a front view of another operating member, Fig. 14B is a bottom view of Fig. 14A, and Fig. 14C is a right side view of Fig.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

다음에 실시형태를 도시하는 도면에 기초하여 본원발명에 의한 적층물 피치 변경 장치를 더욱 상세하게 설명한다. 또한, 편의상 동일한 기능을 수행하는 부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다. Next, a laminate pitch changing device according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings showing embodiments. For convenience, the same reference numerals are used for the same parts, and a description thereof will be omitted.

도 1 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치(E)는 이동 자유로운 가동 유지부로서의 가동 흡착부(1)와, 이 가동 흡착부(1)를 구동하는 구동부로 이루어진다. 상기 가동 흡착부(1)는 다수의 베이스 플레이트(3)가 소정의 피치로 적층 형상으로 나란히 배치되어 이루어진다. 상기 가동 흡착부(1)를 구성하는 1군의 베이스 플레이트(3)는 각각 동일 구성의 사각형의 판상 편으로 이루어진다. 각 베이스 플레이트(3)는, 도 5에 상세하게 도시하는 바와 같이, 중앙부에 한 쌍의 구멍부(5)를 설치한다. 이 구멍부(5)는 바닥을 갖고, 가변 스페이서(17)를 작은 피치부(19)로 했을 때, 큰 피치부(20)가 빠져나갈 수 있도록 가변 스페이서(17)의 반경보다 큰 사각형 형상의 구멍(5a)으로 형성된다. 이 사각형 형상의 구멍(5a)의 외변측의 중앙부에는 외방을 향하여 반원 형상의 절결부(5b)가 설치되어, 구동축(31)이 회전할 때의 여유부를 형성한다. 도시된 실시예에서는, 구멍부(5)의 절결부(5b)는 바닥을 가지고 있으므로, 작은 피치 시에 절결부(5b)에 위치하는 큰 피치부(20)의 과도한 진입을 방지할 수 있으므로 바람직하다. 각 베이스 플레이트(3)의 좌우의 양단부에는 상하에 2개의 원형의 오목부(7)를 설치한다. 이 오목부(7)에는, 도 2(B), 도 2(D)에 상세하게 도시하는 바와 같이, 접시 형상의 스프링(9o)이 4장 겹침으로 되어, 벨로우즈 형상의 해제 스프링(9)으로서 장착된다. 이 오목부(7)의 사이에는 둥근 구멍(8)이 설치되고, 이 둥근 구멍(8)에 환봉으로 이루어지는 슬라이드 가이드(11)가 삽입통과된다. 각 베이스 플레이트(3)의 하단부에는 원형 형상의 통과구멍(13a, 13b, 13c)이 3개씩 한 쌍으로 설치되고, 여기에 신축 자유로운 유연성 소재로 이루어지는 탄성 패킹(15a, 15b, 15c)(총칭할 때는「탄성 패킹(15)」이라고 함)을 부착한다. 또한 상기 통과구멍(13a, 13b, 13c)에는, 도 2(A) 내지 도 2(D)에 상세하게 도시하는 바와 같이, 각각, 관통구멍을 갖는 조인트(40a, 40b, 40c)(총칭할 때는「조인트(40)」라고 함)가 공기의 출입이 자유롭게 연결된다. 1 to 4, the laminate pitch changing device E according to the present invention includes a movable suction portion 1 as a movable holding portion which is free to move, and a driving portion for driving the movable suction portion 1 . The movable adsorption unit 1 includes a plurality of base plates 3 arranged side by side at a predetermined pitch in a laminated shape. The group of base plates 3 constituting the movable attracting unit 1 are each made of a quadrangular plate-shaped piece having the same configuration. As shown in detail in Fig. 5, each base plate 3 is provided with a pair of hole portions 5 at its central portion. The hole portion 5 has a bottom and has a rectangular shape larger than the radius of the variable spacer 17 so that the large pitch portion 20 can escape when the variable spacer 17 is used as the small pitch portion 19. [ Hole 5a. A semicircular notch 5b is provided toward the outer side at the central portion of the outer side of the rectangular hole 5a to form a clearance when the drive shaft 31 rotates. Since the notched portion 5b of the hole portion 5 has a bottom in the illustrated embodiment, excessive entry of the large pitch portion 20 located at the notch portion 5b at a small pitch can be prevented, Do. Two circular recesses (7) are provided on the upper and lower sides at the left and right ends of each base plate (3). As shown in detail in Figs. 2 (B) and 2 (D), four recessed springs 9o are stacked in this concave portion 7 to form a bellows-like release spring 9 Respectively. A circular hole 8 is provided between the concave portions 7 and a slide guide 11 made of a round bar is inserted into the circular hole 8. Three pairs of circular through-holes 13a, 13b and 13c are provided at the lower end of each base plate 3, and elastic packings 15a, 15b and 15c made of a flexible material capable of expanding and contracting (Hereinafter referred to as " elastic packing 15 "). As shown in detail in Figs. 2A to 2D, the through holes 13a, 13b and 13c are provided with joints 40a, 40b and 40c having through holes (collectively, Quot; joint 40 ") is freely connected to and disconnected from the air.

각 베이스 플레이트(3)에는 상기 절결부(5b)의 중심에 가변 스페이서(17)가 배치된다. 이 가변 스페이서(17)는 각봉(角棒)으로 이루어지는 회전 가능한 구동축(31)에 삽입통과된다. 이 가변 스페이서(17)는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 원판으로 이루어지고, 중앙부에 상기 구동축(31)을 삽입통과하는 정방형의 중심구멍(18)이 설치된다. 이 가변 스페이서(17)는 원주면의 두께가 상이하고, 비교적 얇은 두께(d₁)를 갖는 작은 피치부(19)와 두꺼운 두께(d₂)를 갖는 큰 피치부(20)를 설치하여 이루어진다. 상기 작은 피치부(19)와 상기 큰 피치부(20)는 경사부(21)를 통하여 연속된다. Each base plate 3 is provided with a variable spacer 17 at the center of the notch 5b. The variable spacer 17 is inserted into a rotatable drive shaft 31 made of a square bar. As shown in Fig. 7, the variable spacer 17 is formed of a circular plate, and a central hole 18 is formed at a central portion of the variable spacer 17 to receive the drive shaft 31 therethrough. The variable spacer 17 is formed by providing a small pitch portion 19 having a relatively thin thickness d ₁ and a large pitch portion 20 having a thick thickness d ₂ . The small pitch portion 19 and the large pitch portion 20 are connected to each other through the inclined portion 21.

상기 가변 스페이서(17)는 각 베이스 플레이트(3) 사이에 배치되고, 각봉으로 이루어지는 회전 가능한 구동축(31)에 삽입통과된다. 이것에 의해, 상기 가변 스페이서(17)는 구동축(31)의 회전에 연동하여 회전하고, 인접하는 베이스 플레이트(3)에 맞닿는 작은 피치부(19) 또는 큰 피치부(20)의 작용면이 변경됨과 아울러, 상기 베이스 플레이트(3)의 수평방향의 이동에 연동하여 수평방향으로 이동된다. The variable spacers 17 are disposed between the base plates 3 and inserted into a rotatable drive shaft 31 made of a square bar. As a result, the variable spacer 17 rotates in conjunction with the rotation of the drive shaft 31, and the action surface of the small pitch portion 19 or the large pitch portion 20 contacting the adjacent base plate 3 is changed And moves in the horizontal direction in conjunction with the movement of the base plate 3 in the horizontal direction.

