KR20170124408A - 미세입자 집속장치 및 그의 동작 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 관성법에 따른 가상 임팩터(Virtual Impactor)의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 미세입자 집속장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 미세입자 집속장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본발명의 제3 실시 예에 따른 미세입자 집속장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학 센서 장치를 설명하기 위한 도면이다.
Claims (7)
- 미세입자 집속장치에 있어서,
대기 중의 미세입자들이 통과하는 주입부;
상기 주입부를 통과한 미세입자들 중 기 정해진 크기 미만의 크기를 갖는 제1 미세입자들이 통과하는 주유로;
상기 주입부를 통과한 미세입자들 중 기 정해진 크기 이상의 크기를 갖는 제2 미세입자들이 통과하는 부유로; 및
상기 주유로 및 상기 부유로를 통과한 제1 미세입자들 및 제2 미세입자들이 모이는 집속부를 포함하는,
미세입자 집속장치. - 제1 항에 있어서,
상기 주유로를 통과한 제1 미세입자들이 상기 집속부로 이동하는 통과부를 더 포함하는,
미세입자 집속장치. - 제2 항에 있어서,
상기 통과부는,
상기 집속부로 이동하는 상기 제1 미세입자들을 차단하기 위한 필터를 포함하는,
미세입자 집속장치. - 미세입자 집속장치에 있어서,
대기 중의 미세입자들이 통과하는 주입부;
상기 주입부를 통과한 미세입자들 중 기 정해진 크기 미만의 크기를 갖는 제1 미세입자들을 잔류시키고, 기 정해진 크기 이상의 크기를 갖는 제2 미세입자들을 통과시키는 여과부; 및
상기 제2 미세입자들이 모이는 집속부를 포함하는,
미세입자 집속장치. - 제4 항에 있어서,
상기 여과부를 복수 개 포함하는,
미세입자 집속장치. - 입자 센서에 있어서,
대기 중의 미세입자들이 통과하는 주입부;
상기 주입부를 통과한 미세입자들 중 기 정해진 크기 미만의 크기를 갖는 제1 미세입자들이 통과하는 주유로;
상기 주입부를 통과한 미세입자들 중 기 정해진 크기 이상의 크기를 갖는 제2 미세입자들이 통과하는 부유로;
상기 주유로 및 상기 부유로를 통과한 제1 미세입자들 및 제2 미세입자들이 모이는 집속부;
빛을 발생시키는 광원;
빛을 모으는 렌즈; 및
상기 렌즈에 의해 모인 빛을 감지하는 수광센서를 포함하고,
상기 렌즈는, 상기 광원에서 발생된 빛과 상기 집속부를 통과한 제1 미세입자들 및 제2 미세입자들에 의해 발생하는 산란광을 모으는,
입자 센서. - 제6 항에 있어서,
상기 제1 미세입자들 및 상기 제2 미세입자들의 유속을 제어하는 유속 제어 장치를 더 포함하는,
입자 센서.
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| KR20120074558A (ko) * | 2010-12-28 | 2012-07-06 | 삼성전자주식회사 | 미세입자 검출장치 |
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