KR20170084814A - 잔류 약액 처리 장치 및 방법 그리고 인쇄 장치 - Google Patents

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KR20170084814A
KR20170084814A KR1020160004113A KR20160004113A KR20170084814A KR 20170084814 A KR20170084814 A KR 20170084814A KR 1020160004113 A KR1020160004113 A KR 1020160004113A KR 20160004113 A KR20160004113 A KR 20160004113A KR 20170084814 A KR20170084814 A KR 20170084814A
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김광수
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세메스 주식회사
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Abstract

인쇄 장치는 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 기판 상에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드; 및 상기 잉크젯 헤드의 노즐들이 노출되는 노즐면에 잔류하는 약액을 처리하기 위한 잔류 약액 처리부를 포함한다. 상기 잔류 약액 처리부는 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거할 수 있는 세정액을 수용하는 배스, 상기 배스로 상기 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 및 상기 배스로부터 상기 세정액을 배출시키는 세정액 배출부를 포함하고, 상기 세정액 공급부 및 상기 세정액 배출부의 개폐에 따라 상기 배스에 상기 세정액이 수용되거나 상기 배스에서 상기 세정액이 플로우되도록 구비되는 세정액 처리부; 및 상기 배스에 수용되거나 상기 배스에서 플로우되는 상기 세정액으로 초음파를 제공하도록 구비되는 초음파 제공부를 포함한다.

Description

잔류 약액 처리 장치 및 방법 그리고 인쇄 장치{Apparatus and Method for treating residual chemical, and Inkjet Printer having the same}
본 발명은 잔류 약액 처리 장치 및 방법 그리고 인쇄 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 잉크젯 헤드의 노즐들이 노출되는 노즐면에 잔류하는 약액을 처리하기 위한 잔류 약액 처리 장치 및 방법 그리고 인쇄 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(투명 기판) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포할 경우, 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판 상에 컬러 필터를 도포할 경우 등에 대해서는 잉크젯 헤드를 구비하는 인쇄 장치를 사용하고 있다.
상기 잉크젯 헤드에는 상기 배향막의 형성, UV 잉크의 도포, 컬러 필터의 도포 등을 위한 약액을 기판으로 토출시킬 수 있는 노즐들이 배치된다. 그러나 상기 잉크젯 헤드의 노즐들이 배치되는 노즐면에 상기 약액이 잔류할 경우 상기 약액의 토출을 방해할 수 있다. 이에, 상기 인쇄 장치를 사용한 인쇄 공정에서는 상기 노즐면에 잔류하는 약액을 제거하는 공정을 수행한다.
상기 잔류 약액의 제거는 상기 노즐면에 잔류하는 약액을 진공으로 흡입하는 공정을 수행하거나 상기 노즐면을 와이핑(wiping)하는 공정 등을 수행한다.
상기 진공 흡입의 경우에는 상기 노즐면과 상기 진공 흡입을 위한 부재 사이의 간격을 일정하게 유지해야 하는데 상기 간격을 일정하게 유지하는 것이 힘들기 때문에 상기 진공 흡입으로는 상기 잔류 약액을 완전하게 제거하는 것이 용이하지 않다. 그리고 상기 잔류 약액을 완전하게 제거하기 못할 경우 상기 노즐면에 상기 잔류 약액이 고형화되고, 결정 성장하기 때문에 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 노즐면을 분리시켜 별도로 세정해야 하는 번거로움이 있다. 또한, 상기 노즐면으로부터 제거되는 상기 잔류 약액이 상기 진공 흡입 부재로 흡입되어 상기 진공 흡입 부재가 막히는 상황이 발생하기 때문에 상기 진공 흡입 부재도 주기적으로 점검해야 하는 번거로움이 있다.
상기 노즐면을 와이핑하는 공정에서는 상기 노즐면을 와이핑하는 부재가 세정액에 딥핑된 상태를 유지하다가 상기 노즐면을 와이핑할 때에만 대기 중에 노출시키기 때문에 정해진 시간 내에 와이핑이 이루어져야 하는 단점이 있다. 그리고 상기 와이핑 부재에 상기 잔류 약액이 흡착될 수도 있는데 이 경우 상기 잔류 약액이 고형화되고, 결정 성장함에 따라 상기 노즐면을 와이핑할 때 스크레치를 발생시키는 원인으로도 작용할 수 있다.