상기 통과구멍(13a, 13b, 13c)(총칭할 때는「통과구멍(13)」이라고 함)의 또한 하단부에는, 분배 플레이트(23)를 상기 베이스 플레이트(3)와 일체로 교환 가능하게 고착한다. 이 분배 플레이트(23)의 하단부에는 동작 부재로서의 흡착 패드(25)를 교환 가능하게 부착한다. 상기 분배 플레이트(23)에는 통로(26)가 내설되고, 이 통로(26)가 상기 흡착 패드(25)에 내설되는 작은 통로(27)에 연통된다. The distribution plate 23 is integrally and integrally fixed to the lower end of the through-holes 13a, 13b and 13c (collectively referred to as "through hole 13"). A suction pad (25) as an operating member is replaceably attached to the lower end of the distribution plate (23). A passage 26 is provided in the distribution plate 23 and communicates with a small passage 27 in which the passage 26 is inserted.

상기 베이스 플레이트(3)의 통과구멍(13)에 부착되는 탄성 패킹(15)과, 상기 분배 플레이트(23)에 내설되는 통로(26)와, 상기 흡착 패드(25)에 내설되는 작은 통로(27)에 의해, 신축 자유로운 연통로(28)가 형성된다. 이 연통로(28)는 상기 흡착 패드(25)에 설치되는 흡착구(29)에 연통된다. 이 흡착구(29)는 경험상 갈라짐, 깨짐이 많이 발생하는 워크(51)의 부위에 대응하는 흡착 패드(25)의 부위에 설치하는 것이 바람직하다. 본 실시예의 경우, 각 통과 구멍(13)은 제 1 통과 구멍(13a)이 1장째 내지 10장째의 워크(51)에, 제 2 통과 구멍(13b)이 동 11장째 내지 20장째의 워크(51)에, 제 3 통과 구멍(13c)이 동 21장째 내지 30장째의 워크(51)에 각 대응하도록 구성되고, 도 8에 사선으로 나타내는 바와 같이, 각각, 제 1 연통로(28a)(도 8(A)), 제 2 연통로(28b)(도 8(B)), 제 3 연통로(28c)(도 8(C))를 형성한다. 27a는 상기 작은 통로(27)와 상기 흡착구(29)와의 경계에 형성되는 협착부이다(도 5 및 도 6에 나타냄). 이 협착부(27a)의 개구는 단면적의 비에서 후기하는 오리피스(46)의 개구보다 크게 설정된다. The elastic plate 15 attached to the through hole 13 of the base plate 3, the passage 26 installed in the distribution plate 23, the small passage 27 installed in the adsorption pad 25, , A telecommunication passage 28 which is free to expand and contract is formed. The communication path (28) communicates with the adsorption port (29) provided on the adsorption pad (25). It is preferable that the adsorption openings 29 are provided at the sites of the adsorption pads 25 corresponding to sites of the work 51 where many cracks and cracks are experienced. In the case of this embodiment, each through hole 13 is formed so that the first through hole 13a is connected to the first through tenth workpieces 51 and the second through hole 13b is connected to the 11th through 20th workpieces 51 And the third through holes 13c correspond to the twenty-first through thirtieth workpieces 51 respectively and as shown by oblique lines in Fig. 8, the first through holes 28a (Fig. 8A), the second communication path 28b (Fig. 8B), and the third communication path 28c (Fig. 8C). And 27a is a narrowed portion formed at the boundary between the small passage 27 and the suction port 29 (as shown in Figs. 5 and 6). The opening of the narrowed portion 27a is set larger than the opening of the orifice 46 which is later than the ratio of the cross sectional area.

도 2 및 도 9에 있어서, 32는 상기 각 해제 스프링(9)을 연통하는 가이드 로드, 33은 받침대(34)에 설치되고 1군의 베이스 플레이트(3)의 벌어짐 끝부에 맞닿는 스토퍼, 35는 상기 푸시 플레이트(41)의 벌어짐 끝부측에 설치되는 슬라이드 부시, 36은 워크(51) 사이의 피치를 정하는 진퇴 자유로운 피치 결정 실린더이다. 40a는 1장째 내지 10장째의 워크(51)용의 제 1 조인트, 40b는 11장째 내지 20장째의 워크(51)용의 제 2 조인트, 40c는 21장째 내지 30장째의 워크(51)용의 제 3 조인트이다. 각 조인트(40a, 40b, 40c)는 각각 1장째 내지 10장째의 워크(51)용의 제 1 연통로(28a), 11장째 내지 20장째의 워크(51)용의 제 2 연통로(28b), 21장째 내지 30장째의 워크(51)용의 제 3 연통로(28c)에 연결된다. 또 각 조인트(40a, 40b, 40c)는, 도시하지 않은 진공원에 연결되고, 진공원으로부터의 구동 파워를 상기 각 연통로(28a, 28b, 28c)에 전달한다. 도 3 및 도 4에 있어서, 37은 상기 구동축(31)을 구동시키는 회전 액추에이터, 38은 이 회전 액추에이터(37)의 구동력을 상기 구동축(31)에 전달하는 커플링, 39는 상기 구동축(31)의 양단부에 설치되는 베어링, 41은 1군의 베이스 플레이트(3)의 벌어짐 끝부에 설치되는 진퇴 자유로운 푸시 플레이트, 43은 1군의 베이스 플레이트(3)의 기단부에 설치되는 고정 기준 플레이트이다. 도면에서, 화살표 A는 상기 피치 결정 실린더(36)의 누름 방향을, 화살표 B는 상기 해제 스프링(9)의 복원력의 방향을 각각 나타낸다. 2 and 9, reference numeral 32 denotes a guide rod for communicating the respective release springs 9, 33 denotes a stopper provided on the pedestal 34 and abutting on a flared end portion of the group of base plates 3, A slide bush 36 provided on the side of the opening end of the push plate 41; and 36 a pitch-determining cylinder free to move forward and backward to determine the pitch between the works 51. Reference numeral 40a denotes a first joint for the first to tenth work 51, 40b denotes a second joint for the eleventh to twentieth work 51, and 40c denotes a second joint for the twenty-first to thirtieth work 51 It is the third joint. Each of the joints 40a, 40b and 40c includes a first communication passage 28a for the first through tenth work 51, a second communication passage 28b for the eleventh through twentieth work 51, And the third through fifth through thirtieth workpiece 51, respectively. Each of the joints 40a, 40b, 40c is connected to a vacuum source (not shown), and transmits drive power from the vacuum source to each of the communication paths 28a, 28b, 28c. 38 denotes a coupling for transmitting the driving force of the rotary actuator 37 to the driving shaft 31; 39 denotes a coupling for transmitting the driving force of the rotary actuator 37 to the driving shaft 31; 39 denotes a driving shaft for driving the driving shaft 31; 41 is a pushing plate which is provided at the open end of the base plate 3 of the group 1 and 43 is a fixed reference plate provided at the base end of the base plate 3 of the first group. In the drawing, an arrow A indicates a pushing direction of the pitch determining cylinder 36, and an arrow B indicates a direction of a restoring force of the release spring 9, respectively.

