KR20170077793A

KR20170077793A - 고주파용 도선 및 고주파 점등형 광원 장치

Info

Publication number: KR20170077793A
Application number: KR1020160172908A
Authority: KR
Inventors: 마사토시 시모나카
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2015-12-28
Filing date: 2016-12-16
Publication date: 2017-07-06
Also published as: CN107062168A; JP2017120699A

Abstract

[과제] 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 형상 가공성과 더불어 형상 유지성을 갖는 고주파용 도선을 제공하는 것, 및 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어지는 고주파 점등형 광원 장치를 제공하는 것이다.
[해결 수단] 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 고주파 점등형 광원 장치는, 고주파 전력이 공급되는 광원과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 상기 급전선이, 상기의 고주파용 도선으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

고주파용 도선 및 고주파 점등형 광원 장치{WIRE FOR HIGH FREQUENCY AND HIGH FREQUENCY LIGHTING LIGHT SOURCE DEVICE}

본 발명은, 고주파용 도선 및 고주파 점등형 광원 장치에 관한 것이다. 더 상세하게는, 엑시머 램프 등의 고주파 전력에 의해 점등되는 광원의 급전선으로서 이용되는 고주파용 도선, 및 고주파 전력에 의해 점등되는 광원과 상기의 고주파용 도선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치에 관한 것이다.

종래, 고주파 전력에 의해 점등되는 광원(이하, 「고주파 광원」이라고도 한다)으로는, 예를 들어, 엑시머 램프, 형광 램프(구체적으로는, 고주파 점등 전용형 형광 램프(high frequency fluorescent lamp)) 및 롱 아크형 메탈할라이드 램프 등의 방전 램프, 및, LED 소자 등의 발광 소자 등이 있다.

이들 고주파 광원은, 광원 장치의 발광원으로서 널리 이용되고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1~특허 문헌 3 참조).

구체적으로, 특허 문헌 1에는, 형광 램프가 급전선을 통해 고주파 인버터에 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 고주파 인버터로부터 고주파 전력(구체적으로는, 예를 들어 주파수 45kHz의 전력)이 공급됨으로써 상기 형광 램프가 점등되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치가 개시되어 있다. 이 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 형광 램프는, 양단이 봉지(封止)된 직관형상의 발광관을 구비하고 있으며, 이 발광관의 내주면에 형광 도료가 도포되고, 또 상기 발광관의 내부에 한 쌍의 전극이 대향 배치된 것이다.

또, 특허 문헌 2에는, 엑시머 램프가 급전선을 통해 푸시풀 방식의 인버터 회로에 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 인버터 회로로부터 출력되는 고주파 전력(구체적으로는, 주파수 20~100kHz의 구형(矩形)파 전력)이 공급됨으로써 상기 엑시머 램프가 점등되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치가 개시되어 있다. 이 고주파 점등형 광학 장치에 있어서, 엑시머 램프에 인가되는 고주파 전력은, 인버터 회로의 극성 반전에 있어서 전압이 급준하게 변화하고, 이 급준한 전압 변화에 의해, 엑시머 램프에 급준한 전류가 발생함으로써 얻어지는 것이다.

또, 특허 문헌 3에는, LED 소자가 급전선을 통해 LED 구동 장치에 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 LED 구동 장치로부터의 출력 전력이 공급됨으로써 상기 LED 소자가 점등되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치가 개시되어 있다.

이 고주파 점등형 광학 장치에 있어서, LED 구동 장치는, 승압 회로와 강압 회로를 구비하고 있고, 상기 강압 회로에 의해, 저주파의 펄스폭 변조 제어(PWM 제어) 및 고주파(구체적으로는, 주파수가 수십kHz~수백kHz)의 PWM 제어를 행함으로써, LED 소자를 조광하는 것이다.

일본국 특허 공개 평9-298045호 공보 일본국 특허 공개 평11-331506호 공보 일본국 특허 공개 2013-110061호 공보

이러한 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 고주파 광원을 점등할 때에는, 급전선에 고주파 전류가 흐른다. 그리고, 급전선을 흐르는 고주파 전류는, 표피 효과에 의해, 상기 급전선을 구성하는 도전성 소선의 표면에 집중한다. 즉, 도전성 소선의 표면에 있어서 전류 밀도가 매우 커진다. 그로 인해, 급전선의 교류 저항(전력 손실)이 커진다.

그런데, 고주파 광원에 있어서는, 급전선으로서, 1개의 도전성 소선으로 이루어지는 단심선이 절연재에 의해 피복된 단심 도선이 아닌, 여러 개의 가는 도전성 소선이 묶여진 다심선이 절연재에 의해 피복된 다심 도선이 이용되고 있다. 이 다심선으로는, 여러 개의 가는 도전성 소선을 꼬은 연선(撚線)이 널리 이용되고 있다.

급전선으로서, 다심 도선을 이용하는 것에 의하면, 기대한 바와 같이 단면적의 급전선(심선)에 의해 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다.

다심 도선은, 심선의 단면적이 동일한, 단심 도선, 및 상기 다심 도선을 구성하는 도전성 소선의 개수보다 적은 개수의 도전성 소선을 묶은 심선을 갖는 도선에 비해, 보다 유연하기 때문에, 배선의 둘러치기가 용이하다.

그러나, 고주파 점등형 광원 장치의 제조 작업 중, 및 고주파 점등형 광원 장치의 구성 부재(구체적으로는, 예를 들어 고주파 광원)의 교환 작업 중에 있어서는, 급전선이 높은 유연성을 갖는 것임에 기인하여 여러 가지의 문제가 발생한다.

구체적으로 설명하면, 특히 고주파 점등형 광원 장치가 복수의 고주파 광원을 구비한 것인 경우에는, 작업 중(구체적으로는, 제조 작업 중 및 교환 작업 중)에 있어서, 급전선이 처져, 복수의 급전선들이 서로 얽혀 작업하기 어렵다.