본 발명의 일 목적은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 완전하게 제거할 수 있는 잔류 약액 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 완전하게 제거할 수 있는 잔류 약액 처리부를 구비하는 인쇄 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 완전하게 제거할 수 있는 잔류 약액 처리 방법을 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치는 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 세정액을 수용하는 배스, 상기 배스로 상기 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 및 상기 배스로부터 상기 세정액을 배출시키는 세정액 배출부를 포함하고, 상기 세정액 공급부 및 상기 세정액 배출부의 개폐에 따라 상기 배스에 상기 세정액이 수용되거나 상기 배스에서 상기 세정액이 플로우되도록 구비되는 세정액 처리부; 및 상기 배스에 수용되거나 상기 배스에서 플로우되는 상기 세정액에 초음파를 제공하도록 구비되는 초음파 제공부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 초음파 제공부는 상기 세정액이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 상기 세정액에 상기 초음파가 제공되도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 세정액 공급부는 상기 배스 저면과 연결되는 공급 라인 및 상기 공급 라인을 개폐시키는 공급 밸브를 구비할 수 있고, 상기 세정액 배출부는 상기 배스 저면과 연결되는 배출 라인 및 상기 배출 라인을 개폐시키는 배출 밸브를 구비할 수 있고, 상기 초음파 제공부는 상기 공급 라인이 배치되는 쪽의 상기 배스 측면에 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 잉크젯 헤드가 상기 배스를 향할 때 상기 노즐면이 상기 세정액에 접촉하거나 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 배스에서 상기 세정액을 플로우시킬 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 배스에 상기 세정액을 수용할 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 잔류 약액을 처리한 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 와이핑(wiping)하도록 구비되는 와이핑부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 장치에서, 상기 와이핑부는 상기 세정액 배출부보다 뒤쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치는 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 기판 상에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드; 및 상기 잉크젯 헤드의 노즐들이 노출되는 노즐면에 잔류하는 약액을 처리하기 위한 잔류 약액 처리부를 포함하고, 상기 잔류 약액 처리부는 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거할 수 있는 세정액을 수용하는 배스, 상기 배스로 상기 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 및 상기 배스로부터 상기 세정액을 배출시키는 세정액 배출부를 포함하고, 상기 세정액 공급부 및 상기 세정액 배출부의 개폐에 따라 상기 배스에 상기 세정액이 수용되거나 상기 배스에서 상기 세정액이 플로우되도록 구비되는 세정액 처리부; 및 상기 배스에 수용되거나 상기 배스에서 플로우되는 상기 세정액으로 초음파를 제공하도록 구비되는 초음파 제공부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 세정액 공급부는 상기 배스 저면과 연결되는 공급 라인 및 상기 공급 라인을 개폐시키는 공급 밸브를 구비할 수 있고, 상기 세정액 배출부는 상기 배스 저면과 연결되는 배출 라인 및 상기 배출 라인을 개폐시키는 배출 밸브를 구비할 수 있고, 상기 초음파 제공부는 상기 세정액이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 상기 세정액에 상기 초음파가 제공되도록 상기 공급 라인이 배치되는 쪽의 상기 배스 측면에 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 잔류 약액 처리부는 상기 잉크젯 헤드가 상기 배스를 향할 때 상기 노즐면이 상기 세정액에 접촉하거나 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 배스에서 상기 세정액을 플로우시킬 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절할 수 있고, 상기 배스에 상기 세정액을 수용할 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치에서, 상기 잔류 약액을 처리한 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 와이핑(wiping)하도록 구비되는 와이핑부를 더 포함할 수 있다.
언급한 또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 방법은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 세정액을 배스에 수용하거나 상기 배스에서 플로우시키는 것을 선택하는 단계; 상기 베스에 수용하거나 상기 배스에서 플로우시키는 상기 세정액에 초음파를 제공하는 단계; 및 상기 배스에서 상기 세정액을 플로우시키도록 선택하는 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하여 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거하고, 상기 배스에 상기 세정액을 수용하도록 선택하는 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하여 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 방법에서, 상기 초음파는 상기 세정액이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 방법에서, 상기 잔류 약액을 제거한 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 와이핑하는 단계를 더 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예들에 따르면 상기 세정액을 배스에 수용하거나 상기 배스에서 플로우시킬 때 상기 세정액에 초음파를 제공하고 그리고 상기 세정액을 플로우시킬 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하고 상기 세정액을 수용할 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절함으로써 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거할 수 있다.