여기에서 해제 스프링(9)에 대하여 상세하게 기술한다. 해제 스프링(9)을 구성하는 스프링(9o)은, 도 10에 도시하는 바와 같이, 중앙부(9p)에 구멍이 형성되고, 주연부(9q)가 경사져서 이루어지고, 상기한 바와 같이, 4장 겹침으로 하여 베이스 플레이트(3)에 장착된다. 도 11(A) 및 도 11(B)에 도시하는 바와 같이, 중앙부(9p)를 대향시킨 2쌍의 스프링(9o)의 바닥면부(9r)를 대향시켜 1쌍의 해제 스프링(9)을 구성한다. 축소된 상태의 베이스 플레이트(3)를 복원시키기 위한 스프링력은 기준 플레이트(43)측의 스프링의 복원력을 푸시 플레이트(41)측의 스프링의 복원력보다 크게 설정된다. 각 조합의 해제 스프링(9)의 스프링력은, 도 11 실시예의 경우, 3개의 블록(10A, 10B, 10C)으로 나누어 설정되어 있다. 제 1 블록(10A) 내지 제 3 블록(10C)을 구성하는 각 해제 스프링(9)의 스프링력의 관계에 대하여 보면, 워크(51)의 단위 개수(도시예는 5매)마다 소정의 비율씩 스프링력을 증강시키고, 도 11(C)에 도시하는 바와 같이, 계단 모양으로 해제 스프링(9)의 복원력을 증강시키고 있다. 즉, 제 1 블록(10A)의 해제 스프링(9A)의 스프링력(P₁)>제 2 블록(10B)의 해제 스프링(9B) 또는 해제 스프링(9C)의 각 스프링력(P₂)>제 3 블록(10C)의 해제 스프링(9D) 내지 해제 스프링(9J)의 각 스프링력(P₃)으로 되어 있다. 또한 제 1 블록(10A)의 해제 스프링(9A)은 구성 스프링(9a)을 대강도, 구성 스프링(9b)을 중강도, 구성 스프링(9c, 9d)을 소강도의 스프링력으로 구성한다. 제 2 블록(10B)의 해제 스프링(9B)은 구성 스프링(9e)을 대강도, 구성 스프링(9f, 9g, 9h)을 소강도로 구성한다. 해제 스프링(9C)을 구성하는 스프링의 스프링력도 또한 마찬가지로 구성된다. 제 3 블록(10C)의 해제 스프링(9D) 내지 해제 스프링(9J)의 스프링력은 4개의 각 구성 스프링을 모두 소강도의 스프링력으로 구성한다. 또한, 도 11(A)에 도시하는 베이스 플레이트(3)의 개수는, 도 2 내지 도 4에 도시하는 베이스 플레이트(3)의 개수와 정확하게 일치하고 있지 않은데, 이것은 설명의 사정상 편의적으로 나타냈기 때문이다. 도 11(C)에서, X축은 작은 피치 시에 있어서의 해제 스프링(9)의 위치를 나타내고, Y축은 작은 피치 시에 있어서의 해제 스프링(9)의 스프링력을 나타낸다. Here, the release spring 9 will be described in detail. As shown in Fig. 10, the spring 9o constituting the release spring 9 is formed by forming a hole in the central portion 9p and inclining the peripheral edge portion 9q. As described above, And is mounted on the base plate 3 as shown in Fig. 11A and 11B, a pair of release springs 9 are formed so as to oppose the bottom surface portions 9r of the two pairs of springs 9o facing the central portion 9p, do. The restoring force of the spring on the reference plate 43 side is set to be larger than the restoring force of the spring on the push plate 41 side. The spring force of the release spring 9 of each combination is set by dividing into three blocks 10A, 10B and 10C in the case of the embodiment of Fig. The relationship of the spring force of each release spring 9 constituting the first block 10A to the third block 10C is the same as the spring force of each of the first block 10A to the third block 10C The spring force is increased, and the restoring force of the release spring 9 is increased stepwise as shown in Fig. 11 (C). That is, the spring force P ₁ of the release spring 9A of the first block 10A> the release spring 9B of the second block 10B or the spring force P ₂ of the release spring 9C> And the spring force P ₃ of the release spring 9D to the release spring 9J of the third block 10C. Further, the release spring 9A of the first block 10A constitutes the constituent spring 9a as the roughness diagram, the constituent spring 9b as the medium strength, and the constituent springs 9c and 9d as the spring force of low strength. The release spring 9B of the second block 10B constitutes the constructional spring 9e in the form of a rough draft and the constituent springs 9f, 9g and 9h in a lavish manner. The spring force of the spring constituting the release spring 9C is also configured similarly. The spring force of the release spring 9D to release spring 9J of the third block 10C constitutes all four constituent springs by the spring force of low strength. In addition, the number of the base plates 3 shown in Fig. 11 (A) does not exactly coincide with the number of the base plates 3 shown in Figs. 2 to 4, to be. 11 (C), the X-axis shows the position of the release spring 9 at a small pitch, and the Y-axis shows the spring force of the release spring 9 at a small pitch.

상기 연통로(28)는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 챔버 블록(42)의 진공 공급 챔버(44)에 설치되고, 여기에 이 진공 공급 챔버(44)를 개폐하는 밸브(45)가 설치된다. 46은 이 개폐 밸브(45)에 내설되는 오리피스이다. 47은 챔버 블록(42)에 설치된 진공압 검출로이다. 이 진공압 검출로(47)의 일단부는 상기 진공 공급 챔버(44)에 연통되는 소로(小路)(47a)를 거쳐, 상기 오리피스(46)에 연통되고, 타단부는 다른 조인트(40d)를 거쳐 진공압 검출 센서(48)(도 11에 가리킨다)에 접속된다. 49는 상기 개폐 밸브(45)를 구동시키는 실린더이다. 상기 개폐 밸브(45), 상기 오리피스(46), 상기 소로(47a), 상기 진공압 검출로(47) 및 진공압 검출 센서(48)에 의해 워크 상태 검출부를 구성한다. 12, the communication path 28 is provided in the vacuum supply chamber 44 of the chamber block 42, and a valve 45 for opening and closing the vacuum supply chamber 44 is installed therein do. Reference numeral 46 denotes an orifice installed in the on-off valve 45. Reference numeral 47 denotes a vacuum pressure detection furnace provided in the chamber block 42. One end of the vacuum pressure detection path 47 communicates with the orifice 46 through a small path 47a communicating with the vacuum supply chamber 44 and the other end passes through another joint 40d And is connected to the vacuum pressure detection sensor 48 (shown in FIG. 11). 49 is a cylinder for driving the on-off valve 45. The work state detecting portion is constituted by the opening / closing valve 45, the orifice 46, the small passage 47a, the vacuum pressure detecting passage 47 and the vacuum pressure detecting sensor 48.

그런데, 상기 오리피스(46)는 상기 흡착 패드(25)와의 개구비가 중요하다. 즉, 상기 오리피스(46)의 개구 면적은 상기 흡착 패드(25)에 설치한 상기 협착부(27a)의 개구 면적보다 작은 것을 요한다. 본 실시예에서는 오리피스(46)의 개구는 단면적비로 협착부(27a)에 대하여 약 1/6로 되어 있다. However, the opening ratio of the orifice 46 to the adsorption pad 25 is important. That is, the opening area of the orifice 46 needs to be smaller than the opening area of the narrowed portion 27a provided on the adsorption pad 25. In this embodiment, the opening of the orifice 46 is about 1/6 of the narrowed portion 27a in terms of the sectional area ratio.

다음에 도 13에 기초하여 하나의 피치(예를 들면, 작은 피치)로 소용기(52)에 적층 상태로 수납되어 있는 적층물을, 다른 피치(예를 들면, 큰 피치)로 변경하여 대용기(53)에 적층 상태로 수납하는 경우의 동작에 대하여 설명한다. 또한, 미리 가변 스페이서(17)의 작은 피치부(19)의 치수는 소용기(52)에 수납되는 워크(51) 간의 피치로 설정되고, 또한 가변 스페이서(17)의 큰 피치부(20)의 치수는 대용기(53)에 수납되는 워크(51) 간의 피치로 설정되어 있다. Next, based on Fig. 13, the laminate stored in the laminated state in the small container 52 at one pitch (for example, a small pitch) is changed to another pitch (for example, An operation in the case of being housed in a laminated state in the housing 53 will be described. The dimension of the small pitch portion 19 of the variable spacer 17 is set in advance to the pitch between the works 51 housed in the small container 52 and the size of the large pitch portion 20 of the variable spacer 17 The dimension is set to a pitch between the works 51 accommodated in the large container 53. [

우선 피치 결정 실린더(36)를 신장시키고, 푸시 플레이트(41)에 의해 베이스 플레이트(3)를 기준 플레이트(43)측으로 누르고, 베이스 플레이트(3) 간의 피치를 소용기(52)에 적층상태로 수납되어 있는 워크(51) 간의 피치(도 3(A), 도 3(B)에 도시하는 작은 피치)에 대응시킨다(도 13(A)). The pitch determination cylinder 36 is first extended and the base plate 3 is pressed toward the reference plate 43 by the push plate 41 and the pitch between the base plates 3 is stored in the small container 52 in a stacked state (Small pitches shown in Figs. 3A and 3B) between the workpieces 51 that have been formed (Fig. 13 (A)).

