KR20170110190A - 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 장치 및 이를 이용한 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 방법 - Google Patents
입자 가속기의 빔 전하량 극대화 장치 및 이를 이용한 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20170110190A KR20170110190A KR1020160033798A KR20160033798A KR20170110190A KR 20170110190 A KR20170110190 A KR 20170110190A KR 1020160033798 A KR1020160033798 A KR 1020160033798A KR 20160033798 A KR20160033798 A KR 20160033798A KR 20170110190 A KR20170110190 A KR 20170110190A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- unit
- accelerator
- hardware
- particle accelerator
- control unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/06—Two-beam arrangements; Multi-beam arrangements storage rings; Electron rings
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H15/00—Methods or devices for acceleration of charged particles not otherwise provided for, e.g. wakefield accelerators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
본 발명에 따르면, 제어 시스템 개발 툴인 EPICS(Experimental Physics and Industrial Control System)기반의 제어부가 가속기 하드웨어의 설정 변수를 조정하고, 데이터 연산 및 분석 프로그램인 MATLAB(matrix loboratory)을 이용하여 분석부가 최적의 빔 상태에 적합한 설정 변수를 도출함으로써 가속기 최적화 과정을 자동으로 구현할 수 있는 이점이 있다.
Description
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가속기 최적화 방법의 순서도를 나타낸다.
105: 슬라이드 유닛
60: 회동 유닛
40: 베이스 플레이트
401: 가이드 레일
41: 구동부
411: 볼 스크루
413: 모터
100: 챔버
101: 솔레노이드 코일
30: 가속관
83: 타겟
2: 제어부
5: 채널부
7: 분석부
8: ICT부
Claims (4)
- 입자 가속기를 제어하는 가속기 최적화 장치에 있어서,
상기 입자 가속기를 구성하는 하드웨어의 설정 변수를 제어하는 EPICS 프로그램 기반의 제어부;
상기 입자 가속기로부터 출력되는 빔의 전하량을 통합하여 전류값을 산출하는 ICT부; 및
상기 제어부에서 설정된 하드웨어의 설정 변수별로 상기 ICT부에서 획득된 전류값을 모니터링하여 빔의 전하량이 최대인 지점의 설정 변수를 도출하는 MATLAB 프로그램 기반의 분석부를 포함한 것을 특징으로 하는 가속기 최적화 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제어부에서 측정된 하드웨어의 설정 변수와 상기 ICT부에서 산출한 전류값을 프로그래밍 언어로 변환하여 상기 분석부로 전달하는 채널부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 가속기 최적화 장치.
- 제 2 항에 있어서,
상기 채널부는,
MCA(MATLAB Channel Access) 프로그램 기반으로 상기 제어부와 상기 분석부의 데이터를 연동시키는 것을 특징으로 하는 가속기 최적화 장치.
- 입자 가속기를 제어하는 가속기 최적화 방법에 있어서,
(a) EPICS 프로그램 기반의 제어부에서 상기 입자 가속기를 구성하는 하드웨어의 설정 변수를 측정하는 단계;
(b) 상기 입자 가속기로부터 출력되는 빔의 전하량을 통합하여 전류값을 산출하는 단계;
(c) 상기 (a)단계에서 측정된 하드웨어의 설정 변수와 상기 (b)단계에서 산출된 전류값을 프로그래밍 언어로 변환하는 단계; 및
(d) MATLAB 프로그램 기반에서 상기 (c)단계에서 변환된 설정 변수와 전류값을 모니터링하여 빔의 전하량이 최대인 지점의 설정 변수를 도출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기 최적화 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160033798A KR101819972B1 (ko) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 장치 및 이를 이용한 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160033798A KR101819972B1 (ko) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 장치 및 이를 이용한 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20170110190A true KR20170110190A (ko) | 2017-10-11 |
| KR101819972B1 KR101819972B1 (ko) | 2018-01-22 |
Family
ID=60139043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160033798A Active KR101819972B1 (ko) | 2016-03-22 | 2016-03-22 | 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 장치 및 이를 이용한 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101819972B1 (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108629083A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-10-09 | 江苏理工学院 | 一种汽车防撞梁结构优化方法 |
| WO2019164125A1 (ko) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 주식회사 모비스 | 강화학습과 머신러닝 기법을 이용한 가속기 성능 최적화를 위한 제어 패러미터 결정 시스템 |
| WO2020159052A1 (ko) * | 2019-01-30 | 2020-08-06 | 주식회사 모비스 | 인공신경망 시뮬레이터와 강화학습 제어기를 사용한 실시간 가속기 제어 시스템 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995008909A1 (en) * | 1993-09-20 | 1995-03-30 | Hitachi, Ltd. | Accelerator operation method, accelerator, and accelerator system |
| US7184845B2 (en) * | 2002-12-09 | 2007-02-27 | Pavilion Technologies, Inc. | System and method of applying adaptive control to the control of particle accelerators with varying dynamics behavioral characteristics using a nonlinear model predictive control technology |