그러므로 본 발명의 일 실시예들에 따르면 상기 플로우가 이루어지는 상기 세정액에 초음파를 제공함으로써 상기 세정액의 입자들이 갖는 운동 에너지를 상승시킴에 의해 상기 노즐면에 잔류하는 약액을 보다 용이하게 제거할 수 있다.
아울러, 상기 잉크젯 헤드를 사용하지 않을 때에는 상기 배스에 수용되는 상기 세정액에 초음파를 제공하여 상기 세정액의 증발을 유도함으로써 상기 세정액과 이격되게 위치하는 상기 노즐면으로 상기 세정액의 증발로 인한 기화 가스가 제공하고, 그 결과 상기 노즐면에 고형화될 수 있는 잔류 약액도 제거할 수 있다. 이에, 본 발명의 경우에는 상기 잉크젯 헤드를 사용하지 않을 때에도 상기 잉크젯 헤드의 노즐면의 유지 보수를 보다 용이하고 안정적으로 수행할 수 있다.
따라서 본 발명은 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 용이하게 제거 및 처리할 수 있기 때문에 배향막의 형성, UV 잉크의 도포, 컬러 필터의 도포 등과 같은 인쇄 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 인쇄 장치에 구비되는 잔류 약액 처리부는 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 방법을 설명하기 위한 공정 순서도이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 인쇄 장치(100)는 잉크젯 방식으로 대상물 상에 약액을 도포할 수 있다. 상기 대상물의 예로서는 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있고, 상기 약액의 예로서는 액정(Liquid Crystal), 배향액, 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다.
본 발명의 인쇄 장치(100)는 기판 지지부(11), 잉크젯 헤드(21), 잔류 약액 처리부(41), 갠트리(31) 등을 포함한다.
상기 기판 지지부(11)는 베이스(61)의 상면에 설치된다. 상기 베이스(61)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상을 갖도록 구비될 수 있다. 상기 기판 지지부(11)는 기판(10)이 놓이는 지지판(12)을 구비할 수 있다. 상기 지지판(12)은 상기 기판(10)과 거의 유사한 모양을 갖도록 구비될 수 있다. 이에 상기 기판(10)이 사각형으로 구비될 경우 상기 지지판(12)도 사각형으로 구비될 수 있다.
상기 지지판(12)의 하면에는 회전 구동부(13)가 연결되도록 구비될 수 있다. 상기 회전 구동부(13)는 회전 모터로 구비될 수 있다. 이에, 상기 회전 구동부(13)는 상기 지지판(12)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 상기 지지판(12)을 회전시킬 수 있다. 즉, 상기 지지판(12)이 상기 회전 구동부(13)에 의해 회전됨으로써 상기 기판(10)은 상기 지지판(12)의 회전에 의해 회전될 수 있는 것이다.
상기 지지판(12) 및 상기 회전 구동부(13)의 하면에는 직선 구동부(14)가 연결되도록 구비될 수 있다. 상기 직선 구동부(14)는 상기 베이스(61)를 기준으로 상기 베이스(61)의 전,후방으로 상기 지지판(12) 및 상기 회전 구동부(13)를 직선 이동할 수 있도록 구비될 수 있다.
상기 직선 구동부(14)는 슬라이더(15), 가이드부(16) 등을 포함할 수 있다. 상기 슬라이더(15)는 상기 회전 구동부(13)의 하면에 배치되도록 구비될 수 있고. 상기 가이드부(16)는 상기 슬라이드(15)의 하면에 배치되도록 구비됨과 아울러 상기 베이스(61)의 전,후방을 따라 길게 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 슬라이더(15)에는 리니어 모터가 내장될 수 있고, 이에 상기 슬라이더(15)가 상기 리니어 모터에 의해 상기 가이드부(16)를 따라 언급한 바와 같이 상기 베이스(61)의 전,후방으로 직선 이동할 수 있는 것이다.
상기 갠트리(31)는 상기 기판 지지부(11)의 상기 지지판(12)이 이동되는 경로의 상부에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 갠트리(31)는 상기 베이스(61)의 상면으로부터 위쪽 방향으로 이격 배치되도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 갠트리(31)의 배치 방향은 상기 베이스(61)의 전,후방 경로를 기준으로 수직 방향일 수 있다.
상기 잔류 약액 처리부(41)는 상기 기판 지지부(11)의 일측에 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 잉크젯 헤드(21)가 상기 잔류 약액 처리부(41)의 상부로 이동함에 의해 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에서의 잔류 약액의 제거와 같은 잔류 약액의 처리가 이루어지는 것이다. 이와 같이, 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드(21)가 상기 잔류 약액 처리부(41)의 상부로 이동할 수 있는 구조를 갖기 때문에 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 잔류하는 약액의 제거를 위하여 상기 잉크젯 헤드(21)를 상기 인쇄 장치(100)에서 별도로 분리시킬 필요가 없다.
상기 잉크젯 헤드(21)는 잉크젯 헤드 이동부(51)에 의해 상기 갠트리(31)에 결합되도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(21)는 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)에 의해 상기 갠트리(31)의 길이 방향으로 직선 이동할 수 있고, 또한 높이 방향인 상,하방으로 직선 이동할 수 있다. 특히, 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)는 후술하는 높이 조절부인 것으로써 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)의 높이 조절을 통하여 상기 잉크젯 헤드(51)의 높이를 조절할 수 있다.
본 발명의 인쇄 장치(100)에서 상기 잉크젯 헤드(21)는 복수 개가 구비될 수 있는 것으로써, 본 실시예에서 3개의 잉크젯 헤드(23, 25, 27)가 구비되도록 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 상기 잉크젯 헤드(21)에는 상기 약액을 토출할 수 있도록 복수 개의 노즐들이 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(21)에 구비되는 복수 개의 노즐들은 주로 128개 또는 256개일 수 있고, 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 또한, 상기 노즐들에는 상기 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐들을 통하여 상기 기판(10) 상으로 약액이 도포되도록 상기 약액을 토출시킬 수 있는 것이다. 여기서, 상기 노즐들이 128개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 128개가 구비되고, 상기 노즐들이 256개 구비될 경우에는 상기 압전 소자 또한 256개가 구비되는 것이다. 그리고 상기 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 인쇄 장치(100)는 상기 기판(10)을 지지하는 상기 기판 지지부(11), 상기 기판(10) 상에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 상기 잉크젯 헤드(21), 및 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐들이 노출되는 노즐면에 잔류하는 약액을 처리하기 위한 상기 잔류 약액 처리부(41) 등을 포함할 수 있다. 아울러, 본 발명의 인쇄 장치(100)에서 상기 잉크젯 헤드(21)는 상기 기판(10)을 향하는 방향으로 상기 노즐들이 노출되는 노즐면이 형성될 수 있다.
그리고 상기 잉크젯 헤드(21)를 사용하여 상기 약액을 계속적으로 토출할 경우에는 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 약액이 잔류하는 상황이 발생할 수도 있고, 아울러 상기 잉크젯 헤드(21)를 사용하지 않을 경우에도 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 잔류하는 약액이 고형화되어 결정 성장하는 상황이 발생할 수도 있다. 따라서 본 발명에서는 언급한 잔류 약액 처리부(41)를 사용하여 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거한다.
이하, 본 발명의 인쇄 장치(100)에 구비되는 상기 잔류 약액 처리부(41)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 인쇄 장치에 구비되는 잔류 약액 처리부는 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 2를 참조하면, 상기 잔류 약액 처리부(41)는 세정액 처리부, 초음파 제공부(44), 그리고 와이핑(wiping)부(47) 등을 포함할 수 있다.
상기 세정액 처리부는 배스(42), 세정액 공급부(45), 세정액 배출부(46) 등을 포함할 수 있다.
상기 배스(42)는 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 세정액(43)을 수용한다. 아울러, 본 발명에서의 상기 세정액 처리부는 상기 배스(42)에 상기 세정액(43)을 수용할 수 있을 뿐만 아니라 상기 세정액 공급부(45) 및 상기 세정액 배출부(46)의 조작을 통하여 상기 배스(42)에서 상기 세정액(43)을 플로우(flow)시킬 수도 있다.
상기 세정액 공급부(45)는 상기 배스(42)로 상기 세정액(43)을 공급하도록 구비될 수 있고, 상기 세정액 배출부(46)는 상기 배스(42)로부터 상기 세정액(43)을 배출하도록 구비될 수 있다. 상기 세정액 공급부(45)는 상기 배스(42) 저면과 연결되는 공급 라인(45a) 및 상기 공급 라인(45a)을 개폐시키는 공급 밸브(45b)를 구비할 수 있고, 상기 세정액 배출부(46)는 상기 배스(42) 저면과 연결되는 배출 라인(46a) 및 상기 배출 라인(46a)을 개폐시키는 배출 밸브(46b)를 구비할 수 있다.
이에, 언급한 바와 같이 본 발명의 상기 잔류 약액 처리부(41)는 상기 세정액(43)을 상기 배스(42)에 수용하거나 또는 상기 배스(42)에서 플로우시킬 수 있는 것이다. 즉, 상기 세정액 공급부(45)의 공급 밸브(45b)는 개방시키고 상기 세정액 배출부(46)의 배출 밸브(46b)는 폐쇄시킬 경우에는 상기 배스(42)에 상기 세정액(43)을 수용할 수 있고, 상기 세정액 공급부(45)의 공급 밸브(45b) 및 상기 세정액 배출부(46)의 배출 밸브(46b) 모두를 개방시킬 경우에는 상기 배스(42)에서 상기 세정액(43)을 플로우시킬 수 있는 것이다. 여기서 상기 배스(42)에 상기 세정액(43)을 수용시킬 경우에는 개방시킨 상기 공급 밸브(45b)를 일정 시간 이후에 폐쇄시켜야 한다. 그리고 상기 세정액(43)은 상기 세정액 공급부(45)가 구비되는 방향으로부터 상기 세정액 배출부(46)가 구비되는 방향으로 플로우될 수 있다.
상기 초음파 제공부(44)는 상기 배스(42)에 수용되거나 상기 배스(42)에서 플로우되는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 초음파 제공부(44)는 상기 세정액(43)이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 상기 세정액(43)에 상기 초음파가 제공되도록 구비될 수 있다. 상기 세정액(43)의 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 상기 초음파를 제공하는 것은 상기 세정액(43)에 전달되는 상기 초음파를 극대화하기 위함이다. 이에, 상기 초음파 제공부(44)는 상기 세정액 공급부(45)의 공급 라인(45a)이 배치되는 쪽의 상기 배스(42) 측면에 구비될 수 있다.
이와 같이, 상기 초음파 제공부(44)를 사용하여 상기 배스(42)에 수용되거나 상기 배스(42)에서 플로우되는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공함으로써 상기 세정액(43)의 운동 에너지를 향상시킬 수 있고, 그 결과 상기 노즐면에 잔류하는 약액을 보다 용이하게 처리할 수 있다. 즉, 상기 배스(42)에서 플로우되는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공할 경우 상기 세정액(43)에 운동 에너지에 의한 유동이 가미되어 초음파 주파수의 스윕(sweep) 효과를 발생시킴으로써 상기 초음파의 데드존(dead zone)을 없앨 수 있기 때문에 상기 노즐면에 잔류하는 용액을 보다 용이하게 처리할 수 있는 것이다. 또한, 상기 배스(42)에 수용되는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공할 경우 상기 세정액(43)에 운동 에너지에 의한 유동이 가미되어 상기 세정액(43)의 온도 상승을 통한 상기 세정액(43)의 증발을 유도할 수 있고, 그 결과 상기 세정액(43)의 증발을 통한 상기 세정액(43)의 증기가 상기 노즐면에 접촉함으로써 상기 노즐면에 잔류하는 약액이 고형화되는 것을 방지할 수 있는 것이다.
이에, 본 발명에서는 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면이 상기 세정액(43)과 접촉하거나 이격되도록 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절해야 한다. 따라서 상기 잔류 약액 처리부(41)는 상기 잉크젯 헤드(21)가 상기 배스(42)를 향할 때 상기 노즐면이 상기 세정액(43)에 접촉하거나 이격되도록 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절하는 높이 조절부(51)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 높이 조절부(51)는 언급한 바와 같이 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)일 수 있다. 즉, 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)를 사용하여 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절할 수 있는 것이다.
따라서 상기 배스(42)에서 상기 세정액(43)을 플로우시킬 때에는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액(43)과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)를 사용하여 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절할 수 있고, 상기 배스(42)에 상기 세정액(43)을 수용할 때에는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액(43)과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드 이동부(51)를 사용하여 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절할 수 있다.
상기 와아핑부(47)는 상기 잔류 약액을 처리한 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면을 와이핑하도록 구비될 수 있다. 상기 와이핑부(47)는 상기 세정액 배출부(46)보다 뒤쪽에 배치되도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 와이핑부(47)는 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 접촉할 수 있는 롤러(48) 등을 포함할 수 있다.
따라서 본 발명에서는 상기 잔류 약액 처리부(41)를 구비함으로써 상기 플로우가 이루어지는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공하여 상기 세정액(43)의 입자들이 갖는 운동 에너지를 상승시킴에 의해 상기 노즐면에 잔류하는 약액을 보다 용이하게 제거할 수 있고, 특히 상기 잉크젯 헤드(21)를 사용하지 않을 때에는 상기 배스(42)에 수용되는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공하여 상기 세정액(43)의 증발을 유도함으로써 상기 세정액(43)과 이격되게 위치하는 상기 노즐면으로 상기 세정액(43)의 증발로 인한 기화 가스를 제공하고, 그 결과 상기 노즐면에 고형화될 수 있는 잔류 약액도 제거할 수 있다.
이하, 언급한 잔류 약액 처리부(41)를 사용하여 잔류 약액을 처리하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잔류 약액 처리 방법을 설명하기 위한 공정 순서도이다.
도 3을 참조하면, 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 세정액(43)을 상기 배스(42)에 수용하거나 상기 배스(42)에서 플로우시키는 것을 선택한다.(S81 단계)
그리고 상기 배스(42)에 수용하거나 상기 배스(42)에서 플로우시키는 상기 세정액(43)에 초음파를 제공한다.(S83 단계) 상기 초음파는 상기 세정액(43)이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 제공한다.
이어서, 상기 배스(42)에서 상기 세정액(43)을 플로우시키도록 선택하는 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액(43)과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절하여 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거한다. 아울러, 상기 배스(42)에 상기 세정액(43)을 수용하도록 선택하는 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액(43)과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드(21)의 높이를 조절하여 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거한다.(S85 단계)
그리고 상기 잔류 약액을 제거한 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면을 와이핑한다.(S87 단계)
이에, 본 발명에서의 잔류 약액 처리 방법을 적용할 경우 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 잔류하는 약액을 보다 용이하게 제거할 수 있고, 특히 상기 잉크젯 헤드(21)를 사용하지 않는 시간에도 상기 세정액의 증발을 통하여 상기 잉크젯 헤드(21)의 노즐면에 고형화될 수 있는 잔류 약액을 제거할 수 있다.
따라서 본 발명은 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 용이하게 제거 및 처리할 수 있기 때문에 배향막의 형성, UV 잉크의 도포, 컬러 필터의 도포 등과 같은 인쇄 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있고, 그 결과 인쇄 공정에서의 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 기판 지지부
12 : 지지판 13 : 회전 구동부
14 : 직선 구동부 15 : 슬라이더
16 : 가이드부 21 : 잉크젯 헤드
31 : 갠트리 41 : 잔류 약액 처리부
42 : 배스 43 : 세정액
44 : 초음파 제공부 45 : 세정액 공급부
45a : 공급 라인 45b : 공급 밸브
46 : 세정액 배출부 46a : 배출 라인
46b : 배출 밸브 47 : 와이핑부
48 : 롤러 51 : 잉크젯 헤드 이동부
61 : 베이스 100 : 인쇄 장치

Claims (16)

  1. 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 세정액을 수용하는 배스, 상기 배스로 상기 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 및 상기 배스로부터 상기 세정액을 배출시키는 세정액 배출부를 포함하고, 상기 세정액 공급부 및 상기 세정액 배출부의 개폐에 따라 상기 배스에 상기 세정액이 수용되거나 상기 배스에서 상기 세정액이 플로우되도록 구비되는 세정액 처리부; 및
    상기 배스에 수용되거나 상기 배스에서 플로우되는 상기 세정액에 초음파를 제공하도록 구비되는 초음파 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 초음파 제공부는 상기 세정액이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 상기 세정액에 상기 초음파가 제공되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 세정액 공급부는 상기 배스 저면과 연결되는 공급 라인 및 상기 공급 라인을 개폐시키는 공급 밸브를 구비하고, 상기 세정액 배출부는 상기 배스 저면과 연결되는 배출 라인 및 상기 배출 라인을 개폐시키는 배출 밸브를 구비하고, 상기 초음파 제공부는 상기 공급 라인이 배치되는 쪽의 상기 배스 측면에 구비되는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 잉크젯 헤드가 상기 배스를 향할 때 상기 노즐면이 상기 세정액에 접촉하거나 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 배스에서 상기 세정액을 플로우시킬 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  6. 제4 항에 있어서, 상기 배스에 상기 세정액을 수용할 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 잔류 약액을 처리한 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 와이핑(wiping)하도록 구비되는 와이핑부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 와이핑부는 상기 세정액 배출부보다 뒤쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 장치.
  9. 기판을 지지하는 기판 지지부;
    상기 기판 상에 약액을 토출하는 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드; 및
    상기 잉크젯 헤드의 노즐들이 노출되는 노즐면에 잔류하는 약액을 처리하기 위한 잔류 약액 처리부를 포함하고,
    상기 잔류 약액 처리부는 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거할 수 있는 세정액을 수용하는 배스, 상기 배스로 상기 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 및 상기 배스로부터 상기 세정액을 배출시키는 세정액 배출부를 포함하고, 상기 세정액 공급부 및 상기 세정액 배출부의 개폐에 따라 상기 배스에 상기 세정액이 수용되거나 상기 배스에서 상기 세정액이 플로우되도록 구비되는 세정액 처리부; 및 상기 배스에 수용되거나 상기 배스에서 플로우되는 상기 세정액으로 초음파를 제공하도록 구비되는 초음파 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
  10. 제9 항에 있어서, 상기 세정액 공급부는 상기 배스 저면과 연결되는 공급 라인 및 상기 공급 라인을 개폐시키는 공급 밸브를 구비하고, 상기 세정액 배출부는 상기 배스 저면과 연결되는 배출 라인 및 상기 배출 라인을 개폐시키는 배출 밸브를 구비하고, 상기 초음파 제공부는 상기 세정액이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 상기 세정액에 상기 초음파가 제공되도록 상기 공급 라인이 배치되는 쪽의 상기 배스 측면에 구비되는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
  11. 제9 항에 있어서, 상기 잔류 약액 처리부는 상기 잉크젯 헤드가 상기 배스를 향할 때 상기 노즐면이 상기 세정액에 접촉하거나 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 높이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
  12. 제11 항에 있어서, 상기 배스에서 상기 세정액을 플로우시킬 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하고, 상기 배스에 상기 세정액을 수용할 때에는 상기 세정액에 초음파를 제공함과 아울러 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
  13. 제9 항에 있어서, 상기 잔류 약액을 처리한 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 와이핑(wiping)하도록 구비되는 와이핑부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
  14. 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 세정액을 배스에 수용하거나 상기 배스에서 플로우시키는 것을 선택하는 단계;
    상기 베스에 수용하거나 상기 배스에서 플로우시키는 상기 세정액에 초음파를 제공하는 단계; 및
    상기 배스에서 상기 세정액을 플로우시키도록 선택하는 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액과 접촉되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하여 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거하고, 상기 배스에 상기 세정액을 수용하도록 선택하는 경우에는 상기 노즐면이 상기 세정액과 이격되도록 상기 잉크젯 헤드의 높이를 조절하여 상기 노즐면으로부터 상기 잔류 약액을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 방법.
  15. 제14 항에 있어서, 상기 초음파는 상기 세정액이 플로우되는 방향과 동일한 방향으로 제공하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 방법.
  16. 제14 항에 있어서, 상기 잔류 약액을 제거한 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 와이핑하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 약액 처리 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113459681A (zh) * 2021-06-29 2021-10-01 Tcl华星光电技术有限公司 喷墨打印装置
US11945224B2 (en) 2021-06-29 2024-04-02 Tcl China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Inkjet printing device including circulation assembly
CN116409062A (zh) * 2021-12-30 2023-07-11 细美事有限公司 喷墨头清洁装置、基板处理系统和喷墨头清洁方法

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Patent event date: 20230109

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20220622

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I