이어서, 가동 흡착부(1)를 도 13(A)에 도시하는 화살표 C 방향으로 수직이동시켜, 작은 피치의 소용기(52) 내에 삽입한다. 가동 흡착부(1)의 각 베이스 플레이트(3)는 각 흡착 패드(25)를 각 워크(51) 사이에 삽입하고, 각 흡착 패드(25)에 각 워크(51)를 흡착한다. 각 흡착 패드(25)는 적층방향에 직교하는 방향의 워크의 면, 즉, 워크(51)의 정면(51a)(도 1에 1점 쇄선으로 나타냄) 또는 배면을 흡착한다. Subsequently, the movable adsorption unit 1 is vertically moved in the direction of the arrow C shown in Fig. 13A and inserted into the small container 52 having a small pitch. Each of the base plates 3 of the movable adsorption unit 1 inserts the respective adsorption pads 25 between the respective works 51 and adsorbs the respective works 51 to the respective adsorption pads 25. [ Each of the adsorption pads 25 adsorbs the surface of the work in the direction orthogonal to the laminating direction, that is, the front surface 51a of the work 51 (indicated by the one-dot chain line in FIG.

이 흡착은 도시하지 않은 진공원에 의해 연통로(28) 내부를 감압하고, 각 워크(51)를 각 흡착 패드(25)의 흡착구(29)에 흡착시킨다. 이 때 연통로(28) 내의 감압은 제 1 연통로(28a), 제 2 연통로(28b), 제 3 연통로(28c)를 동시에 작동시킨다. 이것에 의해, 소용기(52)에 적층 상태로 수납되어 있는 적층물(50)의 가동 흡착부(1)에 대한 세팅이 완료된다. This adsorption decompresses the inside of the communication path 28 by a vacuum source (not shown), and adsorbs the work pieces 51 to the adsorption ports 29 of the adsorption pads 25. [ At this time, the reduced pressure in the communication path 28 simultaneously activates the first communication path 28a, the second communication path 28b, and the third communication path 28c. As a result, the setting of the laminated material 50 stored in the laminated state in the small container 52 is completed for the movable adsorption unit 1.

이어서 가동 흡착부(1)를 화살표 C 반대 방향으로 수직이동시켜 소용기(52)로부터 적층물(50)을 빼낸 후, 가동 흡착부(1)를 수평방향으로 이동하고, 가동 흡착부(1)를 워크(51) 사이의 피치가 상이한 대용기(53)까지 이동한다. Subsequently, the movable adsorption unit 1 is moved vertically in the direction opposite to the arrow C to pull out the laminated product 50 from the small container 52. Thereafter, the movable adsorption unit 1 is moved in the horizontal direction, To the large container 53 in which the pitch between the works 51 is different.

이 대용기(53)로의 이동 중에, 베이스 플레이트(3) 간의 피치를 도 3(C), 도 3(D)에 도시하는 큰 피치로 변경한다. 이 과정을 나타내는 것이 도 13(B), 도 13(C)이다. During the movement to the large container 53, the pitch between the base plates 3 is changed to a large pitch shown in Figs. 3 (C) and 3 (D). This process is shown in Figs. 13 (B) and 13 (C).

우선, 각 베이스 플레이트(3)는, 각각, 세팅되어 있는 해제 스프링(9)의 복원력에 의해 푸시 플레이트(41)측으로 눌리므로, 가동 흡착부(1)는 축소 상태로부터 벌어짐 끝부까지 확장된다. 도 13(B)는 이 상태를 나타낸다. 이때 해제 스프링(9)은 기준 플레이트(43)측의 스프링의 복원력을 푸시 플레이트(41)측의 스프링의 복원력보다 크게 설정하고 있기 때문에, 가동 흡착부(1)의 확장이 원활하게 된다. First, each base plate 3 is pushed toward the push plate 41 by the restoring force of the set release spring 9, so that the movable adsorption unit 1 expands from the contracted state to the flared end. 13 (B) shows this state. At this time, since the restoring force of the spring on the side of the reference plate 43 is set to be larger than the restoring force of the spring on the side of the push plate 41, the release spring 9 smoothly expands the movable suction part 1.

이어서 회전 액추에이터(37)를 회전시킨다. 그러면 회전 액추에이터(37)에 삽입통과되어 있는 각 가변 스페이서(17)가 회전하고, 큰 피치부(20)가 베이스 플레이트(3)에 맞닿는다. 도 13(C)는 이 상태를 나타낸다. Then, the rotary actuator 37 is rotated. Then, each variable spacer 17 inserted into the rotary actuator 37 rotates, and the large pitch portion 20 abuts against the base plate 3. 13 (C) shows this state.

이어서 피치 결정 실린더(36)를 신장시키고, 각 베이스 플레이트(3)에 맞닿는 각 가변 스페이서(17)의 작용면을 도 7(B)에 도시하는 큰 피치(d₂)로 고정한다. 도 13(D)는 이 상태를 나타낸다. The pitch determination cylinder 36 is stretched and the action surface of each variable spacer 17 abutting on each base plate 3 is fixed at a large pitch d ₂ shown in Fig. 7 (B). 13 (D) shows this state.

이 상태에서 가동 흡착부(1)를 도 13(D)에 나타내는 화살표 D 방향에 수직이동시키고, 이어서 각 흡착 패드(25)의 흡착을 해제하고, 워크(51)를 적층 상태 그대로 큰 피치의 대용기(53)에 수납한다(도 13(D)). 이 옮김에 있어서의 흡착 해제 시에도, 연통로(28)의 감압의 해제는 제 1 연통로(28a), 제 2 연통로(28b), 제 3 연통로(28c)를 동시에 행한다. In this state, the movable adsorption unit 1 is vertically moved in the direction of the arrow D shown in Fig. 13 (D), then the adsorption of each adsorption pad 25 is released, and the work 51 is kept in a laminated state at a large pitch And stored in the container 53 (Fig. 13 (D)). The decompression of the communication path 28 is released simultaneously with the first communication path 28a, the second communication path 28b, and the third communication path 28c.

이어서, 가동 흡착부(1)를 도 13(D)에 나타내는 화살표 D 반대 방향으로 수직이동시킨 후, 피치 결정 실린더(36)를 축소시키면, 각 베이스 플레이트(3)는 각각 세팅되어 있는 해제 스프링(9)의 복원력에 의해 푸시 플레이트(41)측으로 눌려지므로, 가동 흡착부(1)는 벌어짐 끝부까지 확장된다. 이것에 의해 각 베이스 플레이트(3)에 맞닿아 있던 각 가변 스페이서(17)의 고정이 해제된다. 도 13(E)는 이 상태를 나타낸다. 이때도 해제 스프링(9)은 기준 플레이트(43)측의 스프링의 복원력이 푸시 플레이트(41)측의 스프링의 복원력보다도 크게 설정되어 있기 때문에, 가동 흡착부(1)의 확장이 원활하게 된다. Subsequently, when the movable suction portion 1 is vertically moved in the direction opposite to the arrow D shown in Fig. 13 (D) and then the pitch determining cylinder 36 is contracted, each base plate 3 is rotated by a set release spring 9, the movable suction portion 1 is extended to the flared end portion. As a result, the fixing of each of the variable spacers 17 abutting on the base plate 3 is released. Fig. 13 (E) shows this state. At this time, since the restoring force of the spring on the side of the reference plate 43 is set to be larger than the restoring force of the spring on the side of the push plate 41, the releasing spring 9 smoothly expands the movable attracting unit 1.