-
2016
- 2016-03-22 KR KR1020160033798A patent/KR101819972B1/ko active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019164125A1 (ko) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 주식회사 모비스 | 강화학습과 머신러닝 기법을 이용한 가속기 성능 최적화를 위한 제어 패러미터 결정 시스템 |
| CN108629083A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-10-09 | 江苏理工学院 | 一种汽车防撞梁结构优化方法 |
| WO2020159052A1 (ko) * | 2019-01-30 | 2020-08-06 | 주식회사 모비스 | 인공신경망 시뮬레이터와 강화학습 제어기를 사용한 실시간 가속기 제어 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101819972B1 (ko) | 2018-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1030344B1 (en) | Continuously variable aperture for high-energy ion implanter | |
| US10395889B2 (en) | In situ beam current monitoring and control in scanned ion implantation systems | |
| KR102307017B1 (ko) | 이온주입방법 및 이온주입장치 | |
| JP6117136B2 (ja) | イオン注入装置、ビームエネルギー測定装置、及びビームエネルギー測定方法 | |
| KR101819972B1 (ko) | 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 장치 및 이를 이용한 입자 가속기의 빔 전하량 극대화 방법 | |
| US10672586B2 (en) | Ion implantation apparatus and ion implantation method | |
| KR20160030839A (ko) | 이온주입장치 및 이온빔의 조정방법 | |
| US9905397B2 (en) | Ion implantation apparatus and scanning waveform preparation method | |
| CN101061563B (zh) | 经改进的扫描离子注入期间的离子束利用 | |
| EP1030343B1 (en) | Method & system for operating a variable aperture in an ion implanter | |
| US7723706B2 (en) | Horizontal and vertical beam angle measurement technique | |
| KR20070084347A (ko) | 주사된 이온 주입 중 선량 균일도의 개선 | |
| JP5989613B2 (ja) | イオン注入装置、磁場測定装置、及びイオン注入方法 | |
| US7423277B2 (en) | Ion beam monitoring in an ion implanter using an imaging device | |
| US12317404B2 (en) | Circular accelerator and particle therapy system | |
| JP2665819B2 (ja) | イオン注入装置 | |
| JP4540547B2 (ja) | 散乱イオン測定装置,散乱イオン測定方法 | |
| US20250246401A1 (en) | Automatic Beam Uniformity Correction Through Generative AI Modeling | |
| CN120640509B (zh) | 一种适用于低能直线加速器的负反馈自动能量调控装置和方法 | |
| US20250323013A1 (en) | Detection of Space Charge Effect During Ion Implantation | |
| JP2002015694A (ja) | Rf加速型イオン注入装置 | |
| Dirksen et al. | A Fast Wire Scanner for the TRIUMF Electron Linac | |
| TW202605884A (zh) | 離子植入器、操作離子植入機的方法以及離子植入機的控制器 | |
| Stobbe et al. | OPTIMIZATION OF THE DRIVER ENERGY DEPOSITION IN PLASMA WAKEFIELD ACCELERATION SIMULATIONS BY VARYING TRANSVERSE OFFSET OF SEXTUPOLE MAGNETS | |
| KR20180073873A (ko) | Oda 전자석 전원공급장치 epics 제어 시스템 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
| PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
| D13-X000 | Search requested |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000 |
|
| D14-X000 | Search report completed |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| T11-X000 | Administrative time limit extension requested |
St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| T11-X000 | Administrative time limit extension requested |
St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000 |
|
| T11-X000 | Administrative time limit extension requested |
St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000 |
|
| E13-X000 | Pre-grant limitation requested |
St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E90F | Notification of reason for final refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20201223 Year of fee payment: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20220103 Year of fee payment: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 6 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 7 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R14-asn-PN2301 |
|
| R18 | Changes to party contact information recorded |
Free format text: ST27 STATUS EVENT CODE: A-5-5-R10-R18-OTH-X000 (AS PROVIDED BY THE NATIONAL OFFICE) |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |