KR20140116698A - 관성센서 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 관성센서는 질량체와, 전극 또는 압저항 소자 배치되고, 상기 질량체가 결합된 가요성 빔와, 상기 가요성 빔에 연결되고, 상기 질량체가 부상되도록 가요성 빔을 지지하는 지지부를 포함하고, 상기 가요성 빔은 상기 질량체와의 연결부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성된다.

Description

관성센서{Inertial Sensor}

본 발명은 관성센서에 관한 것이다.

일반적으로 관성센서는 자동차, 항공기, 이동통신단말기, 완구등에서 다양하게 사용되고 있으며, X축, Y축 및 Z축 가속도 및 각속도를 측정하는 3축 가속도 및 각속도 센서가 요구되고, 미세한 가속도를 검출하기 위해 고성능 및 소형으로 개발되고 있다.

또한, 종래기술에 따른 가속도 센서는 질량체 및 가요부의 움직임을 전기신호로 변환시키는 기술적특징을 포함하고, 질량체의 움직임을 가요부에 배치된 피에조저항 소자의 저항변화로부터 검출하는 압저항(피에조 저항)방식과, 질량체의 움직임을 고정전극과의 사이의 정전용량 변화로 검출하는 정전용량방식 등이 있다.

그리고 압저항방식은 응력(Stress)에 의한 저항값이 변화하는 소자를 이용하는 것으로, 예를 들어 인장응력이 분포된 곳에는 저항값이 증가하며, 압축응력이 분포된 곳에는 저항값이 감소한다.

관성센서의 일예로서, 선행기술문헌을 포함한 종래기술에 따른 압저항방식의 가속도 센서는 감도증가를 위해 빔의 면적을 축소하다보니 충격에 취약하고, 특히 낙하 신뢰성이 저하되는 문제점을 지니고 있다.

US 20060156818 A

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 제1 관점은 가요성 빔과 질량체와의 연결부 및 가요성 빔과 지지부와의 연결부에 각각 라운드형상의 보강부가 형성됨에 따라 질량체와의 연결부 및 지지부와의 연결부에 집중되는 스트레스가 분산되어 안정적인 구조로 구현되는 관성센서를 제공하기 위한 것이고,

본 발명의 제2 관점은 하부커버에 대향되는 질량체에 엠보싱(embossing)부가 형성되고, 상기 엠보싱부에 의해 질량체가 외부충격등에 의해 하부커버와 충돌될 경우, 충격량이 감소된 관성센서를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 일실시예에 따른 관성센서는 질량체와, 전극 또는 압저항 소자 배치되고, 상기 질량체가 결합된 가요성 빔와, 상기 가요성 빔에 연결되고, 상기 질량체가 부상되도록 가요성 빔을 지지하는 지지부를 포함하고, 상기 가요성 빔은 상기 질량체와의 연결부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성된다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서의 상기 보강부는 라운드 형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서에 있어서, 상기 보강부의 라운드 형상은 isotropic etch로 가공될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서의 상기 가요성 빔은 상기 지지부와의 연결부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 더 형성될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서에 있어서, 상기 보강부는 라운드 형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서에 있어서, 상기 보강부의 라운드 형상은 isotropic etch로 가공될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서에 있어서, 상기 질량체를 커버하도록 상기 지지부의 일면에는 결합된 하부커버를 더 포함하고, 상기 지지부는 상기 하부커버와의 결합단부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성될 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서의 상기 보강부는 상기 질량체에 대향되는 지지부의 내측단부에 형성되고, 라운드형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서의 상기 질량체는 상기 하부커버에 대향되는 일면에 엠보싱(embossing)부가 형성된다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 관성센서는 질량체와, 압저항 소자가 배치되고, 상기 질량체가 결합된 가요성 빔과, 상기 가요성 빔에 연결되고, 상기 질량체가 부상되도록 가요성 빔을 지지하는 지지부와, 상기 질량체를 커버하도록 상기 지지부의 일면에는 결합된 하부커버를 포함하고, 상기 질량체는 상기 하부커버에 대향되는 일면에 엠보싱(embossing)부가 형성된다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 관성센서에 있어서, 상기 지지부는 상기 하부커버와의 결합단부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성되고, 상기 보강부는 라운드형상으로 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 관성센서에 있어서, 상기 보강부는 상기 질량체에 대향되는 지지부의 내측단부에 형성될 수 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명에 의하면 가요성 빔과 질량체와의 연결부 및 가요성 빔과 지지부와의 연결부에 각각 라운드형상의 보강부가 형성됨 따라 질량체와의 연결부 및 지지부와의 연결부에 집중되는 스트레스가 분산되어 안정적인 구조로 구현되고,

하부커버에 대향되는 질량체에 엠보싱(embossing)부가 형성되고, 상기 엠보싱부에 의해 질량체가 외부충격등에 의해 하부커버와 충돌될 경우, 충격량이 감소된 관성센서를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서를 개략적으로 도시한 구성도.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도시한 바와 같이, 상기 관성센서(100)는 압저항 가속도 센서 또는 각속도 센서로 구현되고, 이를 위해 센서부(110), 상부커버(120) 및 하부커버(130)를 포함한다.

보다 구체적으로, 상기 상부커버(120)는 상기 센서부(110)의 일측을 커버하도록 상기 센서부에 결합되고, 상기 하부커버(130)는 상기 센서부(110)의 타측을 커버하도록 상기 센서부(110)에 결합된다.

그리고 상기 센서부(110)는 질량체(111), 가요성 빔(112) 및 지지부(113)를 포함한다.