이어서 회전 액추에이터(37)를 회전시킨다. 그러면 회전 액추에이터(37)에 삽입통과되어 있는 각 가변 스페이서(17)가 회전하고, 작은 피치부(19)가 베이스 플레이트(3)에 맞닿는다. 도 13(F)는 이 상태를 나타낸다. Then, the rotary actuator 37 is rotated. Then, the variable spacers 17 inserted into the rotary actuator 37 are rotated, and the small pitch portions 19 are brought into contact with the base plate 3. Fig. 13 (F) shows this state.

이어서 피치 결정 실린더(36)를 신장시키고, 각 베이스 플레이트(3)에 맞닿는 각 가변 스페이서(17)의 작용면을 도 7(B)에 도시하는 작은 피치(d₁)로 고정한다. 이것에 의해 도 13(A)에 도시하는 최초의 상태로 되돌아오게 된다. The pitch determination cylinder 36 is then stretched and the action surface of each variable spacer 17 abutting on each base plate 3 is fixed at a small pitch d ₁ shown in Fig. 7 (B). As a result, the state returns to the initial state shown in Fig. 13 (A).

용기 내에 수납된 워크수가 많을 때는, 옮김 작업이 종료할 때까지 상기 스텝을 반복한다. When the number of works housed in the container is large, the above steps are repeated until the transfer operation is completed.

큰 피치로 설정된 용기(53)로부터 작은 피치로 설정된 용기(52)로의 옮김에 대해서도 상기와 동일하며, 이때는 도 13(D)의 상태로부터 스타트하여, 도 13(E), 도 13(F), 도 13(A), 도 13(B), 도 13(C)와 같이, 상기한 스텝을 거쳐 도 13(D)의 상태로 되돌아온다. (E), Fig. 13 (F), and Fig. 13 (D), the same operation as described above is performed for the transfer from the container 53 set at a large pitch to the container 52 set at a small pitch. As shown in Figs. 13 (A), 13 (B) and 13 (C), returns to the state of Fig. 13 (D) through the above-described steps.

각 흡착 패드(25)에 의한 각 워크(51)의 흡착은, 각 베이스 플레이트(3)의 통과구멍(13)에 신축 자유로운 탄성 패킹(15)이 부착되고, 이것에 의해 구성된 연통로(28)를 통하여 상기 동작이 행해지고 있다. 따라서 연통로(28)의 기밀성이 보장되므로, 1군의 적층물(50)의 옮김을 워크(51)의 적층 상태를 유지한 채 행할 수 있다. 따라서 적층물(50)의 피치를 변경한 옮김을 원활하고, 신속하고, 효율적으로 행할 수 있다. The adsorption of each work 51 by each adsorption pad 25 is carried out by attaching an elastic packing 15 which is stretchable and free to the through hole 13 of each base plate 3, The above operation is performed. Therefore, since the airtightness of the communication path 28 is ensured, the transfer of the group of stacked articles 50 can be performed while maintaining the stacked state of the work 51. [ Therefore, it is possible to smoothly, quickly, and efficiently carry out the shifting of the laminate 50 by changing the pitch thereof.

이 점을 더욱 상세하게 설명한다. 각 연통로(28)는 탄성 패킹(15)을 통하여 각 흡착 패드(25)의 흡착구(29)까지 연통되어 있는 바, 이 탄성 패킹(15)은 베이스 플레이트(3)의 이동에 연동하여 수평방향으로 그 위치를 이동한다. 각 탄성 패킹(15)의 신축 폭은, 1개 1개에 대해서는 근소한 것이지만, 가령 각 탄성 패킹(15)이 이동하지 않은 경우에는, 기준 플레이트(43)측에 인접하는 탄성 패킹(15a)의 이동량과 벌어짐 끝부가 되는 푸시 플레이트(41)에 인접하는 탄성 패킹(15n)의 이동량에서는 큰 벌어짐으로 된다. 예를 들면, 각 탄성 패킹(15)의 신축 폭을 0.8mm로 한 경우, 가령 각 탄성 패킹(15)이 이동하지 않는다고 한 경우에는, 탄성 패킹(15a)의 이동량은 0.8mm이지만, n개째가 30개째일 때의 탄성 패킹(15n)의 이동량은 본 실시예에서는「0.8mm×(30-1)=23.2mm」의 큰 이동량이 된다. 따라서, 각 탄성 패킹(15)이 이동 자유롭지 않은 경우에는, 기준 플레이트(43)측으로부터 막 벗어났을 때의 탄성 패킹(15)을 구성요소로 하는 연통로(28)의 감압 진공은 파탄되게 되어, 워크(51)의 흡착이 곤란하게 된다. 그렇지만, 본원발명에서는, 각 탄성 패킹(15)은 베이스 플레이트(3)의 이동에 연동하여 수평방향으로 이동 자유롭기 때문에, 이 정도(0.8mm)의 신축폭은 신축 자유로운 탄성 패킹(15)이 흡수한다. 따라서, 탄성 패킹(15a)(도 2에 도시하는 (A), (C)에 나타냄)의 신축 폭 내지 탄성 패킹(15n)(도 2에 도시하는 (A) (C)에 나타냄)의 신축 폭은 어느 경우도 일정(본 실시예에서는 0.8mm)하며, 탄성 패킹(15)의 설치 부위에 의해 이동량이 변경되지 않고, 항상 연통로(28)의 기밀성이 보장된다. 게다가 이 연통로(28)의 기밀성의 보장은 탄성 패킹(15)의 개수에 영향받지 않는다. This point will be described in more detail. Each of the communication paths 28 is communicated with the suction port 29 of each adsorption pad 25 through the elastic packing 15. The elastic packing 15 is connected to the horizontal plate Direction. In the case where each of the elastic packing 15 does not move, the amount of movement of the elastic packing 15a adjacent to the reference plate 43 side And the amount of movement of the elastic packing (15n) adjacent to the push plate (41) at the flared end becomes large. For example, in the case where each elastic packing 15 has an expansion / contraction width of 0.8 mm and the elastic packing 15 does not move, the amount of movement of the elastic packing 15a is 0.8 mm, The amount of movement of the elastic packing 15n at the 30th position is a large moving amount of " 0.8 mm x (30-1) = 23.2 mm " in this embodiment. Therefore, when each of the elastic packing 15 is not movable, the reduced pressure vacuum of the communication path 28, which uses the elastic packing 15 as a component when the membrane is removed from the reference plate 43 side, is broken, The adsorption of the work 51 becomes difficult. However, in the present invention, since each elastic packing 15 is movable in the horizontal direction in association with the movement of the base plate 3, the elastic expansion and contraction width of this degree (0.8 mm) is absorbed by the elastic packing 15 . 2) of the elastic packing 15a (shown in (A), (C) in Fig. 2) or the elastic expansion and contraction width of the elastic packing 15n (In this embodiment, 0.8 mm) in any case, and the airtightness of the communication path 28 is always ensured without the amount of movement being changed by the mounting portion of the elastic packing 15. [ In addition, the guarantee of the airtightness of the communication path 28 is not affected by the number of the elastic packing 15. [

또한 상기 실시형태에 의하면, 각 베이스 플레이트(3)에 흡착 패드(25)가 1쌍 설치되어 있기 때문에, 워크(51)를 흡착하여 지지할 때, 예를 들면, 해제 스프링(9)의 배치가 좌우 대칭 또한 슬라이드 가이드(11)에 대하여 상하 대칭이 되고, 또한 가변 스페이서(17)의 배치가 좌우 대칭이 되어 밸런스를 잡기 쉬워, 장치가 기계적으로 더한층 안정된 효과가 있다. According to the above embodiment, a pair of absorption pads 25 is provided on each of the base plates 3. Therefore, when the work 51 is sucked and supported, for example, the disposition of the release spring 9 The left and right symmetry is also vertically symmetrical with respect to the slide guide 11 and the arrangement of the variable spacers 17 is symmetrical bilaterally so that the balance is easy to be achieved and the apparatus is mechanically more stable.

또한 상기 실시형태에서는, 적층물인 워크의 적층 상태를 유지한 채 30장의 워크(51)의 옮김을 단숨에 행할 수 있다. 따라서, 옮김 작업을 확실하고, 안정적으로 행할 수 있다. Further, in the above embodiment, it is possible to carry out the transfer of thirty pieces of work 51 at once, while maintaining the laminated state of the work as the laminate. Therefore, the transfer operation can be reliably and stably performed.

또한 상기 실시형태에서는 1군의 워크(51)를 그룹마다 3개의 연통로(28)의 관할에 의해 처리하므로, 하나의 그룹, 예를 들면, 제 1 연통로(28a)에 소속되는 베이스 플레이트(3)에 어떠한 이상이 발생한 경우에도, 다른 그룹에 소속되는 제 2 연통로(28b) 및 제 3 연통로(28c)의 작동을 계속할 수 있다. 따라서, 이 점으로부터도 옮김 작업의 효율화를 도모할 수 있다. 또한 그룹마다 옮김 작업의 내용을 변경하는 것도 가능하다. In the above embodiment, the work 51 of one group is processed by the control of three communicating passages 28 for each group, so that one group, for example, the base plate belonging to the first communication passage 28a 3, the operation of the second communication path 28b and the third communication path 28c belonging to the other group can be continued. From this point of view, therefore, the efficiency of the transfer operation can be improved. It is also possible to change the contents of the move operation for each group.

또한 상기 실시형태에서는, 기준 플레이트(43)측의 해제 스프링(9)에 걸리는 부하는 항상 푸시 플레이트(41)측의 해제 스프링(9)에 걸리는 부하보다 크게 되므로, 해제 스프링(9)은 기준 플레이트(43)측의 복원력이 푸시 플레이트(41)측의 복원력보다 크게 되어 있다. 따라서, 베이스 플레이트(3) 사이의 피치의 변경시, 즉, 해제 스프링(9)에 의해 베이스 플레이트(3)가 도 13(A)로부터 도 13(B)의 위치로 눌려질 때, 또한 도 13(D)로부터 도 13(E)의 위치로 눌려질 때, 베이스 플레이트(3) 전체가 밸런스 좋게 눌려지므로, 옮기기 전의 위치로의 베이스 플레이트(3)의 복원을 원활하게 행할 수 있다. 이 점에 관하여, 해제 스프링의 강도를 균일하게 해 두면, 해제 스프링이 작동하지 않는 경우가 있다. The load applied to the release spring 9 on the reference plate 43 side is always larger than the load on the release spring 9 on the push plate 41 side, The restoring force on the side of the push plate 41 is larger than the restoring force on the push plate 41 side. Therefore, when the pitch between the base plates 3 is changed, that is, when the base plate 3 is pushed by the release spring 9 to the position of Fig. 13 (A) to Fig. 13 (B) The base plate 3 can be smoothly restored to the position before shifting because the entire base plate 3 is pressed in a balanced manner when the base plate 3 is pressed from the position D to the position shown in Fig. In this regard, if the strength of the release spring is made uniform, the release spring may not operate.

도 11의 실시예의 경우, 기준 플레이트(43)측의 제 1 블록(10A)의 해제 스프링(9A)의 누름력(P₁)은 190kg, 제 2 블록(10B)의 해제 스프링(9b, 9C)의 누름력(P₂)은 170kg, 제 3 블록(10C)의 해제 스프링(9D∼9J)의 누름력(P₃)은 150kg으로 되어 있다. 이와 같이 복원력에 차를 갖게 한 해제 스프링(9)을 베이스 플레이트(3)에 설치하면, 베이스 플레이트(3)의 해제 스프링(9)이 동시에 확장 복원되어 가기 때문에, 블록 형상으로 축소되어 있던 1군의 베이스 플레이트(3)가 균등하게 확장되어, 다음 스텝으로 이행할 수 있다. 11, the pressing force P ₁ of the release spring 9A of the first block 10A on the reference plate 43 side is 190 kg, the release springs 9b, 9C of the second block 10B, of the pressing force (P ₂₎ is pressing force (P ₃₎ of the release spring (9D~9J) of 170kg, the third block (10C) is to 150kg. Since the release spring 9 of the base plate 3 is expanded and restored at the same time when the release spring 9 having a difference in restoring force is provided on the base plate 3 as described above, The base plate 3 of the first embodiment can be expanded evenly, and the operation can be shifted to the next step.

그런데, 흡착 패드(25)에 의한 워크(51)의 흡착 스텝에서 워크(51)에 갈라짐, 깨짐 등의 이상 상태가 있으면, 그 갈라짐, 깨짐으로부터 에어가 침입되어 온다. 이 경우에 있어서, 도 12에 도시하는 워크 상태 검출부를 구비하고 있을 때는, 갈라짐, 깨짐으로부터 유입되는 에어에 의해 연통로(28) 내의 압력이 상승하므로, 진공압 검출 센서(48)는 이 에어의 압력을 감지하여, 이상 신호를 발한다. 이 이상 신호는 도시하지 않은 표시기에 디지털 표시되어도 되고, 되지 않아도 된다. 또한, 워크(51)가 정상일 때는, 오리피스(46)로부터 유출되고 있는 에어의 유출량은 근소하기 때문에, 흡착 패드(25)에 의한 워크(51)의 흡착 지지에는 영향이 없다. However, if there is an abnormal state such as cracking or cracking in the work 51 in the suction step of the work 51 by the suction pad 25, the air enters from the crack and breakage. In this case, when the work state detecting unit shown in Fig. 12 is provided, the pressure in the communication path 28 rises due to the air introduced from the cracks and cracks, so that the vacuum pressure detection sensor 48 detects Detects the pressure and issues an abnormal signal. This abnormal signal may or may not be digitally displayed on a display device (not shown). When the work 51 is normal, the outflow amount of the air flowing out of the orifice 46 is small, so there is no influence on the adsorption support of the work 51 by the adsorption pad 25.

또한 워크(51)에 갈라짐, 깨짐 등의 이상 상태가 있는 경우, 연통로(28) 내의 진공압이 변화되므로, 옮기기 전에 이 변화를 검출할 수 있다. 따라서 옮김의 확실성이 더한층 향상된다. In addition, when there is an abnormal state such as cracking or breakage in the work 51, the vacuum pressure in the communication path 28 is changed, so that this change can be detected before transferring. Therefore, the reliability of the transfer is further improved.