또, 고주파 광원에 대해 고주파 전원으로부터 고주파 전압이 인가되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 복수의 급전선들이 접근하지 않도록, 구체적으로는 절연 거리를 확보하도록, 그들의 복수의 급전선의 각각을, 고정 부재를 이용하여 지지 고정할 필요가 있는 경우가 있다. 여기에, 고주파 광원에 대해 고주파 전원으로부터 고주파 전압이 인가되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 급전선들이 접근한 상태가 된 경우에는, 용량 결합에 의해 전류가 흐르는 것에 기인하여, 고주파 광원에 공급되는 전력량이 저하하고, 발광 효율이 저하한다.

또한, 고주파 광원, 및 상기 고주파 광원에 급전선을 통해 전기적으로 접속되는 부재와의 위치 관계에 있어서도, 급전선이 원하는 위치에 고정되도록, 상기 급전선을 고정 부재에 의해 지지 고정할 필요가 있는 경우가 있다.

본 발명은, 이상과 같은 사정에 의거하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 형상 가공성과 더불어 형상 유지성을 갖는 고주파용 도선을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어지는 고주파 점등형 광원 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가(可)굴곡성 자기 형상 유지 라인(條)체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 고주파용 도선에 있어서, 상기 도선 본체는, 상기 복수의 도전성 소선의 다발이 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것임이 바람직하다.

본 발명의 고주파용 도선에 있어서, 상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 하기의 (1)~(5) 중 어느 한 구성을 갖는 것임이 바람직하다.

(1) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 금속선이, 지지 부재에 의해 지지 고정됨으로써, 상기 도선 본체를 따라 배치된 것이다.

(2) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 튜브형상체로 이루어지는 것이며, 상기 튜브형상체의 내부에 상기 도선 본체가 삽입 설치되고 있다.

(3) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 코일형상체로 이루어지는 것이며, 상기 코일형상체를 구성하는 소선이 상기 도선 본체에 나선형상으로 감겨진 상태로 되어 있다.

(4) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 양단부에 도선 본체 유지부가 설치된 판상체로 이루어지는 것이다.

(5) 상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 봉형상체로 이루어지는 것이며, 상기 도선 본체가 상기 봉형상체를 따라 설치된다.

본 발명의 고주파 점등형 광원 장치는, 고주파 전력이 공급되는 광원과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치에 있어서,

상기 급전선이, 상기의 고주파용 도선으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 상기 광원이, 엑시머 램프인 것이 바람직하다.

본 발명의 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 것이다. 그로 인해, 도선 본체에 있어서, 표피 효과의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다. 또, 도선 본체가 유연성을 갖는 것임과 더불어, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 굴곡성을 갖는 것이기 때문에, 수작업으로 용이하게 원하는 형상으로 굴곡시킬 수 있고, 게다가, 그 형상을, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 자기 형상 유지성에 의해 유지할 수 있다.

따라서, 본 발명의 고주파용 도선에 의하면, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 또 뛰어난 형상 가공성 및 뛰어난 형상 유지성, 즉 뛰어난 리드포밍 성능이 얻어진다.

본 발명의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 고주파 전력이 공급되는 광원에 전기적으로 접속된 급전선으로서, 본 발명의 고주파용 도선이 이용되고 있다. 즉, 급전선으로서, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있음과 더불어, 뛰어난 리드포밍 성능을 갖는 고주파용 도선이 이용되고 있다. 그로 인해, 고주파 점등형 광원 장치의 제조 작업 및 고주파 점등형 광원 장치에 있어서의 구성 부재의 교환 작업을 행할 때에, 사전 혹은 작업 중에, 급전선을 리드포밍할 수 있다. 그 결과, 작업 중에 있어서, 급전선이 처져 다른 부재에 얽히는 일이 없고, 또 전용의 고정 부재를 이용하는 일 없이 급전선을 원하는 위치에 원하는 상태로 배치할 수 있다.

따라서, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치에 의하면, 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어진다.

도 1은 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치의 구성의 일례를 개념적으로 도시하는 설명도이다.
도 2는 도 1의 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치의 광원으로서 이용되는 엑시머 램프의 구성의 일례를 도시하는 설명도이다.
도 3은 본 발명의 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 유연성을 확인하기 위한 수법을 도시하는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 제1 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제1 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 제2 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제2 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 제3 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제3 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 7은 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다.
도 9는 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제5 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제5 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상체를 도시하는 설명도이다.
도 10은 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제6 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제6 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상부를 도시하는 설명도이다.
도 11은 본 발명의 제7 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제7 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 12는 본 발명의 제8 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제8 고주파용 도선을 구성하는 복수의 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.

이하, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치 및 본 발명의 고주파용 도선의 실시 형태에 대해 설명한다.

도 1은, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치의 구성의 일례를 개념적으로 도시하는 설명도이다.

이 고주파 점등형 광원 장치(10)는, 고주파 전력이 공급되고, 그 고주파 전력에 의해 점등되는 광원(고주파 광원)(11)과, 이 고주파 광원(11)에 고주파 전력을 공급하기 위한 전원(12)을 구비하고 있으며, 이들이 급전선(15)을 통해 전기적으로 접속된 것이다.

고주파 광원(11)으로는, 예를 들어, 엑시머 램프, 형광 램프(구체적으로는, 고주파 점등 전용형 형광 램프) 및 롱 아크형 메탈할라이드 램프 등의 방전 램프, 및, LED 소자 등의 발광 소자 등이 이용된다.

이 도면의 예에 있어서, 고주파 광원(11)으로는, 엑시머 램프가 이용되고 있다.

이 엑시머 램프는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 내부에 방전 공간이 형성된, 전체가 한 방향으로 길이가 긴 판형상의 방전 용기(21)를 구비하고 있고, 상기 방전 용기(21)의 방전 공간 내에는, 엑시머용 가스가 기밀로 봉입되어 있다. 방전 용기(21)의 길이 방향을 따라 연장되는 4개의 둘레 측면 중, 한쪽의 폭넓은 둘레 측면(21a)의 외면에는, 그물형상의 고전압측 전극(22)이 배치되고, 상기 둘레 측면(21a)에 대향하는 다른쪽의 폭넓은 둘레 측면의 외면에는, 그물형상의 어스측 전극이 배치되어 있다. 또, 엑시머 램프(방전 용기(21))의 양단의 각각에는, 세라믹제의 베이스(25)가 방전 용기(21)의 일부를 수용하여 유지한 상태로 장착되어 있다.

전원(12)으로는, 고주파 광원(11)에 대해 고주파 전력을 공급할 수 있는 것이 이용된다. 구체적으로는, 고주파 광원(11)으로서 방전 램프가 이용되는 경우에는, 고주파 광원에 대해, 주파수가 수kHz~수백kHz의 교류의 정현파 전력을 공급할 수 있는 것이 이용된다. 여기에, 형광 램프(고주파 점등 전용형 형광 램프)의 점등 주파수는 20~70kHz이며, 엑시머 램프의 점등 주파수는 20~200kHz이다. 또, 고주파 광원(11)으로서 발광 소자(LED 소자)가 이용되는 경우에는, 전원(12)으로서, 고주파 광원(11)에 대해, 맥류의 구형파 전력을 공급할 수 있는 것이 이용된다.

전원(12)의 구체예로는, 고주파 전원, 및 직류 전원과 푸시풀 방식의 인버터 회로를 구비하고, 상기 인버터 회로로부터 고주파 전력을 출력할 수 있는 구성인 것 등을 들 수 있다. 즉, 전원(12)으로는, 인버터 회로의 극성 반전에 있어서 전압이 급준하게 변화하고, 이 급준한 전압 변화에 의해, 고주파 광원(11)에 급준한 전류를 발생시킴으로써, 상기 고주파 광원(11)에 고주파 전력을 공급하는 구성인 것을 이용할 수 있다.

이 도면의 예에 있어서, 전원(12)으로는, 고주파 전원이 이용되고 있다.

급전선(15)으로는, 복수의 도전성 소선의 다발(이하, 「소선 다발」이라고도 한다)을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 도선, 즉 본 발명의 고주파용 도선이 이용된다.

여기에, 본 명세서 중에 있어서, 「유연한 도선 본체」란, 도 3에 도시하는 바와 같이, 도선 본체(16)를 수평으로 유지한 상태에 있어서, 선단(T)으로부터의 이격 거리(D)가 100mm의 위치를 지점(F)으로 하고, 상기 선단(T)에 10g의 추(19)를 부가했을 때에, 상기 선단(T)의 수하 길이(L)가 10mm 이상이 되는 유연성을 갖는 것을 나타낸다.

도 3에 있어서는, 선단(T)에 추(19)가 부가되기 전에 있어서 수평으로 유지된 상태의 도선 본체(16)가 파선에 의해 나타나 있으며, 선단(T)에 추(19)가 부가된 상태의 도선 본체(16)가 실선으로 나타나 있다.

소선 다발로는, 복수의 도전성 소선을 간단히 묶은 구성인 것, 및 복수의 도전성 소선을 꼬은 구성인 것 등을 이용할 수 있는데, 복수의 도전성 소선을 꼬은 구성인 것, 혹은 리츠선과 같은 구성인 것(구체적으로는 절연재에 의해 피복된 도전성 소선을 꼬은 구성인 것)이 바람직하다.

소선 다발을 구성하는 도전성 소선의 개수는, 도전성 소선의 외경(단면적) 등에 따라, 또 도전성 소선의 재질, 고주파 광원(11)의 종류 및 고주파 광원(11)에 공급되는 고주파 전력의 주파수 등을 고려하여 적당히 정해진다.

구체적으로, 소선 다발에 있어서의 도전성 소선의 개수는, 예를 들어, 소선 다발의 AWG(American Wire Gauge)값이 18인 경우에는, 7개 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 19개 이상이며 37개 이하이다. 여기에, 본 명세서 중에 있어서, 「소선 다발의 AWG값」이란, 소선 다발을 구성하는 복수의 도전성 소선의 합계 단면적을 나타낸다.

소선 다발에 있어서, 도전성 소선의 개수가 과소인 경우에는, 표피 효과가 발생하는 것에 기인하여, 소선 다발의 교류 저항(전력 손실)이 커져, 고주파 광원(11)에 대해 높은 효율로 고주파 전력을 공급할 수 없게 될 우려가 있다.

또, 도전성 소선의 개수가 과대인 경우에는, 도체 본체에 있어서, 압착 단자 등의 전기 접속 부재를 접속 처리(말단 처리)함으로써, 도전성 소선의 일부에 단선이 발생하고, 그것에 기인하여, 전기 접속 부재와의 접속부에 있어서, 기계적 강도가 작아지고, 또 전기 저항이 커질 우려가 있다.

도전성 소선으로는, 연(軟)구리선이 이용된다.

도전성 소선의 외경은, 도선 본체에 있어서의 표피 효과 억제성 및 유연성의 관점으로부터, 0.5mm(φ0.5) 이하인 것이 바람직하다.

도선 본체는, 소선 다발이 절연재로 이루어지는 피복층에 의해 피복되어 이루어지는 것임이 바람직하다.

도선 본체가, 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있는 것임으로써, 도선 본체와 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체 사이에 있어서의 절연성을 확보하기 위해, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 재질 및 형상, 및 도선 본체와 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 위치 관계 등이 한정되는 일이 없기 때문에, 고주파용 도선의 설계의 자유도가 커진다.

또, 도전성 본체는, 예를 들어 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 절연성을 갖는 것으로 여겨지는 것 등에 의해, 상기 도전성 본체와 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 서로 전기적으로 절연된 상태로 되어 있으면, 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것이어도 된다. 즉, 도전성 본체는, 소선 다발로 이루어지는 것이어도 된다.

피복층은, 절연성을 가짐과 더불어, 도선 본체를 원하는 유연성을 갖는 것으로 하기 위해, 소선 다발에 근사한 유연성을 갖는 것임이 바람직하다.

이 피복층을 구성하는 절연재로는, 불소 수지 및 실리콘 등이 이용된다.

또, 피복층의 두께는, 피복층의 재질 등에 따라, 또 피복층에 필요하게 되는 유연성 등을 고려하여 적당히 정해진다.

가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 도선 본체를 따라 배치된 상태에 있어서, 상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 첨설(添設)된 도선 본체를, 공구를 이용하는 일 없이 수작업으로 원하는 형상으로 굴곡할 수 있고, 그 형상을 유지할 수 있는 굴곡성 자기 형상 유지 기능을 갖는 것이다. 즉, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 뛰어난 굴곡성(형상 가공성)을 가짐과 더불어, 뛰어난 가공 형상 유지성을 갖는 것이다.

가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 구체예로는, 후술하는, 여러 가지의 구성인 것을 들 수 있다.

어느 구성의 굴곡성 자기 형상 유지체를 이용하는지는, 도선 본체의 유연성, 도선 본체의 구성(구체적으로는, 예를 들어 도선 본체의 길이 및 외경, 도선 본체를 구성하는 절연재의 종류) 등을 고려하여, 적당히 선택된다.

(제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 4는, 본 발명의 제1 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제1 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.

이 제1 고주파용 도선(30)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제1 고주파용 도선(30)을 구성하는 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(31)는, 금속선(32)과 지지 부재(34)로 이루어지고, 금속선(32)이, 지지 부재(34)에 의해 지지 고정됨으로써, 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 지지 부재(34)는, 튜브형상의 형상을 갖고 있으며, 도선 본체(16)와 금속선(32)을 피복하도록 하여, 도선 본체(16) 및 금속선(32)을 따라 연장되도록 배치되어 있다.

이 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(31)에 있어서, 금속선(32)에는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성이 필요하게 되고, 지지 부재(34)에는, 굴곡성(형상 가공성)이 필요하게 된다.

금속선(32)으로는, 스테인리스강, 니켈 및 철 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 또, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 금속선(32)으로는, 스테인리스강, 니켈 및 철 등으로 이루어지는 금속 소선이 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.

금속선(32)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

구체적으로는, 금속선(32)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다. 또, 금속선(32)을 도선 본체(16)와 동일한 정도의 길이인 것으로 하여, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 전역에 금속선(32)을 첨설해도 된다.

또, 금속선(32)의 외경은, 금속선(32)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 금속선(32)은, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이며, 도선 본체(16)의 중앙부에 배치되어 있다. 즉, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 양단부에는, 금속선(32)이 첨설되어 있지 않다.

지지 부재(34)는, 금속선(32)을, 도선 본체(16)를 따라 연장되는 상태로 지지할 수 있는 것이면 된다. 구체적으로는, 금속선(32)의 길이(전체 길이)와 대략 동등의 길이를 갖는 튜브형상체에 의해 구성되고, 금속선(32)을 전체적 또는 대략 전체적으로 피복하는 것이어도 되고, 또 복수의 튜브형상부에 의해 구성되어 있으며, 상기 복수의 튜브형상부에 의해 금속선(32)을 부분적으로 피복하는 것이어도 된다. 또, 지지 부재(34)는, 반드시 도선 본체(16)에 밀착한 상태로 되어 있지 않아도 되나, 밀착한 상태로 되어 있어도 된다.

이 도면의 예에 있어서, 지지 부재(34)는, 금속선(32)의 길이(전체 길이)보다 약간 짧은 긴 원통형상의 튜브형상체에 의해 구성되어 있으며, 금속선(32)의 중앙부를 피복하고 있다. 즉, 금속선(32)의 양단부는, 지지 부재(34)에 의해 피복되어 있지 않으며, 지지 부재(34)로부터 돌출한 상태로 되어 있다. 또, 지지 부재(34)를 구성하는 튜브형상체는, 금속선(32) 및 도선 본체(16)에 밀착하여 설치되어 있다.

지지 부재(34)는, 제1 고주파용 도선(30)을 충분한 굴곡성(형상 가공성)을 갖는 것으로 하기 위해, 금속선(32)과 동등 이상의 굴곡성을 갖는 것임이 바람직하다.

이 지지 부재(34)의 재질로는, 폴리올레핀 수지, 불소 수지, 열가소성 일래스터머 및 실리콘 등을 들 수 있다. 또, 지지 부재(34)를, 금속선(32) 및 도선 본체(16)에 밀착하여 설치하기 위해서는, 지지 부재 형성 재료로서, 열수축 튜브를 이용할 수도 있다.

또, 지지 부재(34)의 두께는, 지지 부재(34)의 재질 등에 따라, 또 지지 부재(34)에 필요하게 되는 굴곡성 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 지지 부재(34)는, 지지 부재 형성 재료로서 열수축 튜브를 이용함으로써 얻어진 것이다.

(제2 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 5는, 본 발명의 제2 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제2 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.

이 제2 고주파용 도선(35)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제2 고주파용 도선(35)을 구성하는 제2 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는, 원통형상의 튜브형상체(36)로 이루어지고, 상기 튜브형상체(36)의 내부에, 도선 본체(16)가 삽입 설치됨으로써, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 이 튜브형상체(36)는, 일단부(도 5에 있어서의 오른쪽 단부)가, 베이스(25)에 매설됨으로써 상기 베이스(25)에 지지 고정되어 있다.

튜브형상체(36)는, 금속으로 이루어지는 것, 또는 수지로 이루어지는 것으로 여겨진다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 튜브형상체(36)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.

튜브형상체(36)를 구성하는 수지로는, 폴리테트라플루오로에틸렌 수지 및 실리콘 수지 등을 들 수 있다.

튜브형상체(36)를 구성하는 금속으로는, 알루미늄, 구리 및 철 등을 들 수 있다. 또, 튜브형상체(36)가 금속으로 이루어지는 것인 경우에는, 그 금속제의 튜브형상체(36)는, 굴곡성(형상 가공성)의 관점으로부터, 소둔 처리된 것이 바람직하다.

튜브형상체(36)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이로서, 이하, 「돌출 길이」라고도 한다)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 튜브형상체(36)의 돌출 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다.

또, 튜브형상체(36)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경에 적합한 크기가 된다.

또, 튜브형상체(36)의 두께는, 튜브형상체(36)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(36)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이고, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 일단부(도 5에 있어서의 오른쪽 단부) 및 중앙부를 건너지르는 영역에 배치되어 있다. 즉, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 타단부(도 5에 있어서의 왼쪽 단부)에는, 튜브형상체(36)가 배치되어 있지 않으며, 상기 타단부는, 튜브형상체(36)로부터 돌출한 상태로 되어 있다.

(제3 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 6은, 본 발명의 제3 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제3 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.

이 제3 고주파용 도선(40)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제3 고주파용 도선(40)을 구성하는 제3 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는, 비탄성 재료제의 소선으로 이루어지는 코일형상체(41)로 이루어지고, 상기 코일형상체(41)가, 상기 소선이 도선 본체(16)의 외주면에 나선형상으로 감겨진 상태로, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다.

여기에, 제3 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(코일형상체(41))를 도선 본체(16)에 배치하는 방법의 일례로는, 도선 본체(16)와, 코일형상체(41)를 형성하기 위한 소선을 준비하고, 도선 본체(16)의 외주면에, 상기 도선 본체(16)의 일단부측으로부터 타단부측을 향해 소선을 나선형상으로 감는 수법이 이용된다. 또, 다른 방법으로는, 도선 본체(16)와, 상기 도선 본체(16)의 외경과 대략 동등의 내경(코일 내경)을 갖는 코일형상체(41)를 준비하고, 코일형상체(41)의 내부에, 도선 본체(16)를 삽입하는 수법이 이용된다.

코일형상체(41)를 구성하는 소선에는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성이 필요하게 된다.

그리고, 코일형상체(41)를 구성하는 소선으로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속 및 수지 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 코일형상체(41)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 코일형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.

코일형상체(41)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 코일형상체(41)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다.

또, 코일형상체(41)를 구성하는 소선의 외경은, 소선의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이, 코일 피치), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 코일형상체(41)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이며, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 중앙부에 배치되어 있다. 즉, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 양단부에는, 코일형상체(41)가 배치되어 있지 않으며, 상기 양단부는, 코일형상체(41)로부터 돌출된 상태로 되어 있다.

(제4 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 7은, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다. 또, 도 8은, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다.

이들 제4 고주파용 도선(43, 46)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이들 제4 고주파용 도선(43, 46)을 구성하는 제4 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 모두, 적어도 양단부의 각각에 도선 본체 유지부가 설치된, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는 판상체(44, 47)로 이루어지고, 상기 판상체(44, 47)가, 복수의 도선 본체 유지부에 있어서 지지 고정됨으로써, 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 이 판상체(44, 47)에 있어서, 도선 본체 유지부가 양단부 이외의 영역, 구체적으로는, 양단부에 설치된 도선 본체 유지부의 사이의 영역에 설치되는 경우에 있어서, 상기 영역에 있어서의 도선 본체 유지부의 배치 위치는, 상기 판상체(44, 47)의 길이 등에 따라 적당히 정해진다.

도 7의 예에 있어서, 판상체(44)는, 길이가 긴 직사각형 평판 형상 기체(45A)를 갖고 있으며, 이 직사각형 평판 형상 기체(45A)의 양단부의 각각에 도선 본체 유지부가 설치된 것이다. 각 도선 본체 유지부는, 직사각형 평판 형상 기체(45A)의 길이측 가장자리의 각각으로부터 판상체(44)의 길이 방향(직사각형 평판 형상 기체(45A)의 길이 방향)과 직교하는 방향으로 연장되는 2개의 직사각형 판편(45B, 45B)으로 이루어지고, 이들 직사각형 판편(45B, 45B)이 도선 본체(16)에 감기도록 굴곡됨으로써, 상기 도선 본체(16)를 지지하는 것이다. 2개의 직사각형 판편(45B, 45B)은, 도선 본체(16)에 감기도록 굴곡된 상태에 있어서, 서로 겹치는 일 없이, 근접하도록 배치되어 있다. 한편, 도 8의 예에 있어서, 판상체(47)는, 길이가 긴 직사각형 평판 형상인 것이며, 양단부의 각각에는 도선 본체 유지부가 설치되어 있다. 그리고, 각 도선 본체 유지부는, 판상체(47)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 평행하게 연장되는 2개의 절입에 의해 구획된 부분(47a, 47a)을 비틀림 가공하여 팽출시킴으로써 형성된 터널형상의 공간(48, 48)에, 도선 본체(16)를 삽입 통과시켜 협지함으로써, 상기 도선 본체(16)를 지지하는 것이다.

판상체(44, 47)로는, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체에 필요하게 되는 굴곡성 자기 형상 유지 기능에 따른 적당한 재질인 것을 이용할 수 있다.

구체적으로는, 판상체(44, 47)로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속 및 수지 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 혹은, 세라믹스 등 복수의 소재를 조합한 것을 이용할 수도 있다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 판상체(44, 47)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 수지(구체적으로는 절연성 수지)와 세라믹스(구체적으로는 절연성 세라믹스)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 판형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.

판상체(44, 47)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 도선 본체(16)의 무게, 및 도선 본체 유지부의 구성 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 판상체(44, 47)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다.

또, 판상체(44, 47)의 폭은, 판상체(44, 47)의 재질, 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체 유지부의 구성 등에 따라 적당히 정해진다.

또, 판상체(44, 47)의 두께는, 판상체(44, 47)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 도선 본체(16)의 무게, 및 도선 본체 유지부의 구성 등을 고려하여 적당히 정해진다.

(제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 9는, 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제5 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제5 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상체를 도시하는 설명도이다.

이 제5 고주파용 도선(50)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제5 고주파용 도선(50)을 구성하는 제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 복수의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)가 힌지부(53A, 53B)를 통해 연결되어 이루어지는 튜브형상체(51)로 이루어지고, 상기 튜브형상체(51)의 내부에, 도선 본체(16)가 삽입 설치됨으로써, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 여기에, 튜브형상체(51)는, 일부에 절결부를 갖는 것이어도 된다. 구체적으로는, 튜브형상체(51)를 구성하는 튜브형상부(52A, 52B, 52C)가, 각각, 튜브형상부의 축방향으로 연장되는 절결부를 갖는 것이어도 된다. 이 튜브형상체(51)는, 힌지부(53A, 53B)에 있어서 굴곡하는 것이다. 즉, 튜브형상체(51)는, 힌지부(53A, 53B)에 있어서의 힌지 굴곡에 의해 굴곡성(형상 가공성)이 발현됨과 더불어, 힌지부(53A, 53B)에 있어서의 힌지 굴곡 유지에 의해 가공 형상 유지성이 발현되는 것이다.

여기에, 제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(튜브형상체(51))를 제조하는 방법의 일례로는, 힌지 굴곡성(형상 가공성) 및 힌지 굴곡 유지성(가공 형상 유지성)을 갖는, 통형상의 튜브형상체 재료를 준비하고, 그 튜브형상체 재료에, 상기 튜브형상체 재료의 경방향으로 연장되는 절입부를 형성하는 수법을 들 수 있다. 이 수법에 있어서, 힌지부(53A, 53B)는, 절입 잔부에 의해 형성된다. 또, 힌지부의 원주 방향의 위치는 형상 가공 방향에 의해 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(51)는, 원통형상의 튜브형상체 재료의 관축과 수직인 방향으로 연장되는 절삭부를 2개 형성함으로써 얻어진 것이고, 3개의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)와 2개의 힌지부(53A, 53B)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 2개의 힌지부(53A, 53B)는, 제1 튜브형상부(52A)와 제3 튜브형상부(52C)를, 제2 튜브형상부(52B)에 대해 직각으로 굴곡시킨 상태에 있어서, 제1 튜브형상부(52A)의 관축과 제3 튜브형상부(52C)의 관축이, 제2 튜브형상부(52B)의 관축 방향에서 보았을 때에, 동일 직선 상에 위치하도록 배치되어 있다.

튜브형상체(51)로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속 및 수지 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 튜브형상체(51)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.

튜브형상체(51)의 길이는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 튜브형상체(51)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다. 그리고, 튜브형상체(51)를 구성하는 복수의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)의 길이는, 튜브형상체(51), 즉 제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체에 있어서 필요하게 되는 굴곡성(형상 가공성)(구체적으로는, 굴곡 가능 부위) 등을 고려하여 적당히 정해진다. 여기에, 복수의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)는, 전부가 동일한 길이를 갖는 것이어도 되고, 적어도 일부가 상이한 길이를 갖는 것이어도 된다.

또, 튜브형상체(51)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경에 적합한 크기가 된다.

또, 튜브형상체(51)의 두께는, 튜브형상체(51)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(51)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이다. 또, 튜브형상체(51)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경보다 약간 대경이며, 압착 단자(17)의 외경(최대 외경)보다 소경으로 되어 있다. 그리고, 튜브형상체(51)는, 3개의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)의 관축이 일치한 상태에 있어서, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 슬라이드 가능하게 배치되어 있다.

(제6 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 10은, 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제6 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제6 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상부를 도시하는 설명도이다.

이 제6 고주파용 도선(55)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제6 고주파용 도선(55)을 구성하는 제6 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 복수의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)가 고정 부재(58)에 의해 연결되어 이루어지는 튜브형상체(56)로 이루어지고, 상기 튜브형상체(56)의 내부에, 도선 본체(16)가 삽입 설치됨으로써, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 이 튜브형상체(56)는, 고정 부재(58)에 의해 형성되는, 서로 인접하는 튜브형상부의 접속부를 회전 지점으로 하여 굴곡하는 것이다. 즉, 튜브형상체(56)는, 접속부에 있어서의 굴곡에 의해 굴곡성(형상 가공성)이 발현됨과 더불어, 상기 접속부에 있어서 발생하는 마찰에 의해 가공 형상 유지성이 발현되는 것이다.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(56)는, 대략 타원통형상의 3개의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)와 2개의 고정 부재(58)에 의해 구성되어 있다. 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 각각, 타원통부(57a)와, 이 타원통부(57a)의 일단으로부터, 서로 대향하여 상기 타원통부(57a)의 길이 방향 외방으로 돌출하여 연장되는 대략 직사각형형상의 선단부(57b, 57b)를 갖고 있다. 이들 선단부(57b, 57b)의 일단측(도 10(b)에 있어서의 오른쪽 단측)에는, 원 형상의 고정용 구멍(59A, 59A)이, 서로 대향하여 형성되어 있다. 또, 타원통부(57a)의 타단측(도 10에 있어서의 왼쪽 단측)에는, 고정용 구멍(59A, 59A)에 있어서의 타원통부(57a)의 길이 방향으로 연장되는 중심선의 연장선 상의 각각에, 원 형상의 고정용 구멍(59B)이, 서로 대향하여 형성되어 있다. 그리고, 제1 튜브형상부(57A)에 있어서의 고정용 구멍(59B)과 제2 튜브형상부(57B)에 있어서의 고정용 구멍(59A)에 공통의 고정 부재(58)가 삽입 설치됨으로써 제1 튜브형상부(57A)와 제2 튜브형상부(57B)가 접속되고, 또, 제2 튜브형상부(57B)에 있어서의 고정용 구멍(59B)과 제3 튜브형상부(57C)에 있어서의 고정용 구멍(59A)에 공통의 고정 부재(58)가 삽입 설치됨으로써 제2 튜브형상부(57B)와 제3 튜브형상부(57C)가 접속되어 있다.

튜브형상체(56)를 구성하는 튜브형상부(57A, 57B, 57C)로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속, 수지 및 세라믹스 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 튜브형상체(56)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 세라믹스(구체적으로는 절연성 세라믹스)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다. 여기에, 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는 것이어도 되나, 굴곡성 및 가공 형상 유지성을 갖지 않는 것이어도 된다.

튜브형상체(56)의 길이는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 튜브형상체(56)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다. 그리고, 튜브형상체(56)를 구성하는 복수의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 튜브형상체(56), 즉 제6 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체에 있어서 필요하게 되는 굴곡성(형상 가공성)(구체적으로는, 굴곡 가능 부위) 등을 고려하여 적당히 정해진다. 여기에, 복수의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 전부가 동일한 길이를 갖는 것이어도 되고, 적어도 일부가 상이한 길이를 갖는 것이어도 된다.

또, 튜브형상체(56)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경에 적합한 크기가 된다.

또, 튜브형상체(56)(튜브형상부(57A, 57B, 57C))의 두께는, 튜브형상체(56)(튜브형상부(57A, 57B, 57C))의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(56)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이다. 또, 튜브형상체(56)의 내경(최대 내경)은, 도선 본체(16)의 외경보다 약간 대경이며, 압착 단자(17)의 외경(최대 외경)보다 소경으로 되어 있다. 그리고, 튜브형상체(56)는, 3개의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)의 관축이 일치한 상태에 있어서, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 슬라이드 가능하게 배치되어 있다.

(제7 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)

도 11은, 본 발명의 제7 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제7 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.

이 제7 고주파용 도선(60)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제7 고주파용 도선(60)을 구성하는 제7 굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는, 봉형상체(61)로 이루어지고, 상기 봉형상체(61)를 따라, 도선 본체(16)가 설치됨으로써, 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 여기에, 봉형상체(61)는, 중공 구조를 갖는 것이어도 된다. 이 봉형상체(61)는, 일단부(도 11에 있어서의 오른쪽 단부)가, 베이스(25)에 매설됨으로써 상기 베이스(25)에 지지 고정되어 있다.

이 도면의 예에 있어서, 도선 본체(16)는, 봉형상체(61)의 외주면에, 나선형상으로 감겨진 상태로 되어 있다. 여기에, 도선 본체(16)는, 결속 벨트 등에 의해 봉형상체(61)의 외주면에 수개소에 있어서 고정되어 있어도 된다.

봉형상체(61)는, 금속으로 이루어지는 것, 또는 수지로 이루어지는 것으로 여겨진다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 봉형상체(61)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.

봉형상체(61)를 구성하는 수지로는, 폴리테트라플루오로에틸렌 수지 및 실리콘 수지, 불소 수지 등을 들 수 있다.

봉형상체(61)를 구성하는 금속으로는, 알루미늄, 구리, 스테인리스 및 철 등을 들 수 있다. 또, 봉형상체(61)가 금속으로 이루어지는 것인 경우에는, 그 금속제의 봉형상체(61)는, 굴곡성(형상 가공성)의 관점으로부터, 소둔 처리된 것임이 바람직하다.

봉형상체(61)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라 적당히 정해진다. 구체적으로는, 봉형상체(61)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 짧은 것이 바람직하다.

봉형상체(61)의 단면 형상은, 원형(봉형상체(61)가 중공 구조를 갖는 경우에는 예를 들어 원환형상), 타원 형상(봉형상체(61)가 중공 구조를 갖는 경우에는 예를 들어 타원환형상)인 것이 바람직하다. 또, 봉형상체(61)의 단면 형상은, 직사각형형상, 별형상 등이어도 되고, 굴곡에 적절한 단면 형상을 적당히 채용할 수 있다.

또, 봉형상체(61)의 외경은, 봉형상체(61)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.

이 도면의 예에 있어서, 봉형상체(61)는, 원형의 단면 형상을 갖고, 도선 본체(16)의 전체 길이보다 짧은 것이다.

이상과 같은 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체를 구비한 본 발명의 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체(16)와, 상기 도선 본체(16)를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 것이다. 그로 인해, 도선 본체(16)에 있어서, 표피 효과의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다. 또, 도선 본체(16)가 유연성을 갖는 것임과 더불어, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 굴곡성을 갖는 것이기 때문에, 수작업으로 용이하게 원하는 형상으로 굴곡시킬 수 있고, 게다가, 그 형상을, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 자기 형상 유지성에 의해 유지할 수 있다.

그리고, 고주파 점등형 광원 장치(10)에 있어서는, 급전선(15)으로서, 본 발명의 고주파용 도선이 이용되고 있다. 즉, 급전선(15)으로서, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있음과 더불어, 뛰어난 리드포밍 성능을 갖는 도선이 이용되고 있다. 그로 인해, 고주파 점등형 광원 장치(10)의 제조 작업 및 고주파 점등형 광원 장치에 있어서의 구성 부재의 교환 작업을 행할 때에, 사전 혹은 작업 중에, 급전선(15)을 리드포밍할 수 있다. 그 결과, 작업 중에 있어서, 급전선(15)이 처져 다른 부재에 얽히는 일이 없고, 또 전용의 고정 부재를 이용하는 일 없이 급전선(15)을 원하는 위치에 원하는 상태로 배치할 수 있다. 특히, 전원(12)이 고주파 전원으로 이루어지는 것인 경우에 있어서는, 급전선(15)을, 다른 급전선과의 관계에 있어서 절연 거리를 확보한 상태로 배치할 수 있다.