또한, 상기 가요성 빔(112)의 일면에는 각속도 센서로 구현되기 위해 구동전극 및 감지전극이 형성되거나, 가속도 센서로 구현되기 위해 압저항 소자(미도시)가 결합되고, 타면에는 질량체(111)가 결합된다. 그리고 상기 지지부(113)는 상기 질량체(111)가 부상가능하도록 상기 가요성 빔(112)의 타면에 결합되고, 가요성 빔(112)를 지지한다.

이와 같이 이루어지고, 외력이 발생될 경우 상기 질량체(111)는 외력에 의해 모멘트가 발생되어 이동되고, 가요성 기판으로 이루어진 가요성 빔(112)의 압저항소자(미도시)는 질량체(111)의 변위에 의해 저항값이 변화되고, 상기 저항값을 검출하여 가속도를 산출한다.

또한, 상기 상부커버(120)는 구동 및 감지전극 또는 압저항 소자를 커버하도록 상기 가요성 빔(112)의 일면에 결합된다. 그리고 상기 가요성 빔(112)에 상부커버를 결합하기 위해 본딩제(B)가 도포될 수 있고, 상기 본딩제(B)의 두께에 의해 상기 가요성 빔(120)과 상부커버(120)와의 간격이 결정될 수 있다.

또한, 상기 하부커버(130)는 상기 질량체(111)를 커버하도록 상기 지지부(113)의 일면에 결합된다. 그리고 상기 지지부(113)에 상기 하부커버(130)를 결합하기 위해 본딩제(B)가 도포될 수 있고, 상기 본딩제(B)의 두께에 의해 상기 질량체(111)와 상기 하부커버(130)의 간격이 결정될 수 있다.

그리고 상기 가요성 빔(112)은 상기 질량체(111)와의 연결부에 스트레스(stress) 분산을 위한 보강부(112a)가 형성된다. 또한 상기 보강부(111a)는 라운드형상으로 이루어질 수 있다.

이에 더하여 상기 가요성 빔(112)은 상기 지지부(113)와의 연결부에 스트레스(stress) 분산을 위한 보강부(112b)가 형성된다. 또한 상기 보강부(112b)는 라운드형상으로 이루어질 수 있다.

그리고 상기 지지부(113)는 상기 하부커버(130)와의 결합단부에 스트레스(stress) 분산을 위한 보강부(113a)가 형성될 수 있다. 즉, 상기 보강부(113a)는 상기 질량체(111)에 대향되는 지지부(113)의 내측단부에 형성되고, 라운드형상으로 이루어질 수 있다.

상기한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서는 가요성 빔(112)에 있어서 질량체와의 연결부 및 지지부와의 연결부에 각각 라운드형상의 보강부(112a, 112b)가 형성됨에 따라 질량체와의 연결부 및 지지부와의 연결부에 집중되는 스트레스가 분산되어 안정적인 구조로 이루어질 수 있다.

그리고 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서는 하부커버(130)에 대향되는 질량체(111)의 일면에 엠보싱(embossing)부(111a)가 형성된다. 상기 엠보싱부(111a)는 질량체(111)가 외부충격등에 의해 하부커버(130)와 충돌될 경우, 질량체(111)가 하부커버(130)와 접촉되는 면적을 줄여 충격량을 감소시키기 위한 것이다.

또한, 상기 엠보싱부(111a)는 isotropic etch등에 의해 가공할 수 있다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.

100 : 관성센서 110 : 센서부
120 : 상부커버 130 : 하부커버
111 : 질량체 112 : 가요성 빔
113 : 지지부
112a, 112b, 113a : 보강부

Claims (12)

1. 질량체;
   전극 또는 압저항 소자 배치되고, 상기 질량체가 결합된 가요성 빔; 및
   상기 가요성 빔에 연결되고, 상기 질량체가 부상되도록 가요성 빔을 지지하는 지지부를 포함하고,
   상기 가요성 빔은 상기 질량체와의 연결부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성된 관성센서.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 보강부는 라운드 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 관성센서.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 보강부의 라운드 형상은 isotropic etch로 가공된 것을 특징으로 하는 관성센서.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 가요성 빔은 상기 지지부와의 연결부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 보강부는 라운드 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 관성센서.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 보강부의 라운드 형상은 isotropic etch로 가공된 것을 특징으로 하는 관성센서.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 질량체를 커버하도록 상기 지지부의 일면에는 결합된 하부커버를 더 포함하고,
   상기 지지부는 상기 하부커버와의 결합단부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 보강부는 상기 질량체에 대향되는 지지부의 내측단부에 형성되고, 라운드형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 관성센서.
   
9. 청구항 7에 있어서,
   상기 질량체는 상기 하부커버에 대향되는 일면에 엠보싱(embossing)부가 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
10. 질량체;
    압저항 소자가 배치되고, 상기 질량체가 결합된 가요성 빔;
    상기 가요성 빔에 연결되고, 상기 질량체가 부상되도록 가요성 빔을 지지하는 지지부; 및
    상기 질량체를 커버하도록 상기 지지부의 일면에는 결합된 하부커버를 포함하고,
    상기 질량체는 상기 하부커버에 대향되는 일면에 엠보싱(embossing)부가 형성된 관성센서.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 지지부는 상기 하부커버와의 결합단부에 스트레스 분산을 위한 보강부가 형성되고, 상기 보강부는 라운드형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 관성센서.
12. 청구항 11에 있어서,
    상기 보강부는 상기 질량체에 대향되는 지지부의 내측단부에 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.

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