본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치는 상기한 실시형태에 제한되지 않는다. 예를 들면, 동작 부재에 의한 유지는, 흡착 패드(25)에 의한 흡착이 아니고, 도 14에 도시하는 바와 같이, 협착 부재(65)에 의한 협착에 의해 각 워크(51)를 유지하는 것이어도 되고, 이러한 경우에도 본원발명을 적용할 수 있다. 도 14의 경우, 협착 부재(65)는 스프링(65c)에 의해 연결된 한 쌍의 개폐 자유로운 가동부(65a, 65b) 로 이루어지고, 기단부에 상기 연통로(28)에 연통되는 통로(66)가 설치된다. 상기 스프링(65c)은 평상시에 벌어진 상태로 가압되어 있다. 상기 연통로(28) 내부가 진공원에 의해 감압되어 스프링(65c)의 가압력을 이기면, 가동부(65a, 65b)가「닫힘」으로 되고, 도 14(A), 도 14(B)에 1점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 가동부(65a, 65b) 워크(51)의 측면(51b)을 협지한다. The laminate pitch changing device according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, as shown in Fig. 14, the holding by the operating member may be performed not by the suction by the suction pad 25 but by holding the work 51 by the narrowing by the narrowing member 65 In this case, the present invention can be applied. 14, the narrowing member 65 is composed of a pair of openable and closable movable portions 65a, 65b connected by a spring 65c, and a passage 66 communicating with the communication passage 28 is provided at the base end portion do. The spring 65c is pressed in a state of being open at normal times. When the inside of the communication path 28 is depressurized by the vacuum source and the pushing force of the spring 65c is applied, the movable portions 65a and 65b are closed, and one point is shown in Figs. 14A and 14B The side portions 51b of the movable parts 65a and 65b work 51 are sandwiched as shown by the chain line.

또한 흡착 패드(25), 협착 부재(65)와 같은 동작 부재는 반드시 한 쌍을 요하는 것은 아니고, 1개이어도 되고, 또한 3개 이상이어도 된다. 동작 부재에 의한 워크의 피지지면은 임의이며, 예를 들면, 도 14(A)에 도시하는 바와 같이, 적층 방향을 따른 방향의 워크의 면, 즉, 워크의 양측면(51b)으로부터 워크(51)를 협착해도 된다. In addition, the operating members such as the adsorption pad 25 and the narrowing member 65 do not necessarily require a pair, but may be one, or three or more. As shown in Fig. 14 (A), the workpiece 51 can be moved from the side of the workpiece in the direction along the stacking direction, that is, from both side surfaces 51b of the workpiece, .

연통로(28)의 개수는 임의이며, 적용되는 워크의 매수에 의해 적당히 증감 가능하다. The number of the communication paths 28 is arbitrary, and can be increased or decreased as appropriate depending on the number of works to be applied.

연통로(28)를 복수 설치하는 경우, 그 작동은 차례로 동작시킬 수도 있다. 이것은, 예를 들면, 진공원의 용량이 작은 경우에 유리하다. When a plurality of communication paths 28 are provided, the operation may be operated in sequence. This is advantageous, for example, when the capacity of the vacuum source is small.

탄성 패킹(15)은 도시된 실시형태에서는 벨로우즈 형상의 것을 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 탄성력이 있는 고무패킹, O링 등을 사용할 수도 있다. 어떻든 베이스 플레이트(3)의 이동에 연동하여 이동 자유롭게 된다. Although the elastic packing 15 has a bellows shape in the illustrated embodiment, the elastic packing 15 is not limited to this. For example, a rubber packing having elasticity, an O-ring, or the like may be used. Anyway, can move freely in association with the movement of the base plate 3.

가변 스페이서(17)의 원주면에 형성되는 피치부도, 예를 들면, 대중소의 3개 이상으로 할 수 있다. 예를 들면, 피치부를 3개로 하는 경우에는, 각 피치부는 120°마다 설치한다고 하는 것과 같이, 피치부의 복수 설치의 경우에는 피치부의 설치 부위를 적당히 변경한다. The pitch portion formed on the circumferential surface of the variable spacer 17 may be three or more, for example, large and small. For example, when three pitch portions are provided, as in the case of providing each pitch portion every 120 degrees, in the case of a plurality of pitch portions, the fitting portion of the pitch portion is appropriately changed.

또한 피치부의 설치 비율은 반드시 등분으로 할 필요는 없다. 예를 들면, 대소의 피치부로 하는 경우, 큰 피치부의 설치 비율을 60%, 작은 피치부의 설치 비율을 40%와 같이 할 수도 있다. 또 대중소의 피치부로 하는 경우, 큰 피치부의 설치 비율을 40%, 중간 피치부의 설치 비율을 35%, 작은 피치부의 설치 비율을 25%와 같이 할 수도 있다. In addition, the installation ratio of the pitch portion does not necessarily have to be equal. For example, in the case of a large and small pitch portion, the installation ratio of the large pitch portion may be set to 60%, and the installation ratio of the small pitch portion may be set to 40%. In the case of a large-scale pitch portion, it is also possible to set the installation ratio of the large pitch portion to 40%, the installation ratio of the middle pitch portion to 35%, and the installation ratio of the small pitch portion to 25%.

베이스 플레이트(3) 사이의 피치를 변경하는 시기는 임의이다. 도시 실시형태와 같이 워크(51)의 반송중이어도 되지만, 반송 전의 소용기(52)로의 가동 유지부의 수직이동시에, 또한 반송 후의 대용기(53)로의 가동 유지부의 수직이동시에, 베이스 플레이트(3) 간의 피치를 변경해도 된다. The timing for changing the pitch between the base plates 3 is arbitrary. The vertical movement of the movable holding portion to the small container 52 before the conveyance and the vertical holding of the movable holding portion to the large container 53 after the conveyance are simultaneously performed on the base plate 3 ) May be changed.

또한 가동 유지부의 이동방향은 임의이다. 상기 실시형태에서는 가동 유지부를 수평방향으로 이동하는 경우를 진술했지만, 가동 유지부를 수직방향으로 이동해도 되고, 경사 방향으로 이동해도 된다. The moving direction of the movable holding portion is arbitrary. In the above embodiment, the case where the movable holding portion is moved in the horizontal direction is described. However, the movable holding portion may be moved in the vertical direction or in the slanting direction.

가동 유지부를 구성하는 베이스 플레이트(3)의 적층방향은 임의이다. The direction of stacking the base plate 3 constituting the movable holding portion is arbitrary.

또한 베이스 플레이트(3)의 형상은 임의이다. The shape of the base plate 3 is arbitrary.

각 부의 소재는 임의이지만, 베이스 플레이트(3), 가변 스페이서(17), 해제 스프링(9)은 내구성이 큰 소재, 예를 들면, 금속계 소재가 바람직하다. 또한 탄성 패킹(15)은 탄성력이 큰 소재, 예를 들면, 플라스틱 소재, 고무 소재가 바람직하다. 흡착 패드(25)는 경량성, 가공성, 내약품성의 점 및 워크보다도 경도가 작은 소재, 예를 들면, 적당한 플라스틱 소재가 바람직하다. 분배 플레이트(23)는 경량성, 가공성의 점에서, 예를 들면, 적당한 플라스틱 소재, 경량 금속 소재가 바람직하다. The base plate 3, the variable spacer 17, and the release spring 9 are preferably made of a material having high durability, for example, a metal material. The elastic packing 15 is preferably a material having a high elastic force, for example, a plastic material or a rubber material. The adsorption pad 25 is preferably made of a material having a light weight, a processability, a chemical resistance, and a hardness lower than that of a work, for example, a suitable plastic material. The distribution plate 23 is preferably a suitable plastic material or a lightweight metal material, for example, from the viewpoint of light weight and processability.

또한, 구동 파워는 임의이며, 진공원에 의할 뿐만이 아니라, 예를 들면, 가압원이어도 된다. Further, the driving power is arbitrary, and it may be, for example, a pressure source as well as a vacuum source.

또한 해제 스프링(9)의 스프링력에 관하여, 기준 플레이트(43)측의 베이스 플레이트(3)에 설치하는 해제 스프링(9)의 스프링 복원력을 최대로 하고, 푸시 플레이트(41)측의 해제 스프링(9)을 향하여 차례로 직선상으로 작게 하는 것이 바람직한 것이지만, 전술한 바와 같이, 베이스 플레이트(3)의 소정의 개수(단위수)마다 푸시 플레이트(41)측을 향하여 계단 모양으로 작게 하는 경우이어도 되는 것이 실증되었다. With respect to the spring force of the release spring 9, the spring restoring force of the release spring 9 provided on the base plate 3 on the reference plate 43 side is maximized and the release spring 9, it may be a case where the base plate 3 is made to have a step-like shape toward the push plate 41 every predetermined number (unit number) of base plates 3 as described above Respectively.