따라서, 고주파 점등형 광원 장치(10)에 의하면, 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어진다.

또, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치(10)에 있어서는, 고주파 광원(11)으로서, 높은 점등 주파수가 필요하게 되는 엑시머 램프를 이용한 경우여도, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했는데, 본 발명은 상기의 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.

예를 들어, 본 발명의 고주파용 도선은, 상기의 구성(구체적으로는, 제1 고주파용 도선, 제2 고주파용 도선, 제3 고주파용 도선, 제4 고주파용 도선, 제5 고주파용 도선, 제6 고주파용 도선 및 제7 고주파용 도선)에 한정되는 것은 아니다.

구체적으로는, 본 발명의 고주파용 도선은, 도 12에 도시하는 바와 같이, 복수의 도선을 갖고 있으며, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가, 복수의 도선에 공통인 것이어도 된다.

여기에, 도 12는, 본 발명의 제8 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제8 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.

이 제8 고주파용 도선(70)은, 복수(이 도면의 예에 있어서는, 3개)의 도선 본체(16)와, 이들 복수의 도선 본체(16)에 공통의 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(71)로 이루어지는 것이다. 그리고, 제8 고주파용 도선(70)에 있어서는, 복수의 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 복수의 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 이 압착 단자(17)는, 복수의 도선 본체(16)에 공통인 것이다. 그리고, 복수의 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.

이 제8 고주파용 도선(70)에 있어서, 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(71)는, 금속선(72)과 복수(이 도면의 예에 있어서는, 4개)의 결속재(74)로 이루어지고, 금속선(72)이, 복수의 결속재(74)에 의해 지지 고정됨으로써, 상기 복수의 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 복수의 결속재(74)는, 각각, 결속 벨트 또는 부착 테이프로 이루어지는 것이며, 복수의 도선 본체(16)와 금속선(72)에 감겨져 있다.

이 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(71)에 있어서, 금속선(72)에는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성이 필요하게 되고, 또 금속선(72)으로는, 도 4에 따르는 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(30)를 구성하는 금속선(32)과 같은 구성인 것을 이용할 수 있다.

또, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치는, 고주파 전력이 공급되는 광원(고주파 광원)과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비하고 있으며, 상기 급전선이 본 발명의 고주파용 도선으로 이루어지는 것이면 되고, 상기 광원 장치의 전체의 구조는, 도 1에 도시하는 것에 한정되지 않으며, 여러 가지의 구성을 채용할 수 있다.

예를 들어, 고주파 점등형 광원 장치는, 복수의 광원(고주파 광원)이 줄지어 설치되어 이루어지는 구성인 것이어도 된다. 이러한 구성의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 본 발명의 효과가 현저하게 얻어진다. 구체적으로 설명하면, 고주파 점등형 광원 장치의 제조 작업 중 및 고주파 점등형 광원 장치에 있어서의 구성 부재(구체적으로는, 광원)의 교환 작업 중에 있어서, 복수의 광원에 따르는 복수의 급전선이 처져 서로 얽히는 일이 없고, 또 복수의 급전선의 각각을, 전용의 고정 부재를 이용하는 일 없이 원하는 위치에 원하는 상태로 배치할 수 있다. 특히, 고주파 점등형 광원 장치가 광원에 대해 고주파 전원으로부터의 고주파 전압이 인가되는 구성인 것인 경우에는, 복수의 급전선을, 절연 거리를 확보한 상태로 배치할 수 있다.

10: 고주파 점등형 광원 장치 11: 광원(고주파 광원)
12: 전원 15: 급전선
16: 도선 본체 17: 압착 단자
19: 추 21: 방전 용기
21a: 둘레 측면 22: 고전압측 전극
25: 베이스 30: 제1 고주파용 도선
31: 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체 32: 금속선
34: 지지 부재 35: 제2 고주파용 도선
36: 튜브형상체 40: 제3 고주파용 도선
41: 코일형상체 43: 제4 고주파용 도선
44: 판상체 45A: 직사각형 평판형상 기체
45B: 직사각형 판편 46: 제4 고주파용 도선
47: 판상체 47a: 부분
48: 공간 50: 제5 고주파용 도선
51: 튜브형상체 52A, 52B, 52C: 튜브형상부
53A, 53B: 힌지부 55: 제6 고주파용 도선
56: 튜브형상체 57A, 57B, 57C: 튜브형상부
57a: 타원통부 57b: 선단부
58: 고정 부재 59A, 59B: 고정용 구멍
60: 제7 고주파용 도선 61: 봉형상체
70: 제8 고주파용 도선
71 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체 72: 금속선
74: 결속재

Claims

복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가(可)굴곡성 자기 형상 유지 라인(條)체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.
청구항 1에 있어서,
상기 도선 본체는, 상기 복수의 도전성 소선의 다발이 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것임을 특징으로 하는 고주파용 도선.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 금속선이, 지지 부재에 의해 지지 고정됨으로써, 상기 도선 본체를 따라 배치된 것임을 특징으로 하는 고주파용 도선.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 튜브형상체로 이루어지는 것이며, 상기 튜브형상체의 내부에 상기 도선 본체가 삽입 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 코일형상체로 이루어지는 것이며, 상기 코일형상체를 구성하는 소선이 상기 도선 본체에 나선형상으로 감겨진 상태로 되어 있는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 양단부에 도선 본체 유지부가 설치된 판상체로 이루어지는 것임을 특징으로 하는 고주파용 도선.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 봉형상체로 이루어지는 것이며, 상기 도선 본체가 상기 봉형상체를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.
고주파 전력이 공급되는 광원과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치로서,
상기 급전선이, 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 고주파용 도선으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파 점등형 광원 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 광원이 엑시머 램프인 것을 특징으로 하는 고주파 점등형 광원 장치.