또한 해제 스프링(9)의 개수 및 이것을 재치하는 오목부(7)의 개수도 임의이며, 설정되는 피치의 치수에 의해 적당하게 증감 가능하다. Also, the number of the release springs 9 and the number of the concave portions 7 to be mounted thereon are arbitrary, and can be appropriately increased or decreased by the set pitch dimension.

또한 본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치는 상기한 실시형태에 제한되지 않는다. 예를 들면, 개폐 밸브(45)의 개폐에 관하여, 상기 실시형태에서는 개폐 밸브(45)를 항상「열림」으로 하고, 검사시에「닫힘」으로 하는 예를 기술했지만, 이것에만 한정되지 않는다. The laminate pitch changing apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, regarding the opening and closing of the opening / closing valve 45, the above embodiment describes an example in which the opening and closing valve 45 is always opened and closed at the time of inspection, but the present invention is not limited thereto.

(산업상의 이용가능성)(Industrial availability)

본원 발명에 의한 적층물 피치 변경 장치는 다수의 얇은 두께의 워크가 소정의 피치로 적층 형상으로 나란히 배치되어 있는 경우의 워크간의 피치를 변경하는 장치, 예를 들면, 솔라 패널의 옮김에 활용할 수 있다. The apparatus for changing the pitch of a laminate according to the present invention can be applied to a device for changing the pitch between works when a plurality of thin workpieces are arranged side by side in a stacked manner at a predetermined pitch, for example, for transferring a solar panel .

1 가동 흡착부
3 베이스 플레이트
5 구멍부
5a 사각형 구멍
5b 절결부
7 오목부
8 둥근 구멍
9 해제 스프링
9o 스프링
9p 중앙부
9q 주연부
9r 바닥면부
10A 제 1 블록
10B 제 2 블록
10C 제 3 블록
11 슬라이드 가이드
13 통과 구멍
13a 제 1 통과 구멍
13b 제 2 통과 구멍
13c 제 3 통과 구멍
15 탄성 패킹
15a 제 1 탄성 패킹
15b 제 2 탄성 패킹
15c 제 3 탄성 패킹
17 가변 스페이서
18 중심구멍
19 작은 피치부
20 큰 피치부
21 경사부
23 분배 플레이트
25 흡착 패드
26 통로
27 작은 통로
27a 협착부
28 연통로
28a 제 1 연통로
28b 제 2 연통로
28c 제 3 연통로
29 흡착구
31 구동축
32 가이드 로드
33 스토퍼
34 받침대
35 슬라이드 부시
36 피치 결정 실린더
37 회전 액추에이터
38 커플링
39 베어링
40a 제 1 조인트
40b 제 2 조인트
40c 제 3 조인트
40d 다른 조인트
41 푸시 플레이트
42 챔버 블록
43 기준 플레이트
44 진공 공급 챔버
45 개폐 밸브
46 오리피스
47 진공압 검출로
48 진공압 검출 센서
49 실린더
50 적층물
51 워크
52 소용기
53 대용기
65 협착 부재
65a 가동부
65b 가동부
65c 스프링
66 통로1 movable suction portion
3 base plate
5 hole
5a square hole
5b
7 concave portion
8 round holes
9 Release Spring
9o spring
9p central portion
9q periphery
9r bottom surface
10A first block
10B second block
10C third block
11 Slide guides
13 through hole
13a First through hole
13b Second through hole
13c Third passage hole
15 Elastic packing
15a First elastic packing
15b Second elastic packing
15c Third Elastic Packing
17 Variable Spacer
18 center hole
19 Small pitch part
20 large pitch portion
21 inclined portion
23 distribution plate
25 adsorption pad
26 passage
27 small passage
27a Stenosis
28 conduit
28a,
28b,
28c Third communicating passage
29 adsorber
31 drive shaft
32 guide rod
33 Stopper
34 Base
35 Slide Bush
36 pitch determination cylinder
37 Rotary Actuator
38 Coupling
39 Bearings
40a first joint
40b second joint
40c third joint
40d other joint
41 push plate
42 chamber block
43 Reference plate
44 Vacuum supply chamber
45 opening and closing valve
46 orifice
47 Vacuum pressure detection
48 Vacuum pressure detection sensor
49 cylinders
50 laminate
51 Work
52 Small container
53 containers
65 narrowing member
65a moving part
65b,
65c spring
66 passage

Claims

An apparatus for changing the pitch between a plurality of thin-walled workpieces arranged side by side in a laminated shape at a predetermined pitch,
A movement-free movable holding portion, and a driving portion for driving the movable holding portion,
Wherein the movable holding portion is provided with a plurality of base plates arranged side by side at a predetermined pitch in a laminated shape,
Wherein each of the base plates is provided with an operation member for holding the work, the operation member being operated by driving power sent from a communication path to individually hold the work,
The base plate is provided with a freely rotatable variable spacer interlocked with the drive shaft of the drive unit, and the pitch between the base plates is variable by the rotation of the variable spacer,
And a communication passage is formed between the base plate and the group of bases when the work is held on each of the base plates.

The method according to claim 1,
Wherein the communication passage is formed by continuously providing an elastic packing stretching freely between the through holes of the adjacent base plates.

3. The method of claim 2,
And each of the elastic packing moves in conjunction with each of the base plates.

The method according to claim 1,
Wherein each of the variable spacers moves in conjunction with each of the base plates.

The method according to claim 1,
And a spring for releasing the fixing of the pitch between the base plates is provided to each of the base plates.

3. The method of claim 2,
Wherein the elastic packing is formed in a bellows shape.

The method according to claim 1,
Wherein the variable spacer has a portion having a thickness different from that of the circumferential surface, and the portion of the variable spacer having a different thickness is brought into contact with the base plate by rotation, thereby changing the pitch between the base plates.

6. The method of claim 5,
Wherein the spring has a spring force on a fixed base plate side larger than a spring force on a movable base plate side against a force for restoring the base plate in a contracted state.

9. The method of claim 8,
Wherein the spring force of the spring is reduced stepwise toward a movable base plate every predetermined number of base plates.

9. The method of claim 8,
Wherein the spring force of the spring is linearly reduced toward the movable base plate side.

6. The method of claim 5,
Wherein the spring is composed of a single spring.

6. The method of claim 5,
Wherein the spring is formed by overlapping a plurality of springs.

The method according to claim 1,
And a detector for detecting a state of a work such as cracks or cracks of the work when the work is sucked.

14. The method of claim 13,
Wherein the detecting portion comprises an opening / closing valve provided to open / close the communication path at the entrance of the communication path, an orifice communicating with a vacuum pressure detection path provided in the opening / closing valve, and a sensor connected to the vacuum path And the change in pressure in the communication path is detected after the drive power is inputted to the communication path to close the opening / closing valve.

The method according to claim 1,
And the operating member comprises an adsorption pad for adsorbing the workpiece.

The method according to claim 1,
And the operating member comprises a narrowing member for narrowing the workpiece.

The method according to claim 1,
Wherein the group of base plates is formed in one group in a predetermined number.

The method according to claim 1,
Wherein a pair of operating members is provided on each of the base plates, and a pair of the variable spacers and the communication paths communicating with the operating members are provided on each of the base plates.

The method according to claim 1,
Wherein the operating member holds the surface of the work in a direction orthogonal to the stacking direction.

The method according to claim 1,
And the operating member holds the surface of the work in the direction along the stacking direction.

The adsorption pad for a laminate pitch changing device according to any one of claims 1 to 3, wherein the laminate pitch changing device is a means for holding a workpiece, and a communication path is formed between the base plate and the airfoil.